JPS5830488A - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
- Publication number
- JPS5830488A JPS5830488A JP12894581A JP12894581A JPS5830488A JP S5830488 A JPS5830488 A JP S5830488A JP 12894581 A JP12894581 A JP 12894581A JP 12894581 A JP12894581 A JP 12894581A JP S5830488 A JPS5830488 A JP S5830488A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- packing
- vacuum
- vacuum tank
- closure
- tightly
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
- F04B37/16—Means for nullifying unswept space
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は排気量を段階的に大きくするように切換え可能
な真空υＩ・気装置に関するものである。
な真空υＩ・気装置に関するものである。
真空装置は現在多くの分野で使用されている。すなわち
、実験用の小型のものから連続蒸着機、真空溶解炉、半
導体製造用や磁気テープ製造用、磁気ドラム、磁気ディ
スク等の各種分野の製品の製造に使用されている。寸だ
真空排気方式に関しては５油回転ポンプ全始め、メカニ
カルブースタポンプや、油拡散ポンプ５クライオポンプ
、ゲータ−ポンプ等低真空から高真空もしくは超高真空
まで数多くのポンプが提案されてお！１１．そして各分
野に適合したポンプが使われている。
、実験用の小型のものから連続蒸着機、真空溶解炉、半
導体製造用や磁気テープ製造用、磁気ドラム、磁気ディ
スク等の各種分野の製品の製造に使用されている。寸だ
真空排気方式に関しては５油回転ポンプ全始め、メカニ
カルブースタポンプや、油拡散ポンプ５クライオポンプ
、ゲータ−ポンプ等低真空から高真空もしくは超高真空
まで数多くのポンプが提案されてお！１１．そして各分
野に適合したポンプが使われている。
一般にこれらのポンプで真空ｋ ？！７るＬ′工空槽と
大気を遮断するには、金属パツキンや、ゴムバラギンが
多く用いられており、この場合真空槽全減圧することに
よる大気との差圧でバラギン音訓用して真空槽への空気
の進入を防電し、Ｌ″↓空状態全イＵるものであるが、
真空装１の容積が１ｍ３以−ににもなると容器の自重も
重くなる／ヒめ、蓋ｋ ４．′／ｉ方向から閉じる形式
が採られており、この蓋を横方向から閉じるものではパ
ツキンの利賀、硬度なとにエリ。
大気を遮断するには、金属パツキンや、ゴムバラギンが
多く用いられており、この場合真空槽全減圧することに
よる大気との差圧でバラギン音訓用して真空槽への空気
の進入を防電し、Ｌ″↓空状態全イＵるものであるが、
真空装１の容積が１ｍ３以−ににもなると容器の自重も
重くなる／ヒめ、蓋ｋ ４．′／ｉ方向から閉じる形式
が採られており、この蓋を横方向から閉じるものではパ
ツキンの利賀、硬度なとにエリ。
初期排気は蓋の密着も兼ねて一時に大１ノ１気容ｉ ｋ
を行なって容器と蓋の密着を行なわ」Ｖる方式が一般
的である。しかし真空槽を用いて精密な製品全製造する
産業分野、例えば半導体や磁気・ｉ” ４スク。
を行なって容器と蓋の密着を行なわ」Ｖる方式が一般
的である。しかし真空槽を用いて精密な製品全製造する
産業分野、例えば半導体や磁気・ｉ” ４スク。
磁気テープ等の分野では初期排気時に容器内の空気流に
より内部に堆積していたホコリや塵埃が基板表面に飛散
して製品の品質に著しい悪影響を及ぼすという欠点があ
った。
より内部に堆積していたホコリや塵埃が基板表面に飛散
して製品の品質に著しい悪影響を及ぼすという欠点があ
った。
本発明は特に大容積真空装置においてこれらの問題′Ｉ
