JPS5836514B2 - プリントハイセンキバンノメツキソウチ - Google Patents

プリントハイセンキバンノメツキソウチ

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JPS5836514B2
JPS5836514B2 JP13349675A JP13349675A JPS5836514B2 JP S5836514 B2 JPS5836514 B2 JP S5836514B2 JP 13349675 A JP13349675 A JP 13349675A JP 13349675 A JP13349675 A JP 13349675A JP S5836514 B2 JPS5836514 B2 JP S5836514B2
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JP
Japan
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area
plating
substrate
board
light
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Expired
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JP13349675A
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JPS5256369A (en
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勝 塩島
八郎 武藤
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NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、プリント配線基板(以下基板という)へのめ
つき装置に釦いて、めっき面積を自動的に測定してめっ
き条件を設定するプリント配線基板のめつき装置に関す
るものである。
従来一般に、基板の製造工程のうち、めっきが主要な工
程を占めている。
このめっき工程に釦いて、精度的にも能率的にも問題の
多いめっき面積の測定を正確かつ迅速に行なうことが要
求され、これはめつき時間と共にめっき品質の良否を左
右するめつき電流をコントロールする重要な鍵である。
ところで、この基板のめつき電流はめつき面積の函数で
あり、めっき面積測定は、次のような方法により算出さ
れているのが一般的である。
1ず、(1)第1図捷たは第2図に示すような反射光式
1たは透過光式の面積測定器に基板の原画フイルムをか
げて回路部分の面積を測定する。
な釦第1図ふ・よび第2図にかいて、1は光源、2は反
射光を受け、光のエネルギーを電気エネルギーに変換す
る光電素子、3は回転するドラム4上に巻き付けられた
プリント配線基板のネガフイルム、5は走査線、6は光
源、7は透過光を受け、光のエネルギーを電気エネルギ
ーに変換する光電素子、8はガラス板9上に載置したプ
リント配線基板のネガフイルム、10は暗箱である。
次に、(2)基板上のスリーホールの数、径釦よび板厚
からスルーホール内の面積を机上計算で求める。
次に、(3)前述(1), (2)を加算して基板毎の
めつき面積の総和を求める。
等の非能率な手段により求めためつき面積によりめっき
装置の電源へめっき電流の条件を設定していた。
一方、このようにして求めためつき面積は精度が悪いた
め、めっき品質の良否を左右するめつき電流設定が問題
となる。
この条件が適正でないと、めっき厚のばらつきによる品
質が不安定でかつ焼付、はがれ等による不良品の発生は
さげられず、製品コストの上昇は1ぬがれなかった。
本発明の目的は、かかる欠点を除去し、高精度高能率な
めつき面積を測定する機能を有するプリント配線基板の
めつき装置を提供することにある。
本発明によれば、プリント配線基板へのめつき装置に勅
いて、基板を一定速度で移送する基板搬送部と、光源1
1.15集光器12,16釦よび光電素子14.18を
前記基板の両側に配置し、前記基板表面のプリント配線
パターンのめつき面積を検出する第1、第2面積検出部
と、前記第1、第2面積検出部と一定間隔を釦いて配置
し、光源19と集光器20釦よび光電素子22とを前記
基板の両側に一定間隔で相対向させ、前記基板のスルー
ホール内面のめつき面積を検出する第3面積検出部と、
前記第1、第2釦よび第3面積検出部に各々接続した第
1、第2釦よび第3面積測定回路と、前記第1、第2釦
よび第3面積測定回路に各々接続し、面積測定のための
定数を設定する第1、第2釦よび第3定数設定部と、前
記第1、第2釦よび第3面積測定回路に接続し、各々の
面積測定回路から入力される面積値を加算するめつき面
積加算器と、前記めっき面積加算器とめつき電源とに接
続し、めっき電流を制御するコントローラと、前記コン
トローラに接続し、めっき面積に対応しためつき電流値
を設定する第4定数設定部と、めっき電源に接続し、前
記基板搬送部より搬送された基板にめっきするめつき槽
とで構或したプリント配線板のめつき装置が得られる。
次に本発明の一実施例について図を参照して説明する。
第3図は本発明の一実施例を示すプリント配線基板のめ
つき装置の構或図、第4図は第3図に示す集光器の外観
