JPS58205834A - 収差測定方法 - Google Patents
収差測定方法Info
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- JPS58205834A JPS58205834A JP57088429A JP8842982A JPS58205834A JP S58205834 A JPS58205834 A JP S58205834A JP 57088429 A JP57088429 A JP 57088429A JP 8842982 A JP8842982 A JP 8842982A JP S58205834 A JPS58205834 A JP S58205834A
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- light
- light source
- test lens
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
- G01M11/0257—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested
- G01M11/0264—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested by using targets or reference patterns
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレンズ系の収差を測定する方法に関する。
従来、レンズ系の収差、即ち球面収差、コマ収差、非点
収差、像面彎曲を測定する方法としては、第１図に示す
様な方法が知られている。
収差、像面彎曲を測定する方法としては、第１図に示す
様な方法が知られている。
第１図は球面収差を測定する従来例を示すもので、ｌは
点光源、２はコリメーターレンズ系で光源ｌの光を平行
光束とする働きをする。３は言わゆるハルトマンプレー
トで被検レンズ４の入射瞳へ入射する光の高さを設定す
る働きをする。５は感光面でレンズから射出した光を記
録する働きをする。感光面５をレンズの結像点の前方に
置いて露光・記録したものと、その場所から有限距離ｄ
だけ後方に置いて露光・記録したものとを用いて球面収
差を測定する。すなわち第２図の様に２枚の感光面上の
各共役な露光点を結び、それらの言わば光線が光軸、あ
るいは像面を横切る位置から光線追跡を行ない、そのデ
ータを補間して球面収差曲線６を算出していた。しかし
この方法は、２ケ所に設ける感光面の場所を精度よく設
定する必要性があり、又、各光線の位置を高精度に読み
取り光線位置を決定する必要があった。しかも１本の光
線を決定するために２ケ所の光線位置を読まねばならな
いため測定に時間がかかり、又、測定結果が不安定なも
のになるといった欠点があった。
点光源、２はコリメーターレンズ系で光源ｌの光を平行
光束とする働きをする。３は言わゆるハルトマンプレー
トで被検レンズ４の入射瞳へ入射する光の高さを設定す
る働きをする。５は感光面でレンズから射出した光を記
録する働きをする。感光面５をレンズの結像点の前方に
置いて露光・記録したものと、その場所から有限距離ｄ
だけ後方に置いて露光・記録したものとを用いて球面収
差を測定する。すなわち第２図の様に２枚の感光面上の
各共役な露光点を結び、それらの言わば光線が光軸、あ
るいは像面を横切る位置から光線追跡を行ない、そのデ
ータを補間して球面収差曲線６を算出していた。しかし
この方法は、２ケ所に設ける感光面の場所を精度よく設
定する必要性があり、又、各光線の位置を高精度に読み
取り光線位置を決定する必要があった。しかも１本の光
線を決定するために２ケ所の光線位置を読まねばならな
いため測定に時間がかかり、又、測定結果が不安定なも
のになるといった欠点があった。
本発明の目的は、上述した従来の収差測定法の欠点を改
良した、収差測定方法を提供することにある。
良した、収差測定方法を提供することにある。
本発明の更なる目的は、測定結果をコンピューターで処
