JPS5844343A - 音波探触子 - Google Patents
音波探触子Info
- Publication number
- JPS5844343A JPS5844343A JP57139930A JP13993082A JPS5844343A JP S5844343 A JPS5844343 A JP S5844343A JP 57139930 A JP57139930 A JP 57139930A JP 13993082 A JP13993082 A JP 13993082A JP S5844343 A JPS5844343 A JP S5844343A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- aperture
- sound
- probe
- sound pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/221—Arrangements for directing or focusing the acoustical waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高周波音波エネルギーな用いる装置の音波探触
子、特に音波顕微鏡に用いて好適な音波探触子に関する
０ 近年、１ＧＨｚに及ぶ高周波音波の発生、検出が可能と
なったために水中での青波長として約１ミクロンが得ら
れ、従って音波エネルギーを用いた顕微鏡が実現される
様になった。
子、特に音波顕微鏡に用いて好適な音波探触子に関する
０ 近年、１ＧＨｚに及ぶ高周波音波の発生、検出が可能と
なったために水中での青波長として約１ミクロンが得ら
れ、従って音波エネルギーを用いた顕微鏡が実現される
様になった。
即ち１着るしく狭い音波ビームを作成し、これ全試料に
あて、試料による反射、散乱、透過減衰といったじよう
乱音波エネルギーを検出して試料の弾性的性質を反映し
た情報な得るのである。集束音波ビームで試料面を２次
元に走査し、この走査と同期して上記じよう乱エネルギ
ーなプラウｙ管に表示すれば音波顕微鏡像が得られるの
である。
あて、試料による反射、散乱、透過減衰といったじよう
乱音波エネルギーを検出して試料の弾性的性質を反映し
た情報な得るのである。集束音波ビームで試料面を２次
元に走査し、この走査と同期して上記じよう乱エネルギ
ーなプラウｙ管に表示すれば音波顕微鏡像が得られるの
である。
かかる装置では如何にして細い超音波ビームを作成する
かが、分解能といったこのＩｍ装置に必須の基本特性や
決定する。凧１図を参照して従来例について、サファイ
ア等の円柱状の結晶２０は一端面は光学研−された平面
で他端面には凹面状の穴２５が形成されている。圧電薄
膜１５に信号源１０よりＲＦ電気信号を印加し、結晶２
０内に平面波のＲＦ音波を放射する。この平面音波は凹
面穴２５に形成される結晶−媒質（主として水）３０の
界面で構成された正の音響レンズにより。
かが、分解能といったこのＩｍ装置に必須の基本特性や
決定する。凧１図を参照して従来例について、サファイ
ア等の円柱状の結晶２０は一端面は光学研−された平面
で他端面には凹面状の穴２５が形成されている。圧電薄
膜１５に信号源１０よりＲＦ電気信号を印加し、結晶２
０内に平面波のＲＦ音波を放射する。この平面音波は凹
面穴２５に形成される結晶−媒質（主として水）３０の
界面で構成された正の音響レンズにより。
その断点焦点下に集束される。周知の様に焦点距離と開
口の比、即ちレンズのＦナンバが充分に小さいと波長程
度の著るしく狭い超音波ビームな作成する事が出′来る
。このビームの照射により生起された試料にからのじよ
う乱超音波エネルギーの受渡には、上記結晶２０と圧電
体１５を用いてもよいしく反射モード）、又は第１図と
同様の結晶と圧電体を共焦点に対向配置させてもよい（
ａ過モード）０ 曲率半径Ｒの凹面音響レンズ４０において、レンズ材の
音速及び媒質の音速なそれぞれＣ１，０□と、前面焦点
距離Ｆは Ｆ＝□ （１） １−０□１０□ 又、背面焦点距離Ｆ′は Ｆ’−Ｒ（０１イｏ、） （２）層変換する事で