ｒ：ｗｆ消し、均一性の良いｉｔ′７ｉ品質の製品全１
５１１供できる真空排気装置を提供するものであり、以
下その一実施例について図面を用いて説明する。
ｒ：ｗｆ消し、均一性の良いｉｔ′７ｉ品質の製品全１
５１１供できる真空排気装置を提供するものであり、以
下その一実施例について図面を用いて説明する。
１は真空４ｖ！ｉであり、この真空槽１の前部にはこの
真空槽１の蓋２と真空槽１全密着さぜるためのゴムから
なるパツキン３が設けられている。真空槽１の内容積は
約８ｍ３あり、従って真空槽１及び蓋２の重量も１ｔｏ
ｎＪｌ上に達している。真空槽１は固定されているが蓋
２は枠２ａｊＣＪ：って支えられ、車輪４によって床５
土全移動可能に設置されている。真空槽１の排気は排気
管７に、ｌ：９油拡散ポンプｓ 、 ｌノｌ気管９．メ
カニカルブースタポンプ１０ 、 ＩＩＪＩ気管１１全
経て油回祠ポンプ１２により排気して真空を得るように
なっている。ここで。
真空槽１の蓋２と真空槽１全密着さぜるためのゴムから
なるパツキン３が設けられている。真空槽１の内容積は
約８ｍ３あり、従って真空槽１及び蓋２の重量も１ｔｏ
ｎＪｌ上に達している。真空槽１は固定されているが蓋
２は枠２ａｊＣＪ：って支えられ、車輪４によって床５
土全移動可能に設置されている。真空槽１の排気は排気
管７に、ｌ：９油拡散ポンプｓ 、 ｌノｌ気管９．メ
カニカルブースタポンプ１０ 、 ＩＩＪＩ気管１１全
経て油回祠ポンプ１２により排気して真空を得るように
なっている。ここで。
図面には示していないが各真空ポンプ間及び排気管７の
途中には真空バルブが配されている。
途中には真空バルブが配されている。
一般的に見て内容積が約６３もの大容量真空槽になると
蓋２とパツキン３の初期密着を得る為に。
蓋２とパツキン３の初期密着を得る為に。
重拡散ポンプ８を短絡するように排気管９と排気管７を
結ぶバイパス管を設け、このバイパス管により油回転ポ
ンプ１２のみで瞬時に大容量の排気全行い、短時間に大
気との差圧を太きくしてその吸引力によりパツキン３を
介１−て真′７：ゾＩｌ’ｔ １と蓋２の密着全（！Ｌ
真空４：ｉｌ！７１内の真空を・僅ｉ １ｊｉｊするよ
うにされている。
結ぶバイパス管を設け、このバイパス管により油回転ポ
ンプ１２のみで瞬時に大容量の排気全行い、短時間に大
気との差圧を太きくしてその吸引力によりパツキン３を
介１−て真′７：ゾＩｌ’ｔ １と蓋２の密着全（！Ｌ
真空４：ｉｌ！７１内の真空を・僅ｉ １ｊｉｊするよ
うにされている。
上述のような瞬時の大芥１１１″杖気の場合５真空槽１
内で空気の急激な流れが牛じ５このため真？：・、！糟
１内に堆積しているホコリや；１１１！埃が飛散して被
蒸着物の基板表向に付着することがしｉｔ： Ｌｉｃｌ
″ある。
内で空気の急激な流れが牛じ５このため真？：・、！糟
１内に堆積しているホコリや；１１１！埃が飛散して被
蒸着物の基板表向に付着することがしｉｔ： Ｌｉｃｌ
″ある。
これはコンデンザ用のアルミニウノ・蒸着や装ｒイ］ｊ
品の蒸着では重大な問題とｄならないが、磁気テープ用
薄膜や３１″導体用真空４ｆ’ｉ ＋磁気−ｊ−イスク
、複写機用ドラムを作るための頁’、’！ ｈ（ｊｌｊ
では重大な問題となる。
品の蒸着では重大な問題とｄならないが、磁気テープ用
薄膜や３１″導体用真空４ｆ’ｉ ＋磁気−ｊ−イスク
、複写機用ドラムを作るための頁’、’！ ｈ（ｊｌｊ
では重大な問題となる。
本発明は真空槽１内の排気をする場合、ホコリや塵埃が
飛散しないような初期＋１ＪＩ気速歴とするように排気
管７と９間に内径が１り１１えば１ ：２：３：４の排
気管１３，１４，１６．１６をそれぞれＩ没け、かつそ
の各排気管１３，１４，１５．１６に真空バルブ１８，
１９．２０．２１を設け、一方真空槽１と蓋２全密着さ
せるパンギン３は第２図に示すように一定の硬さ全イア
するゴムよりなる第５ベー、二 １のパツキン３１Ｌとその外側に第１のパツキン３ａ、
ｆ：ｖも硬度が約ＩＡのゴム、ｆ：りなる第２のパツキ
ン３ｂとで構成し、この第２のパツキン３ｂｌｄ第１の
パツキン３ａ工りもさらに前方に突出された大きさに形
