JPS58215110A - 弾性表面波フイルタ−素子の製造方法 - Google Patents
弾性表面波フイルタ−素子の製造方法Info
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- JPS58215110A JPS58215110A JP9778582A JP9778582A JPS58215110A JP S58215110 A JPS58215110 A JP S58215110A JP 9778582 A JP9778582 A JP 9778582A JP 9778582 A JP9778582 A JP 9778582A JP S58215110 A JPS58215110 A JP S58215110A
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- wave filter
- surface acoustic
- filter element
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は弾性表面波フィルター素子の製造方法に関する
ものである。
ものである。
発明の技術的背貝とその問題点
従来、圧電性基板たとえはニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ
Ｏ，）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ，）等の結晶
表面の弾性表面波伝播路の両側に、櫛形状電極よりなる
インターディジタル電極（以下、ＩＤＴと称す）を設け
たデバイスはフィルタや遅延線として用いられている。
Ｏ，）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ，）等の結晶
表面の弾性表面波伝播路の両側に、櫛形状電極よりなる
インターディジタル電極（以下、ＩＤＴと称す）を設け
たデバイスはフィルタや遅延線として用いられている。
また、ｌｌ）Ｔの近くの基板端部に非金属１料によシ成
る端面吸音体塗膜を設けて弾性表面板の基板端部におけ
る反射波を吸収することが行なわれている。この様な弾
性表面波デバイスの製造工程の概略は、圧電性基板から
なるウェハーを洗浄し、アルミニウムをウェハーに蒸着
し、コノ上にレジストを形成し、とのレジストヲ露光し
てＩＤ’ｒのパターンを現像し、エツチングをして不要
なアルミニウム膜を除去し、吸音剤を塗布して、端面吸
音体塗膜を形成し最後にウェハーを切断する工程から成
る。
る端面吸音体塗膜を設けて弾性表面板の基板端部におけ
る反射波を吸収することが行なわれている。この様な弾
性表面波デバイスの製造工程の概略は、圧電性基板から
なるウェハーを洗浄し、アルミニウムをウェハーに蒸着
し、コノ上にレジストを形成し、とのレジストヲ露光し
てＩＤ’ｒのパターンを現像し、エツチングをして不要
なアルミニウム膜を除去し、吸音剤を塗布して、端面吸
音体塗膜を形成し最後にウェハーを切断する工程から成
る。
特に従来の弾性表面波フィルター素子は一生面を鏡面加
工し、且っ一生面に対向する裏面を粗面加工した上に、
ツボノール樹脂を沸点が略ｉｏｏ”ｃ〜略１３０ ’ｃ
のジエチレングリコールやジチルエーテルアセテートに
溶かして作成した略１０，０００〜略２０．０００ Ｃ
ＰＳの粘度をもつ熱硬化型樹脂ペーストをプリントコー
トされている。この圧電性基板の一生面上にたとえはア
ルミニウムからなる入力ＩＤＴと出力ＩＤＴとを形成し
、両ＩＤＴ間にシールド電極を形成する。その後、入力
Ｉ「ｒと出力ＩＤＴとの外側に位置する基板端部に熱硬
化型樹脂ペーストを略２００〜略３００メツシユで厚さ
が略２ｏ〜略３ｏμｍ（Ｄ メツシューｒスクを用いて
プリントコ−テンクシ、厚さが略２０〜略３０μｍの端
面吸音体塗膜を形成する。その後、圧電性基板を窒累雰
囲気中で略１２５°Ｃ−略１５０℃で略２時間加熱し、
端面吸音体塗膜と裏面吸音体塗膜を熱硬化させていた。
工し、且っ一生面に対向する裏面を粗面加工した上に、
ツボノール樹脂を沸点が略ｉｏｏ”ｃ〜略１３０ ’ｃ
のジエチレングリコールやジチルエーテルアセテートに
溶かして作成した略１０，０００〜略２０．０００ Ｃ
ＰＳの粘度をもつ熱硬化型樹脂ペーストをプリントコー
