JPS5818841A - 螢光面の製造方法 - Google Patents
螢光面の製造方法Info
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- JPS5818841A JPS5818841A JP11669381A JP11669381A JPS5818841A JP S5818841 A JPS5818841 A JP S5818841A JP 11669381 A JP11669381 A JP 11669381A JP 11669381 A JP11669381 A JP 11669381A JP S5818841 A JPS5818841 A JP S5818841A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明線替光面の製造方法に関する。
Ｘｌｌ１！健を螢光面で可視光像に変換し、そのａＪ視
光ｇｊＩを像増強管で増強するＸＩａ像強管が知られて
いる。Ｘ！ＩｇＩ増強管のｉ！ｉ＊分解能は入力螢光面
の画像分解能によりきまってしまう。また通常の螢光面
ではその厚さを増せばＸ線−可視光変換効率を向上させ
ることができるが画像分解能を低下させることになるこ
とが知られている。このように通常の螢光面では厚さの
調節により、相反する要求を同時に満足させることは困
難である。しｉ＝Ｌ螢光面の各点が十分に分離された多
数の螢光体からなる螢光面が得られ＼ばｘｍ−可視光変
換効率を高くするために螢光面の面に垂直な方向に十分
な厚さを与えても画像分解能を損うことはないはずであ
る。現在医用の局部Ｘ線診断に用いられる螢光面にｔａ
ｓｔｐ／−以上の解像度が要求されている。螢光面上の
各点を分離することにより、前記程度の解ｇ１１度を得
るには、各点が２５ ｆｉ ｒｎ以下のピッチで分離さ
れていればよい。
光ｇｊＩを像増強管で増強するＸＩａ像強管が知られて
いる。Ｘ！ＩｇＩ増強管のｉ！ｉ＊分解能は入力螢光面
の画像分解能によりきまってしまう。また通常の螢光面
ではその厚さを増せばＸ線−可視光変換効率を向上させ
ることができるが画像分解能を低下させることになるこ
とが知られている。このように通常の螢光面では厚さの
調節により、相反する要求を同時に満足させることは困
難である。しｉ＝Ｌ螢光面の各点が十分に分離された多
数の螢光体からなる螢光面が得られ＼ばｘｍ−可視光変
換効率を高くするために螢光面の面に垂直な方向に十分
な厚さを与えても画像分解能を損うことはないはずであ
る。現在医用の局部Ｘ線診断に用いられる螢光面にｔａ
ｓｔｐ／−以上の解像度が要求されている。螢光面上の
各点を分離することにより、前記程度の解ｇ１１度を得
るには、各点が２５ ｆｉ ｒｎ以下のピッチで分離さ
れていればよい。
前述のように解像力を向上させる目的で螢光面を分割す
る方法、また社構造についてにすでにいくつかの提案が
なされている。そのｌ＃″ｔアルミニウムの板にステン
レススチールの粒を嵌めそのステンレススチールの部分
にのみ板状に結晶成長させるようにした屯のである（特
公昭５３−４６６３２）。
る方法、また社構造についてにすでにいくつかの提案が
なされている。そのｌ＃″ｔアルミニウムの板にステン
レススチールの粒を嵌めそのステンレススチールの部分
にのみ板状に結晶成長させるようにした屯のである（特
公昭５３−４６６３２）。
この発明に係る構成でにステンレススチールの粒の像が
映倫に重畳される。任意の材質の基板上に形成できない
という問題がある。その２は均一の厘さに形成した螢光
体の層に垂直なりラックを形成させる屯のである（特公
昭５５−１９０２９）。この方法でに活性化のために真
空加熱するとクラックが減少するおそれがある。その３
Ｆｉ板軟体の面に垂直に設けた多数の貫通孔に螢光体を
詰める亀のである（実開昭４８−２４６５．＠開昭４７
−７５１３゜特開昭５５−６７７００）。この方法では
均一な密度螢光体を孔に詰めることが容易でないこと、
および螢光体の融点が高いから板状体（ガラス製）が変
形する前に螢光体を融解できないという困難がある。ガ
ラス以外の融点の高い他の材料で十分細く多数の貫通孔
を有する板状体を作ることが離しい。その４は蒸着源と
基板の間にメツシュで設けることにより４７Ｍ党面を分
離形成する吃のである（特開昭５ｓ−３１０１）。この
方法で打蒸着時メツシュの孔に螢光材料が入射する方向
