JPS5833534B2 - 光分割器 - Google Patents

光分割器

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JPS5833534B2
JPS5833534B2 JP48134782A JP13478273A JPS5833534B2 JP S5833534 B2 JPS5833534 B2 JP S5833534B2 JP 48134782 A JP48134782 A JP 48134782A JP 13478273 A JP13478273 A JP 13478273A JP S5833534 B2 JPS5833534 B2 JP S5833534B2
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splitter
diffraction
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は良好な光分割器を提供する光分割方式に関し、
更にはカメラの様な光学装置に適用するのに有利な像形
成光束の分割方式に関するものである。
従来より、像形成光束の一部を光検知器へ導く手段とし
て半透過鏡が多(用いられている。
しかしながら半透過鏡を光学装置内に斜設する大きなス
ペースを取り、また通常半透過鏡をガラスブロック内に
設けるため重くなることは避けられなかった。
本発明は、軽量でスペース的に有利な光分割器の提供を
主目的とし、更にこの主目的を満たすとともに以下の幾
つかの従属目的を満足するものである。
本発明の第1の従属目的は光検知器に像形成光束の一部
を導く新規な光分割器を提供することである。
また、本発明の第2の小目的は集光または発散作用をも
つ新規な光分割器を提供することである。
また、本発明の第3の小目的は像形成光束を複数個に空
間分割された光分割器によりそれぞれの光分割器に対応
する光束をそれぞれ独立に複数個の光検知器に導く新規
な光分割器を提供することである。
また、本発明の第4の小目的は像形成光束のうち特定方
向の光束だけを選択して検知する光分割器を提供するこ
とである。
また本発明の第5の小目的は空間的に光の分割比が異な
る光分割器を提供することである。
また本発明の第6の小目的は上記各種光分割器により分
割された光束を全反射により光検知器に導く方法に関す
るものである。
さらに本発明の第7の小目的は上記各種光分割器をカメ
ラの光路中に有効に配置することに関するものである。
本発明の原理は指向性回折要素を光分割器として用いる
もので、像形成光路中に上記指向性回折要素を配設し、
その回折要素により回折される少くとも一つの回折光束
を光検知器に導き、前記回折要素による非回折光束を像
形成光束として用いるものである。
前記指向性回折要素としてはホログラム、回折格子等が
ある。
次に本発明の指向性回折要素をホログラフィックに得る
方法について第1図に従って説明する。
レーザ1から射出されたビーム2をビームスプリッタ3
により二分し、それぞれのビームをレンズ4.5および
レンズ7.8により拡大し、感材9面上に指向させる。
この感材9面上には三光束の干渉縞が生じるので、この
縞模様を感材9に写真記録する。
この干渉縞を記録した感材はホログラムと呼ばれるもの
で本明細書で云う指向性回折要素の一つである。
次にこのようにして得られたホログラムを測光用の光分
割器として用いる例を第2図につき説明する。
物体10に関し、レンズ11,12から成る結像光学系
により像13を結ばせる光学系において、その結像光束
中で前記方法で得られたホログラム14を配設する。
ホログラム14からは、反射回折光15,16、透過回
折光17,1B、反射非回折光19、および透過非回折
光20の計6本の光束が射出される。
物体10が白色光照明されているときにこれら射出光の
うち回折光は分散により色ずれが生じ、非回折光は分散
していない。
従って、非回折光はそのまへ像形成光束として用い、回
折光中には光検知器を配設して物体から射出される光束
の明るさの測定が可能になる。
このような指向性回折要素による光分割の特徴は全光量
