JPS58179609A - 薄片切断装置 - Google Patents
薄片切断装置Info
- Publication number
- JPS58179609A JPS58179609A JP6096082A JP6096082A JPS58179609A JP S58179609 A JPS58179609 A JP S58179609A JP 6096082 A JP6096082 A JP 6096082A JP 6096082 A JP6096082 A JP 6096082A JP S58179609 A JPS58179609 A JP S58179609A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- ingot
- cutting
- cut
- cutting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は薄片切断装置に係り、特に被切断物の送り速度
を制御する薄片切断装置に関する。
を制御する薄片切断装置に関する。
従来半導体に用いているウェハは、結晶丸棒（インゴッ
ト）を内周刃型ダイアモンドブレードで非常に薄くスラ
イスして造られており、このダイアモンドブレードの切
削能力低下はウェハの反りを起こしやすくしている。
ト）を内周刃型ダイアモンドブレードで非常に薄くスラ
イスして造られており、このダイアモンドブレードの切
削能力低下はウェハの反りを起こしやすくしている。
一般に内周刃ダイアモンドブレードはインゴットの損失
を考えて厚くすることができず、そのため極薄の金属の
内周先端にダイアモンド粒を固着させ刃とし、その地金
を外周方向に均一に張力を掛けて剛性を保ち高速回転さ
せてインゴットを切断している。回転するブレードは外
周方向に張力・を掛けているために起こる変形や機械的
精度のために少なからず偏心しており、このため切断は
刃の一部分のみで行なわれている事にな９部分的な刃の
消耗やブレードの地金の疲労が発生する。つまり、刃の
部分的な切削能力低下と地金の疲労がある場合に、一定
速度でインゴットを送るとインゴットの中心と外周では
ブレードに掛かる切削抵抗が違う事によシブレードの撓
みが部分的に異なってくる。つまり、インゴットの中心
付近ではブレードの撓みが最大で切断されており、また
インゴットの夕を周ではブレードの撓みが最小で切断さ
れていることにカリ、このブレードの撓みの相違がウェ
ハの反りを増大せしめる原因となっている。
を考えて厚くすることができず、そのため極薄の金属の
内周先端にダイアモンド粒を固着させ刃とし、その地金
を外周方向に均一に張力を掛けて剛性を保ち高速回転さ
せてインゴットを切断している。回転するブレードは外
周方向に張力・を掛けているために起こる変形や機械的
精度のために少なからず偏心しており、このため切断は
刃の一部分のみで行なわれている事にな９部分的な刃の
消耗やブレードの地金の疲労が発生する。つまり、刃の
部分的な切削能力低下と地金の疲労がある場合に、一定
速度でインゴットを送るとインゴットの中心と外周では
ブレードに掛かる切削抵抗が違う事によシブレードの撓
みが部分的に異なってくる。つまり、インゴットの中心
付近ではブレードの撓みが最大で切断されており、また
インゴットの夕を周ではブレードの撓みが最小で切断さ
れていることにカリ、このブレードの撓みの相違がウェ
ハの反りを増大せしめる原因となっている。
本発明は上記難点に鑑みなされたもので、予め設定され
たインゴットの直径に応じたインゴットの送り速度を可
変させるコントロール部を設けることにより、ブレード
に川かる切削抵抗を均一ならしめてブレードの寿命を増
し、且つウェハの反りを少なくさせることができる薄片
切断装置を提供せんとするものである。
たインゴットの直径に応じたインゴットの送り速度を可
変させるコントロール部を設けることにより、ブレード
に川かる切削抵抗を均一ならしめてブレードの寿命を増
し、且つウェハの反りを少なくさせることができる薄片
切断装置を提供せんとするものである。
本発明は回転するダイアモンドブレードと、ブレードに
インコツトを送り込む駆動部と、予め設定されたブレー
ドのインゴットにおける切り込み深さに応じたインコツ
トの送り速度を可変するよう駆動部を制御するコントロ
ール部とを備えた薄片切断装置である。
インコツトを送り込む駆動部と、予め設定されたブレー
ドのインゴットにおける切り込み深さに応じたインコツ
トの送り速度を可変するよう駆動部を制御するコントロ
ール部とを備えた薄片切断装置である。
以下本発明Ｑ）一実施例を図面により説明する。
本発明は第１図に示すように、回転するダイアモンドブ
レード１と、そのブレード１にインボッ＝３− ト２を送り込む（上下方向）駆動部３と、駆動部３を制
御するコントロール部４によって構成されている。
レード１と、そのブレード１にインボッ＝３− ト２を送り込む（上下方向）駆動部３と、駆動部３を制
御するコントロール部４によって構成されている。
以上のように構成される薄片切断装置のコントμｍル部
４はブレード１のインゴット２における切り込みの深さ
に応じて予め設定されたインゴット２の送り速度を順次
駆動部３に指示している。
４はブレード１のインゴット２における切り込みの深さ
に応じて予め設定されたインゴット２の送り速度を順次
駆動部３に指示している。
つまり、コントロール部４は、従来の切削抵抗とインゴ
ットの送り速度の関係およびその状態におけるウェハの
反シとの関係から第２図に示すように、インゴット２の
切断方向に従い切断開始から徐々にインゴット２の送り
速度を上げて所定速度（最大速度）に達した後、次第に
速度を減速させてブレー ド１がインゴット２の中心に
達したときに極小速度とし、再び加速させてその最大速
度に達した後、再び徐々に減速して切断終了に至るよう
に、ブレード１の切り込み深さに応じてインゴット２の
送り速度を変化させるよう予め設定されておｐ１ブレー
ド１に掛る切削抵抗をブレード１の切υ込み深さに関係
かく均一になるよう駆動部４− ３を制御している。
ットの送り速度の関係およびその状態におけるウェハの
反シとの関係から第２図に示すように、インゴット２の
切断方向に従い切断開始から徐々にインゴット２の送り
速度を上げて所定速度（最大速度）に達した後、次第に
速度を減速させてブレー ド１がインゴット２の中心に
達したときに極小速度とし、再び加速させてその最大速
