JPS58199467A - 負圧磁気ヘツドスライダの製造方法 - Google Patents
負圧磁気ヘツドスライダの製造方法Info
- Publication number
- JPS58199467A JPS58199467A JP8349582A JP8349582A JPS58199467A JP S58199467 A JPS58199467 A JP S58199467A JP 8349582 A JP8349582 A JP 8349582A JP 8349582 A JP8349582 A JP 8349582A JP S58199467 A JPS58199467 A JP S58199467A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- slider
- groove
- negative pressure
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気へラドスライダに関し、電子計算機の大容
量記憶装置として使用される磁気ディスク装置に用いる
磁気へラドスライダに関する。
量記憶装置として使用される磁気ディスク装置に用いる
磁気へラドスライダに関する。
従来、磁気ディスク装置においては、磁気ディ １−
スフ盤静止時には磁気へラドスライダが荷重はねによっ
て磁気ディスク盤上に押し付けられておル、磁気ディス
ク盤が回転すると磁気へ、トスライダ □と磁気
ディスク盤の間に非常に薄い空気膜が形成され、磁気へ
ラドスライダが浮上するいわゆるＣ８Ｓ方式（コンタク
トスタートスト、プ方式）が用いられている。磁気へラ
ドスライダの浮上量は、低い程磁気記鋒特性上好ましく
、現在広く実用化されている磁気ディスク装置において
は約０．５μｍ程度であり、さらに記録を高密度化１す
る場合には、より浮上量を低くする必要がある。
て磁気ディスク盤上に押し付けられておル、磁気ディス
ク盤が回転すると磁気へ、トスライダ □と磁気
ディスク盤の間に非常に薄い空気膜が形成され、磁気へ
ラドスライダが浮上するいわゆるＣ８Ｓ方式（コンタク
トスタートスト、プ方式）が用いられている。磁気へラ
ドスライダの浮上量は、低い程磁気記鋒特性上好ましく
、現在広く実用化されている磁気ディスク装置において
は約０．５μｍ程度であり、さらに記録を高密度化１す
る場合には、より浮上量を低くする必要がある。
磁気へラドスライダの浮上量を下げる手段の一つとして
は、前記荷重ばねの荷重を増すという方法がある。しか
しこの方法では磁気ディスク盤靜止時に磁気へ、トスラ
イダが磁気ディスク盤に強く押し付けられるため、磁気
へラドスライダと磁気ディスク盤の密着が生じやすく、
磁気ディスク盤の回転起動時に磁気へ、トスライダおよ
び磁気ディスク盤の損傷が生じやすいという欠点がある
。
は、前記荷重ばねの荷重を増すという方法がある。しか
しこの方法では磁気ディスク盤靜止時に磁気へ、トスラ
イダが磁気ディスク盤に強く押し付けられるため、磁気
へラドスライダと磁気ディスク盤の密着が生じやすく、
磁気ディスク盤の回転起動時に磁気へ、トスライダおよ
び磁気ディスク盤の損傷が生じやすいという欠点がある
。
上記欠点を解決する方法としては、負圧利用磁気へラド
スライダ（以下負圧スライダと略する）を用いる方竺が
ある。第一回（ａ）は負圧スライーの平面図、°第１図
（ｂ）は磁気ディスク盤２上金浮−止し □ている
ようすを示した側面図である。第１図および第２図にお
いて、スライでの磁気ディスク盤対 ′同面は磁気
ディスク盤回転時にディスク盤との間に大気圧より高い
圧力の空気膜を生ずるサイトレール４およびクロスレー
ル５と、大気圧より低い圧〃の学堺膜を生ずる、負圧発
生部６とから成る。
スライダ（以下負圧スライダと略する）を用いる方竺が
ある。第一回（ａ）は負圧スライーの平面図、°第１図
（ｂ）は磁気ディスク盤２上金浮−止し □ている
ようすを示した側面図である。第１図および第２図にお
いて、スライでの磁気ディスク盤対 ′同面は磁気
ディスク盤回転時にディスク盤との間に大気圧より高い
圧力の空気膜を生ずるサイトレール４およびクロスレー