求められる。光学のレンズ理論によると、良好な集束効
果を得るためには背面焦点面の音圧分布として、一様撮
巾で一様位相の平面波か、又はガウス分布状の振巾１位
相分布の平面波？用いる事が要求される。（他の振巾分
布でも集束効果は得ら５れるがレンズの収差の関係で多
数枚の複合レンズを必要とし工業上得策ではない）。
口の比、即ちレンズのＦナンバが充分に小さいと波長程
度の著るしく狭い超音波ビームな作成する事が出′来る
。このビームの照射により生起された試料にからのじよ
う乱超音波エネルギーの受渡には、上記結晶２０と圧電
体１５を用いてもよいしく反射モード）、又は第１図と
同様の結晶と圧電体を共焦点に対向配置させてもよい（
ａ過モード）０ 曲率半径Ｒの凹面音響レンズ４０において、レンズ材の
音速及び媒質の音速なそれぞれＣ１，０□と、前面焦点
距離Ｆは Ｆ＝□ （１） １−０□１０□ 又、背面焦点距離Ｆ′は Ｆ’−Ｒ（０１イｏ、） （２）層変換する事で
求められる。光学のレンズ理論によると、良好な集束効
果を得るためには背面焦点面の音圧分布として、一様撮
巾で一様位相の平面波か、又はガウス分布状の振巾１位
相分布の平面波？用いる事が要求される。（他の振巾分
布でも集束効果は得ら５れるがレンズの収差の関係で多
数枚の複合レンズを必要とし工業上得策ではない）。
１！１図に示した圧電薄膜を駆動した場合、レンズ内の
背面焦点面に生ずる音圧分布け、音波間の干渉によって
複雑な変化を示すから、圧電薄膜の開口径２ρ。、薄膜
からレンズの背面焦点１での距離２ ｊ、レンズの開口
径２ａｆどう選択するかがレンズ設計の要となる。
背面焦点面に生ずる音圧分布け、音波間の干渉によって
複雑な変化を示すから、圧電薄膜の開口径２ρ。、薄膜
からレンズの背面焦点１での距離２ ｊ、レンズの開口
径２ａｆどう選択するかがレンズ設計の要となる。
第２図はこれ等の値な用いて、圧電薄膜からレンズ内に
どの様な音圧分布の音波が放射されているか５模式的に
示したものである。図中右側の曲線は軸上音圧分布な、
右側の曲線は方位分布をそれぞれρ。′／λ（λは使用
音波長な示す）で規格化した距離１に対して示している
。圧電薄膜面からρ。′／λまでの距離は、いわゆる近
距離音場と呼ばれる領域で音波の干渉により複雑なパタ
ーンを示して―るが、ρＸ７λ以上の距離ではいわゆる
遠方音場となってガウス分布に似た分布＆ｆＬしている
事がわかる。ここにρ。′／λは１通常７レネル（Ｆｒ
ｅｓｎｅｌ ）焦点２呼ばれる。
どの様な音圧分布の音波が放射されているか５模式的に
示したものである。図中右側の曲線は軸上音圧分布な、
右側の曲線は方位分布をそれぞれρ。′／λ（λは使用
音波長な示す）で規格化した距離１に対して示している
。圧電薄膜面からρ。′／λまでの距離は、いわゆる近
距離音場と呼ばれる領域で音波の干渉により複雑なパタ
ーンを示して―るが、ρＸ７λ以上の距離ではいわゆる
遠方音場となってガウス分布に似た分布＆ｆＬしている
事がわかる。ここにρ。′／λは１通常７レネル（Ｆｒ
ｅｓｎｅｌ ）焦点２呼ばれる。
従つて、従来は覇１に上記レンズ設計の要請から、レン
ズの背面焦点面に遠方音場の音圧分布を形成する様に、
ρ。、Ｊ、ａ ｆ設計していた。即ち１＝ρ。′／λ
としてａ＝ρ。とする吃のである。
ズの背面焦点面に遠方音場の音圧分布を形成する様に、
ρ。、Ｊ、ａ ｆ設計していた。即ち１＝ρ。′／λ
としてａ＝ρ。とする吃のである。
この場合には、第２図より背面焦点面にはガウス分布状
の音圧分布の音波が入射する事は明らかである。即ち、
第３図に示す如く、圧電薄膜からρ。／λの距離の点Ａ
（第２図に示される８点）における音圧分布で示され
る音波を口径２ａ（＝２ρ。）のレンズに照射するので
ある。
の音圧分布の音波が入射する事は明らかである。即ち、
第３図に示す如く、圧電薄膜からρ。／λの距離の点Ａ
（第２図に示される８点）における音圧分布で示され
る音波を口径２ａ（＝２ρ。）のレンズに照射するので
ある。
また、従来用２の方法として音波間の干渉が生じない様
己レンズの背面焦点面と圧電薄膜間の距離な波長程度に
狭める設計がとられていた。
