JPS5841467A - 磁気ヘツド・スライダ−用材料及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘツド・スライダ−用材料及びその製造方法Info
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- JPS5841467A JPS5841467A JP56137358A JP13735881A JPS5841467A JP S5841467 A JPS5841467 A JP S5841467A JP 56137358 A JP56137358 A JP 56137358A JP 13735881 A JP13735881 A JP 13735881A JP S5841467 A JPS5841467 A JP S5841467A
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- Japan
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- silicon
- powder
- parts
- silicon carbide
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/56—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
- C04B35/565—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
- C04B35/573—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide obtained by reaction sintering or recrystallisation
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本願発明は磁気ヘッド−スライダー及びその製造方法に
関fるものである。
関fるものである。
従来コンピュータ用をはじめとし、オーディオ用、VT
R用等の記録再生用磁気ヘッドには多結@Ml−’la
、勤−々フェライトや単結晶勤−Ztsフニライトある
い建高硬度パーマロイなどが用いられてV%た。
R用等の記録再生用磁気ヘッドには多結@Ml−’la
、勤−々フェライトや単結晶勤−Ztsフニライトある
い建高硬度パーマロイなどが用いられてV%た。
今日では記録容度の高書度化並びに耐摩耗性の改善が強
く求められており、この為薄膜磁気ヘッド化が進められ
ている。この薄膜磁気ヘッド化に伴詐起録再生の為の磁
気回l!部材用材料とスライダーあるいは耐5aW1部
材材料に、それぞれ要求される特性を澗足した個別の材
料が選定されつつある。すなわち磁気回路用としては高
周波域の磁気特性に優れたパーマロイやセンダストの薄
膜が用いられ又耐摩耗用部材としてはアルミナ系、炭化
#l系材料が望ましいと考えられている。磁気ヘッド・
スライダー用材料として特開@55−163665号公
報に示されるAノ203− TI C系材料は上記耐摩
耗用部材材料に最適な材料の1つであるが、記録媒体と
のなじみ、i!1濁性の点では必ずしも安定した材料と
はいえな智)。特に今後実用化が予愚される薄膜記録媒
体すなわちメッキ媒体あるいはスパッタリング媒体の場
合には媒体の厚みが薄くなること、媒体に瀾濁保腹膜を
つけること等の点で問題を生じる。又これまで長期間に
わたって使用されてきたソフトフェライトはその硬さが
取=600〜800匂≠−であるのに対して上記公報記
載のAp□03− Ti C系材料は昨= 1900〜
2100の硬さを有するために、媒体によっては適用が
困難な場合が生じる。
く求められており、この為薄膜磁気ヘッド化が進められ
ている。この薄膜磁気ヘッド化に伴詐起録再生の為の磁
気回l!部材用材料とスライダーあるいは耐5aW1部
材材料に、それぞれ要求される特性を澗足した個別の材
料が選定されつつある。すなわち磁気回路用としては高
周波域の磁気特性に優れたパーマロイやセンダストの薄
膜が用いられ又耐摩耗用部材としてはアルミナ系、炭化
#l系材料が望ましいと考えられている。磁気ヘッド・
スライダー用材料として特開@55−163665号公
報に示されるAノ203− TI C系材料は上記耐摩
耗用部材材料に最適な材料の1つであるが、記録媒体と
のなじみ、i!1濁性の点では必ずしも安定した材料と
はいえな智)。特に今後実用化が予愚される薄膜記録媒
体すなわちメッキ媒体あるいはスパッタリング媒体の場
合には媒体の厚みが薄くなること、媒体に瀾濁保腹膜を
つけること等の点で問題を生じる。又これまで長期間に
わたって使用されてきたソフトフェライトはその硬さが
取=600〜800匂≠−であるのに対して上記公報記
