JPS582806A - 光結合器の製法 - Google Patents
光結合器の製法Info
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- JPS582806A JPS582806A JP10025881A JP10025881A JPS582806A JP S582806 A JPS582806 A JP S582806A JP 10025881 A JP10025881 A JP 10025881A JP 10025881 A JP10025881 A JP 10025881A JP S582806 A JPS582806 A JP S582806A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B6/2821—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using lateral coupling between contiguous fibres to split or combine optical signals
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本１ｌＷｉ４は光結合器の製法の改良に関する。
光結合器として従来、第１図に示す如き、透光性基板１
を有し、その透光性基板１内番こ、その主１１２側より
、光結合部Ｃを構成すべく互に近接対向して延長せる部
を有する線状の第１及び第２の光導液路Ｗ１及びＷ２が
形成さ、れ、而して光導液路Ｗ１及びＷ２の何れか一方
に伝播せる光を党紬舎部Ｃに警て他方に結合せしめで後
者の光導波路に党を伝播せしめる様になされてなる構成
のものが提案されている。
を有し、その透光性基板１内番こ、その主１１２側より
、光結合部Ｃを構成すべく互に近接対向して延長せる部
を有する線状の第１及び第２の光導液路Ｗ１及びＷ２が
形成さ、れ、而して光導液路Ｗ１及びＷ２の何れか一方
に伝播せる光を党紬舎部Ｃに警て他方に結合せしめで後
者の光導波路に党を伝播せしめる様になされてなる構成
のものが提案されている。
所で斯る光紬舎器に旋では、その光導液路Ｗ１及びＷ２
の光―合部ＣｆＪＩＩ威せるｉｌｋ菱ける内側間闘隔ｇ
を小とすれば、これに応じて光紬舎部Ｃを構成ＪＩｋ４
１１の−１ｋ専即ち紬会員りを小に旋てはその光結合ｓ
Ｃを梼威せる部ＩＣ掛ける内側間間隔１１〜２声鵬の如
く〈極めて小とすることがａｗｉｈ婁れているものであ
る。
の光―合部ＣｆＪＩＩ威せるｉｌｋ菱ける内側間闘隔ｇ
を小とすれば、これに応じて光紬舎部Ｃを構成ＪＩｋ４
１１の−１ｋ専即ち紬会員りを小に旋てはその光結合ｓ
Ｃを梼威せる部ＩＣ掛ける内側間間隔１１〜２声鵬の如
く〈極めて小とすることがａｗｉｈ婁れているものであ
る。
然し乍ら％ｌｔ＊のｌＩ＠党紬會−のｍｌ渋に於ては、
上遮せる所望事項を満足誓シめるに困−を伴うものであ
った。即ち従来の斯種光結合器のＩＩＫ洟に旋ては、■
示ｔＩｐｊｌＩ説明はこれを省略するも、光導波＠Ｗｌ
及びＷ２のパターンに対応せるパターンを有するマスク
を用いて透光性基板１内に光導波路Ｗ１及びＷ２を形成
せる構成を得る機番こなされているを普通とするも、こ
の場合、マスタを最小寸法が、１〜２μｍの如くに黴類
であるというパターンを有するものとして形成するのは
極めて困難なものである。この為光導液路Ｗ１及びＷ２
をその光結合ｌｌＣを構成せる優に旋ける内側間閾隔ｇ
をして１〜２ｐｙｍの如くに小とすることが極めて困難
で、依って上述せる所望事項を満足せしめるに困難を伴
うものであった。
上遮せる所望事項を満足誓シめるに困−を伴うものであ
った。即ち従来の斯種光結合器のＩＩＫ洟に旋ては、■
示ｔＩｐｊｌＩ説明はこれを省略するも、光導波＠Ｗｌ