測定を行う場合でも光分割素子を光束中に斜設せずに測
光用光束が得られ全光学系をコンパクト化できることで
ある。
上記説明のホログラフィック指向性回折要素はクリアー
であることが望ましいが、そのためには銀塩感剤ホログ
ラムをプリーチするか、透明な非銀感剤を用いると良い
透明な非銀感剤としてはホトレジスト、ホトポリマー、
サーモプラスティック等がある。
指向性回折要素としては上記説明のホログラムに限定さ
れるものでなく、回折格子を用いても良い。
たgし、その場合の回折格子は格子間隔が非常に小さく
、二次以上の回折光は回折条件を満たさずに回折されな
く、±1次回折光のみが回折されるものが望ましい。
また上記例では多数の回折光が生じる平面型のホログラ
ムについて説明したが用いる感材として感光部の厚いも
のを用いる(約5〜50μm)ことにより一つの回折光
だけを生じさせることもできる。
また反射非回折光を像形成光束として用いる場合にはホ
ログラム感材としてレリーフ(Re1ief )型のも
のを用い感材の表面の凹凸の形でホログラムを作成し、
その表面にAt蒸着等の反射膜処理を行うことが望まし
い。
次に本発明の第2の目的である集光または発散作用をも
つ光分割器について説明する。
光検知用の受光器の受光面積が小さい場合には光分割さ
れた光束を集光させることが必要である。
従来の半透鏡で分割光束を集束させるためには第3図に
示すように半透面21をもつ光分割器22で分割された
光束23をコンデンサーレンズまたはシリンドリカルレ
ンズ24により受光素子25の受光面に集光させること
が考えられる。
また、第4図に示すように傾斜する球面の半透面27を
もつ光分割器26により像形成光束28を分割し、かつ
、受光素子29面上に集光させることも考えられる。
しかし、これら従来の半透鏡を用いる例では前者ではコ
ンパクト性に欠け、後者では製作コストが問題になる。
次に本発明の集光作用をもつ光分割器について説明する
第5図に示すようにレーザ1から射出されたビーム2を
ビームスプリッタ−3により二分し、一方をレンズ4,
5により拡大平行光とし、他方の光束は反射鏡6を介し
て微小レンズ7に入射させて発散光としてそれぞれの光
束を感材30に入射させる。
これら両光束は偏心した同心干渉縞を感材面に形成する
この干渉縞を記録した感材すなわちホログラムを第2図
に示した像形成光学系に配設すると、このホログラム3
1からは第6図に示すように集れん回折32.33光束
と、発散回折光束34.35が射出される。
この場合の非回折光36.37は第2図の場合と同様に
光分割器31により波面形状が影響されない光束である
従って、収れん光束32または33の集光点に微小受光
面積の光検知器を置いて光検知できる。
先に説明した半透鏡を使って分割光を集光させるものに
比べ本発明の光分割器はコンパクトでかつ製造コントも
安価になるという特徴をもっている。
上記説明では球面波と平面波によりホログラム31を作
成する例につき説明したが、用いる波面は必ずしも上記
二波面に限定されるものでなく、他の形状の波面にも有
効である。
例えば光検知器が細長い場合にはシリンドリカル波を用
いることが好ましい。
さらに、リング状の光検知器の場合にはそのような形状
に集光する波面を用いてホログラムを作製するとよい。
次に本発明の第3の小目的である偉形成来光を複数個に
空間分割された光分割器によりそれぞれの光分割器に対
応する光束をそれぞれ独立に複数個の光検知器に導く新
規な光分割器について説明する。
例えば第7図に示すようにカメラファインダーの焦点面
測光において画面39の上下部分40゜41および中心
部分42の光量をそれぞれ独立に測定したい場合がある
このような場合に従来の半透面鏡を用いる方法では光分
割器が非常に複雑なものになる。
従って本発明の方法を用いれば簡単に上記機能をもつ光
分割器を作ることができる。
例えば先に説明した第5図の光学配置でホログラムを作
製するときに感材30の前方に一部分が切りぬかれたマ
スクをしてホログラム撮影を行う。
次いで、他の部分が切りぬかれたマスクを感材30の前
方に同様に設け、ホログラム感剤30とそのお\いを一
