JPS5839934A - 表面欠陥検出装置 - Google Patents
表面欠陥検出装置Info
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- JPS5839934A JPS5839934A JP13929881A JP13929881A JPS5839934A JP S5839934 A JPS5839934 A JP S5839934A JP 13929881 A JP13929881 A JP 13929881A JP 13929881 A JP13929881 A JP 13929881A JP S5839934 A JPS5839934 A JP S5839934A
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- Japan
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- light
- inspected
- red
- incident
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は表面欠陥検出装置に関するものである。
従来、第１図のように、レーザー光源ｌから発生したレ
ーザースポット光を回転ミラー２で走査しながら被検査
物３の表面に照射して、このレーザー光の反射光をファ
イバ４ｔ−通して積分球５に取り込み、フォトマルチプ
ライヤ６で光電変換して欠陥検出を行なうようにした装
置が使用されている。７はアンプである。このときの欠
陥検出方法としては、第２ｒｇのように入射レーザー光
の正反射光を取り込んで正反射光量の減少により欠陥検
出を行なう方法と、第３図のように入射レーザー光を被
検査物表面に垂直に入射してこのレーザー光の乱反射光
の増加により欠陥検出を行なう方法とがある。しかし、
これらの方法では、正反射光と乱反射光とを同時に検出
することはできず、正反射か跣反射かのいずれかを選択
して欠陥を検出するため、欠陥検出のい比が低く、゛誤
検出や微小欠陥の見落しが発生するという問題があった
したがって、この発明の目的は、レーザー光の正反射光
シよび乱反射光を同１ｊｉ？に検出でき、誤検出が少な
く、感度曳く検出することができる表面欠陥検出装置を
提供することである。
ーザースポット光を回転ミラー２で走査しながら被検査
物３の表面に照射して、このレーザー光の反射光をファ
イバ４ｔ−通して積分球５に取り込み、フォトマルチプ
ライヤ６で光電変換して欠陥検出を行なうようにした装
置が使用されている。７はアンプである。このときの欠
陥検出方法としては、第２ｒｇのように入射レーザー光
の正反射光を取り込んで正反射光量の減少により欠陥検
出を行なう方法と、第３図のように入射レーザー光を被
検査物表面に垂直に入射してこのレーザー光の乱反射光
の増加により欠陥検出を行なう方法とがある。しかし、
これらの方法では、正反射光と乱反射光とを同時に検出
することはできず、正反射か跣反射かのいずれかを選択
して欠陥を検出するため、欠陥検出のい比が低く、゛誤
検出や微小欠陥の見落しが発生するという問題があった
したがって、この発明の目的は、レーザー光の正反射光
シよび乱反射光を同１ｊｉ？に検出でき、誤検出が少な
く、感度曳く検出することができる表面欠陥検出装置を
提供することである。
この発明の一実施例を第４図ないし第７図に示す。すな
わち、この表面欠陥検出装置は、赤色レーザー光源８（
第５図）訃よび青色レーザー光源９と、これらレーザー
光源８．９で発生したレーザー光を被検査物１００表面
の同一点にくるように走査する走査装置１１と、被検査
物１０の表面からの反射光を受光して積分球１２（第４
図）に導くファイバ１３と、前記積分球１２の表面に付
設された赤フィルタ１４および育フィルタ１６と、これ
ら赤フィルタ１４＞よび青フィルタ１５を通った光を光
電変換する２個の光電変換器すなわちフォトマルチプラ
イヤ１６．１７と、これらフォトマルチプライヤ１６．
１７に接続されたアンプ１８．１９と、これらアンプ１
８．１９の出力信号を処理する処理回路２０とを備えた
ものである。
わち、この表面欠陥検出装置は、赤色レーザー光源８（
第５図）訃よび青色レーザー光源９と、これらレーザー
光源８．９で発生したレーザー光を被検査物１００表面
の同一点にくるように走査する走査装置１１と、被検査
物１０の表面からの反射光を受光して積分球１２（第４
図）に導くファイバ１３と、前記積分球１２の表面に付
設された赤フィルタ１４および育フィルタ１６と、これ
ら赤フィルタ１４＞よび青フィルタ１５を通った光を光
電変換する２個の光電変換器すなわちフォトマルチプラ
イヤ１６．１７と、これらフォトマルチプライヤ１６．
１７に接続されたアンプ１８．１９と、これらアンプ１
８．１９の出力信号を処理する処理回路２０とを備えた
ものである。
前記赤色レーザー光源８はヘリウム−ネオンレーザ−光
源、青色レーず一光源９はアルゴンレーザー光源からな
る。前記走査装置１１は、赤色レーザー光源８の赤色レ
ーず一光ｍを透過しかつ青色レーザー光源９の青色レー
