JPS5832199Y2 - 質量分析計用イオン源 - Google Patents

質量分析計用イオン源

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JPS5832199Y2
JPS5832199Y2 JP1976124390U JP12439076U JPS5832199Y2 JP S5832199 Y2 JPS5832199 Y2 JP S5832199Y2 JP 1976124390 U JP1976124390 U JP 1976124390U JP 12439076 U JP12439076 U JP 12439076U JP S5832199 Y2 JPS5832199 Y2 JP S5832199Y2
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JP
Japan
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gas introduction
introduction tube
ion source
mass spectrometer
ionization box
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Expired
Application number
JP1976124390U
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JPS5342685U (ja
Inventor
康平 望月
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は質量分析計用イオン源に係り、特に化学イオン
化装置に用いて好適な質量分析計用イオン源に関する。
ガス導入管部の気密が要求される化学イオン化イオン源
では、従来ガス導入管両端を固定する方式、導入管の一
端にベローズを用いる方式が用いられていたが、前者で
はイオン源取り外しの際にその固定部を取り外すのが難
かしく、導入管破損の可能性が大きい欠点があった。
また、後者では、ベローズ部がデッドボリュームとなり
材質として化学的に安定な金、ガラス等が用いられない
ため、吸着残留の欠点があった。
さらにベローズ部は外部からの加熱が難かしく、その部
分の温度が他の部分より低くなる欠点があった。
本考案の目的は、気密な構造を持ち、イオン源部の取り
外しが容易で、ガス導入管の温度均一性が保たれ易い構
造をもち、かつ流路にデッドボリュームがなり、シかも
ガス導入管を化学的に安定な材質で構成し得る構造を備
えた質量分析計用イオン源を提供することにある。
以下、本考案の一実施例を図面に基づき詳細に説明する
図に釦いてガス導入管2の一端は図示していないハウジ
ングに固定され、図示していないガスクロマトグラフ、
気体導入系等と接続されている。
ガス導入管1の一端はガス導入管2の他端にスライド可
能に密に挿入されている。
すなわち、ガス導入管2の内径とガス導入管1の外径の
公差は、0.1.mm以下のはめ合いとなっている。
ガス導入管1の他端はイオン化箱8に接触しており、そ
の接触部はボールジヨイント状にされている。
ガス導入管1は絶縁物で作られた板4に固定され、板4
はフランジ7に固定された軸5をガイドとしてばね6に
よりイオン化箱8の方向に弾性的に押されている。
ヒータ3は試料導入管2を加熱するようにその外側に巻
きつげられている。
試料はガス導入管2および1を通ってイオン化箱8に送
られ、イオン化される。
ガス導入管2と1の結合部は、はめ合いになっているた
め、ここからの洩れは、シ密なイオン化箱を持つ化学イ
オン化イオン源の場合でも、イオン化箱からの洩れの1
割以下となっている。
イオン化箱8とガス導入管1の結合部は、ボールジヨイ
ントになっており、更に板4を介してばね6で押されて
いるので洩れは少ない。
以上のように試料の導入経路が気密なために試料の損失
が少なく、特に化学イオン化イオン源のように高い圧力
で導入される場合には効果的である。
試料を導入する場合のもう一つの問題点として導入経路
の吸着、温度等の安定性がある。
本実施例では、ガス導入管2は石英ガラス、ガス導入管
1は金と安定な材質を用いている。
ガス導入管1はガス導入管2内に挿入された部分がヒー
タ3により加熱され、また他端はイオン化箱よりの伝導
で熱せられ、はぼ均一な温度を保ち、化学的に安定な経
路を構成している。
イオン化箱8は汚れやすいため、清掃のために取外す場
合があるがこの実施例では、ガス導入管1がガス導入管
2内をスライドするため、ガス導入管1をイオン化箱8
と反対側にはね6の弾性押圧力に抗して移動させること
により、イオン化箱8の取り外しが簡単に行なえる構造
となっている。
以上の説明から明らかなように、本考案によれば、シ密
な構造をもち、イオン源部の取り外しが容易で、ガス導
入管の温度均一性が保たれ易い構造をもち、かつ流路に
デッドボリュームがなく、しかもガス導入管を化学的に
安定な材質で構成し得る構造を備えた質量分析計用イオ
ン源が提供される。
【図面の簡単な説明】
図は本考案の一実施例を示す質量分析計用イオン源の縦
断面図である。 1.2・・・ガス導入管、3・・・ヒータ、4・・・板
、5・・・軸、6・・・ばね、7・・・フランジ、8・
・・イオン化箱。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオン化箱と、このイオン化箱に一端が気密的に接触す
    る第1のガス導入管と、一端に前記第1のガス導入管の
    他端がスライド可能に密に挿入されている第2のガス導
    入管と、この第2のガス導入管を加熱するようにこの竿
    2のガス導入管の外部に配置されたヒータと、前記第1
    のガス導入管を前記イオン化箱に弾性的に押圧する手段
    とを備えている質量分析計用イオン源。
JP1976124390U 1976-09-17 1976-09-17 質量分析計用イオン源 Expired JPS5832199Y2 (ja)

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JPS5342685U JPS5342685U (ja) 1978-04-12
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