体にして光軸な中心に回転させて第2のホログラム撮影
を行う。
順次このようにしてホログラム面46を分割して互いに
傾き角の異なる干渉縞43,44,45を第8図に示す
ように記録する。
このようにして得られたホログラム46を図9に示すよ
うに像形成光束47中に配設すると面分割された各部分
からは空間中の異なる位置に来光が集まる。
従って、それら集光点に光検知器48,49.50を設
けることにより光分割器の各部分からの光束を独立に検
知することができる。
上記説明ではホログラム感材を回転させて、各ホログラ
ムからの回折光の分離を行ったが、各部分ホログラムを
作成する際に一方の光束の入射する方向を変えても各ホ
ログラムからの回折光の分離はできる。
次に本発明の第4の小目的である像形成光束へ特定方向
の光束だけを選択して検知する新規な光分割器について
説明する。
カメラファインダ内での測光を行う場合に画面の周辺部
に比べ中心部の光量を多く光分割し測光を行いたい場合
がある。
このような測定は重点測光と呼ばれているが、従来技術
で行う場合にはファインダーのアイピース近傍にレンズ
を設け、そのレンズによりピントグラス面の中心附近を
受光素面に結像させて測光を行う等の複雑な光学系を必
要とした。
本発明の指向性回折要素を用いてこのような重点測光を
行う場合につき説明する。
−例として第10図に示すようにピントグラス51とア
イピース52から構成されるファイング−において図に
示すアイピース52の前方に本発明の指向性回折要素5
3を配設する場合を考える。
この場合の前記指向性回折要素を第11図に示す光学配
置により作成する。
′すなわち、第10図における指向性回折要素53の位
置にホログラム感材54を置きその前方のピントグラス
51に対応する位置55で重点的に測光を行いたい位置
63に干渉光56をレンズ57により結ばせ発散光58
として、ホログラム感材54に入射させる。
一方、ビームスプリッタ−59により部分された他の干
渉光60を反射鏡61およびレンズ62により発散光と
してホログラム感材54に入射させる。
これら二つの干渉光で形成される干渉縞を感光部の厚み
が大きな感材(10〜100μm)に記録して得られる
ホログラムは体積型ホログラムとなるため指向特性の強
いホログラムとなる。
従って、このホログラムを第10図に示した指向性回折
要素53として用いる場合にはピントグラス55の点6
3に対応する点64からの光束は前記指向性回折要素5
3によって最も能率良く回折され光検知器65に入射す
るのに対し、ピントグラス510周辺からの光束に対す
る回折能率は低下する。
従って、上記方法で得られる指向性回折要素は重点測光
用素子としても効果がある。
なお、上記説明でホログラム作製の際のレンズ62を介
してホログラム面に入射させた光束は必ずしもこのよう
な発散光束に限定されるものではなく任意の形状の波面
で良い。
水弟4の発明において必要な条件は指向性回折要素53
に入射する光束の中で重点的に効率良く光検知したい光
束の形状に一致するような波面を用い、かつ厚い感光層
をもつ感材によりホコグラムを作製することである。
次に本発明の第5の小目的である分割比が光分割器の各
部分で異なる、すなわち本発明の指向性回折要素からの
回折光強度が指向性回折要素面で任意の分布を持つよう
な光分割器について説明する。
このような光分割器はカメラファインダーのピントグラ
ス面に配設すると先に説明した重点測光を可能にするも
のである。
従来の半透鏡で上記機能をもつ光分割器をつくるには分
割器面上での分割比が異なるようにしなければならなく
、このような分割器は非常に高価なものになる。
次に本発明指向性回折要素により上記機能をもつ光分割
器をつくる方法について説明する。
先の第5図に示した光学配置でホログラム感材面に干渉
縞を形成する二つの光束70,710強度を等しくし、
そのビームの片側に濃度フィルター72を配置する。
この濃度フィルター72は第12図に示すような透過率
分布をもっているとする。
このような濃度フィルター72を用いて作られたホログ
ラムは濃度フィルター72の最も透過率の良い点Aの附
近を通過した光束が作る干渉縞のコントラストは最大に
