JPH021331B2 - - Google Patents
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- JPH021331B2 JPH021331B2 JP56116693A JP11669381A JPH021331B2 JP H021331 B2 JPH021331 B2 JP H021331B2 JP 56116693 A JP56116693 A JP 56116693A JP 11669381 A JP11669381 A JP 11669381A JP H021331 B2 JPH021331 B2 JP H021331B2
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- Japan
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- phosphor screen
- substrate
- holes
- phosphor
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は蛍光面の製造方法に関する。
Ｘ線像を蛍光面で可視光像に変換し、その可視
光像を像増強管で増強するＸ線像強管が知られて
いる。Ｘ線像増強管の画像分解能は入力蛍光面の
画像分解能によりきまつてしまう。また通常の蛍
光面ではその厚さを増せばＸ線−可視光変換効率
を向上させることができるが画像分解能を低下さ
せることになることが知られている。このように
通常の蛍光面では厚さの調節により、相反する要
求を同時に満足させることは困難である。しかし
蛍光面の各点が十分に分離された多数の蛍光体か
らなる蛍光面が得られゝばＸ線−可視光変換効率
を高くするために蛍光面の面に垂直な方向に十分
な厚さを与えても画像分解能を損うことはないは
ずである。現在医用の局部Ｘ線診断に用いられる
蛍光面には５ｐ／mm以上の解像度が要求されて
いる。蛍光面上の各点を分離することにより、前
記程度の解像度を得るには、各点が25μｍ以下の
ピツチで分離されていればよい。
光像を像増強管で増強するＸ線像強管が知られて
いる。Ｘ線像増強管の画像分解能は入力蛍光面の
画像分解能によりきまつてしまう。また通常の蛍
光面ではその厚さを増せばＸ線−可視光変換効率
を向上させることができるが画像分解能を低下さ
せることになることが知られている。このように
通常の蛍光面では厚さの調節により、相反する要
求を同時に満足させることは困難である。しかし
蛍光面の各点が十分に分離された多数の蛍光体か
らなる蛍光面が得られゝばＸ線−可視光変換効率
を高くするために蛍光面の面に垂直な方向に十分
な厚さを与えても画像分解能を損うことはないは
ずである。現在医用の局部Ｘ線診断に用いられる
蛍光面には５ｐ／mm以上の解像度が要求されて
いる。蛍光面上の各点を分離することにより、前
記程度の解像度を得るには、各点が25μｍ以下の
ピツチで分離されていればよい。
前述のように解像力を向上させる目的で蛍光面
を分割する方法、または構造についてはすでにい
くつかの提案がなされている。その１はアンミニ
ウムの板にステンレススチールの粒を嵌めそのス
テンレススチールの部分にのみ板状に結晶成長さ
せるようにしたものである（特公昭53−46632）。
この発明に係る構成ではステンレススチールの粒
の像が映像に重畳される。任意の材質の基板上に
形成できないという問題がある。その２は均一の
厚さに形成した蛍光体の層に垂直なクラツクを形
成させるものである（特公昭55−19029）。この方
法では活性化のために真空加熱するとクラツクが
減少するおそれがある。その３は板状体の面に垂
直に設けた多数の貫通孔に蛍光体を詰めるもので
ある（実開昭48−2465、特開昭47−7513、特開昭
55−67700）。この方法では均一な密度蛍光体を孔
に詰めることが容易でないこと、および蛍光体の
融点が高いから板状体（ガラス製）が変形する前
に蛍光体を融解できないという困難がある。ガラ
ス以外の融点の高い他の材料で十分細く多数の貫
通孔を有する板状体を作ることが難しい。その４
は蒸着源と基板の間にメツシユで設けることによ
り蛍光面を分離形成するものである（特開昭55−
3101）。この方法では蒸着時メツシユの孔に蛍光
材料が入射する方向が場所により変わるので場所