及びＷ２のパターンに対応せるパターンを有するマスク
を用いて透光性基板１内に光導波路Ｗ１及びＷ２を形成
せる構成を得る機番こなされているを普通とするも、こ
の場合、マスタを最小寸法が、１〜２μｍの如くに黴類
であるというパターンを有するものとして形成するのは
極めて困難なものである。この為光導液路Ｗ１及びＷ２
をその光結合ｌｌＣを構成せる優に旋ける内側間閾隔ｇ
をして１〜２ｐｙｍの如くに小とすることが極めて困難
で、依って上述せる所望事項を満足せしめるに困難を伴
うものであった。
依って本発−は上述せる所望事項を容重に満足せしめ得
る新規な光紬會器の製法を提案せんとするもので、以下
詳述する所より明らかとなるであろう。
る新規な光紬會器の製法を提案せんとするもので、以下
詳述する所より明らかとなるであろう。
第２図は本願嬉１番目の発明曇ζよる光結會器のｍ法の
実施例を示し、平らな主面１１を有す 、。
実施例を示し、平らな主面１１を有す 、。
る例えば石英でなる透光性基４［１２を予め用意しく１
１１２図ム）、而してその透光性基１ｊ１２の主面１１
上に透光性基＃ｉ１２に比し大なる層折率を有するそれ
自体鑞導波絡となり得る例えばＧ・のドープされてなる
石英でなる光導液路用層１３をそれ自体は公知の例えば
所１１ＣＶＤ法によって形威し０次てその光導波路用層
１Ｓ上ｋ例えばム１でなる易酸化性層１４をそれ自体は
公知の真空蒸着、スパッタリング傳によって形成する（
＄１２１１８）。
１１２図ム）、而してその透光性基１ｊ１２の主面１１
上に透光性基＃ｉ１２に比し大なる層折率を有するそれ
自体鑞導波絡となり得る例えばＧ・のドープされてなる
石英でなる光導液路用層１３をそれ自体は公知の例えば
所１１ＣＶＤ法によって形威し０次てその光導波路用層
１Ｓ上ｋ例えばム１でなる易酸化性層１４をそれ自体は
公知の真空蒸着、スパッタリング傳によって形成する（
＄１２１１８）。
次Ｋｌｈｍ化性層″上に一＠８を以？て長さＬ＃丈は延
長せる郁１５とｉの部１ｓの両端より外方に幅８より大
なる幅を以って延長せる部１６及び１７とを有する例え
ばフオ′トレジストてなるストライプ状マスク層１８を
それ自体は公知の方法によって形成する（第２１１０）
。
長せる郁１５とｉの部１ｓの両端より外方に幅８より大
なる幅を以って延長せる部１６及び１７とを有する例え
ばフオ′トレジストてなるストライプ状マスク層１８を
それ自体は公知の方法によって形成する（第２１１０）
。
次に易酸化性層１４に対するストライプ状マスク層１−
をマスクとせるエツチング処理により易酸化性層１４の
ストライプ状マスタ層１８下の領域による、徹ってスト
ライプ状マスク層１・の１ｌｌｓ、１４１Ｌび１７下の
ｉｌｌ？、２０１び２１を有するム４によるストライプ
状墨酸化性層２２を形成する（嬉２１１Ｄ ）。
をマスクとせるエツチング処理により易酸化性層１４の
ストライプ状マスタ層１８下の領域による、徹ってスト
ライプ状マスク層１・の１ｌｌｓ、１４１Ｌび１７下の
ｉｌｌ？、２０１び２１を有するム４によるストライプ
状墨酸化性層２２を形成する（嬉２１１Ｄ ）。
次にストライプ状マスク層１８をマスクとせる態様を以
ってストライプ状晶酸化性層２２に対する１例えば６０
℃程度の温水に浸漬することＫよる。酸化処−をなし、
依ってストライプ状易酸化性層２２をその相対向する第
１及び第２の儒−２！ＩＬ及び２５Ｒ＠より酸化し、斯
くてストライプ状易酸化性層２２の第１及び第２の儒画
部２４Ｌ及び２４Ｒを、夫々易酸化性層２２を構成せる
材料の鹸化物でなる１μ■〜数ｆｉｖｅ８度の幅りを有
する第１及び第２の線状酸化物層Ｍ１及びＭ査に形成す
る（嬉２図Ｅ）。
ってストライプ状晶酸化性層２２に対する１例えば６０
℃程度の温水に浸漬することＫよる。酸化処−をなし、
依ってストライプ状易酸化性層２２をその相対向する第
