JPS58215629A - 電気光学素子の製造法及びその装置 - Google Patents
電気光学素子の製造法及びその装置Info
- Publication number
- JPS58215629A JPS58215629A JP57099857A JP9985782A JPS58215629A JP S58215629 A JPS58215629 A JP S58215629A JP 57099857 A JP57099857 A JP 57099857A JP 9985782 A JP9985782 A JP 9985782A JP S58215629 A JPS58215629 A JP S58215629A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode plate
- stage
- liquid crystal
- double
- sided electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Liquid Crystal (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、液晶表示素子などの電気光学素子の製造法お
よびその装置に関し、特に積層型液晶セルを有する表示
素子の製造法およびその装置−関するものである。
よびその装置に関し、特に積層型液晶セルを有する表示
素子の製造法およびその装置−関するものである。
積層型液晶セルは、例えば第１図に示す如き構造のもの
とすることができる。第１図において、液晶層１０が基
板１２と１３によりサンドイッチされ、さらに液晶層１
１が基板１３と１４によりサンドイッチされてい、る。
とすることができる。第１図において、液晶層１０が基
板１２と１３によりサンドイッチされ、さらに液晶層１
１が基板１３と１４によりサンドイッチされてい、る。
この時、基板１３（中間基板）は、その両面に電極１５
と１６が文字、数字あるいは図形のパターンで形成され
ており、この電極１５と１６に対向して基板１２と１４
の上には電極１７と１８が形成されている。液晶層１０
は電極１５と１７の間に印加された電圧によって所定の
パターンに従った光学的変化を惹き起こすことができ、
又液晶層１１は電極１６と１８の間に印加された電圧に
よって光学的変化を生じることができる。
と１６が文字、数字あるいは図形のパターンで形成され
ており、この電極１５と１６に対向して基板１２と１４
の上には電極１７と１８が形成されている。液晶層１０
は電極１５と１７の間に印加された電圧によって所定の
パターンに従った光学的変化を惹き起こすことができ、
又液晶層１１は電極１６と１８の間に印加された電圧に
よって光学的変化を生じることができる。
液晶層に光学的変化を生じさせる手段としては、例えば
一対の電極板を布で一方向にラビングにより配向処理し
、しかる後ラビング方向が互に直交する様にセル組みし
、正の誘電異方性を有するネマチック液晶を封入してか
らセルの外側の両面に偏光膜を設け、かかる電極間に電
圧を印加するとねじれネマチック液晶に光学的変化を生
じさせることが知られている。
一対の電極板を布で一方向にラビングにより配向処理し
、しかる後ラビング方向が互に直交する様にセル組みし
、正の誘電異方性を有するネマチック液晶を封入してか
らセルの外側の両面に偏光膜を設け、かかる電極間に電
圧を印加するとねじれネマチック液晶に光学的変化を生
じさせることが知られている。
従って、前述の積層型液晶セルを製造する際には、中間
基板の両面をラビングにより配向処理することが必要で
ある。このため、従来では中間基板となる両面電極板２
２を第２図に示す如きステージ２０の上に乗せてから、
一方の面をラビングローラ２１で矢標２３の方向にラビ
ング処理し、しかる後にかかる両面電極板２２の面を反
転してから他方の面を再びラビングローラ２１でラビン
グ処理する方法が採用されていた。しかし、この方法は
、ラビング処理済み面がステージ２０の面と直接に接触
するため、ラビング処理面に傷を生じ、このため液晶が
配向不良を起こす欠点があるので、実用的な方法ではな
い。
基板の両面をラビングにより配向処理することが必要で
ある。このため、従来では中間基板となる両面電極板２
２を第２図に示す如きステージ２０の上に乗せてから、
一方の面をラビングローラ２１で矢標２３の方向にラビ
ング処理し、しかる後にかかる両面電極板２２の面を反
転してから他方の面を再びラビングローラ２１でラビン
グ処理する方法が採用されていた。しかし、この方法は
、ラビング処理済み面がステージ２０の面と直接に接触
するため、ラビング処理面に傷を生じ、このため液晶が
配向不良を起こす欠点があるので、実用的な方法ではな
い。