により蛍光体の点が鮮明に分離できなくなるおそ
れがある。
を分割する方法、または構造についてはすでにい
くつかの提案がなされている。その１はアンミニ
ウムの板にステンレススチールの粒を嵌めそのス
テンレススチールの部分にのみ板状に結晶成長さ
せるようにしたものである（特公昭53−46632）。
この発明に係る構成ではステンレススチールの粒
の像が映像に重畳される。任意の材質の基板上に
形成できないという問題がある。その２は均一の
厚さに形成した蛍光体の層に垂直なクラツクを形
成させるものである（特公昭55−19029）。この方
法では活性化のために真空加熱するとクラツクが
減少するおそれがある。その３は板状体の面に垂
直に設けた多数の貫通孔に蛍光体を詰めるもので
ある（実開昭48−2465、特開昭47−7513、特開昭
55−67700）。この方法では均一な密度蛍光体を孔
に詰めることが容易でないこと、および蛍光体の
融点が高いから板状体（ガラス製）が変形する前
に蛍光体を融解できないという困難がある。ガラ
ス以外の融点の高い他の材料で十分細く多数の貫
通孔を有する板状体を作ることが難しい。その４
は蒸着源と基板の間にメツシユで設けることによ
り蛍光面を分離形成するものである（特開昭55−
3101）。この方法では蒸着時メツシユの孔に蛍光
材料が入射する方向が場所により変わるので場所
により蛍光体の点が鮮明に分離できなくなるおそ
れがある。
本発明の目的は解像力および感度ともにすぐれ
た蛍光面を容易に提供することができる蛍光面の
製造方法を提供することにある。
た蛍光面を容易に提供することができる蛍光面の
製造方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明による蛍光
面の製造方法は、蛍光面を形成すべき基板、多数
の孔を密集して設けた板状体、蛍光物質を詰めた
蒸着源ボートを準備して真空容器内にこの順に配
列し、前記ボートを加温して前記板状体の孔を介
して蛍光物質を前記基板に蒸着し、前記基板上に
前記板状体の孔に対応する多数の柱状の蛍光体よ
りなる蛍光面を形成する。
面の製造方法は、蛍光面を形成すべき基板、多数
の孔を密集して設けた板状体、蛍光物質を詰めた
蒸着源ボートを準備して真空容器内にこの順に配
列し、前記ボートを加温して前記板状体の孔を介
して蛍光物質を前記基板に蒸着し、前記基板上に
前記板状体の孔に対応する多数の柱状の蛍光体よ
りなる蛍光面を形成する。
また前記板状体と蒸着源ボートの間に板状のヒ
ータを挿入可能に設け、前記ボートを加温して前
記板状体の孔を介して蛍光物質を前記基板に蒸
着、前記板状体のヒータを挿入して前記板状体に
付着した蛍光材料を蒸発させ、前記板状のヒータ
を除去して再度前記ボートの加温を行い蒸着を行
い、前記基板上に前記板状体の孔に対応する多数
の柱状の蛍光体よりなる蛍光面を形成することも
できる。
ータを挿入可能に設け、前記ボートを加温して前
記板状体の孔を介して蛍光物質を前記基板に蒸
着、前記板状体のヒータを挿入して前記板状体に
付着した蛍光材料を蒸発させ、前記板状のヒータ
を除去して再度前記ボートの加温を行い蒸着を行
い、前記基板上に前記板状体の孔に対応する多数
の柱状の蛍光体よりなる蛍光面を形成することも
できる。
前記構成によれば、本発明の目的は完全に達成
できる。
できる。
以下、図面等を参照して本発明方法をさらに詳
しく説明する。
しく説明する。
第１図は本発明による方法を実施するための蒸
着装置の実施例を示す断面図である。図示のよう
に真空ペルジヤ１内に下から順にボート７、板状
ヒータ６、有孔板状体４、基板３、板状ヒータ５
を配置する。第２図に前記ボート７を取り出して
示してある。このボート７はタンタル製の皿状体
で必要により支柱２を軸として回転可能に設けら
れている。このボート７の開孔面は円形で直径は
約20mmφである。ボート７には沃化セシウム２
ｇ、沃化ナトリウム20mgが収容され、通電により
650℃まで加温される。板状ヒータ６も必要によ
り支柱２を軸として回転可能に支持されておりボ
ート７と連動して、いずれかが板状体４の下へ選
択的に挿入される。有孔板状体４はガラスを基材
としその外径は26mmで、厚さは0.6mm、貫通孔の
内径は12μｍであり、孔間のピツチは15μｍであ
る。蛍光面が一面に形成される基板３はオプチカ
ルフアイバープレート（光学繊維板）であつて、