図、第5図は本発明の一実施例によって測定されためつ
き面積を示す説明図である。
第3図に釦いて、11は基板38上を照明する光源で、
例えばハロゲンランプ等で構威し、基板38に対して反
射光を考慮して適正な角度に配置してある。
12は基板38からの反射光を集光器で基板38に相対
向させて載置してある。
この集光器12の受光面102は第4図に示すごとくオ
プチカルファイバー104を密着状態で直線状に配列し
ていて、オプチカルファイバー104の配列巾Lは基板
38の巾よりもやや大きめにしてある。
捷たこのオプチカルフイバ−104のファイバー径は面
積測定に釦ける分解能を決定する因子でもあるため、出
力ロスふ゛よび工作上の難易度を考慮して最適に選択す
る必要がある。
13は集光器12からの光を絞るレンズであり、14は
光エネルギーを電気エネルギーに変換する光電素子で、
例えば光電子増倍管等で構威し、レンズ13の焦点に合
せて設置する。
一方第3図に示すごとく基板38の反対側の面に相対向
している。
15は光源、16は集光器、17はレンズ、18は光t
素子で、光源11、集光器12、レンズ13釦よび光電
素子14と同一に構成されていて、基板38からの反射
光を検出する。
一方19は、光源11釦よび集光器12からある間隔を
釦いて配置した光源で、基板3Bの表面に相対向して設
置し、例えば・・ロゲンランプ等で構成する。
20は第3図に示すごとく基板38の部品取付穴39を
介して光源19からの光を集光しガイドする集光器で、
集光器12紗よび16と一一に構或されている。
この集光器20は光源15かよび集光器16からある間
隔を介して基板36の通過する延長上に配置し、光源1
9とは基板38の通過する間隔をもって相対向させてい
る。
21は集光器20からの光を絞るレンズで、レンズ13
釦よび17と■一に構威している,,,22は光エネル
ギーを電気エネルギーに変換する光電素子で、光電素子
14釦よび18と同一に構成していて、基板38の部品
取付穴39からの光を検出する。
23,25i−よび27は、光電素子14,18釦よび
22、光源11.15釦よび19、集光器12.16釦
よび20に各々接続した第1、第2釦よび第3面積測定
回路である。
24.26i−よび28は、前記第1、第2釦よび第3
面積測定回路に各々接続しためつき面積を計算する際の
定数を設定する第1、第2公よび第3定数設定部である
29は第1、第2釦よび第3面積測定回路23.25釦
よび27に各々接続し、各々の面積測定回路から入力さ
れる面積値を加算し、基板38のめつき面積の総和を算
出するめつき面積加算器である。
301はめつき面積加算器29に接続し、めっき面積に
対応しためつき電流値を制御するコントローラ30に接
続し、めっき面積に対応した基板38へのめつき電流値
を設定する第4定数設定部である。
32はコントローラ30に接続し、基板38へのめつき
電流を発生させるめっき電源である。
33はめつき電源32に接続しためつき槽である。
35.37は基板38の搬送用駆動ローラ、34,36
は搬送用駆動ローラ35.37と組合せたビンチローラ
である。
この搬送用駆動ローラ35,37とビンチローラ34.
36とで構威された基板38の基板搬送部は、めっき槽
33に接続していて、基板38を矢印101の方向に一
定速度で移送し、めっき槽23に搬送する。
次に本発明の一実施例のめつき装置の動作について図面
を参照して説明する。
1ず基板38は、駆動ローラ35により一定速度で移送
されて、第1、第2面積検出部1で達すると、光反射式
の検出であるために光源11釦よび15から照射された
光は、基板38の表面、裏面の配線パターンの面積に比
例した量の光を反射する。
この基板38から反射された光は集光器12.16を介
してレンズ13.17に達する。
この光はレンズ13.17によって絞られ、光電素子1
4.18に集められ、この光の強度■に比例して光のエ
ネルギーから電気エネルギーに変換される。
これらの関係を第5図に示す。
この第5図からも明らかなように反射光の強度を■、時
間なTとすれば、電気出力105による基板38の配線
回路部分の面積106の総和は斜線で表わした面積とな
る。
すなわち、これらを式で表わせば、反射光量ELはT1 EL=f IdTとなり、反射光量ELが、すなTo わち基板38の配線回路面積である。
この反射光量ELを等価的に面積に置き変える定数設定
部26.28には反射光量と面積との関係を定数として
設定して釦き、第1、第2面積測定回路25,27に入
力された反射光量ELを函数として面積を計算する。
この関係を式で表わせば、基板38の両面の配線回路面
積SA、基板38の片面ずつの配線回路面積を81,S
2、反射光量を面積に等価的に置きかえる定数を曳とす
ると、SA−S1+S2=KA(E1+E2)が戒立つ
この場合、EL=E1+E2であり、E1,E2は基板
38の両面のそれぞれの反射光量であるが、この反射光
量ELが光電素子14.18で光エネルギーから電気エ
ネルギーに変換されていることは明確である。
一方、基板38の動きに着目すれば、時間の経過と共に
基板38は第3面積検出部に達すと、基板38にあげら
れている部品取付穴39を介して光源38から照射され
ている光が、部品取付穴39の穴数に比例した光量EL
として第3面積検出部により、前述と同様の動作によ
り検出される。
これを式で表わせば、SB−KBELが戒立つ。