この欠点を改良する方法として、第３図（ａ） Ｋ示す
如き四部を有するステージ３０の凹部に両面電極板２２
を乗せてから、一方の面をラビングローラ２１で矢標２
３の方向にラビング処理し、次いで同様に両面電極板２
２の他方の面をラビング処理する方法が知られているが
、前述の方法による欠点は解消することができるが、ラ
ビング処理時に第３図（ｂ）に示す様に両面電極板２２
の中央部が湾曲して°ｊ−まい、このため均一にラビン
グ処理されなくなる欠点を有している。
如き四部を有するステージ３０の凹部に両面電極板２２
を乗せてから、一方の面をラビングローラ２１で矢標２
３の方向にラビング処理し、次いで同様に両面電極板２
２の他方の面をラビング処理する方法が知られているが
、前述の方法による欠点は解消することができるが、ラ
ビング処理時に第３図（ｂ）に示す様に両面電極板２２
の中央部が湾曲して°ｊ−まい、このため均一にラビン
グ処理されなくなる欠点を有している。
また、両面電極板の一方の面をラビング処理した後、こ
の面を保護膜で覆ってから、この面をステージに接して
配置し、次いで同様に他方の面をラビング処理する方法
−が知られているが、保護膜の形成工程やその剥離工程
が製造工程中に導入されるため、工程が複雛化し、コス
ト上昇の原因とガっている。
の面を保護膜で覆ってから、この面をステージに接して
配置し、次いで同様に他方の面をラビング処理する方法
−が知られているが、保護膜の形成工程やその剥離工程
が製造工程中に導入されるため、工程が複雛化し、コス
ト上昇の原因とガっている。
本発明の第１の目的は、前述の欠点を解消した電気光学
素子、特に液晶表示素子の製造法を提供することにある
。
素子、特に液晶表示素子の製造法を提供することにある
。
本発明の第２の目的は、均一に配向した液晶を備えた積
層型液晶表示素子の製造法を提供することにある。
層型液晶表示素子の製造法を提供することにある。
本発明の第３の目的は、積層型液晶表示素子で用いる中
間基板の配向処理法を提供することにある。
間基板の配向処理法を提供することにある。
すなわち、本発明は積層型液晶表示素子の中間基板とし
て用いる両面電極板をステージに乗せた時、前記電極板
の周辺部以外を非接触状態と１７、前記電極板の周辺部
を真空吸引系により吸着１７、且つ前記電極板の非接触
部を吹出し気体により押圧１２、しかる後に前記電極板
を例えばラビングローラで配向処理する工程を有する液
晶表示素子の製造法によって達成される。
て用いる両面電極板をステージに乗せた時、前記電極板
の周辺部以外を非接触状態と１７、前記電極板の周辺部
を真空吸引系により吸着１７、且つ前記電極板の非接触
部を吹出し気体により押圧１２、しかる後に前記電極板
を例えばラビングローラで配向処理する工程を有する液
晶表示素子の製造法によって達成される。
以下、本発明を図面に従って説明する。
第４図（ａ）は、本発明の製造法に用いるステージの斜
視図である。ステージ４０は、凹部４１が形成されてお
り、この四部４１の底面には気体（乾燥空気、窒素ガス
、アルゴンガスなど）を吹き付けて導入させる気体吹出
し孔４２が設けられている。さらに、ステージ４０には
、両面電極板（図示せず）が配置さり、た時その周辺部
以外の個所が四部４１の底面と非接触状態となる様に凹
部４１と隣接して棚部４３（凸部）が設けられており、
この棚部４３の底面は真空ポンプなどの真空吸引系（図
示せず）に接続した吸収孔４４が形成されている。
視図である。ステージ４０は、凹部４１が形成されてお
り、この四部４１の底面には気体（乾燥空気、窒素ガス
、アルゴンガスなど）を吹き付けて導入させる気体吹出
し孔４２が設けられている。さらに、ステージ４０には
、両面電極板（図示せず）が配置さり、た時その周辺部
以外の個所が四部４１の底面と非接触状態となる様に凹
部４１と隣接して棚部４３（凸部）が設けられており、
この棚部４３の底面は真空ポンプなどの真空吸引系（図
示せず）に接続した吸収孔４４が形成されている。
第４図（ｂ）は、第４図（ａ）に°示すステージ４０に
両面電極板２２を配置した態様を示す断面図である。本
発明の方法を第４図（ｂ）に従って説明すると、ステー
ジ４０の棚部４３に両面Ｎ極板２２の周辺部が乗る様に
配置した後、真空ポンプ（図示せず）を作動させて吸収
孔４４の吸引力によって両面電極板２２の周辺部をステ
ージ４０の棚部４３に固定する。その後、気体吹出し孔
４２を通して乾燥空気、窒素ガス、アルゴンガスなどの
清浄な気体を両面電極板２２とステージ４０の底面との
間に形成された空隙に吹き付け、両面電極板２２の中央
部付近のソリや湾曲を防ぐことができる。この時の導入
気体の計は下達のラビング処理時に両面電極板２２の平
面性を維持できる程度の量でよい。しかる後、布紙など
を巻き付けたラビングローラ２１などの配向処理部材を