１及び第２の儒−２！ＩＬ及び２５Ｒ＠より酸化し、斯
くてストライプ状易酸化性層２２の第１及び第２の儒画
部２４Ｌ及び２４Ｒを、夫々易酸化性層２２を構成せる
材料の鹸化物でなる１μ■〜数ｆｉｖｅ８度の幅りを有
する第１及び第２の線状酸化物層Ｍ１及びＭ査に形成す
る（嬉２図Ｅ）。
次にストライプ状マスタ層１８をストライプ状島酸化性
層２２上より除去しく１Ｉ２１１Ｆ）、続いて易酸化性
層２２に対するエツチング速度が線状酸化物層Ｍ１′及
びＭ２のそれに比し大であるというエッチャントを用い
たエツチング処理、ｆｌえば易酸化性層２２がム１でな
り、従って線状酸化物層Ｍ１及びＭ２がムＪＩ！酸化物
層である場合１例えばＣＣｊ４ガスを用いたプラズマエ
ツチン！＃＆珈をなし、ストライプ状島酸化性層２２を
線状酸化物層Ｍ１及びＭ２を除いて先導波路用層１ｓ上
より除去する（第２図Ｇ）。
層２２上より除去しく１Ｉ２１１Ｆ）、続いて易酸化性
層２２に対するエツチング速度が線状酸化物層Ｍ１′及
びＭ２のそれに比し大であるというエッチャントを用い
たエツチング処理、ｆｌえば易酸化性層２２がム１でな
り、従って線状酸化物層Ｍ１及びＭ２がムＪＩ！酸化物
層である場合１例えばＣＣｊ４ガスを用いたプラズマエ
ツチン！＃＆珈をなし、ストライプ状島酸化性層２２を
線状酸化物層Ｍ１及びＭ２を除いて先導波路用層１ｓ上
より除去する（第２図Ｇ）。
験くて、嬉２１１Ｇｋ示す如會、透党性基板１２上に光
導波路用層１ｓが形成され、その光４波路用層１ｓ上＃
ｃ、 互Ｋ （８−２Ｄ ）ノ内１１闘閾隔ｇ′を保っ
て近接対向して長８ＬＩを以って延長せる部２ｓ及び２
６を有する線状酸化物層Ｍ１及びＭ２が形成されてなる
構成を有する一的と甘る光結合ＩＩＵを得る。
導波路用層１ｓが形成され、その光４波路用層１ｓ上＃
ｃ、 互Ｋ （８−２Ｄ ）ノ内１１闘閾隔ｇ′を保っ
て近接対向して長８ＬＩを以って延長せる部２ｓ及び２
６を有する線状酸化物層Ｍ１及びＭ２が形成されてなる
構成を有する一的と甘る光結合ＩＩＵを得る。
以上が本願嬉１番■の発明による光結合器のＩＩＩ法の
一例であるが、斯るｍ法によって得られる嬉ｆｍｌ（Ｈ
ｅ示す光結合器υによれば、それが上達せる構成を有す
るので、先導ＩＩＬ路用層１６の線状酸化物層Ｍ１及び
Ｍ２下の纏状部により。
一例であるが、斯るｍ法によって得られる嬉ｆｍｌ（Ｈ
ｅ示す光結合器υによれば、それが上達せる構成を有す
るので、先導ＩＩＬ路用層１６の線状酸化物層Ｍ１及び
Ｍ２下の纏状部により。
実効的に互に内側闘間隔ｇ′を保って近接対向して長８
Ｌ′を以って延長せる部を有するＪｌｌｌ及び＄１１２
のＩＩ秋光場波路Ｗ １．、 ’、及びＷ２’を構成し
ているものであり（但し線状酸化物層Ｍ１及びＭ２が光
導波１１１１Ｍ層１３に比し大なる屈折率を有する場合
、線状酸化物層Ｍ１及びＭ２のＫて決められる予定値以
下にするを要す）、Ｘ線状酸化物層Ｍ１及びＭ２の部２
５及び２６従って線状光導波路Ｗｌ’及びＷ２’の部２
５及び２６下の部の内側間関隔ｇ’（−８−２Ｄ）及び
長さＬ′が適ｍＫ選定されていれば、ＩＩ状光導波路Ｗ
１’及びＷ２’の線状酸化物層Ｍ１及びＭ２の郁２５及
び２６下の部及び光導波路用層１ｓのそれ等部間の部に
より光結合部Ｃ′を構成しているものてあり、依って嬉
１１１Ｉにて上達せる従来の光結合器の場合と同様に１
党結合器としての機能が得られるものである。
Ｌ′を以って延長せる部を有するＪｌｌｌ及び＄１１２
のＩＩ秋光場波路Ｗ １．、 ’、及びＷ２’を構成し
ているものであり（但し線状酸化物層Ｍ１及びＭ２が光
導波１１１１Ｍ層１３に比し大なる屈折率を有する場合
、線状酸化物層Ｍ１及びＭ２のＫて決められる予定値以
下にするを要す）、Ｘ線状酸化物層Ｍ１及びＭ２の部２
５及び２６従って線状光導波路Ｗｌ’及びＷ２’の部２
５及び２６下の部の内側間関隔ｇ’（−８−２Ｄ）及び
