JPS58502096A - 炭化ケイ素ウイスカーの連続製造方法及び装置 - Google Patents
炭化ケイ素ウイスカーの連続製造方法及び装置Info
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- JPS58502096A JPS58502096A JP83500448A JP50044883A JPS58502096A JP S58502096 A JPS58502096 A JP S58502096A JP 83500448 A JP83500448 A JP 83500448A JP 50044883 A JP50044883 A JP 50044883A JP S58502096 A JPS58502096 A JP S58502096A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は炭化ケイ素ウィスカーの製造に関するものであり、より詳しくはケイ素
と炭素とを含む供給原料から炭化ケイ素ウィスカーを得るだめの連続製造法に関
するこれまで炭化ケイ素ウィスカーの製造は常にバッチ処理法によって達成され
ている。脱穀の廃棄副生物である籾殻は、米国特許第3,754,076号明細
書が教えているように、炭化ケイ素ウィスカーの製造に十分な量の二酸化ケイ素
と炭素との両方を含んでいることが知られている。一般に、コークス化された籾
殻は誘導電気炉において通常1600〜2000t?の範囲の温度で数時間バッ
チ加熱される。この時間の間に、ケイ素と炭素とは化合して炭化ケイ素粒子と炭
化ケイ素ウィスカーとの両方から成るケークが形成される。このウィスカーは、
例えば米国特許第4.293,099号明細書に述べであるあわ浮選のような周
知の方法によってケークから除去、分離される。
これらのウィスカーには金属、プラスチックおよびセラミックスの補強に関して
重要な用途がある。
前述のバッチ処理法の生産量を大きくする試みがなされたが、大した成功をおさ
めなかった。前述の方法は簡2
単には連続製造法化することはできない。なぜならば、コークス化された籾殻の
連続供給により通常供給原料が攪拌され、したがってウィスカーの成長が妨げら
れるからである。
本発明の発明者は供給原料を連続バッチで供給することを試みた。コークス化さ
れた籾殻を装入した円筒型黒鉛容器を加熱帯を通して順次に押す方法をとった。
これらの黒鉛容器は、転換炉内を連続的に移動する間供給原料を非攪拌状態に保
つために使用された。
この最初の方法は、数日間の連続運転後に失敗した。
問題点を調べたところ、転換工程の間に放出される気相不純物が、一般に温度が
1500Cよりも低くなる炉壁および出口壁領域上にガラス状付着物を生成する
ことがわかった。これらのガラス状付着物は黒鉛容器の移動を妨害する。すなわ
ち、これらの付着物は容器を送れなくする摩擦面を作り出す。
この問題に加えて、供給原料内の水分に関する問題がある。ウィスカー生成に必
要な温度において、水分は炉壁を腐食する力を持っている。
本発明の開示
これらの二つの問題を、新規の分割・ξ−ジ法を使用することによって解決した
。隣り合う脱水炉と転換炉との間の加熱帯内に不活性ガスを連続的に強制的に送
り、(1)この不活性ガスが脱水炉内を上流に流れて水分が隣りの転換炉内を移
動するのを防ぎ、(2)この不活性ガスが転換炉内を下流に流れて気相不純物が
比較的低温の表面領域に付着できないうちにこの不純物を炉からパージするよう
にした。
このパージ法にお(・では、不活性ガスを一定の圧力で装置を通してポンプで送
る必要がある。また、送気管は転換加熱帯から直接に排気するように構成し、そ
うすることによって高温気相放出物が比較的低温の領域の表面上に到達または被
膜を付着生成しないようにする。
送気管は転換炉壁から迅速に取りはずせるように作ることができるので、洗浄お
よび保守作業の間、連続運転を中断する必要がない。
簡単に前述した連続バッチ法に加えて、本発明は、(1)連続炉床と(2)連続
トンネルキルンとに係る設計の連続装置の使用をも意図するものである。連続炉