理するのに適した収差測定方法を提供することＫある。
理するのに適した収差測定方法を提供することＫある。
本発明に係る収差測定方法に於いては、被検レンズを実
際に使用する場合の像面（本明細書ではこのことを単に
被検レンズの像面と呼ぶ）の位置に点光源を形成し、被
検レンズを通過した光束を所定の複数本の光線に分離し
、前記像面の位置と光学的に共役な位置から離れた位置
であり、前記複数本の光線を各々分離して識別可能な位
置で前記光線を検出することにより収差を測定するもの
である。被検レンズの有限結像における収差を測定する
場合には、被検レンズにより点光源の拡大された像を得
れば□良いが、被検レンズの無限結像ｔｒｃおける収差
を測定する場合は、被検レンズを通過する光束は平行光
束となるので、この平行光束を収束させる為のコリメー
ターレンズを必歎とする。この場合、コリメーターレン
ズの焦点距離を被検レンズの焦点距離よりも長くするこ
とにより、点光源の拡大された像を得ることが出来る。
際に使用する場合の像面（本明細書ではこのことを単に
被検レンズの像面と呼ぶ）の位置に点光源を形成し、被
検レンズを通過した光束を所定の複数本の光線に分離し
、前記像面の位置と光学的に共役な位置から離れた位置
であり、前記複数本の光線を各々分離して識別可能な位
置で前記光線を検出することにより収差を測定するもの
である。被検レンズの有限結像における収差を測定する
場合には、被検レンズにより点光源の拡大された像を得
れば□良いが、被検レンズの無限結像ｔｒｃおける収差
を測定する場合は、被検レンズを通過する光束は平行光
束となるので、この平行光束を収束させる為のコリメー
ターレンズを必歎とする。この場合、コリメーターレン
ズの焦点距離を被検レンズの焦点距離よりも長くするこ
とにより、点光源の拡大された像を得ることが出来る。
被検レンズを通過した光束を複数本に分離する場合、主
光線に垂直な面内に於いて、主光線から所定の距離だけ
離れた複数の光線に分離するか、又は被検レンズの光軸
に垂直な面内圧於いて、光軸から所定の距離だけ離れた
複数の光線に分離するものである。
光線に垂直な面内に於いて、主光線から所定の距離だけ
離れた複数の光線に分離するか、又は被検レンズの光軸
に垂直な面内圧於いて、光軸から所定の距離だけ離れた
複数の光線に分離するものである。
又、前記各々の光線をそれぞれ分離して識別可能なと言
うことは、各々の光線が分離してその位置を確定できる
状態であり、それ等各々の光線が光束を分離した際のど
の光線と対応するものかが識別出来るということである
。
うことは、各々の光線が分離してその位置を確定できる
状態であり、それ等各々の光線が光束を分離した際のど
の光線と対応するものかが識別出来るということである
。
以下、図面を用いて本発明を詳述する。
第３図は本発明の収差測定方法に係る一実施例を示すも
ので、被検レンズが無限遠の結像に於ける収差を測定す
る場合を示している。１１はこの装置の光源部であり、
単色点光源あるいは線光源を作成するための白熱電球あ
るいは低圧放電管、およびそれを単色化するフィルター
とスリットで構成される。もちろん、レーザおよび短焦
点距離のレンズ系でも良い。１２は被検レンズで、その
結偉位置即ち像面位置は光源１１に一致させて置いであ
る。１３は被検レンズ１２の光軸に垂直な面内に於いて
、被検レンズからの光束を光軸から所定の距離だけ離れ
た複数の光線に分離するためのハルトマンプレートであ
り、光軸を含む瞳の１断面上にピンホールアレーを配置
したものである。従って、被検レンズ】２から射出する
光束を光軸から所定の高さに制限した複数の被検光線に
分離している。
ので、被検レンズが無限遠の結像に於ける収差を測定す
る場合を示している。１１はこの装置の光源部であり、
単色点光源あるいは線光源を作成するための白熱電球あ
るいは低圧放電管、およびそれを単色化するフィルター
とスリットで構成される。もちろん、レーザおよび短焦
点距離のレンズ系でも良い。１２は被検レンズで、その
結偉位置即ち像面位置は光源１１に一致させて置いであ
る。１３は被検レンズ１２の光軸に垂直な面内に於いて
、被検レンズからの光束を光軸から所定の距離だけ離れ
