JPS5840356B2 - レ−ザ光周波数の制御装置 - Google Patents
レ−ザ光周波数の制御装置Info
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- JPS5840356B2 JPS5840356B2 JP8226080A JP8226080A JPS5840356B2 JP S5840356 B2 JPS5840356 B2 JP S5840356B2 JP 8226080 A JP8226080 A JP 8226080A JP 8226080 A JP8226080 A JP 8226080A JP S5840356 B2 JPS5840356 B2 JP S5840356B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discriminator
- frequency
- laser
- output
- control device
- Prior art date
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- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
- H01S5/0687—Stabilising the frequency of the laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ、特に炭酸ガスレーザのごとき大出力レ
ーザの発振周波数を安定させるための新規な制御装置に
関するものである。
ーザの発振周波数を安定させるための新規な制御装置に
関するものである。
一般にレーザを大出力のものにすると寸法が犬となるが
この場合該レーザの共振鏡間隔りが犬とナルため、該レ
ーザの縦モード発振スペクトラム間隔Ｃ／２Ｌが狭くな
り、レーザに固有な利得カーブ中に複数本のスペクトル
が生じ、いわゆるマルチモードとなる。
この場合該レーザの共振鏡間隔りが犬とナルため、該レ
ーザの縦モード発振スペクトラム間隔Ｃ／２Ｌが狭くな
り、レーザに固有な利得カーブ中に複数本のスペクトル
が生じ、いわゆるマルチモードとなる。
ただしＣは光速である。このスペクトルはレーザの温度
上昇その他の要因によって周波数軸上で漂動するために
、該スペクトルを利用して発光せしめんとする場合には
レーザ発振周波数の自動制御（ＡＦＣ）を行う必要が生
じる。
上昇その他の要因によって周波数軸上で漂動するために
、該スペクトルを利用して発光せしめんとする場合には
レーザ発振周波数の自動制御（ＡＦＣ）を行う必要が生
じる。
本発明はこうした必要に鑑みてなされたもので制御対象
レーザの光をヘテロダイン検波し、中間周波出力中に反
映して表れる上記複数のスペクトルのうちの１つを対象
として、これを広、狭両帯域を有するディスクリミネー
タを含んだ回路に通して正確かつ迅速なレーザ光ＡＦＣ
を行わしめんとするもので、以下、図面を用いて詳記す
る。
レーザの光をヘテロダイン検波し、中間周波出力中に反
映して表れる上記複数のスペクトルのうちの１つを対象
として、これを広、狭両帯域を有するディスクリミネー
タを含んだ回路に通して正確かつ迅速なレーザ光ＡＦＣ
を行わしめんとするもので、以下、図面を用いて詳記す
る。
第１図はレーザ光のＡＦＣを行うための一般的な回路構
成図であるが、このうち１は制御対象レーザであって、
該レーザ１から外部空間に放射される光出力の一部は第
１のビームスプリッタＢＳ１により第２のビームスプリ
ッタＢＳ２へ導かれる。
成図であるが、このうち１は制御対象レーザであって、
該レーザ１から外部空間に放射される光出力の一部は第
１のビームスプリッタＢＳ１により第２のビームスプリ
ッタＢＳ２へ導かれる。
ここで該ビームスプリッタＢＳ２には上記制御対象レー
ザ１よりも小電力で、そのために少なくとも２桁以上周
波数安定度が高い局部発振レーザ２からの光が導入され
ているために、赤外線検知器（以下単に検知器と呼ぶ）
３ではヘテロダイン検波がなされ、その電気的出力とし
てたとえば数１０ＭＨｚなる中間周波電圧ＶＩＰを生じ