トされている。この圧電性基板の一生面上にたとえはア
ルミニウムからなる入力ＩＤＴと出力ＩＤＴとを形成し
、両ＩＤＴ間にシールド電極を形成する。その後、入力
Ｉ「ｒと出力ＩＤＴとの外側に位置する基板端部に熱硬
化型樹脂ペーストを略２００〜略３００メツシユで厚さ
が略２ｏ〜略３ｏμｍ（Ｄ メツシューｒスクを用いて
プリントコ−テンクシ、厚さが略２０〜略３０μｍの端
面吸音体塗膜を形成する。その後、圧電性基板を窒累雰
囲気中で略１２５°Ｃ−略１５０℃で略２時間加熱し、
端面吸音体塗膜と裏面吸音体塗膜を熱硬化させていた。
入力１１）Ｔや出力ＩＩ）’ｌ”下を通過し比重性基板
端面にいたる不要表面仮のレベルを減衰もしくは吸収さ
せるために、圧電性基板の音響的インピーダンスと端面
吸音体塗膜の音響インピーダンスとが整合されている。
端面にいたる不要表面仮のレベルを減衰もしくは吸収さ
せるために、圧電性基板の音響的インピーダンスと端面
吸音体塗膜の音響インピーダンスとが整合されている。
また入力ＩＤＴで発生し圧電性基板内部を伝播し直接出
力ｌｌ７ｒに受波される不要バルク波や、圧電性基板内
部を伝播し圧電性基板の裏面で反射し出力■ｍ゛に受波
される不要バルク波を減衰もしくは吸収させるために、
圧電性基板の裏面に畿面吸音体塗−斬を形成していた。
力ｌｌ７ｒに受波される不要バルク波や、圧電性基板内
部を伝播し圧電性基板の裏面で反射し出力■ｍ゛に受波
される不要バルク波を減衰もしくは吸収させるために、
圧電性基板の裏面に畿面吸音体塗−斬を形成していた。
ところが、プリントコーテングで圧電性基板に端面及び
裏面吸音体塗膜な形成する際熱硬化型樹脂ペーストを長
時間大気中に放債するので熱硬化型樹脂ペースト表面に
樹脂が自然硬化して生じる皮膜が発生したり熱硬化型樹
脂ペーストの粘性が経時変化した。
裏面吸音体塗膜な形成する際熱硬化型樹脂ペーストを長
時間大気中に放債するので熱硬化型樹脂ペースト表面に
樹脂が自然硬化して生じる皮膜が発生したり熱硬化型樹
脂ペーストの粘性が経時変化した。
そこで圧電性基板と端面及び裏面吸音体塗膜との密着性
が劣化し不要バルク波を吸音もしくは吸収せしめる効果
が低下していた。そして、粘性の経時変化を防止するた
めに粘性が小の熱硬化型樹脂ペーストを用いると、プリ
ントコーテング後略１２５°Ｃ〜略１５０°０で略２時
間窒素雰囲気中で端面及び裏面吸音体塗膜加熱硬化作業
中に塗膜側面と圧電性基板とが垂直でなくなシ即ち塗膜
だれを生じて塗ｌｌ￥表面や側面が曲面となった。特に
端面吸音体塗膜の厚さが薄くなル広がってしまうので、
端間吸音体塗膜の厚さが充分に確保できなくなシネ要表
面波減衰効果が劣化してしまった。まだ、ＩＤＴ電極の
特に重みづけ電極の近傍に所定の位置で端面吸音体塗膜
を形成した場合、塗膜だれか生じると重みづけ電極に塗
膜だれかのり表面波の基本波レベルを減衰させるため出
力電極がら取シ出す周波数信号のレベル不良が発生して
いた。さらに、圧電性基板の裏面が粗面加工しであるの
で、が生じ、また裏面吸音体塗膜の中央部と周辺部との
厚さが異なるという膜厚むらが生じた。この為、弾性表
面波フィルター素子の電極容量にばらつきが生じ、周波
数特性の不良が発生することがあった。また、圧電性基
板の厚さが略０；２５ｍｍ以下のものにおいては、略３
００〜略４００μｍの反シが生じると、プリントコート
作業中印刷の即用で割れるものや、裏面吸音体塗膜にひ
びが生じるものが発生した。
が劣化し不要バルク波を吸音もしくは吸収せしめる効果
が低下していた。そして、粘性の経時変化を防止するた
めに粘性が小の熱硬化型樹脂ペーストを用いると、プリ
ントコーテング後略１２５°Ｃ〜略１５０°０で略２時
間窒素雰囲気中で端面及び裏面吸音体塗膜加熱硬化作業
中に塗膜側面と圧電性基板とが垂直でなくなシ即ち塗膜
だれを生じて塗ｌｌ￥表面や側面が曲面となった。特に
端面吸音体塗膜の厚さが薄くなル広がってしまうので、
端間吸音体塗膜の厚さが充分に確保できなくなシネ要表
面波減衰効果が劣化してしまった。まだ、ＩＤＴ電極の
特に重みづけ電極の近傍に所定の位置で端面吸音体塗膜
を形成した場合、塗膜だれか生じると重みづけ電極に塗
膜だれかのり表面波の基本波レベルを減衰させるため出
力電極がら取シ出す周波数信号のレベル不良が発生して
いた。さらに、圧電性基板の裏面が粗面加工しであるの