た複数の光線に分離するためのハルトマンプレートであ
り、光軸を含む瞳の１断面上にピンホールアレーを配置
したものである。従って、被検レンズ】２から射出する
光束を光軸から所定の高さに制限した複数の被検光線に
分離している。
１４は収差が良好に補正されたレンズ（ここではコリメ
ーターレンズと呼ぶ）で、その焦点距離ｆｃは、被検レ
ンズ１２の焦点距離ｆ、よりも充分に長い。１５は感光
面であり、コリメーターレンズ１４の集光位置より離れ
た位置、即ち集光位置の前方あるいは後方のいずれか一
方の位置で、各々の光線が充分に分離且つ識別可能な位
置に設けられている。光源１１を射出した光は、被検レ
ンズ１２で逆投影されて平行光束となる。この平行光束
はハルトマンプレー）１３でレンズ１２０入射瞳に対応
した光線を、形成する。
ーターレンズと呼ぶ）で、その焦点距離ｆｃは、被検レ
ンズ１２の焦点距離ｆ、よりも充分に長い。１５は感光
面であり、コリメーターレンズ１４の集光位置より離れ
た位置、即ち集光位置の前方あるいは後方のいずれか一
方の位置で、各々の光線が充分に分離且つ識別可能な位
置に設けられている。光源１１を射出した光は、被検レ
ンズ１２で逆投影されて平行光束となる。この平行光束
はハルトマンプレー）１３でレンズ１２０入射瞳に対応
した光線を、形成する。
但しこのレンズ１２の入射瞳とは、レンズ１２を実際に
使用する正投影で使用した場合の入射瞳を意味する。こ
の様にして作られた光線はハルトマンプレートの後方に
置かれたコリメーターレンズ１４により集光され、その
像面の前方あるいは後方に置かれた感光面に入射する。
使用する正投影で使用した場合の入射瞳を意味する。こ
の様にして作られた光線はハルトマンプレートの後方に
置かれたコリメーターレンズ１４により集光され、その
像面の前方あるいは後方に置かれた感光面に入射する。
コリメーターレンズ１４は被検レンズ１２に比較して十
分に良い収差であるとして、被検レンズ１２に収差がな
く、ハルトマンプレート１３が等間隔に開口を配置した
ものであれば感光面１５に記録される光線のパターンは
第４図の様に等間隔である。しかし、被検レンズ１２に
収差（球面収差）が存在する場合、前記従来例と同様に
第５図に示す様に不等間隔になる。この不等間隔の等間
隔からのズレ量（シフトの量）は被検レンズ１２の横収
差に対応する。前記の従来例では正投影方式であり、光
線の位置を決定する感度は横収差の要求測定精度に相当
する必要がある。本発明は被検レンズの像面位置に点光
源を設ける逆投影方式であるために、光線位置の決定は
投影倍率が乗ぜられているために一般的に点光源の像は
拡大される。本実施例の様にコリメーターレンズを用い
たシステムではコリメーターレンズの焦点距離をｆｃと
し、被検レンズの焦点距離をｆ丁とするならば光線の等
間隔からのズレ量は被検レンズのｆｃ／ ｆ７倍となる
。すなわち光線の位置の検出感度が同じであれば、本発
明の方が横収差の検出能力は高い事になる。
分に良い収差であるとして、被検レンズ１２に収差がな
く、ハルトマンプレート１３が等間隔に開口を配置した
ものであれば感光面１５に記録される光線のパターンは
第４図の様に等間隔である。しかし、被検レンズ１２に
収差（球面収差）が存在する場合、前記従来例と同様に
第５図に示す様に不等間隔になる。この不等間隔の等間
隔からのズレ量（シフトの量）は被検レンズ１２の横収
差に対応する。前記の従来例では正投影方式であり、光
線の位置を決定する感度は横収差の要求測定精度に相当
する必要がある。本発明は被検レンズの像面位置に点光
源を設ける逆投影方式であるために、光線位置の決定は
投影倍率が乗ぜられているために一般的に点光源の像は
拡大される。本実施例の様にコリメーターレンズを用い
たシステムではコリメーターレンズの焦点距離をｆｃと
し、被検レンズの焦点距離をｆ丁とするならば光線の等
間隔からのズレ量は被検レンズのｆｃ／ ｆ７倍となる
。すなわち光線の位置の検出感度が同じであれば、本発
明の方が横収差の検出能力は高い事になる。
すなわち感光面１５．１−、での光の座標検出精度は、
前記従来例と球面収差の検出精度が同じであれば、低く