る。
ザ１よりも小電力で、そのために少なくとも２桁以上周
波数安定度が高い局部発振レーザ２からの光が導入され
ているために、赤外線検知器（以下単に検知器と呼ぶ）
３ではヘテロダイン検波がなされ、その電気的出力とし
てたとえば数１０ＭＨｚなる中間周波電圧ＶＩＰを生じ
る。
検知器３に生じた該電圧ｖ１Ｆは中間周波増幅器ＩＦＡ
によって増幅されて周波数制御装置１０の入力端子５に
入力されるが、その出力端子６からは直流制御電圧ｖＤ
が出力される。
によって増幅されて周波数制御装置１０の入力端子５に
入力されるが、その出力端子６からは直流制御電圧ｖＤ
が出力される。
そして該制御装置１０の出力端子６につながれた高圧直
流増幅器４からは、前記制御対象レーザ１が生じる周波
数変動に対応した高電圧が、該レーザ１の図示しない共
振鏡に接続されたピエゾ素子に供給され、共振鏡間隔り
を調整し、これによって自動的に周波数制御がほどこさ
れるのであるが、該回路は閉ループ回路となっており、
利得はユニティフィードバックの利得と同じ＜Ｇ／（１
＋Ｇ）で与えられ、その誤差は１／（１＋Ｇ）に圧縮さ
れる。
流増幅器４からは、前記制御対象レーザ１が生じる周波
数変動に対応した高電圧が、該レーザ１の図示しない共
振鏡に接続されたピエゾ素子に供給され、共振鏡間隔り
を調整し、これによって自動的に周波数制御がほどこさ
れるのであるが、該回路は閉ループ回路となっており、
利得はユニティフィードバックの利得と同じ＜Ｇ／（１
＋Ｇ）で与えられ、その誤差は１／（１＋Ｇ）に圧縮さ
れる。
ただし、Ｇは該回路の開ループ利得であって、こうした
回路は従来のものと特に変わるところはないが、本発明
は第１図中の１０として示した制御装置に特徴を有する
ものであり、以下にその概要ならびに動作について説明
する。
回路は従来のものと特に変わるところはないが、本発明
は第１図中の１０として示した制御装置に特徴を有する
ものであり、以下にその概要ならびに動作について説明
する。
第２図は上記制御装置１０の内部を示したもので該制御
装置１０の入力端子５から導入された中間周波信号は、
まず分配器ＩによってＦＬｌ 。
装置１０の入力端子５から導入された中間周波信号は、
まず分配器ＩによってＦＬｌ 。
ＦＬ２ 、ＦＬ３なる３個のフィルタに分配される。
これらフィルタＦＬ１ 、ＦＬ２ 、ＦＬ３の各特性は
第３図に示されたごとくであって、ＦＬｌ とＦＬ２の
特性はほぼ左右対称形をなし、ＦＬ３の特性はその一部
がＦＬｌ とＦＬ２の両特性にまたがるようになされで
ある。
第３図に示されたごとくであって、ＦＬｌ とＦＬ２の
特性はほぼ左右対称形をなし、ＦＬ３の特性はその一部
がＦＬｌ とＦＬ２の両特性にまたがるようになされで
ある。
ただし第３図の横軸ｆは周波数であり、ｆｏは中間周波
増幅器ＩＦＡの中心周波数である。
増幅器ＩＦＡの中心周波数である。
フィルタＦＬ、 とＦＬ２の後には検波器Ｄ１゜Ｄ２
がそれぞれつながれ、それぞれ検波直流電圧を生じるよ
うになっており、該直流電圧は共に比較器１１の正およ
び負の入力端子に加えられている。
がそれぞれつながれ、それぞれ検波直流電圧を生じるよ
うになっており、該直流電圧は共に比較器１１の正およ
び負の入力端子に加えられている。
なお比較器１１の正入力端子と出力端子間にはインバー
タ１３が挿入さえているので、該比較器１１の出力信号
で切替え動作を行う電子スイッチＳＷ１ の両端子Ｇ１
およびＧ２から眺めた場合には第３図中の第２象限
に書かれているフィルタＦＬ、の存在は、第３図の点線
で示したごとく第３象限に点対称特性を有するフィルタ
ＦＬ１’の存在と全く等しいことになる。
タ１３が挿入さえているので、該比較器１１の出力信号
で切替え動作を行う電子スイッチＳＷ１ の両端子Ｇ１
およびＧ２から眺めた場合には第３図中の第２象限
に書かれているフィルタＦＬ、の存在は、第３図の点線
で示したごとく第３象限に点対称特性を有するフィルタ
ＦＬ１’の存在と全く等しいことになる。
このＦＬ、’と前記ＦＬ２なるフィルタで構成されるＳ
字形特性によってＦＬ、’とＦＬ２の両フィルタの合成
特性はＷｌなる広帯域を有する１つのディスクリミネー