載のAp□03− Ti C系材料は昨= 1900〜
2100の硬さを有するために、媒体によっては適用が
困難な場合が生じる。
この発明は磁気ヘッドパスライダー用材料に要求される
緒特性を貴たL/特に記録媒体とのなじみ、潤滑性に優
れた材料及びその製造方法に係り、その要旨は、ケイ素
5〜1011量%、ケイ化タングステン1.3〜7.8
重量%、物部が炭都化ケイ紫から成るa気ヘッド・スラ
イダー用$を料及び炭化ケイ紫粉末60〜80重量%、
残部炭紫粉末から成るもの100璽量部に対しタングス
テン粉末2〜10重量部と、セルロース1〜器重量部と
の混合成形物から得た圧粉体を非酸化性雰囲気砿て加熱
した仮焼体に溶融金属ケイ素を含I!ぜしめることを特
徴とする磁気ヘッド・スライダー用材料の製造方法であ
る。
緒特性を貴たL/特に記録媒体とのなじみ、潤滑性に優
れた材料及びその製造方法に係り、その要旨は、ケイ素
5〜1011量%、ケイ化タングステン1.3〜7.8
重量%、物部が炭都化ケイ紫から成るa気ヘッド・スラ
イダー用$を料及び炭化ケイ紫粉末60〜80重量%、
残部炭紫粉末から成るもの100璽量部に対しタングス
テン粉末2〜10重量部と、セルロース1〜器重量部と
の混合成形物から得た圧粉体を非酸化性雰囲気砿て加熱
した仮焼体に溶融金属ケイ素を含I!ぜしめることを特
徴とする磁気ヘッド・スライダー用材料の製造方法であ
る。
本願製造方法にあって、溶融金属ケイ素を仮焼体に含浸
tbめた後、更に引続−て熱間等方圧加圧焼結を施すと
一層優れた材料を得ることができるものである。
tbめた後、更に引続−て熱間等方圧加圧焼結を施すと
一層優れた材料を得ることができるものである。
この発明におい’cwsi2の添mm5icjiE形体
の耐酸化性の向上を目的としたものheWS12が1.
8重量%未澗ではその効果があまり認められず逆に13
重量%以上舎冑したものでは飄Cとの無影m率の違いに
よって耐酸化性が道に悪くなる。
の耐酸化性の向上を目的としたものheWS12が1.
8重量%未澗ではその効果があまり認められず逆に13
重量%以上舎冑したものでは飄Cとの無影m率の違いに
よって耐酸化性が道に悪くなる。
繁は5重量%以下ではI攻Ilな満C成形体が得られず
、飄C成形体を研磨した場合表面に小さな気孔を生じる
。また10重量%を超えると耐食性及び強度の点で間履
かありまた艮Cs形体を研It6湯合5IC11fと温
和で硬さが異なるkめ自れいな面が得られahという欠
点がある。一方Sac −WSi2−割成形体の製浩法
において別CとCとの配合比ハ5ic60〜80重量N
5c4゜〜20重量%のfllHのものがよい、この*
m外のものでもWSt、を添加すると七によって耐酸化
性の向上は認められるものの強度的に低下がみられ破気
ヘッド番スライダー用材料としては不適である。また耐
酸化性及び左1k 相性に優れたsiC系焼結体給体”
c”stc−msi2−si ノ他si c −msi
。
、飄C成形体を研磨した場合表面に小さな気孔を生じる
。また10重量%を超えると耐食性及び強度の点で間履
かありまた艮Cs形体を研It6湯合5IC11fと温
和で硬さが異なるkめ自れいな面が得られahという欠
点がある。一方Sac −WSi2−割成形体の製浩法
において別CとCとの配合比ハ5ic60〜80重量N
5c4゜〜20重量%のfllHのものがよい、この*
m外のものでもWSt、を添加すると七によって耐酸化
性の向上は認められるものの強度的に低下がみられ破気
ヘッド番スライダー用材料としては不適である。また耐
酸化性及び左1k 相性に優れたsiC系焼結体給体”
c”stc−msi2−si ノ他si c −msi
。
−Stも同じ性質をもち、しかも同じ製造法にてll造
できる。熱間等方圧加圧焼結による焼結は温度1300
°C以上、圧力は500Kg/c?必要である。このど
纏由として、 Sic −c −siの未反応部が高温
高圧により、より反応の促進が行なわれるものと思われ
る。なお、sic、wとCの混合成形品を製造する時に
微結晶、セルロースを均一に同時に混入し成形し、仮焼
時に3000〜10000 A (0,3〜177rr
L)の範囲の繊維状マクロポア−をyibm正しく規制
する。この細孔ををする仮焼体繍浩mジを仮焼体内部ま
で注入するのに極めて良好であり従来の方決により製造
された仮焼体に比較して清融斗の浸透適度隷歇倍以上と
なり、肉厚で?Ii密度の31 C系焼結体を短時焼 間で得ることができ、しかもSIC系の給体の表層部と
vg部とでは材質的に均一なものが得られ、従来の方法
で製造された$1C系焼結体の如くに応焼結後表層部を
削除する必要がなN*S1(系仮焼体内に#IAiII
I状マイク四ボアーを生ぜしめるためにNv%る微結晶
セルロース紘、木材、綿、麻など植物の細胞膜の主成分
であり、その構造は分子が比較的規則正しく平行に配列
している結晶領域のものがよく、特に高純度の精製パル
