JPS58200225A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は遠紫外線露光装置のＸ　ｅ　−Ｕ　ｆランプの
ランプ温度制御に関する。

従来、放電灯はランプ温度により発光スペクトルが変わ
ることが知られておシ、例えば水冷方式の超高圧水銀灯
などを温調された純水にょ〕温度制御するのは公知あ技
術である。しかじ遠紫外領域に高い発光効率を有するＸ
・−Ｈｆランプは空冷式であり水冷に１９ランプ温度を
制御することはできない。又水冷方式は高価な純水を必
要とし、又、水もれの危険もあった。

本発明の目的は空冷式のＸ＠−Ｈｆランプを最適温度に
冷却し、希望する波長領域で高い発光効率を得、又ラン
プ照度を一定に保つことができる露光装置を提供するこ
とにある。

第１図はＸ・−Ｈｆランプの温度と光強度（相対照度）
の関係を示す。また、第２図はランプ発光効率の経時変
化を示す。これらの図から希望する波長にはそれぞれ最
適ランプ温度があり、また、第１図においてイは遠紫外
領域の光、口は紫外領域の光の特性である。また、第２
図においてイは相対照度、ｐはランプ温度の特性である
。

第３図に本発明の実施例を示す。通常Ｘ・−Ｈｆランプ
１はだ円鏡２などで光を集光し遠紫外光３を放出してい
る。又ランプ１が過熱するのを防ぐため、不活性ガス例
えばＮ！ガス１などで冷却している。ランプ１を温度制
御するため、ランプ１會冷却したＮｍガス７ｂの温度を
検出器８により検出し、温調器５にフィードバックし、
ヒータ６によｐガス配管４￥ｆ−介してＮ禽ガスＴを温
度制御し、温度制御されたＮｓガス１１をランプ１に供
給し、これでランプ温度の制御を行なうものである０ 本実施例では、遠紫外領域の発光効率が数十チ向上し、
従って露光作業時間が数十−短縮するという効果が得ら
れ友。

以上のように本発明によれば、空冷式のＸｅ　−Ｈｆ？
ンプを安価に温度制御できるので、容易に発光効率を向
上させ従って露光時間を短縮し、また、ランプ温度を一
定に保てるので、分光照度を一定に保ち製品の歩留を向
上し、よって安価で高品質な製品を提供できる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はランプ温度と発光効率を示すグラフ、第２図は
ランプ発光効率の経時変化を示すグラフ−第３図は本発
明の実施例の構成図を示す。 １・・・・Ｘ・−Ｈｆランプ、２＠・・ｅだ日焼、３Ｉ
・拳・遠紫外光、４・・・・ガス配管、５・−一争［１
器、６争・・・ヒータ、Ｔ＠拳・・Ｎ雪ガス（加熱前）
、７ｍ・・・・Ｎ！ガス（加熱後）、７ｂ・・・・Ｎｌ
ガス（ランプ冷却後）、８・・・・温度センサ。 第１図 Ｔ＋　　　　　７２ ランフ曙７Ｌ　　’ 第２図 ↑ （（汀）　蒔Ｆ／→

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. Ｘ舎−Ｈｆランプを有する遠紫外線露光装置において、
   ヒータによシ加熱され次冷却ガスでランプを温度制御す
   ることを特徴とする露光装置。