タを構成するものである。
字形特性によってＦＬ、’とＦＬ２の両フィルタの合成
特性はＷｌなる広帯域を有する１つのディスクリミネー
タを構成するものである。
一方、第２図中の電子スイッチＳＷ２ははじめにフィル
タＦＬ３の帯域Ｗ２内に信号が存在していないとしてあ
らかじめ先の電子スイッチＳＷ１の端子８につながる端
子Ｇ３側に倒されているので、第１図のＡＦＣループは
、第３図中のフィルタＦＬ１’とＦＬ２ とで構成され
る第１のディスクリミネータが呈する広い通過帯域幅Ｗ
１ を有する閉ループを形成する。
タＦＬ３の帯域Ｗ２内に信号が存在していないとしてあ
らかじめ先の電子スイッチＳＷ１の端子８につながる端
子Ｇ３側に倒されているので、第１図のＡＦＣループは
、第３図中のフィルタＦＬ１’とＦＬ２ とで構成され
る第１のディスクリミネータが呈する広い通過帯域幅Ｗ
１ を有する閉ループを形成する。
とのＡＦＣループが有する閉ループ利得は上記ディスク
リミネータのｆ。
リミネータのｆ。
近傍の傾斜が少ないために小であって、これを０１で表
せば、その具体的な値はたとえば３倍程度である。
せば、その具体的な値はたとえば３倍程度である。
ところで前記のごとくレーザが大出力となるとマルチモ
ードとなって複数のスペクトルが生じるが、令弟４図ａ
に示したごとく中間周波に変換されたスペクトルのうち
のたとえばｎ−１番目、ｎ番目、ｎ＋１番目・・・・・
・がそれぞれｆｌ、ｆ２．ｆ３・・・・・・なる周波数
に位置するとする。
ードとなって複数のスペクトルが生じるが、令弟４図ａ
に示したごとく中間周波に変換されたスペクトルのうち
のたとえばｎ−１番目、ｎ番目、ｎ＋１番目・・・・・
・がそれぞれｆｌ、ｆ２．ｆ３・・・・・・なる周波数
に位置するとする。
ｎ−１番目のＩＦスペクトルはフィルタＦＬ、の帯域内
にあるから検波器り、によって整流されＢＬなる直流出
力を発生し、ｎ番目のＩＦスペクトルはフィルタＦＬ２
の帯域内にあるから検波器Ｄ２によって整流されＢＨな
る直流出力を発生する。
にあるから検波器り、によって整流されＢＬなる直流出
力を発生し、ｎ番目のＩＦスペクトルはフィルタＦＬ２
の帯域内にあるから検波器Ｄ２によって整流されＢＨな
る直流出力を発生する。
この時上記ＢＬ、ＢＨなる直流電圧は比較器１１でその
大小が比較され、ＢＬ＜ＢＨなる関係にあれば低い値を
有する方の電圧ＢＬが、そしてＢＬ＞ＢＨなる関係にあ
ればやはり低い値を有する方の電圧ＢＨが、比較器１１
からの出力電圧で動作するスイッチ１１によってその端
子８に選択されて出力されるようにしておく。
大小が比較され、ＢＬ＜ＢＨなる関係にあれば低い値を
有する方の電圧ＢＬが、そしてＢＬ＞ＢＨなる関係にあ
ればやはり低い値を有する方の電圧ＢＨが、比較器１１
からの出力電圧で動作するスイッチ１１によってその端
子８に選択されて出力されるようにしておく。
かくすれば前記第１図のＡＦＣループは、レーザ１〜Ｂ
Ｓ１〜ＢＳ２〜検知器３〜ＩＦＡ〜第１のディスクリミ
ネータ−高圧直流増幅器４〜レーザ１、なる第１の閉ル
ープとなる。
Ｓ１〜ＢＳ２〜検知器３〜ＩＦＡ〜第１のディスクリミ
ネータ−高圧直流増幅器４〜レーザ１、なる第１の閉ル
ープとなる。
今、第４図すのごとく周波数ｆ２にあるｎ番目のスペク
トルの直流検波電圧ＢＨの方が、周波数ｆ１ にあるｎ
−１番目のスペクトルの直流検電圧ＢＬよりも小であっ
たとすれば、これは比較器１１．１２によって検知され
、その結果電子スイッチＳＷ１は端子Ｇ２側に倒されて
、端子８には出力電圧ＢＨのみが現れ、これは電子スイ
ッチＳＷ２を介して該制御装置１０の出力端子６に現れ
る。
トルの直流検波電圧ＢＨの方が、周波数ｆ１ にあるｎ
−１番目のスペクトルの直流検電圧ＢＬよりも小であっ
たとすれば、これは比較器１１．１２によって検知され
、その結果電子スイッチＳＷ１は端子Ｇ２側に倒されて
、端子８には出力電圧ＢＨのみが現れ、これは電子スイ
ッチＳＷ２を介して該制御装置１０の出力端子６に現れ
る。
すなわち、あらかじめ広くとられた帯域幅Ｗ１内にｎ＋
１番目とｎ番目からなる２つのスペクトルが存在した場
合、どちらのスペクトルを採るかの選択の役割を演じる