で、が生じ、また裏面吸音体塗膜の中央部と周辺部との
厚さが異なるという膜厚むらが生じた。この為、弾性表
面波フィルター素子の電極容量にばらつきが生じ、周波
数特性の不良が発生することがあった。また、圧電性基
板の厚さが略０；２５ｍｍ以下のものにおいては、略３
００〜略４００μｍの反シが生じると、プリントコート
作業中印刷の即用で割れるものや、裏面吸音体塗膜にひ
びが生じるものが発生した。
発明の目的
本発明は上述の問題点に録みてなされたものてあシ、吸
音体塗膜を捨膜むらがなく圧電性基板に密着させて不要
表面波を充分に減衰させる弾性表面波フィルター素子の
製造方法を提供することを目的とする。
音体塗膜を捨膜むらがなく圧電性基板に密着させて不要
表面波を充分に減衰させる弾性表面波フィルター素子の
製造方法を提供することを目的とする。
発明の概要
圧電性基板上にスプレーにて吸音体塗膜を形成すること
により、塗膜むらなく吸音体塗膜を圧電性基板に密着さ
せて不要表面波を充分に減衰させる弾性表面波フィルタ
ー素子の製造方法である。
により、塗膜むらなく吸音体塗膜を圧電性基板に密着さ
せて不要表面波を充分に減衰させる弾性表面波フィルタ
ー素子の製造方法である。
発明の実施例
以下第１図を参照して本発明の製造方法の実施例を説明
する。
する。
圧電性基板からなるウェハーけ）の−主面上に蒸着等に
よシミ極用金属膜たとえはアルミニウム層を被着し、そ
の上にレジストを全面に塗布する。
よシミ極用金属膜たとえはアルミニウム層を被着し、そ
の上にレジストを全面に塗布する。
このレジスト上に入力ＩＤＴ （２）と出力ＩＤＴ （
３）とシールド電極（４）とのパターンをマスクを用い
て一挙に露光する。次にレジストの露光部を現像溶解す
ると、ウェハー（り上にレジストによる入力ｉＤＴ （
２１と出力ＩＤＴ （３）とシールド電極（４）とのパ
ターンが形成される。次にレジストをマスクにしてアル
ミニウム層をエツチングして洗浄し乾燥し、入力ＩＤＴ
（２）と出力ＩＤＴ （３）とシールド電極（４）と
を形成する。そして、低沸点溶剤たとえはシンナーにた
とえばフェノール樹脂を溶かして得た粘度が略５００〜
８００ＣＰ８の吸音体樹脂ペースト（以下ペースト液と
称する）を注入した密閉型タンクに高圧空気を送り込み
、タンク内を一定の加圧状態とした。そして、所定の位
置に所定の形状をもつオープニングメタＡ／ −ｑ ス
ｌｙ ヲウｘハ（２）上に密着させて密閉型タンク内の
ペースト液に一定の加圧を加えてペースト液をスプレー
ガンから圧送し、オープニングメタルマスク上にスプレ
ィコーティングした。スプレィコーテイング後、オープ
ニングメタルマスクを剥がし、端面吸音体塗膜（５）を
形成した。この時、ペースト液が低沸点のシンナーを用
いている為、ペースト液の粒子がウェハー（１）上に付
着成長するまでにかなり乾燥し、オープニングメタルマ
スクを剥がした時、端面吸音体塗膜（５）は塗膜だれか
生じないことが本発明者らによシ確認された。そして次
にこのウェハーは）を窒素雰囲気中で略１２５°０〜略
１５０℃で略２時間熱硬化処理を省力った。この処理前
、処理中、処理稜も塗膜だれか生じず、端面吸音体塗膜
（５）の厚さは略２５μｍ〜略３０μｍとなった。端面
吸音体塗膜（５）をスプレィコーテングで形成すると同
時または入力ＩＩ７’ｌ’ （２）等を形成する前にウ
ェハーけ）の入力ＩＤＴ （２１等を形成した一生面に
対向する裏面に端面吸音体塗膜（５）を形成する処理と
同様な処理（後で述べる）を行ない裏面吸音体塗膜・λ
を形成してもよい。この後、ウェハー（２）を点線（６
）、（７）で切断して御性表面波フィルター素子に分断
する。この時、点線（６）上に端面吸音体塗膜（５）を
形成しているので、１つの端面吸音体塗膜（５）から２
個の弾性表面波フィルター素子の端面吸音体塗膜が得ら
れる。それでオープニングメタルマスクのメツシュの大
きさを太きくとれる。即ち端面吸音体塗膜（５）が所望
される面積の２倍となるのでスプレーコーティングで塗
布される端面吸音体塗膜（５）に斑が生じにくくなった
。
３）とシールド電極（４）とのパターンをマスクを用い
て一挙に露光する。次にレジストの露光部を現像溶解す
ると、ウェハー（り上にレジストによる入力ｉＤＴ （
２１と出力ＩＤＴ （３）とシールド電極（４）とのパ