が場所により変わるので場所により螢光体の点が鮮明に
分離でき攻くなるおそれがある。
映倫に重畳される。任意の材質の基板上に形成できない
という問題がある。その２は均一の厘さに形成した螢光
体の層に垂直なりラックを形成させる屯のである（特公
昭５５−１９０２９）。この方法でに活性化のために真
空加熱するとクラックが減少するおそれがある。その３
Ｆｉ板軟体の面に垂直に設けた多数の貫通孔に螢光体を
詰める亀のである（実開昭４８−２４６５．＠開昭４７
−７５１３゜特開昭５５−６７７００）。この方法では
均一な密度螢光体を孔に詰めることが容易でないこと、
および螢光体の融点が高いから板状体（ガラス製）が変
形する前に螢光体を融解できないという困難がある。ガ
ラス以外の融点の高い他の材料で十分細く多数の貫通孔
を有する板状体を作ることが離しい。その４は蒸着源と
基板の間にメツシュで設けることにより４７Ｍ党面を分
離形成する吃のである（特開昭５ｓ−３１０１）。この
方法で打蒸着時メツシュの孔に螢光材料が入射する方向
が場所により変わるので場所により螢光体の点が鮮明に
分離でき攻くなるおそれがある。
本発明の目的は解像力および感度ともにすぐれ大螢光面
を容易に提供することができる螢光面の製造方法を提供
することＫある。
を容易に提供することができる螢光面の製造方法を提供
することＫある。
前記目的を達成するために本考案による螢光面の製造方
法に、基板上に多Ｖに分割され大螢光面を形成する螢光
面の製造方法において、形成しようとする螢光面の拡り
より大きな２つの面と、その面よシ十分小さな厚さとを
有しこの厚さより十分小さい内径で前記２つの面の間を
貫通する多数の孔を有する板状体の一方の面に形成しよ
うとする螢光面の拡夛よシ大きな開口、を有し、螢光物
質を詰めた蒸着源ボートを配置し、他方の面に螢光面を
形成すべき基板をそれぞれ板状体の面に平行に配置し、
真空容器内で前記ボートを加温することにより、前記基
板上に多数の柱状の螢光体よりなる螢光面を形成するよ
うに構成されている。
法に、基板上に多Ｖに分割され大螢光面を形成する螢光
面の製造方法において、形成しようとする螢光面の拡り
より大きな２つの面と、その面よシ十分小さな厚さとを
有しこの厚さより十分小さい内径で前記２つの面の間を
貫通する多数の孔を有する板状体の一方の面に形成しよ
うとする螢光面の拡夛よシ大きな開口、を有し、螢光物
質を詰めた蒸着源ボートを配置し、他方の面に螢光面を
形成すべき基板をそれぞれ板状体の面に平行に配置し、
真空容器内で前記ボートを加温することにより、前記基
板上に多数の柱状の螢光体よりなる螢光面を形成するよ
うに構成されている。
前記構成によれば、本発明の目的は完全に達成できる。
ｖ下、図面等を参照して本発明方法をさらに詳しく説明
する。
する。
第１図は本発明により方法を実施するための蒸着装置の
実施例を示す断面図である。図示のように真空ベルジャ
１内に下から順にボート７、板状ヒータ６、有孔板状体
４．基板３．板状ヒータ５を配置する。第２図に前記ボ
ートＴを取り出して示しである。このボートＴにタンタ
ル製の皿状体で必要によシ支柱２１ｉ−軸として回転可
能に設けられている。このボート１の開孔面は円形で直
径は約加−φである。ボートＴには沃化セシウム２ｇ。
実施例を示す断面図である。図示のように真空ベルジャ
１内に下から順にボート７、板状ヒータ６、有孔板状体
４．基板３．板状ヒータ５を配置する。第２図に前記ボ
ートＴを取り出して示しである。このボートＴにタンタ
ル製の皿状体で必要によシ支柱２１ｉ−軸として回転可
能に設けられている。このボート１の開孔面は円形で直
径は約加−φである。ボートＴには沃化セシウム２ｇ。
沃化ナトリウム２Ｄｗｑが収容され、通電により６５０
℃まで加温される。板状ヒータ６も必要によシ支柱２を
軸として回転可能に支持されておりボート１と連動して
、いずれかが板状体４の下へ選択的に挿入される。有孔
板状体４にガラスを基材としその外径は２ｆｓｗｍで、
厚さはＯＳ■、貫通孔の内径はφ １２ｊｍであシ、孔間のピッチ１５μｍである。螢光面
が一面に形成される基板３にオプチカルファイバープレ
ート（光学繊維板）であって、その最大外径１１ｔ３０
■、厚さ３曽である。オプチカルファイバーの芯径ｔｉ
４．５ １１ｍで、その中心間ピッチ五５Ｊｌｎである
。板状ヒータ５ｒ！基板３を数百度に加熱するために用
いられる。ボート７の開口と有孔板状体４０間を３〜５