のが上記ＦＬ１′とＦＬ２なるフィルタで構成された前
記第１のディスクリミネータである。
１番目とｎ番目からなる２つのスペクトルが存在した場
合、どちらのスペクトルを採るかの選択の役割を演じる
のが上記ＦＬ１′とＦＬ２なるフィルタで構成された前
記第１のディスクリミネータである。
この場合、電子スイッチＳＷ２は端子Ｇ２側に倒されて
いるから、第４図す中に示した周波数の初期ずれ成分△
ｆ＝ｆ２−ｆｏはＧ１／（１＋Ｇ１）なる閉ループ利得
を有する第１図のＡＦＣルーフによってレーザ１を制御
し△ｆ／（１＋Ｇ）とさせるように、上記のｆ２なる周
波数を修正すべく、第４図す中にＷ２ として示した帯
域内に引き入れられる。
いるから、第４図す中に示した周波数の初期ずれ成分△
ｆ＝ｆ２−ｆｏはＧ１／（１＋Ｇ１）なる閉ループ利得
を有する第１図のＡＦＣルーフによってレーザ１を制御
し△ｆ／（１＋Ｇ）とさせるように、上記のｆ２なる周
波数を修正すべく、第４図す中にＷ２ として示した帯
域内に引き入れられる。
一方、第２の比較器１２の負入力には、フィルタＦＬ３
を通り分配器１４を介して検波器Ｄ３に供給される中間
周波信号が整流された結果生じる直流電圧が印加される
ようになっている。
を通り分配器１４を介して検波器Ｄ３に供給される中間
周波信号が整流された結果生じる直流電圧が印加される
ようになっている。
したがって前記周波数ｆ２ がＷ２なる狭帯域内に入っ
てくれば、周波数誤差を生じている信号は第１の分配器
７を介してＷ２なる帯域幅のフィルタＦＬ３を通り、第
２の分配器１４を介して検波器Ｄ３で整流され、上記第
２の比較器の負入力端子に直流電圧を発生する。
てくれば、周波数誤差を生じている信号は第１の分配器
７を介してＷ２なる帯域幅のフィルタＦＬ３を通り、第
２の分配器１４を介して検波器Ｄ３で整流され、上記第
２の比較器の負入力端子に直流電圧を発生する。
しかるに該第２の比較器１２の正入力端子にはＶＳなる
直流バイアスが印加されているから、このｖｓなる電圧
が上記直流電圧に対する比較レベルを決定する。
直流バイアスが印加されているから、このｖｓなる電圧
が上記直流電圧に対する比較レベルを決定する。
ちなみに第４図す中でｌなる高さに引かれた点数イがこ
の比較レベルである。
の比較レベルである。
したがって上記の負入力端子に加わった直流電圧が誤比
較レベル以下となれば、上記第２の比較器１２からは第
２の電子スイッチ切替え信号が出され電子スイッチＳＷ
２は端子Ｇ４側に倒される結果、第１図のＡＦＣループ
は、レーザ１〜ＢＳ１〜ＢＳ２〜検知器３〜ＩＦＡ〜第
１分配器７〜フィルタＦＬ、〜第２分配器１４〜狭帯域
ディスクリミネータ１５〜増幅器１７〜電子スイッチＳ
Ｗ２〜高電圧直流増幅器４〜レーザ１、なる第２の閉ル
ープを形成することになる。
較レベル以下となれば、上記第２の比較器１２からは第
２の電子スイッチ切替え信号が出され電子スイッチＳＷ
２は端子Ｇ４側に倒される結果、第１図のＡＦＣループ
は、レーザ１〜ＢＳ１〜ＢＳ２〜検知器３〜ＩＦＡ〜第
１分配器７〜フィルタＦＬ、〜第２分配器１４〜狭帯域
ディスクリミネータ１５〜増幅器１７〜電子スイッチＳ
Ｗ２〜高電圧直流増幅器４〜レーザ１、なる第２の閉ル
ープを形成することになる。
かくすれば前記のごとくフィルタＦＬ３と第２の分配器
１４を通る信号はＷ２なる狭帯域を有する第２のディス
クリミネータ１５に供給される。
１４を通る信号はＷ２なる狭帯域を有する第２のディス
クリミネータ１５に供給される。
ここで、該第２のディスクリミネータ１５の特性は第４
図Ｃに示されているごとくであり、中心周波数ｆ。
図Ｃに示されているごとくであり、中心周波数ｆ。
近傍での曲線の傾斜は急である。したがってこの傾斜を
１因として決まる開ループ利得を０２で表すならば、該
第２のＡＦＣループにはＧ２／（１千０２ ）なる閉ル
ープ利得による帰還がかかり初期誤差△ｆはさらに△ｆ
／（１＋Ｇ２ ）となるように動作し上記のごとく狭帯
域Ｗ２内に入って来た周波数ｆ２ を一層ｆ。
１因として決まる開ループ利得を０２で表すならば、該
第２のＡＦＣループにはＧ２／（１千０２ ）なる閉ル