ターンが形成される。次にレジストをマスクにしてアル
ミニウム層をエツチングして洗浄し乾燥し、入力ＩＤＴ
（２）と出力ＩＤＴ （３）とシールド電極（４）と
を形成する。そして、低沸点溶剤たとえはシンナーにた
とえばフェノール樹脂を溶かして得た粘度が略５００〜
８００ＣＰ８の吸音体樹脂ペースト（以下ペースト液と
称する）を注入した密閉型タンクに高圧空気を送り込み
、タンク内を一定の加圧状態とした。そして、所定の位
置に所定の形状をもつオープニングメタＡ／ −ｑ ス
ｌｙ ヲウｘハ（２）上に密着させて密閉型タンク内の
ペースト液に一定の加圧を加えてペースト液をスプレー
ガンから圧送し、オープニングメタルマスク上にスプレ
ィコーティングした。スプレィコーテイング後、オープ
ニングメタルマスクを剥がし、端面吸音体塗膜（５）を
形成した。この時、ペースト液が低沸点のシンナーを用
いている為、ペースト液の粒子がウェハー（１）上に付
着成長するまでにかなり乾燥し、オープニングメタルマ
スクを剥がした時、端面吸音体塗膜（５）は塗膜だれか
生じないことが本発明者らによシ確認された。そして次
にこのウェハーは）を窒素雰囲気中で略１２５°０〜略
１５０℃で略２時間熱硬化処理を省力った。この処理前
、処理中、処理稜も塗膜だれか生じず、端面吸音体塗膜
（５）の厚さは略２５μｍ〜略３０μｍとなった。端面
吸音体塗膜（５）をスプレィコーテングで形成すると同
時または入力ＩＩ７’ｌ’ （２）等を形成する前にウ
ェハーけ）の入力ＩＤＴ （２１等を形成した一生面に
対向する裏面に端面吸音体塗膜（５）を形成する処理と
同様な処理（後で述べる）を行ない裏面吸音体塗膜・λ
を形成してもよい。この後、ウェハー（２）を点線（６
）、（７）で切断して御性表面波フィルター素子に分断
する。この時、点線（６）上に端面吸音体塗膜（５）を
形成しているので、１つの端面吸音体塗膜（５）から２
個の弾性表面波フィルター素子の端面吸音体塗膜が得ら
れる。それでオープニングメタルマスクのメツシュの大
きさを太きくとれる。即ち端面吸音体塗膜（５）が所望
される面積の２倍となるのでスプレーコーティングで塗
布される端面吸音体塗膜（５）に斑が生じにくくなった
。
第２図Ｆｉ第１図に示したウェハー（１）を個々に分断
した弾性表面波フィルター素子の斜視図である。
した弾性表面波フィルター素子の斜視図である。
以下、同所同部材には第１図と同符号を付ける。
なお、圧電性基板（１０）の−主面上の中央にシールド
電極（４）が形成され、そのシールド電極（４）をはさ
む様に入力ＩＤＴ （２） 、出力ＩＤＴ （３）が形
成されている。
電極（４）が形成され、そのシールド電極（４）をはさ
む様に入力ＩＤＴ （２） 、出力ＩＤＴ （３）が形
成されている。
そして両ＩＤＴ （２）、 （３）をはさむ様に端面吸
音体塗膜（５）が形成されている。弾性表面波フィルタ
ー素子の裏面（１０１）には裏面吸音体塗膜が形成され
ていてもいなくても良い。
音体塗膜（５）が形成されている。弾性表面波フィルタ
ー素子の裏面（１０１）には裏面吸音体塗膜が形成され
ていてもいなくても良い。
第３図、第４図は□裏面吸音体塗膜が形成された弾性表
面波フィルター素子をステムに接着剤を介して付着した
ものの断面図である。
面波フィルター素子をステムに接着剤を介して付着した
ものの断面図である。
第３図に示した弾性表面波フィルター素子の裏面吸音体
塗膜（２０はオープニングメタルマスクを用イテ、入力
ｌｌ７ｒ（２）、出力ＩＤＴ （３）、シー ル）”ｉ
ｔ極（４）に少々くとも対向する部分に塗布面積がある
様に即ち圧電性基板００）の裏面（１０１）の面積よシ
小さくスプレーコーテングで形成する。その後、端而吸
音体塗膜と同じ処理を行なえば良い。この弾性表面波フ
ィルター素子を接着剤（至）を介してステム顛に刺着す
る。これは実跣；に稼動した隙、弾性表面波フィルター
の種類によっては轟面吸音体塗膜翰の面積や厚さによっ
て周波数特性に微妙な変化が生じるのでこれを防止する
ために裏面吸音体塗膜−の面積によって容量の１ｌｉｌ
整を行なうためである。
塗膜（２０はオープニングメタルマスクを用イテ、入力
ｌｌ７ｒ（２）、出力ＩＤＴ （３）、シー ル）”ｉ
ｔ極（４）に少々くとも対向する部分に塗布面積がある
様に即ち圧電性基板００）の裏面（１０１）の面積よシ