その最大外径は30mm、厚さ３mmである。オプチカ
ルフアイバーの芯径は4.5μｍで、その中心間ピツ
チ5.5μｍである。板状ヒータ５は基板３を数百度
に加熱するために用いられる。ボート７の開口と
有孔板状体４の間を３〜５mm程度とし、有孔板状
体４と基板３の間隔を約１mmに保つようにそれぞ
れを支柱２に結合する。蒸着時にベルジヤ１内を
１×10-5トール以上の真空度とする。
着装置の実施例を示す断面図である。図示のよう
に真空ペルジヤ１内に下から順にボート７、板状
ヒータ６、有孔板状体４、基板３、板状ヒータ５
を配置する。第２図に前記ボート７を取り出して
示してある。このボート７はタンタル製の皿状体
で必要により支柱２を軸として回転可能に設けら
れている。このボート７の開孔面は円形で直径は
約20mmφである。ボート７には沃化セシウム２
ｇ、沃化ナトリウム20mgが収容され、通電により
650℃まで加温される。板状ヒータ６も必要によ
り支柱２を軸として回転可能に支持されておりボ
ート７と連動して、いずれかが板状体４の下へ選
択的に挿入される。有孔板状体４はガラスを基材
としその外径は26mmで、厚さは0.6mm、貫通孔の
内径は12μｍであり、孔間のピツチは15μｍであ
る。蛍光面が一面に形成される基板３はオプチカ
ルフアイバープレート（光学繊維板）であつて、
その最大外径は30mm、厚さ３mmである。オプチカ
ルフアイバーの芯径は4.5μｍで、その中心間ピツ
チ5.5μｍである。板状ヒータ５は基板３を数百度
に加熱するために用いられる。ボート７の開口と
有孔板状体４の間を３〜５mm程度とし、有孔板状
体４と基板３の間隔を約１mmに保つようにそれぞ
れを支柱２に結合する。蒸着時にベルジヤ１内を
１×10-5トール以上の真空度とする。
次に上記配列での製造工程を説明する。まず板
状ヒータ５に通電して、基板３の温度を100℃ま
で上昇させる。次にボート７に通電してボートを
650℃に加熱するとボートに収容されている沃化
セシウムおよび沃化ナトリウムが蒸発して有孔板
状体４の貫通孔によりコリメール（平行化）され
て基板３の前記貫通孔に対応した部分に直径12μ
ｍ、ピツチ15μｍで円形の点状の蒸着が開始され
る。その蒸着を５〜６分継続すると有孔板状体４
の孔に部分的に目詰りが発生する。この状態を持
続するとむらが生じるのでボート７の加熱を中止
するとともに退避させ板状ヒータ６と置換する。
板状ヒータ６により板状体４を650℃になるまで
加温すると、孔に付着していた沃化セシウムは溶
融し孔から蒸発する。このボート７からの蒸発に
よる蒸着と板状ヒータ６による板状体の加熱を数
回繰返すことにより、基板３上の蛍光体柱は次第
に高さを増し500μｍに成長させることができる。
状ヒータ５に通電して、基板３の温度を100℃ま
で上昇させる。次にボート７に通電してボートを
650℃に加熱するとボートに収容されている沃化
セシウムおよび沃化ナトリウムが蒸発して有孔板
状体４の貫通孔によりコリメール（平行化）され
て基板３の前記貫通孔に対応した部分に直径12μ
ｍ、ピツチ15μｍで円形の点状の蒸着が開始され
る。その蒸着を５〜６分継続すると有孔板状体４
の孔に部分的に目詰りが発生する。この状態を持
続するとむらが生じるのでボート７の加熱を中止
するとともに退避させ板状ヒータ６と置換する。
板状ヒータ６により板状体４を650℃になるまで
加温すると、孔に付着していた沃化セシウムは溶
融し孔から蒸発する。このボート７からの蒸発に
よる蒸着と板状ヒータ６による板状体の加熱を数
回繰返すことにより、基板３上の蛍光体柱は次第
に高さを増し500μｍに成長させることができる。
以上のようにして形成された蛍光板の拡大図を
第３図に示す。第３Ａ図は平面図、第３Ｂ図は断
面図である。図において３ａは基板の芯ガラス、
８は蛍光体柱を示す。基板３に達する蛍光面材料
は板状体４によつて平行化されたものと、板状体
４に付着していたものとの２種類があり、後者の
場合は若干平行性に欠けると思われるが、板状体
４と基板３が近接して設けられているので極端な
拡がりはなく、量的にも前者に比して小量であ
る。蛍光体柱８の基部を連結するときわめて薄い
蛍光体層が形成されても分解能を著るしく害する
ことはないようである。
第３図に示す。第３Ａ図は平面図、第３Ｂ図は断
面図である。図において３ａは基板の芯ガラス、