ープ利得による帰還がかかり初期誤差△ｆはさらに△ｆ
／（１＋Ｇ２ ）となるように動作し上記のごとく狭帯
域Ｗ２内に入って来た周波数ｆ２ を一層ｆ。
に近づけるように前記ＡＦＣループが働く。
ここで上記第２の閉ループ利得は、第４図Ｃに示した第
２のディスクリミネータの周波数ｆ。
２のディスクリミネータの周波数ｆ。
近辺の傾斜が極めて急峻であることからその具体的な値
は、前記第１の閉ループが有していた閉ループ利得Ｇ１
の約１０倍程度の値たとえば３０倍となる。
は、前記第１の閉ループが有していた閉ループ利得Ｇ１
の約１０倍程度の値たとえば３０倍となる。
ＡＦＣループが有するループ利得が犬であればＡＦＣの
応答速度もまた犬となるがゆえに、この第２の閉ループ
のＡＦＣ動作は迅速に行われ、その結果前記のごとく狭
帯域Ｗ２に引き入れられて来た周波数ｆ２は最終的にｆ
。
応答速度もまた犬となるがゆえに、この第２の閉ループ
のＡＦＣ動作は迅速に行われ、その結果前記のごとく狭
帯域Ｗ２に引き入れられて来た周波数ｆ２は最終的にｆ
。
に一致するようになりこの中間周波増幅器の中心周波数
ｆ。
ｆ。
にロックされる。
このようにしてｎ番目のスペクトルが中心周波数ｆ。
にロックされれば、該ｎ番目のスペクトルと（ｎ−１）
番目あるいは（ｎ＋１）番目のスペクトルとの間のいわ
ゆる縦モード発振スペクトル間隔Ｃ／２Ｌは一定である
ので、（ｎ−１）番目。
番目あるいは（ｎ＋１）番目のスペクトルとの間のいわ
ゆる縦モード発振スペクトル間隔Ｃ／２Ｌは一定である
ので、（ｎ−１）番目。
ｎ番目、（ｎ＋１）番目・・・・・・のすべてのスペク
トルが漂動を起こすことはなくなり、したがってここに
第１図に示した制御対象レーザ１の発光周波数の安定化
は完遂される。
トルが漂動を起こすことはなくなり、したがってここに
第１図に示した制御対象レーザ１の発光周波数の安定化
は完遂される。
以上に述べた本発明に係る大出力レーザの自動周波数制
御装置は、その構成が簡単であり、すべてアナログ量で
動作するものであるために、ＡＦＣ応答速度も速く、し
たがって迅速なＡＦＣ動作を行うものであるので実用上
多大の効果が期待できる。
御装置は、その構成が簡単であり、すべてアナログ量で
動作するものであるために、ＡＦＣ応答速度も速く、し
たがって迅速なＡＦＣ動作を行うものであるので実用上
多大の効果が期待できる。
第１図はレーザ光のＡＦＣを行うための一般的な回路構
成図、第２図は本発明によるンーザの発光周波数制御を
行う制御装置の系統図、第３図は該系統図中におけるフ
ィルタＦＬ１ 、ＦＬ、、。 ＦＬ３の各特性ならびに相互関係を示す図、第４図ａは
、マルチモードで働くレーザが生じる複数のスペクトル
を示す図、第４図すは前記系統図中の広帯域を有する第
１のディスクリミネータとフィルタＦＬ３の特性を示す
図、第４図Ｃは第２図中の狭帯域を有する第２のディス
クリミネータ１５の特性を示す図である。 １・・・・・・制御対象レーザ、２・・・・・・局部発
振レーザ、３・・・・・・検知器、４・・・・・・高圧
直流増幅器、５，６・・・・・・制御装置１０の入力お
よび出力端子、７・・・・・・第１の分配器、８・・・
・・・第１の電子スイッチＳＷ１の出力端子、１１・・
・・・・第１の比較器、１２・・・・・・第２の比較器
、１３・・・・・・インバータ、１４・・・・・・第２
の分配器、１５・・・・・・第２のディスクリミネータ
、１７・・・・・・増幅器。
成図、第２図は本発明によるンーザの発光周波数制御を
行う制御装置の系統図、第３図は該系統図中におけるフ
ィルタＦＬ１ 、ＦＬ、、。 ＦＬ３の各特性ならびに相互関係を示す図、第４図ａは
、マルチモードで働くレーザが生じる複数のスペクトル
を示す図、第４図すは前記系統図中の広帯域を有する第
１のディスクリミネータとフィルタＦＬ３の特性を示す
図、第４図Ｃは第２図中の狭帯域を有する第２のディス
クリミネータ１５の特性を示す図である。 １・・・・・・制御対象レーザ、２・・・・・・局部発
振レーザ、３・・・・・・検知器、４・・・・・・高圧
直流増幅器、５，６・・・・・・制御装置１０の入力お
よび出力端子、７・・・・・・第１の分配器、８・・・