床装置は、各種の加熱帯および冷却帯を通してコークス化された籾殻を運ぶため
の、連続移動、一体、環状、水平ベルトを使用することができる。この環状ベル
トは、約1000〜2000Cの転換温度に耐えるだけの能力を有する材料で作
られる。
そのようなベルト材料は、黒鉛の一体、環状板から成るようにすることができる
。
トンネルキルン装置は、前記加熱帯を通って一組の車輪上を動く小型黒鉛車、ま
たはすべり面、ローラー、ウオーキングビームもしくはその他の輸送手段上に支
えである容器を有することができる。
本発明においては円筒型黒鉛容器を使用する方法すなわち連続バッチ法の使用が
好ましいが、本発明の連続法はいずれの特定装置また機構設計によっても制限さ
れるものではなし・。好まし℃・ものとされる記載事項また提示される記載事項
は本質的に好ましい例を示すものであり、また本発明の方法がどのようにして実
現されうるかを教示するだけのものである。
我々の知っていることと信じていることとの範囲内において、本発明は、はじめ
て、炭化ケイ素ウィスカーを連続的または実質的に連続的に製造する方法を提示
または記載したものである。したがって、本発明は炭化ケイ素ウィスカー製造の
技術に大きな寄与をなすものであると思われる。
本発明においては、「ウィスカー」または[炭化ケイ素ウィスカー」という言葉
は、本明細書で開示または提示する一つの方法または複数の方法で製造される炭
化ケイ素繊維、フィラメントもしくは針状粒子、まだはこれらの混合物を意味す
るものとする。
本発明においては、「連続」および「実質的に連続」という言葉は同意語であり
、中断できるかまたは材料の割出しく ind、exinいもしくは順次移動が
できる方法を含むものである。
本発明は連続的まだは実質的に連続的に炭化ケイ素ウィスカーを製造する方法と
装置に関する。ケイ素と炭素とを含む供給原料は、ウィスカー成長を促進するの
に十分な温度と時間、非攪拌状態、実質的に連続的な仕方で加熱帯を通して送ら
れる。炭化ケイ素ウィスカーの成長を促進するためには、非攪拌状態で原料を供
給するのが重要である。攪拌されると、一般に供給原料は長(・ウィスカー繊維
の成長を妨げられる。
ケイ素と炭素とを含む原料は、コークス化された籾殻、まだは石油蒸留物と砂と
の混合物、その他とすることができる。コークス化された籾殻が一般に好ましい
が、本発明は一般にその新規性を供給原料に依存するものではない。
供給原料は最初に脱水帯で脱水され、少なくとも99重量%の水が除去される。
全部ではないにしても大部分の水分を除去して隣りの加熱帯炉壁の腐食を防ぐよ
うにするのが好まし℃・。
このように乾燥された原料は前記加熱帯にはいり、1000Cよりも高い温度で
1時間よりも長い時間をかけてこの加熱帯を通過する。加熱帯は一般に約100
0〜1850Cの温度範囲で運転する。加熱帯はガスで実質的に連続的にパージ
して、ウィスカー成長時に生成する気相不純物を追(・出すようにする。この不
純物は加熱帯から直接に排気して、低温表面、すなわち約1500Cよりも低温
の表面にガラス状付着物が生成するのを防ぐようにする。
パージガスは不活性ガス、例えば窒素またはアルゴンを含有するのが好ましい。
その他のパージガスまたはパ6
一ジガスの混合物も使用することができる。パージガスは通常脱水帯と隣りの加
熱帯との間の継ぎ目に導入する。
パージガスは二つの流れに分割し、ガスの一部が脱水帯を通って上流に流れるよ
うにする。このようにすることによって、放出された水分が加熱帯には見・るの
が防がれる。パージガスの他の部分は加熱帯内を下流に強制的に送られ、前述の
気相不純物が追い出されるようにする。
気相不純物を排出するための出口または排気管は、これらの管を保守、洗浄する
ために加熱帯炉から容易に取りはずせるように設計することができる。
加熱帯の隣り、該加熱帯の下流側には、ウィスカーを酸化しな(・で周囲温度ま
で冷却するだめの冷却帯がある。
本発明の方法を実現するだめの装置は、各種の帯域を通って直列に移動するいく
つかの容器まだはうつわを有する連続メルク(bu、1k)供給装置まだはトン
ネルキルンとして設計することができる。これらの容器またはうっわは、すべり
