JPS583225A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法Info
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- JPS583225A JPS583225A JP56101088A JP10108881A JPS583225A JP S583225 A JPS583225 A JP S583225A JP 56101088 A JP56101088 A JP 56101088A JP 10108881 A JP10108881 A JP 10108881A JP S583225 A JPS583225 A JP S583225A
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- H10P32/14—
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- Formation Of Insulating Films (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56101088A JPS583225A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56101088A JPS583225A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS583225A true JPS583225A (ja) | 1983-01-10 |
| JPS6325700B2 JPS6325700B2 (OSRAM) | 1988-05-26 |
Family
ID=14291335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56101088A Granted JPS583225A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS583225A (OSRAM) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02177535A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-10 | Matsushita Electron Corp | 半導体装置の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5512709A (en) * | 1978-07-12 | 1980-01-29 | Toshiba Corp | Manufactiring method of semiconductor device |
-
1981
- 1981-06-29 JP JP56101088A patent/JPS583225A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5512709A (en) * | 1978-07-12 | 1980-01-29 | Toshiba Corp | Manufactiring method of semiconductor device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02177535A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-10 | Matsushita Electron Corp | 半導体装置の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6325700B2 (OSRAM) | 1988-05-26 |
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