プより製造されたものがよい、これけ仮tIas不M4
f17の混入を紡ぐためである。また1微結晶セルロー
スを添加さ曹た場合マイクロポアーを作り、飄の注入を
容易にするばかりでなく、s4cmV −C@合粉宋を
室温で加圧成形する際、添加した微結晶セルロースが容
易に粒子の絡み合いを生じ粉体の成形性を良好とし、複
雑形状な成形品をも製造できるという刹点がある。また
磁気ヘッド・スライダー用材料として要求されている材
料の均一性においてその効果祿著しい。
できる。熱間等方圧加圧焼結による焼結は温度1300
°C以上、圧力は500Kg/c?必要である。このど
纏由として、 Sic −c −siの未反応部が高温
高圧により、より反応の促進が行なわれるものと思われ
る。なお、sic、wとCの混合成形品を製造する時に
微結晶、セルロースを均一に同時に混入し成形し、仮焼
時に3000〜10000 A (0,3〜177rr
L)の範囲の繊維状マクロポア−をyibm正しく規制
する。この細孔ををする仮焼体繍浩mジを仮焼体内部ま
で注入するのに極めて良好であり従来の方決により製造
された仮焼体に比較して清融斗の浸透適度隷歇倍以上と
なり、肉厚で?Ii密度の31 C系焼結体を短時焼 間で得ることができ、しかもSIC系の給体の表層部と
vg部とでは材質的に均一なものが得られ、従来の方法
で製造された$1C系焼結体の如くに応焼結後表層部を
削除する必要がなN*S1(系仮焼体内に#IAiII
I状マイク四ボアーを生ぜしめるためにNv%る微結晶
セルロース紘、木材、綿、麻など植物の細胞膜の主成分
であり、その構造は分子が比較的規則正しく平行に配列
している結晶領域のものがよく、特に高純度の精製パル
プより製造されたものがよい、これけ仮tIas不M4
f17の混入を紡ぐためである。また1微結晶セルロー
スを添加さ曹た場合マイクロポアーを作り、飄の注入を
容易にするばかりでなく、s4cmV −C@合粉宋を
室温で加圧成形する際、添加した微結晶セルロースが容
易に粒子の絡み合いを生じ粉体の成形性を良好とし、複
雑形状な成形品をも製造できるという刹点がある。また
磁気ヘッド・スライダー用材料として要求されている材
料の均一性においてその効果祿著しい。
また高憾度SIC系焼結体を製造する場合sic −w
−CE:粉体はより高密度の圧粒体とする必要がある
が、その際本添加−の効果は大きく、セルロースは1〜
5Wt量部の添加時にその効果は大となる。
−CE:粉体はより高密度の圧粒体とする必要がある
が、その際本添加−の効果は大きく、セルロースは1〜
5Wt量部の添加時にその効果は大となる。
以下本願発明を開発するに至った実験並びにその結果を
説明する。即ち、 平均粒子径9末mをもつべm5Ic粉末70重量%と平
均粒子径0・OIAmカーボンブラック30用ffi%
からなるもの100に暫し、セルロース1mff1部と
平均位子径2A戯のW粉末を4重量部配合した粉末にワ
ックスを添加し造粒する。これを1000Kg/e1m
”の圧力で80X10X5mK成形した後、真空中70
0’Cの温度にて仮焼する。
説明する。即ち、 平均粒子径9末mをもつべm5Ic粉末70重量%と平
均粒子径0・OIAmカーボンブラック30用ffi%
からなるもの100に暫し、セルロース1mff1部と
平均位子径2A戯のW粉末を4重量部配合した粉末にワ
ックスを添加し造粒する。これを1000Kg/e1m
”の圧力で80X10X5mK成形した後、真空中70
0’Cの温度にて仮焼する。
を
該仮焼倫の上に10gの金属S時せ0.1〜0@8to
n の減圧中で温度1600°Cまで1時間で昇温し
、3詩間保持して反応焼結した。この様にしテ得うれり
焼結K (88,l$ff1C−731−4,5WSi
2)の物性値を下表に示す。
n の減圧中で温度1600°Cまで1時間で昇温し
、3詩間保持して反応焼結した。この様にしテ得うれり
焼結K (88,l$ff1C−731−4,5WSi
2)の物性値を下表に示す。
次にアルミナ系材料(70A1ユO,−80TIC)と
不発RIHi& (88,5SIC−’I St −4
,5WS12)との試験片を治具で固定し、これに滑車
を介して10邸の錘をつけレジンダイヤモンドW断石氏
石にて銹の力により50■長さを切断するに要する時間
を調べた結果%1ル電す系試験片Sowの長さを切断す
るに要する時間を100とした場合、StC系試験片は
40の時間で切断できた。このことはセラ職ツク系磁気
へVド・スライダー用材料に要求されている機械加工性
において本発明品が硬い材料であるにかかわらず優位な
特性をもっていることが判る0次に本発明品である$1
C−151−繋成形品をダイヤモンド石&石により2×
41断面の長さ20mの長方体となしその一方篩を鋭角
な刃状に成形した。さらに外径45 wm s内径10
wa 、厚ミ10mm(F)ドーf ”/ QIJ円
般O7ェライトを用い、この発明の焼結体と組合せて回