ル５と、大気圧より低い圧〃の学堺膜を生ずる、負圧発
生部６とから成る。
負圧発生部は数μｍ程度す４イドレ一ル面から削られて
いる。負圧発生部は磁気ディスク盤回転時に磁気ディス
ク、盤への吸着力をうける。この吸着力は荷重ばねの押
し付け１・力を補充するため、荷重ばねの押し付は力を
小さくしても磁気へラドスライダの浮上量を下げること
ができる。なお磁気ヘッド１は、薄膜技術を用いて、あ
るいは、バルク磁性体で形成されたコアに巻線を施して
作成される。
いる。負圧発生部は磁気ディスク盤回転時に磁気ディス
ク、盤への吸着力をうける。この吸着力は荷重ばねの押
し付け１・力を補充するため、荷重ばねの押し付は力を
小さくしても磁気へラドスライダの浮上量を下げること
ができる。なお磁気ヘッド１は、薄膜技術を用いて、あ
るいは、バルク磁性体で形成されたコアに巻線を施して
作成される。
ところで、負圧スライダの負圧発生部６の深さは数μｍ
程度であり、第１図のような形に機械加工で形成するの
は困難であった。そのため従来、；負在スライダを製作
するには、スバ、タエッチングあるいはイオンミリング
等のドライエツチング凍に上シ、負圧部分を形成してい
る。しかし、ドーライ、エツチング法による負圧発生部
分の形成の工！にはマスク形成のためのマスク用材料蒸
着、フォトエツチング等、多数の工程があ勺、製造方法
が複雑であった。またドライエ、チングに要する時間も
、材料によっては数μｍエツチングするのに１０時間以
上かかる場合があり、実用的ではなかった。またスライ
ダにと力つけられている磁気ヘッド１がドライエッチン
ーグによって侵されるのを防ぐため、磁気ヘッド上にマ
スクを施す等の必要があった。
程度であり、第１図のような形に機械加工で形成するの
は困難であった。そのため従来、；負在スライダを製作
するには、スバ、タエッチングあるいはイオンミリング
等のドライエツチング凍に上シ、負圧部分を形成してい
る。しかし、ドーライ、エツチング法による負圧発生部
分の形成の工！にはマスク形成のためのマスク用材料蒸
着、フォトエツチング等、多数の工程があ勺、製造方法
が複雑であった。またドライエ、チングに要する時間も
、材料によっては数μｍエツチングするのに１０時間以
上かかる場合があり、実用的ではなかった。またスライ
ダにと力つけられている磁気ヘッド１がドライエッチン
ーグによって侵されるのを防ぐため、磁気ヘッド上にマ
スクを施す等の必要があった。
本発明は簡単な機械加工および組立法によシドライエ、
チング法を用いずに負圧スライダを備えた磁気ヘッドを
製造する製造方法を提供するものである。
チング法を用いずに負圧スライダを備えた磁気ヘッドを
製造する製造方法を提供するものである。
本発明によれば、磁気記録媒体対向面の中央に、磁気記
録媒体走行方向に溝を形成した磁気へラドスライダにお
いて、前記溝の両脇の媒体対向面を、磁気記録媒体走行
方向に垂直な方向に軸を持つ凸面の円筒面状に形成した
後前配溝全磁気記録媒体走行方向と垂直な方向に軸をも
つ凹面の円筒面状になるように変形させたことを特徴と
する負圧磁・気さ、トスライダの製造方法が得られる。
録媒体走行方向に溝を形成した磁気へラドスライダにお
いて、前記溝の両脇の媒体対向面を、磁気記録媒体走行
方向に垂直な方向に軸を持つ凸面の円筒面状に形成した
後前配溝全磁気記録媒体走行方向と垂直な方向に軸をも
つ凹面の円筒面状になるように変形させたことを特徴と
する負圧磁・気さ、トスライダの製造方法が得られる。
・次に本発明の実施例について図面を参照して説明する
。 ・ 第２図乃至第５図は本発明の第一の実施例を・示す。本
磁気′へ、トスライダは第２図（ａｌｂ）のように薄膜
作成技術によりスラ・イダ７上に磁、気ヘッド８が形成
される。次に第・３図（ａ）（ｂ）に示すようにスライ
ダは磁気記録媒体対向面９の中央部に深さ１０μｍ程度
の溝１０を形成される。この溝形成は平面研削盤等によ
り容易に行なわ、れる。次、に溝の両脇は磁気記録媒体
対向面１１が第４図に示すように円、筒面状に型層され
るｂこの、研磨は凹面になったラップ盤を用いれば行な
うことができる。次に背面にあらかじめ形成してあった