己レンズの背面焦点面と圧電薄膜間の距離な波長程度に
狭める設計がとられていた。
而して、第２の方法は周波数がＭＨｚ領域で多用されて
いるが、ＧＨｚ領域では殆んど実用性がない。何故なら
、レンズ材料としてサファイア？用いた場合、ＩＧＨｚ
での音波は約１１μｍであり。
いるが、ＧＨｚ領域では殆んど実用性がない。何故なら
、レンズ材料としてサファイア？用いた場合、ＩＧＨｚ
での音波は約１１μｍであり。
極めて薄いレンズ？作成せねばならないからである０
このため第１の方法が唯一実用化されている方法である
。しかしながら従来の＄１の方法は以下の様な欠点を有
する。即ち。
。しかしながら従来の＄１の方法は以下の様な欠点を有
する。即ち。
第１に周波数を上げていくとフレネル焦点距離ρ。２／
λなる距、離はどんどん長くなりレンズ用結晶中での音
波減衰を招くと共に材料コストが上昇する。例えば、ρ
。＝１ｍｍのとき、上記サファイアレンズの場合、ρ。
λなる距、離はどんどん長くなりレンズ用結晶中での音
波減衰を招くと共に材料コストが上昇する。例えば、ρ
。＝１ｍｍのとき、上記サファイアレンズの場合、ρ。
２／λは約９１ｍｍと極めて長くなり、かつ５ｄＢ％の
減衰な伴なう。又、溶融石英レンズではρ。！／λ＝１
６６ｍｍ、５４ｄＢの減衰となる。
減衰な伴なう。又、溶融石英レンズではρ。！／λ＝１
６６ｍｍ、５４ｄＢの減衰となる。
第２に、音波顕微曖の分解能ｔあげる為に周波数ｔあげ
゛る必要があるが、これは集束媒質（通常水）中の大き
な減Ｊ！を伴なう為、高分解能化には必然的に口径の小
さなレンズが必要となる。小さ’ｋ Ｏ径Ｆｉｐｏ ２
／λを少することによって達成される。
゛る必要があるが、これは集束媒質（通常水）中の大き
な減Ｊ！を伴なう為、高分解能化には必然的に口径の小
さなレンズが必要となる。小さ’ｋ Ｏ径Ｆｉｐｏ ２
／λを少することによって達成される。
しかしながら小さな口径に対しては、この口径と同径の
圧電薄膜を用意する必要がある。例えば１ＧＨｚでは１
００μｍ径のレンズが望ましいが。
圧電薄膜を用意する必要がある。例えば１ＧＨｚでは１
００μｍ径のレンズが望ましいが。
１００μｍ径の薄膜は作成や取扱も実際的でないばかり
でなく、高いインピーダンスレベルトナリＲＦ電力供給
に際し、インピーダンス整合が極めて取りにくくなると
いう難点が生ずる。
でなく、高いインピーダンスレベルトナリＲＦ電力供給
に際し、インピーダンス整合が極めて取りにくくなると
いう難点が生ずる。
以上述べた如〈従来の方法によれば、極めて長い結晶か
又は極めて小さな開？径と同じ大きさの圧電薄膜の作成
が要求さりるあで、高周波音波探触子の作成は非常に困
難であった。
又は極めて小さな開？径と同じ大きさの圧電薄膜の作成
が要求さりるあで、高周波音波探触子の作成は非常に困
難であった。
かかる点に鑑み１本発明は、高周波用音波探触子であっ
ても、減衰の少ない探触子を提供せんとする。
ても、減衰の少ない探触子を提供せんとする。
本発明の他の目的は、レンズの口径よりも大きい口径な
有する圧電孝子を用いることにより、良好な分解能を呈
すす探触子を提供せんとするのである。
有する圧電孝子を用いることにより、良好な分解能を呈
すす探触子を提供せんとするのである。
かかる目的な達成するために本発明は、音波伝播媒質と
して、°フレネル焦点距離の１７Ｎ（Ｎは奇数）長さの
伝播媒質シ用いることな特徴とする。
して、°フレネル焦点距離の１７Ｎ（Ｎは奇数）長さの
伝播媒質シ用いることな特徴とする。
即ち１本発明は１本発明者が、フレネル焦点内にもガウ
ス状分布な与える点があり、その点は。
ス状分布な与える点があり、その点は。
７レネル焦点距離の１ ／Ｎ （Ｎｔｌ奇数）の所であ
るといつ音圧分布の解析結果に基づいてなされたもので
ある。
るといつ音圧分布の解析結果に基づいてなされたもので
ある。
即ち９本発明者は１通常解析的には解けない近距離音場
に於ける音場分布を計算した結果、フレネル焦点距離内
にも、光学レンズ理論の要求するガウス状音圧分布が生
する事を見出した。この音圧分布を背面焦点面に有する
レンズも良好な集束特性；呈する事ｔｓ’認した。
に於ける音場分布を計算した結果、フレネル焦点距離内
