JPS58217896A - 真空槽内の液体の排出装置 - Google Patents
真空槽内の液体の排出装置Info
- Publication number
- JPS58217896A JPS58217896A JP10064582A JP10064582A JPS58217896A JP S58217896 A JPS58217896 A JP S58217896A JP 10064582 A JP10064582 A JP 10064582A JP 10064582 A JP10064582 A JP 10064582A JP S58217896 A JPS58217896 A JP S58217896A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- vacuum
- valve
- tank
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は気体と液体が存在する真空槽において、その真
空を保持したま＼前記液体を排出する装置に関するもの
である。
空を保持したま＼前記液体を排出する装置に関するもの
である。
従来の真空槽は第１図に示すように、その頂部に真空破
壊弁８および吸入弁６を有する吸入管７が取付けられる
と共に、逆流防止弁４を有する配管５１に介して真空ポ
ンプ３が接続され、かつ真空槽１の底部に排出弁９を有
する排出管１０が連結されている。
壊弁８および吸入弁６を有する吸入管７が取付けられる
と共に、逆流防止弁４を有する配管５１に介して真空ポ
ンプ３が接続され、かつ真空槽１の底部に排出弁９を有
する排出管１０が連結されている。
このような構造からなる真空槽１では、吸入弁６を開き
真空ポンプ３を運転して吸入作用を行っている間は、真
空槽１内に溜まった液体を排出することができない欠点
がある。
真空ポンプ３を運転して吸入作用を行っている間は、真
空槽１内に溜まった液体を排出することができない欠点
がある。
本発明は上記欠点を解消することを目的とするもので、
気体と液体が存在する真空槽において、この真空槽に補
助槽を接続し、この補助槽の底部に排出弁を付設すると
共に、前記両槽の上部を大気側に開口する三方切換弁を
介して互いに連通したことを特徴とするものである。
気体と液体が存在する真空槽において、この真空槽に補
助槽を接続し、この補助槽の底部に排出弁を付設すると
共に、前記両槽の上部を大気側に開口する三方切換弁を
介して互いに連通したことを特徴とするものである。
以下本発明の一実施例を図面について説明する。
第２図に示す符号のうち、第１図に示す符号と同一のも
のは同一部分を示すものとする。
のは同一部分を示すものとする。
第２図において、２は真空槽ｌの底部に一体に結合され
た補助槽、１１は大気側に開口すると共に、真空槽１お
よび補助槽２の上部に配管１４゜１５を介してそれぞれ
連通する三方切換弁、１２は真空槽１および補助槽２の
両底部を連通ずる配管、１３は配管１２に設けられた逆
流防止弁である。その他の構造は第１図に示す従来例と
同一であるから説明を省略する。
た補助槽、１１は大気側に開口すると共に、真空槽１お
よび補助槽２の上部に配管１４゜１５を介してそれぞれ
連通する三方切換弁、１２は真空槽１および補助槽２の
両底部を連通ずる配管、１３は配管１２に設けられた逆
流防止弁である。その他の構造は第１図に示す従来例と
同一であるから説明を省略する。
本実施例は上記のように構成したので、吸入弁６を開き
真空ポンプ３を運転して吸入を行っている場合でも、三
方切換弁１１を大気側に切換えると共に排出弁９を開き
、大気を三方切換弁１１および配管１５を経て補助槽２
内に導入すれば、真空槽１から配管１２および逆流防止
弁１３を経て補助槽２内に流入して溜まっていた液体を
排出管１０および排出弁９を経て排出することができる
。
真空ポンプ３を運転して吸入を行っている場合でも、三
方切換弁１１を大気側に切換えると共に排出弁９を開き
、大気を三方切換弁１１および配管１５を経て補助槽２
内に導入すれば、真空槽１から配管１２および逆流防止
弁１３を経て補助槽２内に流入して溜まっていた液体を
排出管１０および排出弁９を経て排出することができる
。
上述の実施例では真空槽１と補助槽２を一体に形成した
が、別個に形成して接続してもよいことはもちろんであ
る。
が、別個に形成して接続してもよいことはもちろんであ
る。
以上説明したように本発明によれば、真空ポンプの運転
中でも真空槽内の真空を保持したま＼で、真空槽内の液
体を排出することができるので、吸入を中断することな
く続行することができる。
中でも真空槽内の真空を保持したま＼で、真空槽内の液
体を排出することができるので、吸入を中断することな
く続行することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の真空槽の配管系統図、第２図は本発明の
液体排出装置の一実施例を備える真空槽の配管系統図で
おる。 １・・・空気槽、２・・・補助槽、９・・・排出弁、１
１・・・三方切換弁、１４．１５・・・配管。 （３） 第 １ 口 ｌθ Ｔ ２ 図
液体排出装置の一実施例を備える真空槽の配管系統図で
おる。 １・・・空気槽、２・・・補助槽、９・・・排出弁、１
１・・・三方切換弁、１４．１５・・・配管。 （３） 第 １ 口 ｌθ Ｔ ２ 図
Claims (1)
- 気体と液体が存在する真空槽において、この真空槽に補
助槽を接続し、この補助槽の底部に排出弁を付設すると
共に、前記両槽の上部を大気側に関口する三方切換弁を
介して互いに連通したことを特徴とする真空槽内の液体
の排出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10064582A JPS58217896A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 真空槽内の液体の排出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10064582A JPS58217896A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 真空槽内の液体の排出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58217896A true JPS58217896A (ja) | 1983-12-17 |
| JPH0310840B2 JPH0310840B2 (ja) | 1991-02-14 |
Family
ID=14279556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10064582A Granted JPS58217896A (ja) | 1982-06-14 | 1982-06-14 | 真空槽内の液体の排出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58217896A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017007811A (ja) * | 2015-06-22 | 2017-01-12 | 株式会社ヒラノテクシード | 吸引装置とそれを用いたウエブの接続装置 |
-
1982
- 1982-06-14 JP JP10064582A patent/JPS58217896A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017007811A (ja) * | 2015-06-22 | 2017-01-12 | 株式会社ヒラノテクシード | 吸引装置とそれを用いたウエブの接続装置 |
| TWI688461B (zh) * | 2015-06-22 | 2020-03-21 | 日商平野公司 | 吸引裝置及使用該吸引裝置之料片的連接裝置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0310840B2 (ja) | 1991-02-14 |
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