なり、この点から遠ざかるにつれコントラストは低下す
る。
従って、このようにして作られたホログラムを光分割器
として用いる場合には点Aの附近に対応するホログラム
面からは最も効率良く回折光が生じこの点から遠ざかる
につれ分割能力は低下する。
従ってこのようにして作られたホログラムをカメラファ
インダーの焦点面附近に配設すると重点測光が可能とな
る。
上記説明でホログラム面内で干渉縞のコントラストを変
えるために濃度フィルターを用いる例につき説明したが
、本発明はこの方法に限定されるものでなく、一般に干
渉縞のコントラストを変える方法であるとすべて適用可
能である。
次に本発明の第6の小目的である指向回折要素から回折
される光束を全反射により光検知器に導く方法について
説明する。
第13図に示すのは本出願人が特願昭47−12419
6号で提案した全反射部材である。
図中で73は回折格子構造、74はガラス平板である。
また75は受光素子である。
ここで全反射部材の回折格子構造へ入射する光束は、こ
こで回折されガラス平板の1方の面で全反射する条件を
満す様に回折し、ガラス平板74の内部を全反射で伝達
し、受光素子75へ入射するものである。
この様に光伝達部材と回折格子が一体化されているので
、光学装置内へ配置するに極めて有利である。
次に本発明の第7の小目的を説明する。
前述した回折格子構造を有する反射部材と受光素子を一
眼レフレックスカメラに配設した場合の配設位置の例を
まず説明する。
第14図で、200は撮影レンズ、201は絞り、20
3はミラー、204は像面、205はシャッター、20
6は焦点板、207&!コンデンサーレンズ、208は
ペンタゴナルプリズムモして209はアイピースである
また前述の回折格子を有する反射部材はGで、受光素子
はPで表わす。
先ず部材G1は、焦点板206とコンデンサーレンズ2
07の間に置かれ、受光素子P1は部材G1の端面に向
かって設けられている。
そしてこの配置では物体からの光線は撮影レンズ200
を通過し、ミラー203で反射し、焦点板206で散乱
される。
この散乱された光束が部材G1を通過する際に、その光
束の一部は部材G1の内部を全反射で伝達するがあるい
は回折格子に沿って進行し、受光素子P1に入射する。
第2の配置例は、コンデンサーレンズ207とペンタプ
リズム208の間に部材G2を設け、部材の端部に向け
て受光素子P2を設けた。
この場合にはコンデンサーレンズを通過した後の光束の
1部を使って測光が行なわれる。
第3の配置としては、ペンタプリズム208の前側反射
面208′の前方に部材G3を設け、部材の端部に向け
て受光素子P3を設けた。
ここで、測光に使われる光束は、反射面208′に向う
光束の内で、ファインダー有効光束を除いた部分である
第4の配置としては、ペンタプリズム208とアイピー
ス209の間に部材G4を設け、部材の端部に向けて受
光素子P4を設けた。
第5の配置としては、アイピース209の後方へ部材G
5を設け、部材の端部に向けて受光素子P5を設けた。
ここで、アイピース209からペンタプリズムへ向けて
入射する、望ましくない光線の影響が心配であるが指向
性回折エレメントの干渉縞を体積型にすることによりこ
の有害光を除去できる。
第6の配置としては、ミラー2030反射面上に部材G
6を設けた。
受光素子P6は、ミラー203が斜設されている時に部
材の端面に対向する様に設けた。
この場合、部材G6はミラー203とともに揺動するの
で、なるべく軽量の物質で作る。
なお、ミラーは斜に固定されたハーフミラ−であっても
よい。
第7の配置としては、像面204の前方に部材G7を設
け、部材の端面に対向して受光素子P7を設けた。
この場合、フィルムを露光している最中にも測光を行う
ことが可能である。
次に電15図と第16図は、ガラス平板の様な光伝達薙
材を設けず、回折格子構造からの回折光を受光素子に導
く場合に関して、−眼レフレックスカメラに配設した配
設位置の例を説明する。
第1の配置としては、反射型回折格子構造g1をペンタ
プリズム208の前側反射面208′の有効反射面の外
側に形成した。