てもか′まわない事になる。また、球面収差を検出する
方法の１つとしてコリメーターレンズ１４から一定距離
りだけ感光面をはなして置いて、被検レンズの球面収差
を幾可学的に算出する方法がある。この時の感光面を置
く精度はｉｊＩ記従来例の感光面を設置する精度と比較
して、拡大投影を成されているために縦倍重分だけ拡大
されている。すなわち前記従来例の設置精度よりも低い
精度でかまわない事になる。
前記従来例と球面収差の検出精度が同じであれば、低く
てもか′まわない事になる。また、球面収差を検出する
方法の１つとしてコリメーターレンズ１４から一定距離
りだけ感光面をはなして置いて、被検レンズの球面収差
を幾可学的に算出する方法がある。この時の感光面を置
く精度はｉｊＩ記従来例の感光面を設置する精度と比較
して、拡大投影を成されているために縦倍重分だけ拡大
されている。すなわち前記従来例の設置精度よりも低い
精度でかまわない事になる。
球面収差の検出方法の１つとして、感光面を一定位置に
定めておいて、幾可学的に検出する方法がある。第６図
はこういった検出方法の一例であり、ｆｃはコリメータ
ーレンズの焦点距離、ｎ４ハルトマンプレートの穴の高
さであり、被検レンズの瞳を制限した高さである。Ｄは
コリメーターレンズの焦点位置から感光面１５までの長
さであり、Ｌ゛は被検レンズに収差がない時の光線（１
点鎖線）の感光面１５上の位置を示す。被検レンズに球
面収差がある場合、光線は理想光線よりｌだけはなれた
場所に入射する。
定めておいて、幾可学的に検出する方法がある。第６図
はこういった検出方法の一例であり、ｆｃはコリメータ
ーレンズの焦点距離、ｎ４ハルトマンプレートの穴の高
さであり、被検レンズの瞳を制限した高さである。Ｄは
コリメーターレンズの焦点位置から感光面１５までの長
さであり、Ｌ゛は被検レンズに収差がない時の光線（１
点鎖線）の感光面１５上の位置を示す。被検レンズに球
面収差がある場合、光線は理想光線よりｌだけはなれた
場所に入射する。
この光線に対応して被検レンズの球面収差は倍率がかか
った状態で縦収差β、横収差γと言える。すなわちγは となる。ここでｆ丁は被検レンズの焦点距離である。ま
たβは で示す事が可能である。即ち被検レンズの縦収以上は、
１本の光線に対しての説明であるが、ハルトマンプレー
トを通ったすべての光線について全く同じ事が首えるた
め、各収差点をなだらかな曲線でつなげることによって
球面収差曲線を求める事が可能である。
った状態で縦収差β、横収差γと言える。すなわちγは となる。ここでｆ丁は被検レンズの焦点距離である。ま
たβは で示す事が可能である。即ち被検レンズの縦収以上は、
１本の光線に対しての説明であるが、ハルトマンプレー
トを通ったすべての光線について全く同じ事が首えるた
め、各収差点をなだらかな曲線でつなげることによって
球面収差曲線を求める事が可能である。
又、各光線のＬ十ｌを縦軸に、ハルトマンプレートによ
る瞳の高さを横軸に取った場合、被検レンズの横収差を
倍率がかかった状態で且つＤだけデフォーカスエラーを
含んだものを表わす。第７図の実線は、まさにこの横収
差の状態を表現している。即ち、各光線位置を多項式近
似法を用いて曲線近似した状態である。第７図の破線は
被検レンズに球面収差が存在しない場合である。たとえ
ば／＋Ｌをγ（ｘ）とし、瞳高さをＸとするならば ｒ （ｘ） ＝ ａ１ｘ＋ａ、ｘ”−１−ａ、ｘ’＋
ａ、Ｘ’ 十−−−−−−＋ａ、ｘ”と言える。ここで
１次の項はｄｅｆｏｃｕｓを表わすため、近軸の像点て
は０となり、さらに近軸の像点て球面収差はＸ軸に接す
るため、２次の項もＯと言える。すなわち被検レンズの
横収差はと言える。また、縦収差は同様に ｔ β（Ｘ）−一γ′（Ｘ） と言える。
る瞳の高さを横軸に取った場合、被検レンズの横収差を
倍率がかかった状態で且つＤだけデフォーカスエラーを
含んだものを表わす。第７図の実線は、まさにこの横収
差の状態を表現している。即ち、各光線位置を多項式近
似法を用いて曲線近似した状態である。第７図の破線は
被検レンズに球面収差が存在しない場合である。たとえ
ば／＋Ｌをγ（ｘ）とし、瞳高さをＸとするならば ｒ （ｘ） ＝ ａ１ｘ＋ａ、ｘ”−１−ａ、ｘ’＋