長さＬ′が適ｍＫ選定されていれば、ＩＩ状光導波路Ｗ
１’及びＷ２’の線状酸化物層Ｍ１及びＭ２の郁２５及
び２６下の部及び光導波路用層１ｓのそれ等部間の部に
より光結合部Ｃ′を構成しているものてあり、依って嬉
１１１Ｉにて上達せる従来の光結合器の場合と同様に１
党結合器としての機能が得られるものである。
斯＜ ｆｌｌｆ図にて上述せる本ｌｉ＠にょるｌｓ法に
よれば、第１図にて上述せる従来の光結合器とＭ様の光
結合器としての機能の得られる光結合＠Ｕを得ることが
出来るが、その先導ａＳＷｌ’及びＷ２’の光軸・１合
ｌＩＵを構成せる部に旋ける内儒関閤隔ｌが線状酸化物
層Ｍ１及びＭ２の ＠２５及び２６の内側関関陽ｇ
’によって決められ。
よれば、第１図にて上述せる従来の光結合器とＭ様の光
結合器としての機能の得られる光結合＠Ｕを得ることが
出来るが、その先導ａＳＷｌ’及びＷ２’の光軸・１合
ｌＩＵを構成せる部に旋ける内儒関閤隔ｌが線状酸化物
層Ｍ１及びＭ２の ＠２５及び２６の内側関関陽ｇ
’によって決められ。
そしてその内側間間隔−′がストライプ状マスタ層１８
を形成する工程（第２１１Ｃ）に於けるストライプ状マ
スタ層１１の暢８と線状酸化物層Ｍ１及びＭ２を形成す
る工＠Ｉ（第２図ｍ）に於ける線状酸化物層Ｍ１及びＭ
２の幅りとにより（８−２Ｄ）て表わされるものとして
決められるものである。この為光導波路Ｗｌ’及びＷ２
’の党紬壷−Ｃ′を構成せる−に警ける内側間間隔ｇ′
を、ストライプ状！スク層１０を形成する工種＃ｃｌて
ストライプ状マスタ層１８の部１５の幅８を最小寸法て
形成するとした場合に旋けるその最小寸法幅以下に形威
し得、しかもその間隔ｇ′は、これを線状酸化物層Ｍ１
及びＭ２を形成する工種に論ける駿化処埴の時間を大と
して線状酸化物層Ｍ１及びＭ２の＠Ｄを大とするに応じ
て小となるものである。
を形成する工程（第２１１Ｃ）に於けるストライプ状マ
スタ層１１の暢８と線状酸化物層Ｍ１及びＭ２を形成す
る工＠Ｉ（第２図ｍ）に於ける線状酸化物層Ｍ１及びＭ
２の幅りとにより（８−２Ｄ）て表わされるものとして
決められるものである。この為光導波路Ｗｌ’及びＷ２
’の党紬壷−Ｃ′を構成せる−に警ける内側間間隔ｇ′
を、ストライプ状！スク層１０を形成する工種＃ｃｌて
ストライプ状マスタ層１８の部１５の幅８を最小寸法て
形成するとした場合に旋けるその最小寸法幅以下に形威
し得、しかもその間隔ｇ′は、これを線状酸化物層Ｍ１
及びＭ２を形成する工種に論ける駿化処埴の時間を大と
して線状酸化物層Ｍ１及びＭ２の＠Ｄを大とするに応じ
て小となるものである。
依って第２８１４（て上述せる本願１ｓ１番目の発＠に
よるＩＩ渋くよれば、光導波路Ｗｌ’及びＷ２’を、そ
の光結合部Ｃ′を構成せる部ｋＩＩｔける内儒闘関隔１
をして、＠１ｇＫ、て上述せる従来の製法番とよって形
成し得る光結合器に於ける。光導波路Ｗ１及びＷ２の謹
合部Ｃを構成せる部ての内側間間隔ｇ［比し小なる％１
〜２μｒｏ１１度の間隔を有するものとして容易に形威
し得、又これに応じて光導波路Ｗ１’及びＷ２’を、そ
の光結合１１１Ｃ′を構成せる部の長さ即ち結合長Ｌ′
をして。
よるＩＩ渋くよれば、光導波路Ｗｌ’及びＷ２’を、そ
の光結合部Ｃ′を構成せる部ｋＩＩｔける内儒闘関隔１
をして、＠１ｇＫ、て上述せる従来の製法番とよって形
成し得る光結合器に於ける。光導波路Ｗ１及びＷ２の謹
合部Ｃを構成せる部ての内側間間隔ｇ［比し小なる％１
〜２μｒｏ１１度の間隔を有するものとして容易に形威
し得、又これに応じて光導波路Ｗ１’及びＷ２’を、そ
の光結合１１１Ｃ′を構成せる部の長さ即ち結合長Ｌ′
をして。
第１図にで上述せる従来の製法によって形成し得る光結
合器Ｕに於ける。結合部Ｃの結合長Ｌｋ比し格段的に小
なるものとして形成し得、依って光結合ＩＩＵを第１１
ＥＩＫて上述せる従来の製法の場合化比し格段的に小■