面上を押すことにより、またはローラー、貨車、ウオーキングビームもしくはそ
の他の輸送手段により、各種の帯域を通して動かすことができる。
この装置はまた加熱帯を通して供給原料を送る一体環状ベルトを有する連続回転
炉床装置として設計することもできる。
本発明の目的は炭化ケイ素ウィスカーを連続製造する方法と装置を提供すること
である。
本発明のもう一つの目的は、炭化ケイ素ウィスカー製造における生産量を増大さ
せるだめの改良した方法と装置を提供することである。
本発明の前記目的およびその他の目的は、添付の図面を用いた以下の詳しい説明
により、さらに十分に理解され、より明瞭になると思われる。
図面の簡単な説明
第1図は、本発明の方法による、炭化ケイ素ウィスカー製造のための連続バルク
供給機構の模式透視図であり、第2図は、回転炉床機構を用(・た、第1図の装
置の代替装置の模式透視図であり、
第6図は、トンネルキルン機構を用(・た、第1図の装置のもう一つの代替装置
の模式破断図である。
本発明の実施態様
概括的に言うと、本発明は連続的に炭化ケイ素ウィスカーを得る方法と装置とを
特徴とするものである。
ケイ素と炭素とを含む供給原料は一連の帯域(脱水帯、加熱帯および冷却帯)を
通して連続的に送られる。この供給原料は、ウィスカーの成長を促進するために
実質的に非攪拌状態で加熱帯内を通過させられる。
第1図に連続メルク供給機構を示す。コークス化された籾殻またはその他の適当
なケイ素および炭素含有原料がいくつかの円筒型容器9に装入してあり、容器は
トレー10に積重ねである。各円筒型容器は黒鉛材料から成り、炭化ケイ素ウィ
スカーの成長に必要な高温に耐えるようになっている。トレー10の底部湾曲部
分11にある底部容器9はラム15によって脱水炉140入ロ16内に押込まれ
る(矢印12の向き)。底部の円筒型容器9が炉14内に押込まれると、ラム1
5が引込み、トレー10上の他の円筒型容器9がそれぞれ円筒型容器一つ分の幅
だけ下がり(割出され)、したがって新しい円筒型容器9を脱水炉14内に押込
むだめの用意が整うことになる。
円筒型容器それぞれには約2.25 kgの原料が装入しである。
ラム15は円筒型容器9を約15oC1rVvjの速度で機構内を通して送る。
各円筒型容器9は先行する隣りの円筒型容器を押すので、矢印16で示す機構の
破断部分に示すように、機構を通って移動する円筒型容器9の連続列が存在する
ことになる。
脱水炉14は、示しであるように、入口における約600Cから出口における約
800Cまでの温度範囲を有している。
脱水炉14は、コークス化された籾殻原料の水分を全部ではなし・にしても大部
分追出してしまうので、水分が次の転換炉18の炉壁17を腐食することはない
。
コークス化された籾殻は、脱水炉14での乾燥が終ると、転換炉18には℃・す
、ここでウィスカーの成長が起る。転換炉18は高温加熱帯であり、ここでケイ
素と炭素が反応して炭化ケイ素が生成する。この加熱帯を通過する原料は、ウィ
スカーの成長を促進するために、非攪拌状態で該加熱帯内を移動しなければなら
ない。
転換炉18は、示しであるように、入口における約1000tZ’から出口にお
ける約1850Cまでの範囲の温度に乾燥されたコークス化籾殻をさらす。これ
らの温度はウィスカーの成長を促進するのに十分なものである。
炉18は約15Vの電圧で約500OAの電流が流れる電極によって加熱される
。
各容器9は、この機構の各帯域を通過するのに約1〜2時間かかる。各段または
帯域(脱水帯、加熱帯等)は約3mの長さを有し、したがって各容器が速度約1
50α/時で完全に通過するには約2時間を要する。これら法とに応じて変える
ことかできる。
転換炉18内でウィスカーが生成されたあと、容器は冷却帯19にはいる。この
冷却帯19はウィスカーと容器との温度を周囲温度まで低下させる。この冷却は
、ウィスカーと容器とが冷却するときに、これらの酸化を防ぐ雰囲気で実施する
。
脱水炉14と転換炉18との間の継ぎ目(矢印20)に、ガス人口21がある。
ガスは入口21を通して(矢印22)、各炉の内室2ろに絶えず送られる。すな