成されている。
飛散しないような初期＋１ＪＩ気速歴とするように排気
管７と９間に内径が１り１１えば１ ：２：３：４の排
気管１３，１４，１６．１６をそれぞれＩ没け、かつそ
の各排気管１３，１４，１５．１６に真空バルブ１８，
１９．２０．２１を設け、一方真空槽１と蓋２全密着さ
せるパンギン３は第２図に示すように一定の硬さ全イア
するゴムよりなる第５ベー、二 １のパツキン３１Ｌとその外側に第１のパツキン３ａ、
ｆ：ｖも硬度が約ＩＡのゴム、ｆ：りなる第２のパツキ
ン３ｂとで構成し、この第２のパツキン３ｂｌｄ第１の
パツキン３ａ工りもさらに前方に突出された大きさに形
成されている。
以上のような構成からなり、つぎに排俄動作について述
べると、排気動作は捷ず真空バルブ１８を開いて最も内
径が小さい排気管１３に、ｌ：９初期排気を行ない、つ
ぎに真空バルブ１９全開いて排気管１３と１４を用いて
１）１気し５以下順に真空バルブ２０．２１ ’ｉ開い
て排気を行なう。この場合真空バルブ１８〜２１を順に
開放して行く時間間陥としては２分程度が適当である。
べると、排気動作は捷ず真空バルブ１８を開いて最も内
径が小さい排気管１３に、ｌ：９初期排気を行ない、つ
ぎに真空バルブ１９全開いて排気管１３と１４を用いて
１）１気し５以下順に真空バルブ２０．２１ ’ｉ開い
て排気を行なう。この場合真空バルブ１８〜２１を順に
開放して行く時間間陥としては２分程度が適当である。
前記排気量全段防菌に大きくして行く過程において、パ
ツキン３は１ず第２のパツキン３ｂに蓋２が密着し、そ
して次第に排気されて行くに従ってこの第２のパツキン
３ｂは変形して行き、蓋２は第２図の２点鎖線の位置に
移動して第１のパツキン３ａに密着され、真空槽１は確
実に排気された状態に保持される。
ツキン３は１ず第２のパツキン３ｂに蓋２が密着し、そ
して次第に排気されて行くに従ってこの第２のパツキン
３ｂは変形して行き、蓋２は第２図の２点鎖線の位置に
移動して第１のパツキン３ａに密着され、真空槽１は確
実に排気された状態に保持される。
前記パツキン３を第１のパツキン３ａ、第２のパツキン
３ｂでもって構成することに、１：ｖ蓋２とパツキン３
との初期密着性の問題に」：る差力圧の確作が安定に保
たれるものである。
３ｂでもって構成することに、１：ｖ蓋２とパツキン３
との初期密着性の問題に」：る差力圧の確作が安定に保
たれるものである。
このように、真空′４’４”ｊ １内の１ノ１気ｉｆ全
段階的に大きくして行くことに、Ｊ：り、ホコリや塵埃
が飛散することがなくなジ、しだがって被蒸着基板への
ホコリや塵埃の付着がなく５表面状態の良い製品が得ら
れるものである。第３図に蓋２とパツキン３の密着のだ
めの他の実施例を示す。
段階的に大きくして行くことに、Ｊ：り、ホコリや塵埃
が飛散することがなくなジ、しだがって被蒸着基板への
ホコリや塵埃の付着がなく５表面状態の良い製品が得ら
れるものである。第３図に蓋２とパツキン３の密着のだ
めの他の実施例を示す。
真空槽１には従来と同様のゴムからなるパツキン３を設
け、かつその真空槽１ （Ｉｌｌにエアーシリンダー２
２を取利け、そのピストン２２ａの先端部を蓋２に設け
た固定板２３に挿入してその先端全ボルト２４にて固定
板２３に係合する。
け、かつその真空槽１ （Ｉｌｌにエアーシリンダー２
２を取利け、そのピストン２２ａの先端部を蓋２に設け
た固定板２３に挿入してその先端全ボルト２４にて固定
板２３に係合する。
そして、前記エアーシリンダー２２に真空槽１の排気の
開始と同時にピストン２２＆に矢印Ｆ方向の力が働くよ
うにエアー全送り込むことにより。
開始と同時にピストン２２＆に矢印Ｆ方向の力が働くよ
うにエアー全送り込むことにより。
蓋２がパツキン３に加圧され、密着性が増大するように
したものである。
したものである。
７ ベータ
本発明はり、土の実施例より明らかなように５真空糟の
初期排気’ｎ： ｋ段階的に大きくして行く排気手段を
設けたものであり、これによれば真空槽内に残留してい
るホコリや塵埃の飛散が防止されるため、例えばこの真
空槽内に入れられる被蒸着基板等にホコリや塵埃がイマ