密夷に且高い結合効率を有するものとして得ることが出
来るという大なる特徴を有するものである。
合器Ｕに於ける。結合部Ｃの結合長Ｌｋ比し格段的に小
なるものとして形成し得、依って光結合ＩＩＵを第１１
ＥＩＫて上述せる従来の製法の場合化比し格段的に小■
密夷に且高い結合効率を有するものとして得ることが出
来るという大なる特徴を有するものである。
次に本願館２番目の発明による光結合器の製法の一例を
述べるに、第２図Ａ〜（ＨＣて上述せると１ｉｉｉｌｌ
ｌｌの工種を採って、第Ｓ図ムに示す如き。
述べるに、第２図Ａ〜（ＨＣて上述せると１ｉｉｉｌｌ
ｌｌの工種を採って、第Ｓ図ムに示す如き。
透光性基板、１２上Ｅ１ｍ路用層１５が形成され。
その光導波路用層１５上に、互［（８−２Ｄ）の内側間
間隔ｇ′を保って近接対向して長さＬ′を以って延長せ
る部２５及び２６を有する線状鹸化物層Ｍ１及びＭｌが
形成されてなる構成を得る。
間隔ｇ′を保って近接対向して長さＬ′を以って延長せ
る部２５及び２６を有する線状鹸化物層Ｍ１及びＭｌが
形成されてなる構成を得る。
次＜ｍ１ｅｎに示す−く、導鋏酪用層１５に対する鐘状
酸化物層Ｍ１及びＭｌを！スタとせるエツナｙダ処ＩＩ
Ｅより光導波路用層１ｓの線状酸化物層Ｍ１及びＭ２下
の領域による第１及びｓ２の鐘状光導波１１Ｗ１＃盈び
Ｗ２＃を形威し。
酸化物層Ｍ１及びＭｌを！スタとせるエツナｙダ処ＩＩ
Ｅより光導波路用層１ｓの線状酸化物層Ｍ１及びＭ２下
の領域による第１及びｓ２の鐘状光導波１１Ｗ１＃盈び
Ｗ２＃を形威し。
続いて嬉Ｓ■Ｃ＜示す如く、−状酸化物層Ｍ１員びＭｌ
を線状光導波路Ｗ１″及びＷ２＃上より瞼★し、Ｊｌ＜
て−的とせるＭｌ！を得る。
を線状光導波路Ｗ１″及びＷ２＃上より瞼★し、Ｊｌ＜
て−的とせるＭｌ！を得る。
以上が本願嬉鵞豐■の１ｍ１ｊｌｃよる党紬會量のＩｌ
織の−１１”ｌ！あるが、、ｉする製法によって得られ
る嬉暴閣ＣＫ示す光結合器υによれば、それが逓光懺基
Ｉ［１２上に、夏に（８−４Ｄ）の内側間−１ａｇ’を
保って近接対向して長さＬ′を以って延長せる＠ｓ１１
びＳ２を有する嬉１及び第２の線状光ＩＩ績酪Ｗ１＃及
びＷ２＃を形成せる構成を有Ｕ−、−’ ６して線状光
導波路ＷＩＩ及びＷ２Ｉの互に近接対向せるＩＩＩＩＩ
Ａびｓ２の内側間間隔１が適轟に選定されていれば、線
状光導綬ｓＷＩ’及り光結合１１０＃を構成しているも
のであり、依って嬉１図にで上述せる従来の光結合器の
場合と同様ｆ：、光結合器としての機能が得られるもの
である。
織の−１１”ｌ！あるが、、ｉする製法によって得られ
る嬉暴閣ＣＫ示す光結合器υによれば、それが逓光懺基
Ｉ［１２上に、夏に（８−４Ｄ）の内側間−１ａｇ’を
保って近接対向して長さＬ′を以って延長せる＠ｓ１１
びＳ２を有する嬉１及び第２の線状光ＩＩ績酪Ｗ１＃及
びＷ２＃を形成せる構成を有Ｕ−、−’ ６して線状光
導波路ＷＩＩ及びＷ２Ｉの互に近接対向せるＩＩＩＩＩ
Ａびｓ２の内側間間隔１が適轟に選定されていれば、線
状光導綬ｓＷＩ’及り光結合１１０＃を構成しているも
のであり、依って嬉１図にで上述せる従来の光結合器の
場合と同様ｆ：、光結合器としての機能が得られるもの
である。
斯く第５図にて上述せる本発明によるＩＩ銖によれば１
ＩＩＥｊζて上達せる従来の光結合−と同様の光結合器
としての機能の得られる光結合ｌＩＵを得ることが出来
るが、その光導波路Ｗ１＃及びＷ２＃の光結合部Ｃ＃を
構威せる＠Ｓ１及びｓ２に旋ける内側間間隔ｇ′が、１
１１２図にて上述せる場合と同様に、ストライプ状マス
ク層１Ｂを形成する工ｓ（ｇ＊ｇｃ ）Ｋ＊け！Ｊ ）
ｙイｙ状！スタ層１８の幅８と線状酸化物層Ｍ１及び
Ｍｌを形成する工１１（第２１１１１）に掛ける線状酸
化物層Ｍ１及びＭｌの幅りとｋより（８−２Ｄ）で表わ
されるものとして決められるものである。゛との為光導