にも、光学レンズ理論の要求するガウス状音圧分布が生
する事を見出した。この音圧分布を背面焦点面に有する
レンズも良好な集束特性；呈する事ｔｓ’認した。
第２図で説明すれば。ρ。′／λ以外にも例えばＡ。
点で示される様に主ビームに限らばガウス状分布の音圧
分布のある事に着目したのである。
分布のある事に着目したのである。
即ち、第４図に示す如く１本発明では例えば圧電素子か
らρ。′／λの距離のＡ３点にお−て示されるような音
圧分布の音波な開口径２ａ０（＝２ρ。／３）のレンズ
点の様な音圧分布の音波を開口径２ａ０（＝２ρ。／３
）のレンズに照射するのである。
らρ。′／λの距離のＡ３点にお−て示されるような音
圧分布の音波な開口径２ａ０（＝２ρ。／３）のレンズ
点の様な音圧分布の音波を開口径２ａ０（＝２ρ。／３
）のレンズに照射するのである。
レンズの開口内に照射される音圧分布をとってみると従
来と全く′等価な集束特性な呈する事は明らかである。
来と全く′等価な集束特性な呈する事は明らかである。
何故なら、従来も、第３図に示す如く。
圧電素子からρ。！／λの距離Ａ６点の様な音圧分布の
音波を開口２ ａｌ（＝ ２ｐ、）に照射してｉるので
あり、これは肩４図に示す音圧分布と同じだからである
Ｏ 人１点の様な点は、計算結果によると軸上音圧が極大に
なる点に対応している０即ち、半径−〇の円板上振動素
子の結晶内１なる距離の軸上音圧分布Ｉは Ｉ＝＝ｓｉｆｌ”（−Ｈ（４−Ｊ）） （３）で与え
られ、ピークの出る距離ｊｎｔ；ｊ（４） を満す値で。
音波を開口２ ａｌ（＝ ２ｐ、）に照射してｉるので
あり、これは肩４図に示す音圧分布と同じだからである
Ｏ 人１点の様な点は、計算結果によると軸上音圧が極大に
なる点に対応している０即ち、半径−〇の円板上振動素
子の結晶内１なる距離の軸上音圧分布Ｉは Ｉ＝＝ｓｉｆｌ”（−Ｈ（４−Ｊ）） （３）で与え
られ、ピークの出る距離ｊｎｔ；ｊ（４） を満す値で。
で与えらゎ、。 （５）（５
）式でｎ＝０のとき４゜＝ρ。２／λ叩ちフレネル／３
λ＝ρ。２／３λ即ちＡ３点を与えるわけである〇（５
）式で一般にρ。）λであるから、１ｎ＝ρ。２／（２
ｎ＋１ ）λとなり１本発明の要請する点は。
）式でｎ＝０のとき４゜＝ρ。２／λ叩ちフレネル／３
λ＝ρ。２／３λ即ちＡ３点を与えるわけである〇（５
）式で一般にρ。）λであるから、１ｎ＝ρ。２／（２
ｎ＋１ ）λとなり１本発明の要請する点は。
フレネル焦点距離の奇数分の−の距離にある事がわかる
。更にＡ３点ではガウス状分布と見直し得る巾は、圧電
素子開口を用めて２ρ。／３と表わされる事も解析結果
により求めた。
。更にＡ３点ではガウス状分布と見直し得る巾は、圧電
素子開口を用めて２ρ。／３と表わされる事も解析結果
により求めた。
以上要するに１本発明は、上述の解析結果？踏まえてフ
レネル焦点内にもガウス状分布を与える点があり、その
点は７レネル焦点距離の１７Ｎ（Ｎ：奇数）の所であり
、さらに使用に適するガウス状分布の巾は圧電素子開口
のｉ／Ｎであるという事に基づいているのである。
レネル焦点内にもガウス状分布を与える点があり、その
点は７レネル焦点距離の１７Ｎ（Ｎ：奇数）の所であり
、さらに使用に適するガウス状分布の巾は圧電素子開口
のｉ／Ｎであるという事に基づいているのである。
第５図は本発明の一実施例の構成を示す図である０音波
伝般媒質としてサファイア・溶融石英等を用いた円柱状
結晶１５０の端面に圧電素子１４５を形成し、他端面に
凹面状レンズ１５５を作成した。かかる構成において圧
電素子１４５の開口径ｔ２ρ。とすると、ＡＭ点（Ｎ＝
３．５．７ ）を利用する時はレンズ開口は２ρ。／
Ｎに選択し、又レンズの結晶１５０の長さは圧電素子１
４５０面からレンズの背面焦点ｍｌまでの距離をρ。２
／λＮになる様に切断するわけである。この様にすると
。
伝般媒質としてサファイア・溶融石英等を用いた円柱状
結晶１５０の端面に圧電素子１４５を形成し、他端面に
凹面状レンズ１５５を作成した。かかる構成において圧
電素子１４５の開口径ｔ２ρ。とすると、ＡＭ点（Ｎ＝
３．５．７ ）を利用する時はレンズ開口は２ρ。／