ａ、Ｘ’ 十−−−−−−＋ａ、ｘ”と言える。ここで
１次の項はｄｅｆｏｃｕｓを表わすため、近軸の像点て
は０となり、さらに近軸の像点て球面収差はＸ軸に接す
るため、２次の項もＯと言える。すなわち被検レンズの
横収差はと言える。また、縦収差は同様に ｔ β（Ｘ）−一γ′（Ｘ） と言える。
本発明では逆投影法、即ち拡大投影法を用いたために、
感光面１５の読み取り精度や設定位置の精度を前述の様
に低くする事が可能である。
感光面１５の読み取り精度や設定位置の精度を前述の様
に低くする事が可能である。
従って感光面１５を、被検レンズの結像特性よりも荒い
ピッチで構成されているフォトダイオードアレー等の様
なもので構成することが出来、このことは出力データー
をマイクロコンピュータ−等に取り込み、前述の演算を
行なう自動測定を可能にする。第８図はこの様な自動測
定装置の概略を示す図で、２０はフォトダイオードアレ
ー等の光検出器、２１はマイクロコンピュータ−等の演
算回路、２２は演算の結果を示すＣＲＴ又はプリンター
の様な外部出力機器である。この様な自動画定の場合は
、特に幾可光学的な収差から波面収差を簡単に求め得る
ため、レンズ系の測定評価を種々のパラメーターについ
て行なうことが１１能である。波面収差Ｗ（ｘ）を演算
する場合には、以下の式を用い得る。
ピッチで構成されているフォトダイオードアレー等の様
なもので構成することが出来、このことは出力データー
をマイクロコンピュータ−等に取り込み、前述の演算を
行なう自動測定を可能にする。第８図はこの様な自動測
定装置の概略を示す図で、２０はフォトダイオードアレ
ー等の光検出器、２１はマイクロコンピュータ−等の演
算回路、２２は演算の結果を示すＣＲＴ又はプリンター
の様な外部出力機器である。この様な自動画定の場合は
、特に幾可光学的な収差から波面収差を簡単に求め得る
ため、レンズ系の測定評価を種々のパラメーターについ
て行なうことが１１能である。波面収差Ｗ（ｘ）を演算
する場合には、以下の式を用い得る。
即ち、前記多項式を瞳の高さ方向で積分すれば良い。
以上、コリメーターレンズを用いた無限遠の軸上収差の
測定を例示して本発明の測定方法を説明したが、有限倍
率で測定する場合には前記コリメーターレンズは必要と
しない。第９図は有限倍率での結像に於ける軸上の収差
測定を示す図であり、第１０図は同じく有限倍率での軸
外光束の収差測定を示す図である。ハルトマンプレー）
１３は被検レンズ１２と、被検レンズ１２＆Ｃよる点光
源１１の像との間に設けられており、被検レンズ１２に
よる点光源１１の像は点光源１１の拡大された像である
。そして、この点光源の像から離れた位置で且つノ・ル
トマンプレートにより分離された各光線が充分に分離さ
れ且つ識別可能な位置に光線検出面１５が設けられてい
る。
測定を例示して本発明の測定方法を説明したが、有限倍
率で測定する場合には前記コリメーターレンズは必要と
しない。第９図は有限倍率での結像に於ける軸上の収差
測定を示す図であり、第１０図は同じく有限倍率での軸
外光束の収差測定を示す図である。ハルトマンプレー）
１３は被検レンズ１２と、被検レンズ１２＆Ｃよる点光
源１１の像との間に設けられており、被検レンズ１２に
よる点光源１１の像は点光源１１の拡大された像である
。そして、この点光源の像から離れた位置で且つノ・ル
トマンプレートにより分離された各光線が充分に分離さ
れ且つ識別可能な位置に光線検出面１５が設けられてい
る。
第１０図に示す様に、軸外光束を計測する場合、ハルト
マンプレートで制限するサジタルの光線を決定する場所
としては、第１１図（Ａ）に示す様に瞳２３の径の最大
値を選ぶ場合と、第１１図（Ｂ）に示す様に主光線２４
を含む場合があり、その時の測定条件で選択する必要が
ある。
マンプレートで制限するサジタルの光線を決定する場所
としては、第１１図（Ａ）に示す様に瞳２３の径の最大
値を選ぶ場合と、第１１図（Ｂ）に示す様に主光線２４
を含む場合があり、その時の測定条件で選択する必要が
ある。
第１２図（Ａ） （Ｂ）は軸外光束を測定する場合の、
ハルトマンプレートを設ける位置について示すもので、