ＩＩＬ絡Ｗ１’及びＷ２＃の光結合部Ｃ＃を構威せる部
ｓ１及び５２に、旋ける内側関関隔厘′を、第２図にて
上述せる如くに小に形成し得るものである。
ＩＩＥｊζて上達せる従来の光結合−と同様の光結合器
としての機能の得られる光結合ｌＩＵを得ることが出来
るが、その光導波路Ｗ１＃及びＷ２＃の光結合部Ｃ＃を
構威せる＠Ｓ１及びｓ２に旋ける内側間間隔ｇ′が、１
１１２図にて上述せる場合と同様に、ストライプ状マス
ク層１Ｂを形成する工ｓ（ｇ＊ｇｃ ）Ｋ＊け！Ｊ ）
ｙイｙ状！スタ層１８の幅８と線状酸化物層Ｍ１及び
Ｍｌを形成する工１１（第２１１１１）に掛ける線状酸
化物層Ｍ１及びＭｌの幅りとｋより（８−２Ｄ）で表わ
されるものとして決められるものである。゛との為光導
ＩＩＬ絡Ｗ１’及びＷ２＃の光結合部Ｃ＃を構威せる部
ｓ１及び５２に、旋ける内側関関隔厘′を、第２図にて
上述せる如くに小に形成し得るものである。
依って第５ｒｌＪＫて上述せる本願第２番目の発ｆ１４
による製法によるも、詳細説明はこれを省略するも、第
２図にて上述せる本願第１番目の発明と一様の優れた特
徴を有するものである。
による製法によるも、詳細説明はこれを省略するも、第
２図にて上述せる本願第１番目の発明と一様の優れた特
徴を有するものである。
崗上述に於ては本願第１及び第２番目の発明の夫々につ
き一例を述べたに過ぎず１本発明の精神を脱することな
しに種々の変型変更をなし得るであろう。
き一例を述べたに過ぎず１本発明の精神を脱することな
しに種々の変型変更をなし得るであろう。
第１図は従来の光結合器を示す略−的斜視図。
纂２１１ム〜Ｇは本願第１番目の発明による光結合器の
製法の一例を示す順次の１薯に賛ける路線的斜視図、第
３図ム〜Ｃは本願第２番目の発明による光結合器の製法
の一例を示す順次の工ｉｓ＜徒ける路線的斜視図である
。 図中１２は透光性基板、１５は光導波路用層。 １４は晶酸化性層、１８はストライプ状マスク層、２２
はストライプ状易酸化性層、Ｍｌ及びＭｌは線状酸化物
層、 Ｗ１’、Ｗ２’、 Ｗ１’、及びＷ２１は縁状光
導を路を夫々示す・ 出願人 日本電信電話公社 第１図 フ 第２図 第２図 第２図
製法の一例を示す順次の１薯に賛ける路線的斜視図、第
３図ム〜Ｃは本願第２番目の発明による光結合器の製法
の一例を示す順次の工ｉｓ＜徒ける路線的斜視図である
。 図中１２は透光性基板、１５は光導波路用層。 １４は晶酸化性層、１８はストライプ状マスク層、２２
はストライプ状易酸化性層、Ｍｌ及びＭｌは線状酸化物
層、 Ｗ１’、Ｗ２’、 Ｗ１’、及びＷ２１は縁状光
導を路を夫々示す・ 出願人 日本電信電話公社 第１図 フ 第２図 第２図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、透光１１！板上に当該透光性基板に比し大なる履折
率を有する光導波用層を形成する工程と、 １１１１ｔＩＩＢ皺趨層上にストライプ状易酸化性層を
形成する工１と、 諌スーライブ状墨酸化僑層に対する蒙化麩１１１Ｃより
当該ストライプ状易酸化性層の相対幽する菖１及び嬉２
の備一部を夫々第１１びＩＩ２の線状酸化物層に形成す
る工程と、上記ストライプ状Ｓ酸化性層に対するエツチ
ング処、Ｉｉｋより当該ストライプ状易酸化性層の上記
１１及び第２の線状酸化物層以外の領域を除去するニー
とを含む事を１％黴とする光結合器の製法。 ２、透光性基板上に当該透光性基板に比し大なる屈折率
を有する光尋披用層を形成する工程と、 該光導波用層上にストライプ状易酸化性層を形成する工
程と、 皺ストライプ状５ＩＩＩ化性層に対する酸化処！棹より
当該ストライプ状易酸化性層の相対向する第１及び第２
の１１ｍ＋部を夫々第１及び第２の線状酸化物層に形成
する工程と、上記ストライプ状易酸化性層に対するエツ
チング処理により！！鋏ストライプ状１１Ｉ化性層の上