８は蛍光体柱を示す。基板３に達する蛍光面材料
は板状体４によつて平行化されたものと、板状体
４に付着していたものとの２種類があり、後者の
場合は若干平行性に欠けると思われるが、板状体
４と基板３が近接して設けられているので極端な
拡がりはなく、量的にも前者に比して小量であ
る。蛍光体柱８の基部を連結するときわめて薄い
蛍光体層が形成されても分解能を著るしく害する
ことはないようである。
次に以上の方法で製造された蛍光面の評価方法
と結果を第４図を参照して説明する。
と結果を第４図を参照して説明する。
第４図は蛍光面の解像度を測定するため装置の
配列を示す略図である。図において１０はＸ線源
を形成するＸ線管であつて対陰極の電圧のピーク
は60KVにしてある。１１は金線のテストパタ
ン、１２は検査の対象である蛍光面が形成された
蛍光板である。１３は雑増強管、１４は像増強管
の蛍光面上に形成されたテストパタンの像をフイ
ルム１５に結像させるためのレンズである。フイ
ルム１５に記録された像をホトデンシトメータを
用いて測定する。上記装置を用いて前述した本発
明方法で製造した蛍光面、従来の光電面との分解
能の比較を行ない次の結果を得た。
配列を示す略図である。図において１０はＸ線源
を形成するＸ線管であつて対陰極の電圧のピーク
は60KVにしてある。１１は金線のテストパタ
ン、１２は検査の対象である蛍光面が形成された
蛍光板である。１３は雑増強管、１４は像増強管
の蛍光面上に形成されたテストパタンの像をフイ
ルム１５に結像させるためのレンズである。フイ
ルム１５に記録された像をホトデンシトメータを
用いて測定する。上記装置を用いて前述した本発
明方法で製造した蛍光面、従来の光電面との分解
能の比較を行ない次の結果を得た。
本発明による蛍光面では25ｐ／mm（20μｍピ
ツチ）までの解像度が得られた。アルミニウム基
板上に10μｍの厚さで沃化セシウムを蒸着して得
た従来の蛍光面（従来例）の解像度は８ｐ／
mmであつた。基板に近接して1000メツシユ／イン
チのメツシユを配置し、蛍光面の厚さが30μｍに
なるように蒸着した蛍光面（従来例）の解像度
は20ｐ／mmであつた。またこれ等の光電面のＸ
線−可視光変換効率を比較すると、本発明による
蛍光板は到達したＸ線の90％以上を吸収して可視
光に変換しており、もつとも明るい像が得られて
いる。従来例のでは蛍光面の厚さが10μｍなの
でＸ線を10％しか吸収することができず、蛍光面
の明るさは本発明方法による蛍光面の６分の１程
度であつた。前述した従来例のの場合の明るさ
は本発明方法による場合の３分の１程度であつ
た。
ツチ）までの解像度が得られた。アルミニウム基
板上に10μｍの厚さで沃化セシウムを蒸着して得
た従来の蛍光面（従来例）の解像度は８ｐ／
mmであつた。基板に近接して1000メツシユ／イン
チのメツシユを配置し、蛍光面の厚さが30μｍに
なるように蒸着した蛍光面（従来例）の解像度
は20ｐ／mmであつた。またこれ等の光電面のＸ
線−可視光変換効率を比較すると、本発明による
蛍光板は到達したＸ線の90％以上を吸収して可視
光に変換しており、もつとも明るい像が得られて
いる。従来例のでは蛍光面の厚さが10μｍなの
でＸ線を10％しか吸収することができず、蛍光面
の明るさは本発明方法による蛍光面の６分の１程
度であつた。前述した従来例のの場合の明るさ
は本発明方法による場合の３分の１程度であつ
た。
以上詳しく説明したように本発明によれば解像
度、感度ともに秀れた蛍光面が得られる。
度、感度ともに秀れた蛍光面が得られる。
第１図は本発明方法を実施するための装置の実
施例を示す断面図、第２図は前記装置中のボート
の実施例を示す斜視図、第３図は本発明方法によ
り製造した蛍光板の一部を拡大して示した断面
図、第４図は蛍光板の評価方法を説明するための
略図である。 １……ベルジヤ、２……支柱、３……基板、４
……板状体、５，６……板状ヒータ、７……ボー
ト、１０……Ｘ線管、１１……テストパタン、１
２……被験蛍光板、１３……像増強管、１４……
レンズ、１５……フイルム。
施例を示す断面図、第２図は前記装置中のボート
の実施例を示す斜視図、第３図は本発明方法によ
り製造した蛍光板の一部を拡大して示した断面
図、第４図は蛍光板の評価方法を説明するための
略図である。 １……ベルジヤ、２……支柱、３……基板、４
……板状体、５，６……板状ヒータ、７……ボー