そして受光素子Q。は、ペンタプリズムの前側上面と屋
根面とが交わる位置付近に設けた。
受光素子を配設する位置は図面に記載する位置に限らず
、回折格子構造からの回折光が入射し、またファインダ
ー有効光束に影響を与えない位置であれば良い。
ここで、ペンタプリズム208内で反射するファインダ
ー光束が回折格子構造g1に入射すると、この光束は回
折されるとともに収斂傾向を与えられて受光素子Q1の
受光面に集光する。
第2の配置としては、透過型回折格子構造g2をペンタ
プリズムの出射面108“に形成し、受光素子Q2をア
イピース109の路上力に設けた。
なお受光素子はアイピースの下方に設けてもよいし、右
方あるいは左方であって良い。
ここで、アイピース209へ向うファインダー光束は回
折格子構造g2へ入射して、回折光は受光素子Q2の受
光面に集光し、−吉事次光は透過してアイピース209
へ入射する。
第3の配置としては、反射型回折格子構造g3をペンタ
プリズムの出射面208“ に形成し7、受光素子Q3
を前側上面208■の近傍に設けた。
第4の配置としては、反射型回折格子構造g4をペンタ
プリズムの底面208■に形成し、受光素子Q4を前側
反射面208′の有効反射面以外の位置に向けて設けた
”第5の配置としては、反射型回折格子構造g5を
コンデンサーレンズ207の平面に形威し、受光素子Q
5をコンデンサーレンズ207の上部近辺に設けた。
第6の配置としては、反射型回折格子構造g6をミラー
203の反射面に形成し、受光素子Q6を撮影光束とフ
ァインダー光束の通る位置の外部に設けた。
第7の配置としては、反射型回折格子構造g7を、撮影
レンズ200の光軸に垂直に設けた透明剛体2100表
面に形成し、受光素子Q7を撮影光束の外部に設けた。
第8の配置としては、第5の配置と同様であるが、受光
素子Q8をコンデンサーレンズ207の端部に設けた。
回折光はコンデンサーレンズ内を全反射して伝達し、受
光素子に入射する。
次にマーク付レンジファインダーに本発明を適用した場
合を説明する。
第17図で、212はマークを有する窓、213はミラ
ー、214はレンズ、215はコンデンサーレンズ、■
はコンデンサーレンズ215の平面に設けられた回折格
子構造である。
Rは受光素子で、コンデンサーレンズ215の端面に向
けて設けた。
216は対物レンズ、217はハーフミラ−1218は
アイピースである。
先ず窓212へ入射した被写体からの光線は、ミラー2
13で反射し、レンズ214を通過して、コンデンサー
レンズ215へ入射する。
入射光は回折格子■で回折され、1次回折光は受光素子
Rへ向い、零次回折光はコンデンサーレンズ215を通
過する。
なお、回折格子■で回折された1次回折光は、コンデン
サーレンズのレンズ内を全反射して受光素子に伝達され
るか、あるいは回折格子Iから直接受光素子へ集光され
るか、回折格子■に沿って受光素子へ導びかれる。
コンデンサーレンズ215を通過した前記零次回折光は
、対物レンズ116を通過した被写体からの光束とハー
フミラ−217上で合流し、アイピース218から出射
して観察者の瞳孔へ入射する。
第18図、第19図はシネカメラあるいはテレビカメラ
の測光光学系である。
図中で、220はズームレンズ部、221はリレーレン
ズ、222はビームスプリッタ−1223は絞り、22
4は像画である。
また225はファインダーの対物しンズ、226はミラ
ー、227はフィールドレンズ、228はエレクタ−1
229はコンデンサーレンズ、230はアイピースであ
る。
第1の配置としては、回折格子構造J1をビームスピリ
ツタ−222内部のハーフミラ−面上に形成した。
そして回折格子構造J1からの1次回折光は受光素子S
1に集光するか、面222′で反射させて受光素子S2
へ導く。
あるいは透過型の回折格子構造を形成して、回折光を面
222“で反射させて受光素子S3へ導く。
なお零次回折光は、ビームスプリッタ−222のハーフ
ミラ−で分割され一方は像面へ向い、他方はファインダ
ー系へ向う。
第2の配置としては、ファインダー系の光軸に垂直に設
けられた透明剛体231上に回折格子構造J2を形成し
た。