転するフェライトに本願発明品たるSI C−WSi2
−11成形品の鋭角な先端を尚接させて行なう、いわゆ
るビン・ディスク方式のw1耗試験を行なった。
不発RIHi& (88,5SIC−’I St −4
,5WS12)との試験片を治具で固定し、これに滑車
を介して10邸の錘をつけレジンダイヤモンドW断石氏
石にて銹の力により50■長さを切断するに要する時間
を調べた結果%1ル電す系試験片Sowの長さを切断す
るに要する時間を100とした場合、StC系試験片は
40の時間で切断できた。このことはセラ職ツク系磁気
へVド・スライダー用材料に要求されている機械加工性
において本発明品が硬い材料であるにかかわらず優位な
特性をもっていることが判る0次に本発明品である$1
C−151−繋成形品をダイヤモンド石&石により2×
41断面の長さ20mの長方体となしその一方篩を鋭角
な刃状に成形した。さらに外径45 wm s内径10
wa 、厚ミ10mm(F)ドーf ”/ QIJ円
般O7ェライトを用い、この発明の焼結体と組合せて回
転するフェライトに本願発明品たるSI C−WSi2
−11成形品の鋭角な先端を尚接させて行なう、いわゆ
るビン・ディスク方式のw1耗試験を行なった。
また上記試験の際に従来のh−々多結晶フェライト系材
料(32me 15 ZnO252hi03)とAR
zO3TIC系材料を用いて同材料摩耗試験を行なった
。その結果を181図及び第2図に示す。即ち81図に
耐摩耗性と硬さとの関係を、また第2図には相手材W1
1同量と硬さとの関係をそれぞれボす、なお、両図にお
ける斜線部分が示す一群はおよそ本願発明材料が存する
各特性値に相当する。この第1図、第2因からも判る如
く本願発明材料は従来のフェライト系材料と前記のA6
03−’riC系材料色材料間よりAJhO3−Ti
C系係11fiソの硬さを育しており、磁気へラド−ス
ライダ一層材料として優れた特性を有し、伜に記録媒体
とのなじみ、温情性に優れ薄膜記na体に最適である。
料(32me 15 ZnO252hi03)とAR
zO3TIC系材料を用いて同材料摩耗試験を行なった
。その結果を181図及び第2図に示す。即ち81図に
耐摩耗性と硬さとの関係を、また第2図には相手材W1
1同量と硬さとの関係をそれぞれボす、なお、両図にお
ける斜線部分が示す一群はおよそ本願発明材料が存する
各特性値に相当する。この第1図、第2因からも判る如
く本願発明材料は従来のフェライト系材料と前記のA6
03−’riC系材料色材料間よりAJhO3−Ti
C系係11fiソの硬さを育しており、磁気へラド−ス
ライダ一層材料として優れた特性を有し、伜に記録媒体
とのなじみ、温情性に優れ薄膜記na体に最適である。
1g1図は各材料の耐摩耗性と硬さとの関係を示すグラ
フ。第2図は同相手材摩耗量と硬さとの関係を示すグラ
フである。 轡咄願人日本タン、ゲステン株5c会社(外1名) 代理人會吉教請
フ。第2図は同相手材摩耗量と硬さとの関係を示すグラ
フである。 轡咄願人日本タン、ゲステン株5c会社(外1名) 代理人會吉教請
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 /、ケイ素5〜10E1量%、ケイ化タングステント3
〜7・8重量%、残部が炭化ケイ素から成る磁(!、ヘ
ッド・スライダー用材料。 2、炭化ケイ富粉末60〜80重料%、殉部炭紫粉末か
ら成るもの100重量部に対しタングステン粉末2〜1
0重量部と、セyty−a−ス1〜5重量部との混合成
形物から得た圧粉体を非酸化性雰囲気にて加熱した仮焼
体に溶融金属ケイ素を含浸せしめることを特徴とする磁
気ヘッド・スライダー用材料の製造方法。 3、w4化ケイ素粉末60〜80重量%、残部炭紫粉末
から成るもの100重量部に対しタングステン粉末2〜
10重量部と、セルp−ス1〜5重量部との混合成形物
から得た圧粉体を非酸化性雰囲気にて加熱した仮焼体に
賠融金属ケイ票を含浸した後、熱間等方圧加圧焼結する
ことを特徴とする磁気へラド・スライダー用材料の製造
方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56137358A JPS5841467A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 磁気ヘツド・スライダ−用材料及びその製造方法 |
US06/413,311 US4438213A (en) | 1981-08-31 | 1982-08-31 | Magnetic head slider material and method for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56137358A JPS5841467A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 磁気ヘツド・スライダ−用材料及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5841467A true JPS5841467A (ja) | 1983-03-10 |