小さくスプレーコーテングで形成する。その後、端而吸
音体塗膜と同じ処理を行なえば良い。この弾性表面波フ
ィルター素子を接着剤（至）を介してステム顛に刺着す
る。これは実跣；に稼動した隙、弾性表面波フィルター
の種類によっては轟面吸音体塗膜翰の面積や厚さによっ
て周波数特性に微妙な変化が生じるのでこれを防止する
ために裏面吸音体塗膜−の面積によって容量の１ｌｉｌ
整を行なうためである。
また、裏面吸音体塗膜−をスプレーコーテングで形成し
たため、裏面吸音体塗膜１２１に膜厚むらが生じなくな
シブバイスミ極容量にばらつきが生じず極めて良好な周
波数特性となった。
たため、裏面吸音体塗膜１２１に膜厚むらが生じなくな
シブバイスミ極容量にばらつきが生じず極めて良好な周
波数特性となった。
第４図に示した弾性表面波フィルター素子の裏面吸音体
塗膜０〔は圧電性基板００）の裏面（１０１）の全てに
わたり直接スプレーコーテングにより形成したものであ
る。この様にすると、第３図の弾性表面波フィルター素
子の裏面吸音体塗膜（イ）よシもオープニングメタルマ
スクを用いる工程が省けて弾性表面波フィルター菓子の
裏面吸音体塗膜−を形成するのが容易となる。
塗膜０〔は圧電性基板００）の裏面（１０１）の全てに
わたり直接スプレーコーテングにより形成したものであ
る。この様にすると、第３図の弾性表面波フィルター素
子の裏面吸音体塗膜（イ）よシもオープニングメタルマ
スクを用いる工程が省けて弾性表面波フィルター菓子の
裏面吸音体塗膜−を形成するのが容易となる。
発明の効果
本発明によれは、弾性表面波フィルター素子にスプレー
を用いて吸音体塗膜を形成するので、塗膜むらがなく吸
音体塗膜を圧電性基板に＠着させることが出来るので、
不要表面波を充分に減衰させることが出来る弾性表面波
フィルター素子が得られる。
を用いて吸音体塗膜を形成するので、塗膜むらがなく吸
音体塗膜を圧電性基板に＠着させることが出来るので、
不要表面波を充分に減衰させることが出来る弾性表面波
フィルター素子が得られる。
第１図は本発明の一実施例の弾性表面波フィルター素子
をウェハーに形成した模式図、第２図は本発明の一実施
例の弾性表面波フィルター素子の斜視図、第３図および
第４図は裏面吸音体塗膜が形成された弾性表面波フィル
ター素子をステムに接着剤を介した刺着した本発明の一
実施例の模式０、）・・・ ウ エ ノ・ − （２）・・・入力インターディジタルを極（３）・・・
出力インターディジタルｔｉ（５）・・・端面吸音体塗
膜 ＧＯ）・・・圧電性基板 （２Ｇ・・・共面吸音体塗膜 第 １ 図 第 ２ 図 ｗ４３図 第 ４ 図
をウェハーに形成した模式図、第２図は本発明の一実施
例の弾性表面波フィルター素子の斜視図、第３図および
第４図は裏面吸音体塗膜が形成された弾性表面波フィル
ター素子をステムに接着剤を介した刺着した本発明の一
実施例の模式０、）・・・ ウ エ ノ・ − （２）・・・入力インターディジタルを極（３）・・・
出力インターディジタルｔｉ（５）・・・端面吸音体塗
膜 ＧＯ）・・・圧電性基板 （２Ｇ・・・共面吸音体塗膜 第 １ 図 第 ２ 図 ｗ４３図 第 ４ 図
Claims (5)
- （１）仲性表面辰フィルター素子の製造方法において、
圧電性基板にスプレーで塗布し吸音体塗膜を形成する工
程を具備した弾性表面波フィルター素子の製造方法。 - （２）前記圧電性基板上の一生面にはインターディジタ
）＆％極が形成され、前記インターディジタル電極が形
成された圧電性基板上の一生面にメツシュマスクを配置
し、低沸点溶剤と樹脂ペーストとからなる吸音体ペース
トをスプレーで前記メツシュマスクの形状に塗布して端
面吸音体塗膜を形成することを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の弾性表面波フィルクー素子の製造方法。 - （３） ＥＥ電性基板上の一生面にはインターディジ
タル電極が形成され、前記インターディジタル電極が形
成された圧電性基板の一生面と対向する裏面に低沸点溶
剤と樹脂ペーストとからなる吸音体ペーストをスプレー
でを荀して裏面牲音体塗膜を形成することを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波フィルター素子
の製造方法。 - （４）前記圧電性基板上には複数の前記弾性表面波フィ