ザー光ｎを反射して両レーザー光ｍ、ｎを同一スポ雫ト
とするハーフミラ−２１と、ハーフミラ−２１からのレ
ーザー光ｍ、ａを走査する回転ミラー２２と、回転ミラ
ー２２で走査されたレーザー光ｍ、ｎを平行光として被
検査物１Ｇに向けて反射する放物面鏡２３と、放物面鏡
２３で反射したレーザー光ｍ 、 ｎのうち青色レーザ
ー光ｎをそのｔｔ透過させて赤色レーザー光ｍを反射す
る赤反射ダイクロイックミラー２４と、この反射した赤
色レーザー光ｍを被検査物ｌＯの表面の青色レーザー光
ｎの入射位置と同じ位置に集光させる全反射ミラー２５
とからなる。
源、青色レーず一光源９はアルゴンレーザー光源からな
る。前記走査装置１１は、赤色レーザー光源８の赤色レ
ーず一光ｍを透過しかつ青色レーザー光源９の青色レー
ザー光ｎを反射して両レーザー光ｍ、ｎを同一スポ雫ト
とするハーフミラ−２１と、ハーフミラ−２１からのレ
ーザー光ｍ、ａを走査する回転ミラー２２と、回転ミラ
ー２２で走査されたレーザー光ｍ、ｎを平行光として被
検査物１Ｇに向けて反射する放物面鏡２３と、放物面鏡
２３で反射したレーザー光ｍ 、 ｎのうち青色レーザ
ー光ｎをそのｔｔ透過させて赤色レーザー光ｍを反射す
る赤反射ダイクロイックミラー２４と、この反射した赤
色レーザー光ｍを被検査物ｌＯの表面の青色レーザー光
ｎの入射位置と同じ位置に集光させる全反射ミラー２５
とからなる。
青色レーザー光ｎは被検査物ｌＯの表面に対して垂直に
入射し、赤色レーザー光ｍは４５６の入射角で入射する
ようにされている。なお、赤色レーザー光ｍと青色レー
ザー光ｎの入射経路は互いに逆になるようにしてもよい
、＊記処理回路２ｏは差動増幅器からなる。
入射し、赤色レーザー光ｍは４５６の入射角で入射する
ようにされている。なお、赤色レーザー光ｍと青色レー
ザー光ｎの入射経路は互いに逆になるようにしてもよい
、＊記処理回路２ｏは差動増幅器からなる。
このように構成したため、被検査物１０に斜めに入射し
た赤色レーザー光ｍは正反射光としてファイバ１３に取
込まれ、喬直に入射した青色レーザー光ｍは乱反射光と
してファイバ１３に取込まれる。この両レーザー光ｍ、
ｎの反射光はファイバ１３から積分球１２に：取込まれ
、赤フィルタ１４と青フィルタ１５を通ることにより、
赤色レーザー光ｍの反射光量と青色レーザー光ｎの反射
光量とが分離されてフォトマルチプライヤ１８．１９で
光電変換される。変換された電気信号は処理回路２０に
入力され、欠陥検出が行なわれる。このように、正反射
光と乱反射光を同時に錫塩して欠陥検出が可能となる。
た赤色レーザー光ｍは正反射光としてファイバ１３に取
込まれ、喬直に入射した青色レーザー光ｍは乱反射光と
してファイバ１３に取込まれる。この両レーザー光ｍ、
ｎの反射光はファイバ１３から積分球１２に：取込まれ
、赤フィルタ１４と青フィルタ１５を通ることにより、
赤色レーザー光ｍの反射光量と青色レーザー光ｎの反射
光量とが分離されてフォトマルチプライヤ１８．１９で
光電変換される。変換された電気信号は処理回路２０に
入力され、欠陥検出が行なわれる。このように、正反射
光と乱反射光を同時に錫塩して欠陥検出が可能となる。
処理回路２０では青色レーザー光ｔｌｌＥよる乱反射光
の信号と赤色レーザー光ｍによる正反射光の信号との！
をと９、欠陥検出のＳ／Ｎ比が高められる。具体的には
第７図に示すように、欠陥部ｐ、ｑで乱反射光量が増加
し、正反射光量が減少するので、この差の信号は第７図
（Ｏのようになり、欠陥検出のシ乍比が向上する。
の信号と赤色レーザー光ｍによる正反射光の信号との！
をと９、欠陥検出のＳ／Ｎ比が高められる。具体的には
第７図に示すように、欠陥部ｐ、ｑで乱反射光量が増加
し、正反射光量が減少するので、この差の信号は第７図
（Ｏのようになり、欠陥検出のシ乍比が向上する。
この結果、欠陥Ｏｖ４検出を少なく、小欠陥でも感度良
く検出することが可能となる。
く検出することが可能となる。
なお、前記実施例では赤色レーザー光ｍと青色レーザー
光ｎとを用いたが、他の色のレーザー光を用いることも
できる。
光ｎとを用いたが、他の色のレーザー光を用いることも
できる。
以上のように、この発明の表面欠陥検出装置は、互いに
色の異なるレーザー光を被検出物の表面に角度を変えて
同一点に入射するようにし、その反射光を各々の色の光
のみを透過するフィルタを介して光電変換するようＫし
たので、正反射光と乱反射光とを同時に検出することが
でき、そのため、微小な表面欠陥も感度良く検出でき、
かつ欠陥の誤検出を防ぐことができるという効果がある
。
色の異なるレーザー光を被検出物の表面に角度を変えて
同一点に入射するようにし、その反射光を各々の色の光
のみを透過するフィルタを介して光電変換するようＫし
たので、正反射光と乱反射光とを同時に検出することが
でき、そのため、微小な表面欠陥も感度良く検出でき、
かつ欠陥の誤検出を防ぐことができるという効果がある
。
第１図は従来装置の説明図、第２図および第３図はその
使用方法の説明図、第４図はこの発明の一実施例の説明
図、第５図はその走査装置の斜視図、第６図は同じくそ
の作用説明（２）、第７図は同じくその反射光による信
号の説明図である。