（Ａ）は被検レンズ１２の光軸ＯＡに対してハルトマン
プレート１３を垂直に設ける場合、（Ｂ）は主光線ＰＡ
に対してノ・ルトマンプレー）１３を垂直に設けた場合
で、いずれの場合も、所定の高さの光線を通過させる様
にプレートの開口部が設けられる。尚、この様に、一つ
の光束より所定の高さの複数の光線を選択的に取り出せ
る機能を有するものならば、ハルトマンプレートに代っ
て使用出来ることは言うまでもない。
ハルトマンプレートを設ける位置について示すもので、
（Ａ）は被検レンズ１２の光軸ＯＡに対してハルトマン
プレート１３を垂直に設ける場合、（Ｂ）は主光線ＰＡ
に対してノ・ルトマンプレー）１３を垂直に設けた場合
で、いずれの場合も、所定の高さの光線を通過させる様
にプレートの開口部が設けられる。尚、この様に、一つ
の光束より所定の高さの複数の光線を選択的に取り出せ
る機能を有するものならば、ハルトマンプレートに代っ
て使用出来ることは言うまでもない。
又、上述１−た様に、各々の光線が充分に分離され且つ
識別可能な光線の検出位置としては、ハルトマンプレー
トで光束を複数の光線に分離した時の状態と各光線の相
互関係が同じ状態で検出できる様な位置に設ける事が一
般的に行なわれるが、光束を分離した時の各光線と、検
出する位置での各光線の対応関係が識別出来れば、光線
が分離出来る位置であればどの様な位置で光線を検出し
ても良い。
識別可能な光線の検出位置としては、ハルトマンプレー
トで光束を複数の光線に分離した時の状態と各光線の相
互関係が同じ状態で検出できる様な位置に設ける事が一
般的に行なわれるが、光束を分離した時の各光線と、検
出する位置での各光線の対応関係が識別出来れば、光線
が分離出来る位置であればどの様な位置で光線を検出し
ても良い。
上述した様に、無限遠結像での収差測定の場合と、有限
結像の場合の測定ではコリメーターレンズを必要とした
り、しなかったりするので、本発明を用いた測定装置と
しては、コリメーターレンズが測定光路に抽挿自在処な
る様に設けると良い。
結像の場合の測定ではコリメーターレンズを必要とした
り、しなかったりするので、本発明を用いた測定装置と
しては、コリメーターレンズが測定光路に抽挿自在処な
る様に設けると良い。
以上、本発明に係る収差測定方法に於いては、光学系を
逆投影系とし、被検レンズの像面に光源を設け、前記光
学系により拡大投影された光源の像を形成する各々の光
線の収束又は発散状態を、光源の像より光分離れた位置
で観察することにより被検レンズの収差を測定するもの
であり、測定精度を高精度に保持出来るし且つ自動測定
にも適した優れた方法である。
逆投影系とし、被検レンズの像面に光源を設け、前記光
学系により拡大投影された光源の像を形成する各々の光
線の収束又は発散状態を、光源の像より光分離れた位置
で観察することにより被検レンズの収差を測定するもの
であり、測定精度を高精度に保持出来るし且つ自動測定
にも適した優れた方法である。
第１図及び第２図は、従来の収差測定方法を用いた装置
を示す図、第３図は本発明に係る方示す図、第４図、第
５図、第６図及び第７図は各々、第３図に示す装置を用
いて、本発明の詳細な説明する為の図、第８図は本発明
に係る測定方法を用いた自動測定装置の一実施例の概略
を示す図、第９図及び第１０図は、本発明に係る方法に
於いて、有限結像の場合の収差を測定する方法を示す図
、第１１図（Ａ） （Ｈ）は軸外の収差を測定する場合
、瞳に対するハルトマンプレートの設は方を示す図、第
１２図（Ａ） （Ｂ）は、軸外の収差を測定する場合、
ハルトマンプレートの設は方を示す図。 １１・・・光源部、１２・・・被検レンズ、１３・・・
ハルトマンブレー）、１４・・・コリメーターレンズ、
１５・・・感光面、２０・・・光検出器、２１−・・演
算回路、２２・・・外部出力機器、２３・・・瞳。 出 願 人 キャノン株式会社 第６１
を示す図、第３図は本発明に係る方示す図、第４図、第
５図、第６図及び第７図は各々、第３図に示す装置を用
いて、本発明の詳細な説明する為の図、第８図は本発明
に係る測定方法を用いた自動測定装置の一実施例の概略
を示す図、第９図及び第１０図は、本発明に係る方法に