JPS635351B2 JPS635351B2 (ja) | 1988-02-03 |
Family
ID=15196786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56137358A Granted JPS5841467A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 磁気ヘツド・スライダ−用材料及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4438213A (ja) |
JP (1) | JPS5841467A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62266726A (ja) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4972336A (en) * | 1983-10-14 | 1990-11-20 | Applied Magnetics Corporation | Read while write magnetic head assembly |
US5013583A (en) * | 1984-02-11 | 1991-05-07 | Teijin Limited | Method of producing a magnetic recording medium |
DE3581482D1 (de) * | 1984-11-02 | 1991-02-28 | Teijin Ltd | Magnetisches aufzeichnungsmedium, verfahren zu dessen herstellung und verfahren zur aufzeichnung und wiedergabe mit demselben und einem magnetkopf. |
US4626516A (en) * | 1985-07-31 | 1986-12-02 | General Electric Company | Infiltration of Mo-containing material with silicon |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2412374A (en) | 1943-11-27 | 1946-12-10 | Wejnarth Axel Richard | Electrical resistance elements durable at high temperatures and proof against chemical action, and process of making same |
US3036017A (en) | 1954-06-03 | 1962-05-22 | Kanthal Ab | Heat resistant and oxidation proof materials |
SE394666B (sv) | 1974-07-29 | 1977-07-04 | Bulten Kanthal Ab | Anvendning av ett material bestaende av ett rekristalliserat skelett av kiselkarbid sasom vermebestendigt underlag for brenngods i brennugnar |
US4251841A (en) | 1979-06-01 | 1981-02-17 | International Business Machines Corporation | Magnetic head slider assembly |
-
1981
- 1981-08-31 JP JP56137358A patent/JPS5841467A/ja active Granted
-
1982
- 1982-08-31 US US06/413,311 patent/US4438213A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS62266726A (ja) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4438213A (en) | 1984-03-20 |
JPS635351B2 (ja) | 1988-02-03 |
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