記第１及び第２の線状酸化物層以外の領域を除去する工
程と、 上Ｉｅ党導披用層に対する上記線状酸化物層をマスクと
せるエツチングＭＩＩＫより゛上記光導波用層の上記線
状酸化一層下の領域６Ｃよる線状の第１及び第２の導波
路を形成する工程とを含む事を特徴とする光結合器の製
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10025881A JPS582806A (ja) | 1981-06-27 | 1981-06-27 | 光結合器の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10025881A JPS582806A (ja) | 1981-06-27 | 1981-06-27 | 光結合器の製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS582806A true JPS582806A (ja) | 1983-01-08 |
Family
ID=14269186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10025881A Pending JPS582806A (ja) | 1981-06-27 | 1981-06-27 | 光結合器の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582806A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01169406A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-04 | Hitachi Ltd | 導波路型光デバイス |
| US20160223748A1 (en) * | 2013-09-20 | 2016-08-04 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical device having a stepwise or tapered light input/output part and manufacturing method therefor |
-
1981
- 1981-06-27 JP JP10025881A patent/JPS582806A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01169406A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-04 | Hitachi Ltd | 導波路型光デバイス |
| US20160223748A1 (en) * | 2013-09-20 | 2016-08-04 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical device having a stepwise or tapered light input/output part and manufacturing method therefor |
| US9869815B2 (en) * | 2013-09-20 | 2018-01-16 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Optical device having a stepwise or tapered light input/output part and manufacturing method therefor |
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