わち、ガス流は二つの流れ22aと22bのそれぞれに分割される。流れ22α
は転換炉18内に下流に向かって流入し、コークス化された籾殻の反応により放
出される気相lO
不純物をこの炉からパージする。これらの気相不純物は、加熱帯に直接に取りつ
げである排気口25に向けて流される(矢印24)。排気口25の位置は重要で
ある。気相不純物が1500Cよりも低い温度に冷却されると、この不純物はガ
ラス状物質に固化し、該物質は容器に摩擦抵抗を与えることにより容器の運動を
妨害し、炉の運転を妨げ得る。また、このガラス状物質は排気口やその他の炉部
品に目詰りを起し得る。
排気口25は加熱帯に直接に取りつけて、固化が起り得ないうちに装置から気相
不純物が確実に・ξ−ジされるようにする。
排気口25は、装置の運転を中断する必要なしに、該排気口を洗浄または補修す
るだめに、炉18から容易に取りはずせるように設計することができる。
パージガスは連続的に1.4〜2.F3m3/4の割合で装置に供給する。パー
ジガスは不活性ガス、例えば窒素もしくはアルゴン、またはウィスカーの成長を
促進する他のガスとすることができる。まだ、ガスの混合物も使用することがで
き、成分の一つを不活性ガスとすることができる。
パージガスの流れ2215は脱水炉14内に上流に向かって流入し、放出された
水分を転換炉18から運び去る。
このことによって、水分が転換炉にはいり炉壁を腐食するのが防がれる。
容器9は、矢印26で示すように、冷却帯19から出11 特表昭58−502
1J9G(5)でくる。そうすると、容器9内の生成ウィスカーは、容器から取
りだして、炭化ケイ素ケークから固液抽出によって分離することができる。
第2図に、炭化ケイ素ウィスカーを製造する連続装置を模式的に示す。第2図の
装置は回転炉床機構を特徴とするものである。この回転炉床機構は、第1図の装
置と同じく脱水帯14、加熱帯18および冷却帯19を有している。これらの帯
域は、前述の連続バルク機構と同様の方法で不活性ガス22によってパージされ
る。
回転炉床機構が前述のメルク供給機構と異なる点は、この機構を通してはばら原
料を連続供給すると℃・う点である。このことは、それぞれの処理帯14.18
および19を通してコークス化された籾殻原料28を運ぶ黒鉛製の環状、一体、
はルトまたは板27を連続的に回転させる(矢印29)ことによって達成される
。この板はいくつかの駆動ローラー(図示せず)によって回転するようにされる
。
冷却帯19から出てくるウィスカー原料30はナイフまたは刃物61で板27か
らかき取る。
原料(コークス化された籾殻)は、図示しであるように、漏斗形シュート63を
用いて回転している板27に重力供給される(矢印62)。
第3図には、トンネルキルン機構を模式的に示す。この装置においては、一連の
貨車ろ5が各帯14,18および19を通って進む。各貨車には処理帯にはし・
る前に2
コークス化された籾殻または類似の原料が積まれる。各貨車65は、帯19の出
口で、傾けて荷おろしが行われる。その他の運転条件はすべて第1および2図に
関して説明したものと同様である。貨車65には、第2図に示すものと類似の漏
斗形シュート(図示せず)によって原料を積むことができる。
次に示す実施例は、第1図に示す装置と機構によって処理した原料に関する実際
の記述である。
実施例
コークス化された籾殻を黒鉛容器に入れ、炭化ケイ素転換装置内に連続的に供給
した。コークス化された籾殻は2.7kg/時の割合で供給した。この転換装置
は予熱器/乾燥器部、高温転換部および冷却部から成って℃・る。
予熱器/乾燥器部ではコークス化された籾殻を滞留時間1.5時間で80DCの
温度まで加熱して水分を除去する。
この帯域では窒素によるノξ−ジな行い、分割排気により水分が高温転換部には
いるのを防ぐ。予熱器に封じであるのは電気抵抗炉で外部加熱されるインコネル
のマツフルである。転換部では、窒素パージを行いながら、黒鉛マツフルの直接
低電圧抵抗加熱によってコークス化籾殻を入口における1500Cから出口にお
ける180[]Cまで加熱する。1500〜1800Cの範囲の滞留時間は1.