この回折格子からの回折光は、受光素子S4あるいは受
光素子S、あるいは受光素子S6 で受光される。
第3の配置としては(第19図)、反射型回折格子構造
J3をミラー226の表面に形成した。
ここで回折格子がファインダー視野に悪影響を与えるこ
とはない。
第4の配置としては、リレーレンズ221と像面224
の間に光軸に垂直な透明剛体232を設け、その表面に
回折格子構造J4を形成した。
受光素子S8に入射する1次回折光は、透明剛体232
の内部を全反射で伝えられるか、回折格子に沿って伝え
られる。
受光素子S、あるいは810に入射する光束は、回折格
子から直接的に集光する。
なお、234は、受光素子S8あるいはS、またはSI
Oからの出力により絞り123を調整する制御手段であ
る。
ここでは、フィルムあるU・は撮偉管の様な記録系に結
像する画像を適正化することが可能である。
以上の配置例は代表的なものを上げたもので、ここに示
された例に限定されるものではなく、撮影レンズ以後の
どの位置でも適用できるものである。
また、回折要素の前方に拡散板を設けることで、回折格
子構造による回折光に生じがちなレンズ内の絞りの開口
変化に対する依存性および分光特性の影響を改善できる
次に、第20図に示すものは、第13図に示す光伝達部
材と回折格子構造を組み合わせたエレメントを使って画
面の中央部の測光と周辺部の測光を行う際の一実施例で
ある。
235は、ガラス平板の片面に回折格子を設けた測光用
エレメントで、回折格子は中央域236と周辺域237
に分けられている。
また238゜240そして240′はオプティカル・フ
ァイバー束であって、エレメント235の端面に接着さ
れている。
そして区域236から入射して、エレメント235内を
伝達した光はオプティカル・ファイバー束238に入射
する。
また区域237に入射した光はオプティカル・ファイバ
ー束240あるいは240′に入射する。
それぞれのオプティカル・ファイバー束の他端には各々
フォトセル239あるいは242が設けられ、またオプ
ティカル・ファイバーの端面とフォトセルの間にはシャ
ッター241,241’が設けられており、中央部の測
光と周辺部の測光とを切換えるのに使用される。
この様な構成で、区域236あるいは237に入射する
光は、各々分けられてフォトセル239あるいは242
に入射するので、各々の区域の測光が可能になるもので
ある。
また、シャッターを設けず、フォトセルからの出力を測
光用電子回路に導く際にスイッチで切換える様にしても
勿論よい。
なお、以上の説明では回折格子としてホログラフィック
に作成されるボリュームタイプである、位相構造をもつ
ものとして説明してきたが、回折エレメントとしてはプ
ラナ−タイプのホログラムを採用したり、それ自身公知
の指向性を有する回折格子を利用することもできる。
又光検出手段は回折エレメントの構造あるいは回折エレ
メントと光検出手段との間に配設される光伝達部材の構
造に応じて光学装置内の適宜場所に配設されるものであ
る。
また光伝達部材としては光集積板(L、G、)以外にも
、前述の如きオプティカル・ファイバー等が使用される
なお、実際問題としては、回折エレメントとしてホログ
ラムを利用した方が回折効率が良好であるのみならず、
所望の回折特性を附与することが容易となり、しかも製
作のコ、2)の低減、品質の安定化にも有利であり、更
に従来の測光手段では実現できなかった程度の、コンパ
クトな測光手段を提供できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る回折要素を作成するための方法を
説明するための図。 第2図は回折要素を像形成光束中に置いた時の様子を説
明するための図。 第3図は公知の光分割手段を示す斜視図。第4図は光分
割手段を示す斜視図。 第5図は本発明に係る回折要素を作成するための方法を
説明するための図。 第6図は回折要素を像形成光束中に置いた時の様子を説
明するための図。 第7図は、光束の分割例を示す図。 第8図は本発明に係る指向性回折要素の平面図で、第9
図はこの回折要素による回折光の様子を示す図。 第10図は別の指向性回折要素を示す図で、第11図は