−程度とし、有孔板状体４と基板３０間隔を約１四に保
つようにそれぞれを支柱２に結合する。蒸着時にベルジ
ャ１内を１×１０−’）−ル以上の真空変とする。
℃まで加温される。板状ヒータ６も必要によシ支柱２を
軸として回転可能に支持されておりボート１と連動して
、いずれかが板状体４の下へ選択的に挿入される。有孔
板状体４にガラスを基材としその外径は２ｆｓｗｍで、
厚さはＯＳ■、貫通孔の内径はφ １２ｊｍであシ、孔間のピッチ１５μｍである。螢光面
が一面に形成される基板３にオプチカルファイバープレ
ート（光学繊維板）であって、その最大外径１１ｔ３０
■、厚さ３曽である。オプチカルファイバーの芯径ｔｉ
４．５ １１ｍで、その中心間ピッチ五５Ｊｌｎである
。板状ヒータ５ｒ！基板３を数百度に加熱するために用
いられる。ボート７の開口と有孔板状体４０間を３〜５
−程度とし、有孔板状体４と基板３０間隔を約１四に保
つようにそれぞれを支柱２に結合する。蒸着時にベルジ
ャ１内を１×１０−’）−ル以上の真空変とする。
次に上記配列での製造工程を説明する。まず板状ヒータ
５に通電して、基板３の温度を１００１：まで上昇させ
る。次にボートＴに通電してボートを６５０℃に加熱す
るとボートに収容されている沃化セシウムおよび沃化ナ
トリウムが蒸発して有孔板状体４０貫通孔によシコリメ
ート（平行化）されて基板３の前記貫通孔に対応した部
分に直径１２ｆｉ Ｉｎ ｙ ピッチ１５４ｍで円形の
点状の蒸着が開始される。この蒸着を５〜６分継続する
と有孔版状体４の孔に部分的に目詰シが発生する。この
状態を特続するとむらが生じるのでボー）７の加熱を中
止するとともに退避させ板状ヒータ６と置換する。
５に通電して、基板３の温度を１００１：まで上昇させ
る。次にボートＴに通電してボートを６５０℃に加熱す
るとボートに収容されている沃化セシウムおよび沃化ナ
トリウムが蒸発して有孔板状体４０貫通孔によシコリメ
ート（平行化）されて基板３の前記貫通孔に対応した部
分に直径１２ｆｉ Ｉｎ ｙ ピッチ１５４ｍで円形の
点状の蒸着が開始される。この蒸着を５〜６分継続する
と有孔版状体４の孔に部分的に目詰シが発生する。この
状態を特続するとむらが生じるのでボー）７の加熱を中
止するとともに退避させ板状ヒータ６と置換する。
板状ヒータ６により板状体４を６５０ ’Ｃになるまで
加温すると、孔に付着していた沃化セシウムは溶融し孔
から蒸発する。仁のボート７かもの蒸発による蒸着と板
状ヒータ６による板状体の加熱を数回繰返すことによシ
、基板３上の螢光体柱は次第に高さを増し５００μｍｌ
ＩＣ成長させることができる。
加温すると、孔に付着していた沃化セシウムは溶融し孔
から蒸発する。仁のボート７かもの蒸発による蒸着と板
状ヒータ６による板状体の加熱を数回繰返すことによシ
、基板３上の螢光体柱は次第に高さを増し５００μｍｌ
ＩＣ成長させることができる。
以上のようにして形成てれた螢光板の拡大図を第３図に
示す。第３Ａ図扛平面図、第３Ｂ図は断面図である。図
において３ａｔｔ基板の芯ガラス、８は螢光体柱を示す
。基板３に達する螢光面材料は板状体４によって平行化
されたものと、板状体４に付着していたものとの２＠１
類があシ、後者の場合は若干平行性に欠けると思われる
が、板状体４と基板３が近接して設けられているので極
端な拡が）はなく、量的に４前者に比して小量である。
示す。第３Ａ図扛平面図、第３Ｂ図は断面図である。図
において３ａｔｔ基板の芯ガラス、８は螢光体柱を示す
。基板３に達する螢光面材料は板状体４によって平行化
されたものと、板状体４に付着していたものとの２＠１
類があシ、後者の場合は若干平行性に欠けると思われる
が、板状体４と基板３が近接して設けられているので極
端な拡が）はなく、量的に４前者に比して小量である。
螢光体柱８の基部を連結するときわめて薄い螢光体層が
形成されても分解能と著るしく害すること杖ないようで
ある。
形成されても分解能と著るしく害すること杖ないようで
ある。
次に以上の方法で製造された螢光面の評価方法と結果を
第４図を参照して説明する。
第４図を参照して説明する。
第４図は螢光面の解像度を測定するため装置の配列を示
す略図である。図において１０ｔｌＸ線源を形成するＸ
線管であって対陰極の電圧のビークｔｉ６０ＫＶにしで
ある。１１は金線のテストバタン、１２は検査の対象で
ある螢光面が形成された螢光板である。１３は骨増強管