矢標２３の方向に沿って両面電極板２２の一方の面をラ
ビング処理しても両面電極板２２の非接触部４４けラビ
ング処理時に非接触状態を保持することができる。
両面電極板２２を配置した態様を示す断面図である。本
発明の方法を第４図（ｂ）に従って説明すると、ステー
ジ４０の棚部４３に両面Ｎ極板２２の周辺部が乗る様に
配置した後、真空ポンプ（図示せず）を作動させて吸収
孔４４の吸引力によって両面電極板２２の周辺部をステ
ージ４０の棚部４３に固定する。その後、気体吹出し孔
４２を通して乾燥空気、窒素ガス、アルゴンガスなどの
清浄な気体を両面電極板２２とステージ４０の底面との
間に形成された空隙に吹き付け、両面電極板２２の中央
部付近のソリや湾曲を防ぐことができる。この時の導入
気体の計は下達のラビング処理時に両面電極板２２の平
面性を維持できる程度の量でよい。しかる後、布紙など
を巻き付けたラビングローラ２１などの配向処理部材を
矢標２３の方向に沿って両面電極板２２の一方の面をラ
ビング処理しても両面電極板２２の非接触部４４けラビ
ング処理時に非接触状態を保持することができる。
この様カ一方の面をラビング処理された両面電極板２２
の他方の面を同様のラビング処理するために、ラビング
処理済み面をステージ４０の底面に対向させて両面電極
板２２を反転し７た後、前述と同様の方法によって、両
面電極板２２の他方の面をラビング処理することができ
る。
の他方の面を同様のラビング処理するために、ラビング
処理済み面をステージ４０の底面に対向させて両面電極
板２２を反転し７た後、前述と同様の方法によって、両
面電極板２２の他方の面をラビング処理することができ
る。
本発明の方法においては、積層型液晶表示素子で用いる
中間基板の他にも、例えば積層型液晶表示素子に用いる
外側基板を用いてもよく、また２枚の電極板で構成した
タイプの液晶表示素子にも用いることができる。
中間基板の他にも、例えば積層型液晶表示素子に用いる
外側基板を用いてもよく、また２枚の電極板で構成した
タイプの液晶表示素子にも用いることができる。
また、本発明の方法で用いる′に極板には、Ｓｉ ０２
Ｔｉ（ｈ 、フッ化マグネシウムや窒化シリコンなどの
無機配向膜やポリアミド、ポリイミド、ポリバラキシリ
レン、ポリフッ化エチレンなどの樹脂配向膜が形成され
ていてもよい。
Ｔｉ（ｈ 、フッ化マグネシウムや窒化シリコンなどの
無機配向膜やポリアミド、ポリイミド、ポリバラキシリ
レン、ポリフッ化エチレンなどの樹脂配向膜が形成され
ていてもよい。
本発明によれば、従来の方法で生じていた基板のタワミ
、ソリや湾曲あるいは配向面の傷などから惹き起こる液
晶配向の不均一性の問題が解決でき、そのため作業性や
歩溜りを改善できる利点がある。
、ソリや湾曲あるいは配向面の傷などから惹き起こる液
晶配向の不均一性の問題が解決でき、そのため作業性や
歩溜りを改善できる利点がある。
以下、本発明を実施例に従って説明する０実施例１
第４図（ａ）に示す様なアルミニウム製ステージを用意
し、そこに第４図（ｂ） Ｋ示す様に両面電極板を配置
した。この両面電極板ｈ、両面に酸化インジウム−酸化
錫合金の蒸着膜が７セグメントパターン状に形成されて
おり、さらにその上の基板の周辺部を除いてＳ ｉｃｈ
の蒸着膜が形成されていた。
し、そこに第４図（ｂ） Ｋ示す様に両面電極板を配置
した。この両面電極板ｈ、両面に酸化インジウム−酸化
錫合金の蒸着膜が７セグメントパターン状に形成されて
おり、さらにその上の基板の周辺部を除いてＳ ｉｃｈ
の蒸着膜が形成されていた。
次いで、ステージの棚部に設けておいた吸引孔と接続し
ている真空ポンプを作動させた後、ステージに設けた気
体吹出し孔を通して窒素ガスを吹き付けた。しかる後ビ
ロードを巻いたラビングローラを一方向に移動させてラ
ビング処理を施し、さらにこのラビング処理が終了した
後ラビング処理済み面が下方に向く様に両面電極板を回
転させてから、再び前述の同様の方法に従ってラビング
処理を施した。この２回のラビング処理時、両面電極板
は全くソリや湾曲を生じていないことが確認できた。
ている真空ポンプを作動させた後、ステージに設けた気
体吹出し孔を通して窒素ガスを吹き付けた。しかる後ビ
ロードを巻いたラビングローラを一方向に移動させてラ
ビング処理を施し、さらにこのラビング処理が終了した
後ラビング処理済み面が下方に向く様に両面電極板を回
転させてから、再び前述の同様の方法に従ってラビング
処理を施した。この２回のラビング処理時、両面電極板
は全くソリや湾曲を生じていないことが確認できた。
次いで、予め電極側面をラビング処理ｌ〜でおいた電極
板を２枚用意し、先に作成した両面電極板のラビング方
向が互に直交する様に上述の電極板をエポキシ接着剤ス
ペーサーを介して重ね合せ第１図忙示す如き積層セルを