１着することがなく、表面状態の」：い製品がイ［Ｊら
れるもので、その効果は大である。
初期排気’ｎ： ｋ段階的に大きくして行く排気手段を
設けたものであり、これによれば真空槽内に残留してい
るホコリや塵埃の飛散が防止されるため、例えばこの真
空槽内に入れられる被蒸着基板等にホコリや塵埃がイマ
１着することがなく、表面状態の」：い製品がイ［Ｊら
れるもので、その効果は大である。
第１図は本発明の一実施例全示す概略構成図、第２図は
同要部側断面図、第３図は他の実施例の要部側断面図で
ある。 １・・・・・・真空槽５２・・・・・・蓋、３・・・・
・パツキン。 １３．１４，１５．１６・・・・・・排気管、１８，１
９゜２０．２１・・・・・・真空バルブ。 代１１（人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名
第 １ 図
同要部側断面図、第３図は他の実施例の要部側断面図で
ある。 １・・・・・・真空槽５２・・・・・・蓋、３・・・・
・パツキン。 １３．１４，１５．１６・・・・・・排気管、１８，１
９゜２０．２１・・・・・・真空バルブ。 代１１（人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名
第 １ 図
Claims (1)
- 真空槽と、その真空槽内の排気量全段階的に大きくなる
ように切換え可能な排気手段を備えたことをｌＩＮ徴と
する真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12894581A JPS5830488A (ja) | 1981-08-18 | 1981-08-18 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12894581A JPS5830488A (ja) | 1981-08-18 | 1981-08-18 | 真空排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5830488A true JPS5830488A (ja) | 1983-02-22 |
Family
ID=14997287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12894581A Pending JPS5830488A (ja) | 1981-08-18 | 1981-08-18 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5830488A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS625004A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-12 | Masanori Nakayama | 固体燃料燃焼装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5325845U (ja) * | 1976-08-07 | 1978-03-04 |
-
1981
- 1981-08-18 JP JP12894581A patent/JPS5830488A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5325845U (ja) * | 1976-08-07 | 1978-03-04 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS625004A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-12 | Masanori Nakayama | 固体燃料燃焼装置 |
| JPH0327802B2 (ja) * | 1985-06-28 | 1991-04-17 | Masanori Nakayama |
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