、１４は像増強管の螢光面上に形成されたテストバタン
の倫をフィルム１５に結健させるためのレンズである。
す略図である。図において１０ｔｌＸ線源を形成するＸ
線管であって対陰極の電圧のビークｔｉ６０ＫＶにしで
ある。１１は金線のテストバタン、１２は検査の対象で
ある螢光面が形成された螢光板である。１３は骨増強管
、１４は像増強管の螢光面上に形成されたテストバタン
の倫をフィルム１５に結健させるためのレンズである。
フィルム１５に記録され九ｇＩをホトデンシトメータを
用いて測定する。上記装置を用いて前述した本発明方法
で製造した螢光面、従来の光電面との分解能の比較を行
ない次の結果を得た。
用いて測定する。上記装置を用いて前述した本発明方法
で製造した螢光面、従来の光電面との分解能の比較を行
ない次の結果を得た。
本発明による螢光面でｎ２５ｔｐ／ｖｍｃ加μｍピッチ
）までの解像度が得られた。アルミニウム基板上に１０
ｊ ｍの厚さで沃化セシウムを蒸着して得た従来の螢
光面（従来例１）の解像ｆｔ１８ｊｐ／−でめった。基
板に近接して１０００メツシユ／インチのメツシュを配
置し、螢光面の厚さが３０μｍになるように蒸着した螢
光面（従来例Ｉ）の解像度は２０ｔｐ／■てあった。ま
たこれ等の光電面のＸ線−可視光変換効率を比較すると
、本発明による螢光板は到達したＸ線の９０％以上を吸
収して可視光に変換しており、もつとも明るい儂が得ら
れている。
）までの解像度が得られた。アルミニウム基板上に１０
ｊ ｍの厚さで沃化セシウムを蒸着して得た従来の螢
光面（従来例１）の解像ｆｔ１８ｊｐ／−でめった。基
板に近接して１０００メツシユ／インチのメツシュを配
置し、螢光面の厚さが３０μｍになるように蒸着した螢
光面（従来例Ｉ）の解像度は２０ｔｐ／■てあった。ま
たこれ等の光電面のＸ線−可視光変換効率を比較すると
、本発明による螢光板は到達したＸ線の９０％以上を吸
収して可視光に変換しており、もつとも明るい儂が得ら
れている。
従来例の１でに螢光面の厚さが１０μｍなのでＸ線をｔ
ｏＸＬか吸収することができず、螢光面の明るさは本発
明方法による螢光面の６分の１程度であった。前述した
従来例の璽の場合の明るさ抹本発明方法による場合の３
分の１程度であった。
ｏＸＬか吸収することができず、螢光面の明るさは本発
明方法による螢光面の６分の１程度であった。前述した
従来例の璽の場合の明るさ抹本発明方法による場合の３
分の１程度であった。
以上詳しく説明したように本発明によれば解像度、感度
ともに秀れた螢光面が得られる。
ともに秀れた螢光面が得られる。
第１図は本発明方法を実施するための装置の実施例を示
す断面図、第２図は前記装置中のボートの実施例を示す
斜視図、第３図は本発明方法により製造した螢光板の一
部を拡大して示した断面図、第４図は螢光板の評価方法
を説明するための略図である。 １・・−ベルジャ ２・・・支柱 ３＠＠＠基板 ４・・自板状体 ５．６・・・板状ヒータ ７・・・ボート １Ｇ−−・Ｘ線管 １１・拳・テストバタン １２・・・被験螢光板 １３・嗜・僚増強管 １４・・・レンズ １５・・・フィルム 特 許 出 願 人 浜松テレビ株式会社代理人 弁
理士 井 ノ ロ 壽 才１図 ゛（・２図 手続補正書 昭和５６年８月２８日 １ 事件の表示 昭和５６年 特許 願第１１８６９８号２、発明の名称
螢光面の製造方法 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、 代 理 人 〒１６０１０００８）ＧＯ９
−１０９４番補正する。 ２１３−
す断面図、第２図は前記装置中のボートの実施例を示す
斜視図、第３図は本発明方法により製造した螢光板の一
部を拡大して示した断面図、第４図は螢光板の評価方法
を説明するための略図である。 １・・−ベルジャ ２・・・支柱 ３＠＠＠基板 ４・・自板状体 ５．６・・・板状ヒータ ７・・・ボート １Ｇ−−・Ｘ線管 １１・拳・テストバタン １２・・・被験螢光板 １３・嗜・僚増強管 １４・・・レンズ １５・・・フィルム 特 許 出 願 人 浜松テレビ株式会社代理人 弁
理士 井 ノ ロ 壽 才１図 ゛（・２図 手続補正書 昭和５６年８月２８日 １ 事件の表示 昭和５６年 特許 願第１１８６９８号２、発明の名称
螢光面の製造方法 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 ４、 代 理 人 〒１６０１０００８）ＧＯ９