作成し、それぞれの空隙に正の誘電異方性を有するビフ
ェニル型ネマチック液晶とシクロヘキサン型ネマチック
液晶との混合液晶を注入してからセルの両側にクロス偏
光板を配置して積層型素子を作成した。
板を２枚用意し、先に作成した両面電極板のラビング方
向が互に直交する様に上述の電極板をエポキシ接着剤ス
ペーサーを介して重ね合せ第１図忙示す如き積層セルを
作成し、それぞれの空隙に正の誘電異方性を有するビフ
ェニル型ネマチック液晶とシクロヘキサン型ネマチック
液晶との混合液晶を注入してからセルの両側にクロス偏
光板を配置して積層型素子を作成した。
この素子の電極間に３ｖの交流電圧をダイナミックドラ
イブ方式で駆動させたところ、配向不良による表示不良
は全く生じていないことが判明した。
イブ方式で駆動させたところ、配向不良による表示不良
は全く生じていないことが判明した。
【図面の簡単な説明】
第１図は、積層型液晶表示素子の断面図、第２図、第３
図（ａ）および第３図（ｂ）は従来の方法を示す断面図
、第４図（ａ）は本発明の方法に用いるステージの斜視
図、第４図（ｂ）は本発明の方法を示す断面図である。 特許出願人 キャノン株式会社 第う固（０） り１ 第う図（ｂ） １
図（ａ）および第３図（ｂ）は従来の方法を示す断面図
、第４図（ａ）は本発明の方法に用いるステージの斜視
図、第４図（ｂ）は本発明の方法を示す断面図である。 特許出願人 キャノン株式会社 第う固（０） り１ 第う図（ｂ） １
Claims (2)
- （１）電極板の周辺部を吸引系により吸着する工程、前
記電極板の周辺部以外の部分を非接触状態として、該電
極板の非接触部を吹出し気体により押圧する工程および
前記吸引系と吹出し気体により支持された前記電極板の
一方の面を配向処理する工程を有することを特徴とする
電気光学素子の製造法。 - （２）凹部、前記凹部の底面に吹出し気体を導入する吹
出し孔および前記四部に隣接する凸部に吸引系に接続す
る吸引孔を有するステージと配向処理部材を備えたこと
を特徴とする電気光学素子の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57099857A JPS58215629A (ja) | 1982-06-09 | 1982-06-09 | 電気光学素子の製造法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57099857A JPS58215629A (ja) | 1982-06-09 | 1982-06-09 | 電気光学素子の製造法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58215629A true JPS58215629A (ja) | 1983-12-15 |
Family
ID=14258464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57099857A Pending JPS58215629A (ja) | 1982-06-09 | 1982-06-09 | 電気光学素子の製造法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58215629A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60214340A (ja) * | 1984-04-10 | 1985-10-26 | Stanley Electric Co Ltd | 両面電極基板のラビング方法及び同方法に使用されるワ−ク台装置 |
| JPS60250331A (ja) * | 1984-05-28 | 1985-12-11 | Toyota Motor Corp | 液晶素子の製造方法 |
-
1982
- 1982-06-09 JP JP57099857A patent/JPS58215629A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60214340A (ja) * | 1984-04-10 | 1985-10-26 | Stanley Electric Co Ltd | 両面電極基板のラビング方法及び同方法に使用されるワ−ク台装置 |
| JPS60250331A (ja) * | 1984-05-28 | 1985-12-11 | Toyota Motor Corp | 液晶素子の製造方法 |
| JPH0560087B2 (ja) * | 1984-05-28 | 1993-09-01 | Toyota Motor Co Ltd |
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