この製法を説明するための図。 第12図は濃度フィルターの分布の様子を示す図。 第13図は本発明に係る全反射部材の側面図。 第14図、第15図、第16図は各々本発明を一眼レフ
レックスカメラに適用した配置図。 第17図は本発明をマークレンジファインダーに適用し
た配置図。 第18図、第19図は各々本発明はシネあるいはTVカ
メラに適用した配置図。 第20図は全反射部材を使って中心、周辺切換え測光を
する場合の一実施例を示す斜視図。 図中で、9 、30 、54・・・・・・感材、14,
31゜46 、53・・・・・・指向性回折要素、72
・・・・・・濃度分布フィルター、73・・・・・・回
折格子構造、74・・・・・−ガラス平板、75.Pi
tQt 、R,s・・・・・・受光素子、Gi、
gi、I、Ji・・・・・・指向性回折要素、200.
220.221・・・・・・撮影レンズ、208・・・
・・・ペンタプリズム、209,218,230・・・
・・・アイピースである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 結像光学系からの光路中に回折格子構造体を配し、
    この回折格子構造体による零次の回折光を像面上に導び
    き、零次以外の回折光を受光素子に導びく光分割器に於
    いて、前記回折格子構造体は零次以外の回折光を集光す
    る集光性回折格子構造であることを特徴とする光分割器
    。 2 結像光学系からの光路中に回折格子構造体を配し、
    この回折格子構造体による零次の回折光を像面上に導び
    き、零次以外の回折光を受光素子に導びく光分割器に於
    いて、前記回折格子構造体はそれぞれ複数の回折格子を
    有し、それぞれの回折格子からの零次以外の回折光は個
    別の受光素子に導びくことを特徴とする光分割器。 3 結像光学系からの光路中に回折格子構造体を配し、
    この回折格子構造体による零次の回折光を像面上に導び
    き、零次以外の回折光を受光素子に導びく光分割器に於
    いて、前記回折格子構造体は回折率分布を有しているこ
    とを特徴とする光分割器。
JP48134782A 1972-12-11 1973-11-29 光分割器 Expired JPS5833534B2 (ja)

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JP48134782A JPS5833534B2 (ja) 1973-11-29 1973-11-29 光分割器
DE2361626A DE2361626C3 (de) 1972-12-11 1973-12-11 Anordnung zur Messung der Intensität eines Strahlenbündels in einem optischen System
GB5725273A GB1461084A (en) 1972-12-11 1973-12-11 Detection of the intensity of light
FR7439231A FR2253222B1 (ja) 1973-11-29 1974-11-29
US05/812,778 US4172646A (en) 1972-12-11 1977-07-05 Device to control introduction of diffracted beam by means of diffraction element
US05/947,066 US4215924A (en) 1972-12-11 1978-09-29 Method to control introduction of diffracted beam by means of diffraction element

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FR2253222A1 (ja) 1975-06-27
FR2253222B1 (ja) 1983-02-18
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