−１０９４番補正する。 ２１３−
Claims (1)
- （亘）基板上に多数に分割された螢光面を形成する螢光
面の製造方法において、形成しようとする螢光面の拡り
よシ大きな２つの面とその面よシ十分小さな厚さとｔ有
し、この厚さより十分小さい内径で前記２つの面の間を
貫通する多数の孔を有する板状体の一方の面に形成しよ
うとする螢光面の拡シよ、り大きな開口を有し、螢光物
質を詰めた蒸着源ボートを配置し、他方９面に螢光面を
形成すべき基板をそれぞれ板状体の面に平行に配置し真
空容器内で前記ボートを加温することＫよル、前記基板
上に多数の柱状の螢光体よりなる螢光面を形成するよう
にしたことを特徴とする螢光面の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11669381A JPS5818841A (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | 螢光面の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11669381A JPS5818841A (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | 螢光面の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5818841A true JPS5818841A (ja) | 1983-02-03 |
| JPH021331B2 JPH021331B2 (ja) | 1990-01-11 |
Family
ID=14693512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11669381A Granted JPS5818841A (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | 螢光面の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5818841A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004023508A2 (en) * | 2002-09-06 | 2004-03-18 | Saes Getters S.P.A. | Accessory member for dispensers of alkali metals |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS553101A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-10 | Toshiba Corp | Light intensifier |
-
1981
- 1981-07-24 JP JP11669381A patent/JPS5818841A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS553101A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-10 | Toshiba Corp | Light intensifier |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004023508A2 (en) * | 2002-09-06 | 2004-03-18 | Saes Getters S.P.A. | Accessory member for dispensers of alkali metals |
| WO2004023508A3 (en) * | 2002-09-06 | 2004-06-17 | Getters Spa | Accessory member for dispensers of alkali metals |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH021331B2 (ja) | 1990-01-11 |
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