Ｎに選択し、又レンズの結晶１５０の長さは圧電素子１
４５０面からレンズの背面焦点ｍｌまでの距離をρ。２
／λＮになる様に切断するわけである。この様にすると
。
レンズ界面にはガウス状分布の音波が入射し良好な集束
ビームが得られる。本発明者はサファイア結晶ｔレンズ
に用いρ。＝１ｍｍで、レンズの長さ１３ｍｍ、 レ
ンズ開口ａ＝１４３μｍの音波探触子ｋ Ｉ ＧＨｚ４
こおいて実現した。これはＮ＝７に相当するのである。
ビームが得られる。本発明者はサファイア結晶ｔレンズ
に用いρ。＝１ｍｍで、レンズの長さ１３ｍｍ、 レ
ンズ開口ａ＝１４３μｍの音波探触子ｋ Ｉ ＧＨｚ４
こおいて実現した。これはＮ＝７に相当するのである。
さらにレンズ開口に入射するガウス状分布音圧以外の部
分はレイズ外の界面に入射し屈折された水中に放射され
ると、レンズ特性を乱してしまうことになるので９本実
施例では、レンズ開口部以外の結晶−媒体界面に吸音剤
１６０（エポキシ樹脂等のプラスティク又はビニールテ
ープ等）を付加して、副極大ビームが媒体（水）１７０
中に入射しない様にしている。また本実施例でく、レン
ズ開口部以外のレンズ結晶部分にテーナを設けて、副極
大ビームの媒体への入射を阻止すると共に、レンズ内の
多重反射？緩和している。
分はレイズ外の界面に入射し屈折された水中に放射され
ると、レンズ特性を乱してしまうことになるので９本実
施例では、レンズ開口部以外の結晶−媒体界面に吸音剤
１６０（エポキシ樹脂等のプラスティク又はビニールテ
ープ等）を付加して、副極大ビームが媒体（水）１７０
中に入射しない様にしている。また本実施例でく、レン
ズ開口部以外のレンズ結晶部分にテーナを設けて、副極
大ビームの媒体への入射を阻止すると共に、レンズ内の
多重反射？緩和している。
ここで本実施例に示すレンズ開口１４３μｍのレンズ？
従来法で構成すると、圧電薄膜の開口として１４３μｍ
の大きさが要求され実用的な取り扱いは極めて困難とな
り、しかも薄膜のインピータンスレベルはＩＫΩとなる
。しかしながら本実施例では５０Ω系同軸線との整合は
容易である。
従来法で構成すると、圧電薄膜の開口として１４３μｍ
の大きさが要求され実用的な取り扱いは極めて困難とな
り、しかも薄膜のインピータンスレベルはＩＫΩとなる
。しかしながら本実施例では５０Ω系同軸線との整合は
容易である。
以上述べた如く本発明によれば、電気系とのインピータ
ン不整合の良い取り扱い易い大いさの開口径の圧電薄膜
を用いて、その奇数分の１の太いさのレンズ開口を実現
することが出来、音波顕微鏡に於けるレンズ設計め困難
さを大きく軽減する事が出来る。
ン不整合の良い取り扱い易い大いさの開口径の圧電薄膜
を用いて、その奇数分の１の太いさのレンズ開口を実現
することが出来、音波顕微鏡に於けるレンズ設計め困難
さを大きく軽減する事が出来る。
第１図は、従来の超音波探触子の概略構成とその動作な
説明するための図。 第２図は、音波ビームの音圧分布の様子を模式％式％ 第３図は、従来の探触子に用いた音声分布な説明する図 第４図は１本発明の探触子に用いられる音声分布な示す
図。 第５図は１本発明の探触子の一実施例の構成な示す図 である。 ８１ 目 り（ 招 ５図
説明するための図。 第２図は、音波ビームの音圧分布の様子を模式％式％ 第３図は、従来の探触子に用いた音声分布な説明する図 第４図は１本発明の探触子に用いられる音声分布な示す
図。 第５図は１本発明の探触子の一実施例の構成な示す図 である。 ８１ 目 り（ 招 ５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、音波伝播媒質と、上記伝播媒質の端部に形成された
圧電素子と、その他端部に形成されかつ所定焦点距離な
有する音波レンズとからなる音波探触子において 上記音波伝播媒質が、フレネル焦点距離の奇数外の１の
長さに構成されていることを特徴とする音波探触子。 ２、上記圧電素子が、上記レンズの開口径よりも大きい
開口径？有すること？特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の探触子。 ３、上記レンズが、上記レンズの背面焦点面における音