ト、１０……Ｘ線管、１１……テストパタン、１
２……被験蛍光板、１３……像増強管、１４……
レンズ、１５……フイルム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基板上に蛍光物質を蒸着することにより蛍光
面を形成する蛍光面の製造方法であつて、蛍光面
を形成すべき基板、多数の孔を密集して設けた板
状体、蛍光物質を詰めた蒸着源ボートを準備して
真空容器内にこの順に配列し、前記ボートを加温
して前記板状体の孔を介して蛍光物質を前記基板
に蒸着し、前記基板上に前記板状体の孔に対応す
る多数の柱状の蛍光体よりなる蛍光面を形成して
構成した蛍光面の製造方法。 ２ 基板上に蛍光物質を蒸着することにより蛍光
面を形成する蛍光面の製造方法であつて、蛍光面
を形成すべき基板、多数の孔を密集して設けた板
状体、蛍光物質を詰めた蒸着源ボートを準備して
真空容器内にこの順に配列し、前記板状体と蒸着
源ボートの間に板状のヒータを挿入可能に設け、
前記ボートを加温して前記板状体の孔を介して蛍
光物質を前記基板に蒸着、前記板状のヒータを挿
入して前記板状体に付着した蛍光材料を蒸発さ
せ、前記板状のヒータを除去して再度前記ボート
の加温を行い蒸着を行い、前記基板上に前記板状
体の孔に対応する多数の柱状の蛍光体よりなる蛍
光面を形成して構成したことを特徴とする蛍光面
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11669381A JPS5818841A (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | 螢光面の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11669381A JPS5818841A (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | 螢光面の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5818841A JPS5818841A (ja) | 1983-02-03 |
| JPH021331B2 true JPH021331B2 (ja) | 1990-01-11 |
Family
ID=14693512
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11669381A Granted JPS5818841A (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | 螢光面の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5818841A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITMI20021904A1 (it) * | 2002-09-06 | 2004-03-07 | Getters Spa | Elemento accessorio per dispensatori di metalli alcalini |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS553101A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-10 | Toshiba Corp | Light intensifier |
-
1981
- 1981-07-24 JP JP11669381A patent/JPS5818841A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS553101A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-10 | Toshiba Corp | Light intensifier |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5818841A (ja) | 1983-02-03 |
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