ルターの前記端面吸音体塗膜が配置されていることを特
徴とする特許請求の範囲第２項記載の弾性表面波フィル
ター素子の製造方法。 - （５）前記Ｅｒ、％性基版上に配置された複数の前記弾
性表面波フィルター素子の前記端面吸音体塗膜は他の弾
性表面波フィルター素子の前記端面吸音体塗膜と共通部
分をもち且つ前記共通部分が直線上に配置され、前記直
線上に配置された前記共通部分な切断し、前記共通部分
を境にして前記端面吸音体塗膜か分離することによυ前
記圧電性基板が前記弾性表面波フィルター素子を配置し
た圧電性基板片に分断されることを特徴とする特Ｗ＋請
求の範囲第４項記載の弾性表面波フィルター素イの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9778582A JPS58215110A (ja) | 1982-06-09 | 1982-06-09 | 弾性表面波フイルタ−素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9778582A JPS58215110A (ja) | 1982-06-09 | 1982-06-09 | 弾性表面波フイルタ−素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58215110A true JPS58215110A (ja) | 1983-12-14 |
Family
ID=14201465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9778582A Pending JPS58215110A (ja) | 1982-06-09 | 1982-06-09 | 弾性表面波フイルタ−素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58215110A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62232209A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-12 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波装置の周波数調整方法 |
| JPS62232208A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-12 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波装置の周波数調整方法 |
| JPS62245712A (ja) * | 1986-04-16 | 1987-10-27 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波装置の周波数調整方法 |
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1982
- 1982-06-09 JP JP9778582A patent/JPS58215110A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62232209A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-12 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波装置の周波数調整方法 |
| JPS62232208A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-12 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波装置の周波数調整方法 |
| JPS62245712A (ja) * | 1986-04-16 | 1987-10-27 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波装置の周波数調整方法 |
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