使用方法の説明図、第４図はこの発明の一実施例の説明
図、第５図はその走査装置の斜視図、第６図は同じくそ
の作用説明（２）、第７図は同じくその反射光による信
号の説明図である。
Claims (1)
- 互いに異なる色のレーダー光を被検査物の表面に互いに
異なる角度で照射する第１のレーザー光源および第２の
レーず一光源と、積分球と、前記被検査物表面からの前
記一方のレーザー光の正反射光と他方のレーザ〒光の乱
反射光とを受光して前記積分球に伝えるファイバと、各
々前記積分球に付設されて前記第１のレーザー光源の色
の光のみを透過する第１のフィルタおよび前記第２０レ
ーザー光源の色の光のみを透過する第２のフィルタと、
これら第１および第２のフィルタｔｉＭ遇した光を各々
電気信号に変換する２個０光電変換器と、これら光電変
換器てと９出された電気信号の差を得る想理回路とを備
えた表面欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13929881A JPS5839934A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 表面欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13929881A JPS5839934A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 表面欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5839934A true JPS5839934A (ja) | 1983-03-08 |
Family
ID=15242016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13929881A Pending JPS5839934A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 表面欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5839934A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63169542A (ja) * | 1987-01-07 | 1988-07-13 | Tokyu Constr Co Ltd | コンクリ−ト構造物に於ける表面異常の検査方法 |
| JPH01104872A (ja) * | 1987-10-13 | 1989-04-21 | Daikei Sangyo Kk | 防縮性絹織物の製造法 |
| JPH04228642A (ja) * | 1990-12-15 | 1992-08-18 | Taikei Sangyo Kk | 嵩高性絹糸の製造法 |
| US20210017672A1 (en) * | 2018-03-22 | 2021-01-21 | Shima Seiki Mfg., Ltd. | Protein fiber crimping method, protein fiber production method, protein fibers, spun yarn, and textile product |
-
1981
- 1981-09-03 JP JP13929881A patent/JPS5839934A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63169542A (ja) * | 1987-01-07 | 1988-07-13 | Tokyu Constr Co Ltd | コンクリ−ト構造物に於ける表面異常の検査方法 |
| JPH01104872A (ja) * | 1987-10-13 | 1989-04-21 | Daikei Sangyo Kk | 防縮性絹織物の製造法 |
| JPH04228642A (ja) * | 1990-12-15 | 1992-08-18 | Taikei Sangyo Kk | 嵩高性絹糸の製造法 |
| US20210017672A1 (en) * | 2018-03-22 | 2021-01-21 | Shima Seiki Mfg., Ltd. | Protein fiber crimping method, protein fiber production method, protein fibers, spun yarn, and textile product |
| US12018405B2 (en) * | 2018-03-22 | 2024-06-25 | Shima Seiki Mfg., Ltd. | Protein fiber crimping method, protein fiber production method, protein fibers, spun yarn, and textile product |
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