於いて、有限結像の場合の収差を測定する方法を示す図
、第１１図（Ａ） （Ｈ）は軸外の収差を測定する場合
、瞳に対するハルトマンプレートの設は方を示す図、第
１２図（Ａ） （Ｂ）は、軸外の収差を測定する場合、
ハルトマンプレートの設は方を示す図。 １１・・・光源部、１２・・・被検レンズ、１３・・・
ハルトマンブレー）、１４・・・コリメーターレンズ、
１５・・・感光面、２０・・・光検出器、２１−・・演
算回路、２２・・・外部出力機器、２３・・・瞳。 出 願 人 キャノン株式会社 第６１
Claims (2)
- （１）被検レンズの像面位置に点光源を設け、点光源か
らの光束を被検レンズに入射させる過程、前記被検レン
ズを通過した光束を主光線に垂直な面内交は被検レンズ
の光軸に垂直な面内に於いて所定の複数の光線に分離す
る過程、前記被検レンズに関して前記像面位置と光学的
に共役な位置からは離れた位置であって、前記複数の光
線が相互に分離可能な位置で各々の光束の位置を検出す
る過程を含む事を特徴とする収差測定方法。 - （２） 被検レンズの像面位置に点光源を設け、点光
源からの光束を被検レンズで平行光束とする過程、前記
被検レンズを通過した光束を主光線に垂直な面内又は被
検レンズの光軸に垂直な面内に於いて所定の複数の光線
に分離する過程、前記複数本の平行光線を前記被検レン
ズの焦点距離よりも長い焦点距離を有し収差の良好に補
正されたコリメーターレンズにより集束する過程、前記
被検レンズ及びコリメーターレンズより成る光学系に関
して、前記像面位置と光学的に共役な位置から離れた位
置であって、前記複数の光線が相互に分離可能な位置で
各々の光線の位置を検出する過程を含む事を特徴とする
収差測定方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57088429A JPS58205834A (ja) | 1982-05-25 | 1982-05-25 | 収差測定方法 |
| US06/496,208 US4641962A (en) | 1982-05-25 | 1983-05-19 | Aberration measuring method |
| DE19833318293 DE3318293A1 (de) | 1982-05-25 | 1983-05-19 | Verfahren und vorrichtung zum messen von aberrationen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57088429A JPS58205834A (ja) | 1982-05-25 | 1982-05-25 | 収差測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58205834A true JPS58205834A (ja) | 1983-11-30 |
Family
ID=13942537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57088429A Pending JPS58205834A (ja) | 1982-05-25 | 1982-05-25 | 収差測定方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4641962A (ja) |
| JP (1) | JPS58205834A (ja) |
| DE (1) | DE3318293A1 (ja) |
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- 1983-05-19 US US06/496,208 patent/US4641962A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-05-19 DE DE19833318293 patent/DE3318293A1/de not_active Ceased
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