溝１２には第５図に示すように板バネ１３が圧入される
。この板バネ１３は、スライダを磁気）ラドアームにり
な ５− ぐジンバルスプリングの一部であることが好ましい。ス
ライダ７はこの板バネ１３が溝の側面１４を押すことに
より、円筒面であった面１１′ヲはぼ平面に、また平面
であった溝１０を凹面にした負圧発生面全作る。板バネ
の圧入によるスライダのそシは、はぼスライダの厚さ１
５の９乗に反比例す°る。゛また板ノセネ１３の゛厚み
あるいは剛゛性を□変えることにより溝の側面１４を押
す力を大きぐ変えることができ所期の形状は容易に得ら
れる。”なお媒体対向面は必ずしも゛平面である必要追
込い、□すなわ′ち第６歯は第二の実）施例とし七示す
ように全体が凸面に禿らでいてもさしつかえな゛い。
。 ・ 第２図乃至第５図は本発明の第一の実施例を・示す。本
磁気′へ、トスライダは第２図（ａｌｂ）のように薄膜
作成技術によりスラ・イダ７上に磁、気ヘッド８が形成
される。次に第・３図（ａ）（ｂ）に示すようにスライ
ダは磁気記録媒体対向面９の中央部に深さ１０μｍ程度
の溝１０を形成される。この溝形成は平面研削盤等によ
り容易に行なわ、れる。次、に溝の両脇は磁気記録媒体
対向面１１が第４図に示すように円、筒面状に型層され
るｂこの、研磨は凹面になったラップ盤を用いれば行な
うことができる。次に背面にあらかじめ形成してあった
溝１２には第５図に示すように板バネ１３が圧入される
。この板バネ１３は、スライダを磁気）ラドアームにり
な ５− ぐジンバルスプリングの一部であることが好ましい。ス
ライダ７はこの板バネ１３が溝の側面１４を押すことに
より、円筒面であった面１１′ヲはぼ平面に、また平面
であった溝１０を凹面にした負圧発生面全作る。板バネ
の圧入によるスライダのそシは、はぼスライダの厚さ１
５の９乗に反比例す°る。゛また板ノセネ１３の゛厚み
あるいは剛゛性を□変えることにより溝の側面１４を押
す力を大きぐ変えることができ所期の形状は容易に得ら
れる。”なお媒体対向面は必ずしも゛平面である必要追
込い、□すなわ′ち第６歯は第二の実）施例とし七示す
ように全体が凸面に禿らでいてもさしつかえな゛い。
ま苑゛部分的゛に凸面がある場合□、あるいは部分的に
わずかな凹面がある′場゛合もさしつかえない′。
わずかな凹面がある′場゛合もさしつかえない′。
次に第７図乃至第１０図に第三の実施例を示す。
第三の実施例は第７図（ａ）に示すよ・うに第一の実施
□例と同様に女うイ゛ダ１７上に磁気へ”ツ□ド１８が
形成されでいる。次に亘ライダ１７は第８図に示すよう
に−゛１９と箇取り゛部２゛０が形′成さ孔る。この面
取り部を設は九どとによハ最終輪状は第１０６ − 図に示すようになりセンタレール２１がでキル。
□例と同様に女うイ゛ダ１７上に磁気へ”ツ□ド１８が
形成されでいる。次に亘ライダ１７は第８図に示すよう
に−゛１９と箇取り゛部２゛０が形′成さ孔る。この面
取り部を設は九どとによハ最終輪状は第１０６ − 図に示すようになりセンタレール２１がでキル。
以上の実施例は負圧発生部分の製造方法について示した
が磁気ヘッドの製造方法については何ら限定せず、たと
えば本発明の製造方法に従って負圧スライダを製造した
あと巻線工事等を行なって磁気へ、ドを製造してもさし
つかえない。
が磁気ヘッドの製造方法については何ら限定せず、たと
えば本発明の製造方法に従って負圧スライダを製造した
あと巻線工事等を行なって磁気へ、ドを製造してもさし
つかえない。
また、負圧発生部分の加工のための溝形成および円筒状
研磨は個々のスライダに切ｐ出す前の母材に対して行な
っても良く、この場合は複数個の負圧発生部分を同時に
加工することができる。
研磨は個々のスライダに切ｐ出す前の母材に対して行な
っても良く、この場合は複数個の負圧発生部分を同時に
加工することができる。
本発明は以上説明したように、単純な機械加工法および
組立法によシ容易に負圧利用磁気へラドスライダを製造
する製造方法が得られる。
組立法によシ容易に負圧利用磁気へラドスライダを製造
する製造方法が得られる。
第１図および第４図は負圧スライダの平面図および側面
図、第３図乃至第５図は本発明の第一のＪ 〜 実施例を示した図、第６図４は本発明の第二の実施例を