この場合にSBは基板38の部品取付穴39の断面積の
総和で、KBは透過光量ELを等価的に断面積に置き変
える定数、ELは部品取付穴39からの透過光量の総和
である。
これらの関係は第5図に示す通りで、前述と同様に第3
面積11J定回路27、第3定数設定部28で取扱って
面積を算出する。
ただしこの場合に、第3定数設定部28に釦いては、部
品取付穴の1個の透過光量に対し、断面積を等価的に算
出する定数としてのKBは、πR2H が考慮してある
ことは云う1でもない。
ここでRは、部品取付穴390半径、Hは基板38の厚
さである。
このようにして第1、第2釦よび第3面積測定回路23
,25i−よび27から算出された結果は、めっき面積
加算器29に各々独立して人力されることにより、この
めっき面積加算器29によって基板38のめつき面積の
総和が算出される。
このめっき面積の総和Sは、 S=SA+SBという関係で示される。
このようにして求められた面積は、第4定数設定部31
に設定されている定数恥によりめっき条件に変換され、
すなわちめっき面積に対応した電流値がコントローラ3
0を介してめっき電源32に設定され、所定の電流が基
板38が搬送され設置しためつき槽33に供給される。
このようにして、めっき槽33には所定の電流を一定時
間通電し、めっき作業が完了する。
しかるにめっき作業は以下このサイクルを一様に繰返す
だけである。
なか本説明では、説明を簡単にするために、めっき槽3
3は一槽の例で説明したが、多層めっきする場合にも本
発明が有効に適用されることは云う1でもない。
以上説明したように、本発明によれば、従来のオフライ
ンでの非能率なめつき面積を求める作業を、オンライン
で自動的に、しかも基板から直接面積を求めることによ
り作業能率が向上する。
さらには、従来の基板のネガフイルムからの面積測定は
精度が悪く、本発明のごとく直接基板から求めることに
より精度が向上し、めっき条件が安定するため、品質か
つ信頼性の向上がはかれる等多くの効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
第1図釦よび第2図は、従来一般にめっき面積測定に使
用されている反射光式釦よび透過光式面積測定器の構成
図、第3図は、本発明の一実施例を示すプリント配線基
板のめつき装置の構成図、第4図は、第3図に示す集光
部の外観図、第5図は、本発明の一実施例によって測定
されためつき面積を示す説明図である。 これらの図にかいて、1は光源、2は光電素子、3はネ
ガフイルム、4はドラム、5は走査線、6は光電素子、
7は光源、8はネガフイルム、9はガラス板、10は暗
箱、11.15.19は光源、12.16.20は集光
器、13.17.21はレンズ、14,18,22は光
電素子、23は第1面積測定回路、24は第1定数設定
部、25は第2面積測定回路、26は第2定数設定部、
27は第3面積測定回路、28は第3定数設定部、29
はめつき面積加算器、30はコントローラ、31は第4
定数設定部、32はめつき電源、33はめつき槽、35
.37は駆動ローラ、34.36はピンチローラ、38
は基板、39は部品取付穴である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 プリント配線基板へのめつき装置にかいて、基板を
    一定速度で移送する基板搬送部と、光源11,15、集
    光器12.16釦よび光電素子14.18を前記基板の
    両側に配置し、前記基板表面のプリント配線パターンの
    めつき面積を検出する第1、第2面積検出部と、前記第
    1、第2面積検出部と一定間隔な釦いて配置し、光源1
    9と集光器20釦よび光電素子22とを前記基板の両側
    に相対向させ、前記基板のスルーホール内面のめつき面
    積を検出する第3面積検出部と、前記第1、第2,l.
    −よび第3面積検出部に各々接続した第1、第2釦よび
    第3面積測定回路と、前記第1、第2釦よび第3面積測
    定回路に各々接続し、面積測定のための定数を設定する
    第1、第2ふ゛よび第3定数設定部と、前記第1、第2
    釦よび第3面積測定回路に接続し、各々の面積測定回路
    から入力される面積値を加算するめつき面積加算器と、
    前記めっき面積加算器とめつき電源に接続し、めっき電
    流を制御するコントローラと、前記コントローラに接続
    し、めっき面積に対応しためつき電流値を設定する第4
    定数設定部と、めっき電源に接続し、前記基板搬送部よ
    り搬送された基板にめっきするめつき槽とで構或したこ
    とを特徴とするプリント配線基板のめつき装置。
JP13349675A 1975-11-05 1975-11-05 プリントハイセンキバンノメツキソウチ Expired JPS5836514B2 (ja)

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JP4988380B2 (ja) * 2007-02-26 2012-08-01 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法および半導体製造装置

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