・・・第１の電子スイッチＳＷ１の出力端子、１１・・
・・・・第１の比較器、１２・・・・・・第２の比較器
、１３・・・・・・インバータ、１４・・・・・・第２
の分配器、１５・・・・・・第２のディスクリミネータ
、１７・・・・・・増幅器。
Claims (1)
- １ ヘテロダイン検知器とこれにつながる中間周波増幅
器を含んだ形で形成された大出力レザーのＡＦＣループ
中に挿入される周波数制御装置において、前記周波数制
御装置を比較的広帯域のディスクリミネータと比較的狭
帯域のディスクリミネータとで構成しかつ前記広帯域デ
ィスクリミネータを中間周波増幅器の中心周波数の上下
に対称的に広がる特性を有する第１および第２のフィル
タと当該両フィルタの出力を比較する比較器で構成し、
さらに上記中心周波数に一致した中心周波数を有しかつ
上記狭帯域ディスクリミネータの帯域に略等しい通過特
性を有する第３のフィルタをもうけ、該第３のフィルタ
出力に応じて広帯域ディスクリミネータの出力と狭帯域
ディスクリミネータの出力とをＡＦＣループ中で切り替
え接続するようにしたことを特徴とするレーザ光周波数
の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8226080A JPS5840356B2 (ja) | 1980-06-17 | 1980-06-17 | レ−ザ光周波数の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8226080A JPS5840356B2 (ja) | 1980-06-17 | 1980-06-17 | レ−ザ光周波数の制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS577987A JPS577987A (en) | 1982-01-16 |
| JPS5840356B2 true JPS5840356B2 (ja) | 1983-09-05 |
Family
ID=13769481
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8226080A Expired JPS5840356B2 (ja) | 1980-06-17 | 1980-06-17 | レ−ザ光周波数の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5840356B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62297064A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-24 | Rodeele Nitta Kk | 半導体等のウエ−ハ保持用積層体 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6023180A (ja) * | 1983-07-19 | 1985-02-05 | 住友ベークライト株式会社 | 包装体及びその製法 |
| US5317582A (en) * | 1993-04-12 | 1994-05-31 | Hughes Aircraft Company | System for detecting modulated laser signals |
-
1980
- 1980-06-17 JP JP8226080A patent/JPS5840356B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62297064A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-24 | Rodeele Nitta Kk | 半導体等のウエ−ハ保持用積層体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS577987A (en) | 1982-01-16 |
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