圧分布のうちの主ビームを通過せしめる大きさの開口径
な有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
探触子 ４、上記レンズが、所定集束媒体と接する界面にテーパ
を有することな特命とする特許請求の範囲第１項の記或
の探触子 ５、 上記レンズが、所定焦束媒体と接する界面に吸音
剤？有することな特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の探触子〇
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139930A JPS5844343A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | 音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139930A JPS5844343A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | 音波探触子 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61294819A Division JPS62142268A (ja) | 1986-12-12 | 1986-12-12 | 音波探触子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5844343A true JPS5844343A (ja) | 1983-03-15 |
| JPS615098B2 JPS615098B2 (ja) | 1986-02-15 |
Family
ID=15256972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57139930A Granted JPS5844343A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | 音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5844343A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59198949A (ja) * | 1983-04-26 | 1984-11-10 | House Food Ind Co Ltd | 油揚時間の調整方法 |
| JPS62142268A (ja) * | 1986-12-12 | 1987-06-25 | Hitachi Ltd | 音波探触子 |
| JPS63237736A (ja) * | 1987-03-24 | 1988-10-04 | House Food Ind Co Ltd | 果実チツプスの製造法 |
| US4881618A (en) * | 1986-06-06 | 1989-11-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Acoustic lens for use in acoustic microscope |
-
1982
- 1982-08-13 JP JP57139930A patent/JPS5844343A/ja active Granted
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| ACOUSTIC MICROSCOPY BY MECHANICAL SCANNING=1975 * |
| BEAM BEHAVIOR WITHIN THE NEARFIELD OF A VIBRATING PISTON=1971 * |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS615098B2 (ja) | 1986-02-15 |
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