示した図、第７図乃至第１０図は本発明の第三の実施例
を示した図である。 １・・・・・・磁気ヘッド、２・・・・・・ディスク盤
、３・・・・・・ディスク盤回転方向、４・・・・・・
サイトレール、５・・・・・・クロスレール、６・・・
・・・負圧発生部、７・・・・・・スライダ、８・・・
・・・磁気へ、ド、１３・・・・・・板バネ、１７・・
・・・・スライダ、１８・・・・・・磁気ヘッド、２０
・・・・・・面取シ部、２１・・・・・・サイトレール
。 （ａ） 竿／ρ
図、第３図乃至第５図は本発明の第一のＪ 〜 実施例を示した図、第６図４は本発明の第二の実施例を
示した図、第７図乃至第１０図は本発明の第三の実施例
を示した図である。 １・・・・・・磁気ヘッド、２・・・・・・ディスク盤
、３・・・・・・ディスク盤回転方向、４・・・・・・
サイトレール、５・・・・・・クロスレール、６・・・
・・・負圧発生部、７・・・・・・スライダ、８・・・
・・・磁気へ、ド、１３・・・・・・板バネ、１７・・
・・・・スライダ、１８・・・・・・磁気ヘッド、２０
・・・・・・面取シ部、２１・・・・・・サイトレール
。 （ａ） 竿／ρ
Claims (1)
- 磁気記録媒体対向面の中央に磁気記録媒体走行方向に溝
全形成した磁気へラドスライダにおいて、前記溝の両脇
の媒体対向面を磁気記録媒体走行方向に垂直な方向に軸
を持つ凸面の円筒面状に形成した後、前記溝を磁気記録
媒体走行方向と垂直な方向に軸？もつ凹面の円筒面状に
なるように磁気へラドスライダ本体を変形させたことを
特徴とする負圧磁気へラドスライダの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8349582A JPS58199467A (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | 負圧磁気ヘツドスライダの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8349582A JPS58199467A (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | 負圧磁気ヘツドスライダの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58199467A true JPS58199467A (ja) | 1983-11-19 |
Family
ID=13804058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8349582A Pending JPS58199467A (ja) | 1982-05-18 | 1982-05-18 | 負圧磁気ヘツドスライダの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58199467A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5687042A (en) * | 1994-11-03 | 1997-11-11 | International Business Machines Corporation | Slider having shifted crown peak for reduced fly height sensitivity |
-
1982
- 1982-05-18 JP JP8349582A patent/JPS58199467A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5687042A (en) * | 1994-11-03 | 1997-11-11 | International Business Machines Corporation | Slider having shifted crown peak for reduced fly height sensitivity |
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