5時間である。この加熱帯では、・ξ−ジガスと一酸化炭素およびその他の揮発
性生成物を含む生成物ガスとを排出するために側壁外部への排気を行う。冷却部
はアルコ゛ンでパージされる水冷シェルであり、該冷却部は容器および転換され
た物質を滞留時間1.5時間の間に周囲温度に冷却する。転換された生成物は1
.1 kg、/時の割合で生成され、約15%の炭化ケイ素ウィスカー、約60
%の炭化ケイ素粒子、および約25%の残留炭素から成木発明は炭化ケイ素ウィ
スカーの工業生産に役立つものである。また、炭化ケイ素ウィスカーは℃・くつ
かの型のマトリックス例えば金属、セラミックスおよびポリマーの補強材として
の用途を有する。補強製品には多(の産業分野、例えば車両および機械装置類の
製造における用途が見出される。
国際調査報告
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1) 炭素およびケイ素を含有する供給原料から実質的に連続的に炭化ケイ素 ウィスカーを製造する方法であって、 (α)炭素およびケイ素を含有し、原料全体の約1重量係よりも少ない水分含有 量を有する原料を加熱帯に実質的に連続的に供給し、 (b)炭化ケイ素ウィスカーの成長を促進するのに十分な時間をかげて、非攪拌 状態で前記原料を前記加熱帯を実質的に連続的に通過させ、 (C)前記原料を前記加熱帯において約10007:’よりも高い温度まで加熱 すること、 を含む方法。 (2)さらに、 (d)前記供給原料を前記加熱帯に供給するのに先立って該供給原料を脱水する こと、 を含む請求の範囲第1項に記載の方法。 (3) さらに、 (d)前記加熱工程(C)のあとで前記の加熱された原料を周囲温度まで冷却す ること、 を含む請求の範囲第1項に記載の方法。 (4)前記加熱工程(C)を実質的に不活性の雰囲気で実施する請求の範囲第1 項に記載の方法。 (5)前記の不活性の雰囲気が窒素またはアルゴンを含有する請求の範囲第4項 に記載の方法。 (6)前記加熱工程(C)が、さらに、(d)前記加熱帯から気相物質を実質的 に連続的にパージすること、 を含む請求の範囲第1項に記載の方法。 (7)前記加熱工程(C)が、さらに、(d)前記原料が前記加熱帯を通過して いる間、該加熱帯に実質的に不活性のガスを実質的に連続的に導入すること、 を含む請求の範囲第1項に記載の方法。 (8)前記の不活性のガスが窒素またはアルゴンを含有する請求の範囲第7項に 記載の方法。 (9)前記供給原料がコークス化された籾殻、または砂と少なくとも一つの石油 蒸留物との混合物を含有する請求の範囲第1項に記載の方法。 00)@記原料が前記加熱帯を1時間よりも長(・時間をかけて通過する請求の 範囲第1項に記載の方法。 (II)前記原料を前記加熱帯内で約1000〜1850Cに加熱する請求の範 囲第10項に記載の方法。 02)前記原料を前記加熱帯内で約100口〜1850t?の温度範囲に加熱す る請求の範囲第1項に記載の方法。 03)炭素およびケイ素を含有する供給原料から実質的に連続的に炭化ケイ素ウ ィスカーを製造する方法であって、 (a)前記供給原料を脱水するために、炭素およびケイ素を含有する該原料を予 熱帯に実質的に連続的に供16 給し、 (/+) 前記の脱水された原料を加熱帯に実質的に連続的に供給し、 (C)前記の脱水された原料を、非攪拌状態で、炭化ケイ素ウィスカーの成長を 促進するのに十分な温度と時間とを用いて前記加熱帯を実質的に連続的に通過さ せること、 を含む方法。 04) さらに、 (d)前記加熱工程(c)のあとで前記の加熱された原料を周囲温度まで冷却す ること、 を含む請求の範囲第16項に記載の方法。 (19前記加熱工程(C)を実質的に不活性の雰囲気で実施する請求の範囲第1 3項に記載の方法。 06)前記の不活性の雰囲気が窒素またはアルゴンを含有する請求の範囲第15 項に記載の方法。 (I7)前記加熱工程(C)が、さらに、(d)前記加熱帯から気相物質を実質 的に連続的にパージすること、 を含む請求の範囲第16項に記載の方法。 08)前記加熱工程(C)が、さらに、(d)前記原料が前記加熱帯を通過して 見・る間、該加熱帯に実質的に不活性のガスを実質的に連続的に導入すること、 を含む請求の範囲第16項に記載の方法。 α9)前記の不活性のガスが窒素またはアルゴンを含有する請求の範囲第18項 に記載の方法。 (20)前記供給原料がコークス化された籾殻、または砂と少なくとも一つの石 油蒸留物との混合物を含有する請求の範囲第16項に記載の方法。 CD 前記原料が前記加熱帯を1時間よりも長い時間をかけて通過する請求の範 囲第13項に記載の方法。 (22)前記原料を前記加熱帯内で約1ooo〜1850Uに加熱する請求の範 囲第16項に記載の方法。 (23)前記原料を前記加熱帯内で約1000〜1850cの温度範囲に加熱す る請求の範囲第18項に記載の方法。 (24)炭素およびケイ素を含有する供給原料から炭化ケイ素ウィスカーを製造 する実質的に連続な方法であって、(a)前記炭素とケイ素とを反応させて炭化 ケイ素ウィスカーを生成させるために、約1000〜1850cの温度範囲を有 する加熱帯を、非攪拌状態で約1時間よりも長い時間をかけて前記供給原料を実 質的に連続的に通過させること、 (b) 前記供給原料を前記加熱帯に供給するのに先立って該供給原料を脱水す ること、 を含む請求の範囲第24項に記載の方法。 (26)さらに、 8 (b) 前記加熱工程(a)のあとで前記の加熱された原料を周囲温度まで冷却 すること、 を含む請求の範囲第24項に記載の方法。 (27)前記加熱工程(a)を実質的に不活性の雰囲気で実施する請求の範囲第 24項に記載の方法。 (2樽 前記の不活性の雰囲気が窒素またはアルコ゛ンを含有する請求の範囲第 27項に記載の方法。 (29)前記加熱工程(a)が、さらに、(6)前記加熱帯から気相物質を実質 的に連続的にパージすること、 を含む請求の範囲第24項に記載の方法。 (30)前記加熱工程(a)が、さらに、(b) 前記原料が前記加熱帯を通過 している間、該加熱帯に実質的に不活性のガスを実質的に連続的に導入すること 、 を含む請求の範囲第24項に記載の方法。 (3υ 前記の不活性のガスが窒素またはアルゴンを含有する請求の範囲第60 項に記載の方法。 (3つ 前記供給原料がコークス化された籾殻、まだは砂と少なくとも一つの石 油蒸留物との混合物を含有する請求の範囲第24項に記載の方法。 (33)炭素およびケイ素を含有する供給原、料から炭化ケイ素ウィスカーを製 造する実質的に連続な方法であって、加熱帯を実質的に連続的に通過させること 、を含む方法。 C34) さらに、 (b) 前記供給原料を前記加熱帯に供給するのに先立って該供給原料を脱水す ること、 を含む請求の範囲第33項に記載の方法。 (35) さらに、 (5) 前記加熱工程(α)のあとで前記の加熱された原料を周囲温度まで冷却 すること、 を含む請求の範囲第66項に記載の方法。 (36) 前記加熱工程(a)を実質的に不活性の雰囲気で実施する請求の範囲 第36項に記載の方法。 (37)前記の不活性の雰囲気が窒素またはアルコ゛ンを含有する請求の範囲第 66項に記載の方法。 (38)前記加熱工程(a)が、さらに、(b)前記加熱帯から気相物質を実質 的に連続的にパージすること、 を含む請求の範囲第64項に記載の方法。 (39)前記加熱工程(σ)が、さらに、(6)前記原料が前記加熱帯を通過し て(・る間、該加熱帯に実質的に不活性のガスを実質的に連続的に導入すること 、 を含む請求の範囲第54項に記載Ω、7法−(40) 前記の不活性のガスが窒 素またはアルボ/を含有する請求の範囲第39項に記載の方法。 20 (4I)前記供給原料がコークス化された籾殻、または砂と少なくとも一つの石 油蒸留物との混合物を含有する請求の範囲第33項に記載の方法。 (42)前記原料が前記加熱帯を約1時間よりも長い時間をかけて通過する請求 の範囲第66項に記載の方法。 (43) :前記原料を前記加熱帯内で約1000〜1850Cに加熱する請求 の範囲第42項に記載の方法。 (4a 前記原料を前記加熱帯内で約1000〜1850Uの温度範囲に加熱す る請求の範囲第33項に記載の方法。 (451炭化ケイ素ウィスカーを実質的に連続的に製造する装置であって、 (a)炭化ケイ素ウィスカーを製造するために、炭素およびケイ素を含有する原 料を非攪拌状態で加熱帯を通して実質的に連続的に送る供給路を規定する手段、 (A) 前記供給路に沿って配置され、前記炭化ケイ素ウィスカーを製造するの に十分な温度を与える加熱帯を規定する手段、 を含む装置。 (46)前記供給路が、前記原料を収容するだめの一連の容器を含み、該容器が 前記加熱帯を通して送られる請求の範囲第45項に記載の装置。 (4η 前記供給路が、前記加熱帯を通して前記原料を輸送するだめのコンベヤ ーを含む請求の範囲第45項に記載の装置。 (481炭化ケイ素ウィスカーを周囲温度に冷却するだめの、前記加熱帯の下流 に配置される冷却帯を規定する手段をさらに含む請求の範囲第45項に記載の装 置。 (49)前記原料を前記加熱帯に導入するのに先立って前記原料を乾燥するだめ の、前記加熱帯の上流に配置される脱水帯を規定する手段をさらに含む請求の範 囲第45項に記載の装置。 う0)前記脱水帯と加熱帯との両方を不活性ガスで・ξ−ジするだめの、前記脱 水帯と加熱帯との間に配置しである手段をさらに含み、該・ξ−ジ手段が、前記 不活性ガスを前記加熱帯を通して下流に、および前記脱水帯を通して上流にそれ ぞれ強制的に流す請求の範囲第49項に記載の装置。 (51)前記脱水帯が前記原料を約60口〜800Cの範囲の温度に加熱する請 求の範囲第49項に記載の装置。 (52)前記加熱帯が前記原料を約ioo口〜1850Cの範囲の温度に加熱す る請求の範囲第45項に記載の装置。 (53)前記・3−ジ手段が前記不活性ガスを前記加熱帯と脱水帯とのそれぞれ に実質的に絶えず導入する請求の範囲第50項に記載の装置。 (5勺 前記ガスを約1.4〜28m3/時の割合で流す請求の範囲第53項に 記載の装置。 (55)前記不活性ガスが窒素またはアルゴンを含有する請求の範囲第54項に 記載の装置。 2 66)前記加熱帯が、該加熱帯からガスをその温度が約150DCよりも低くな らないうちに直接に排気するだめの手段を含む請求の範囲第45項に記載の装置 。 (5力 前記原料を約1時間よりも長い時間をかげて前記加熱帯を通して実質的 に一定の速度で送る請求の範囲第45項に記載の装置。 閲 前記加熱帯が、約15Vが加わる低電圧電極によって加熱される請求の範囲 第45項に記載の装置。 自 前記装置が回転炉床機槽、トンネルキルン機構、または実質連続バルク供給 機構と定義される請求の範囲第45項に記載の装置。
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