度に達した後、再び徐々に減速して切断終了に至るよう
に、ブレード１の切り込み深さに応じてインゴット２の
送り速度を変化させるよう予め設定されておｐ１ブレー
ド１に掛る切削抵抗をブレード１の切υ込み深さに関係
かく均一になるよう駆動部４− ３を制御している。
例えば、１６ ／８φのブレードを用いて３φのインゴ
ットシリコンを厚さ７５０μｍを目標に切断した結果、
第３図に示すように従来の薄片切断装置におけるウエノ
・の反りが平均３０μｍ（第３図Ｕ））に対し、本発明
の薄片切断装置ではウエノ・の反りは平均２０μｍ（第
３図←））と減少しウエノ・の精度を向上せしめている
。
ットシリコンを厚さ７５０μｍを目標に切断した結果、
第３図に示すように従来の薄片切断装置におけるウエノ
・の反りが平均３０μｍ（第３図Ｕ））に対し、本発明
の薄片切断装置ではウエノ・の反りは平均２０μｍ（第
３図←））と減少しウエノ・の精度を向上せしめている
。
上記実施例においても、ブレードの寿命は永久的なもの
ではなく、ブレードの疲労によって起こる切削抵抗の増
大即ちウエノ・反りの増大を、切断されたウェハの反り
を別に測定して、それに応じて第２図の送り速度曲線を
全体レベルで下けるようコントロール部に再設定するこ
とによって史にブレードの寿命を伸ばすことができる。
ではなく、ブレードの疲労によって起こる切削抵抗の増
大即ちウエノ・反りの増大を、切断されたウェハの反り
を別に測定して、それに応じて第２図の送り速度曲線を
全体レベルで下けるようコントロール部に再設定するこ
とによって史にブレードの寿命を伸ばすことができる。
以上実施例から明らかなように本発明によれは、コント
ロール部において、予め設定されたブレードのインゴッ
トの切り込み深さに応じたインコ゛ットの送り速度を制
御することにより、ブレードに掛かる切削抵抗を均一な
らしめ、ブレードの寿命を増大せしめ、１つウエノ・の
反りを減少させウェハの精度を向上せしめることができ
る。
ロール部において、予め設定されたブレードのインゴッ
トの切り込み深さに応じたインコ゛ットの送り速度を制
御することにより、ブレードに掛かる切削抵抗を均一な
らしめ、ブレードの寿命を増大せしめ、１つウエノ・の
反りを減少させウェハの精度を向上せしめることができ
る。
第１図は本発明の薄片切断装置を示した概念図、第２図
はインゴットにおける送如速度の変化を示したグラフ、
第３図はウェハの反りの分布を示したグラフである。 １・・・・・・ダイアモンドブレード ２・・・・・・インゴット ３・・・・・・駆動部 ４・・・・・・コントロール部 （イ）・・・・・・従来の薄片切断装置（ρ）・・・・
・・本発明の薄片切断装置（７３１７）代理人 弁理士
則 近 憲 佑（ほか１名）
はインゴットにおける送如速度の変化を示したグラフ、
第３図はウェハの反りの分布を示したグラフである。 １・・・・・・ダイアモンドブレード ２・・・・・・インゴット ３・・・・・・駆動部 ４・・・・・・コントロール部 （イ）・・・・・・従来の薄片切断装置（ρ）・・・・
・・本発明の薄片切断装置（７３１７）代理人 弁理士
則 近 憲 佑（ほか１名）
Claims (1)
- 回転するダイアモンドブレードと、該ブレードに被切断
物を送り込む駆動部と、前記ブレードの該被切断物にお
ける切り込み深さに応じて予め設定された該被切断物の
送り速度をＩＩ次前記駆動部に指示して前記ブレードに
掛かる切削抵抗を均一ならしめるよう前記駆動部を制御
するコントロール部とを備えてなることを特徴とする薄
片切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6096082A JPS58179609A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 薄片切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6096082A JPS58179609A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 薄片切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58179609A true JPS58179609A (ja) | 1983-10-20 |
Family
ID=13157476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6096082A Pending JPS58179609A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 薄片切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58179609A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61280904A (ja) * | 1985-06-07 | 1986-12-11 | 岡本工機株式会社 | 工作機械の加工速度制御方法 |
| JPS6296400A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-02 | Mitsubishi Metal Corp | ウエハの製造方法 |
| JPH0317976U (ja) * | 1988-03-08 | 1991-02-21 | ||
| JPH03221410A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-09-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 柱状体材料の切断方法 |
| JPH03221411A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-09-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 柱状体材料の切断方法 |
| JPH04122608A (ja) * | 1990-09-14 | 1992-04-23 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 内周刃スライサーによる単結晶インゴットの切断方法及び装置 |
-
1982
- 1982-04-14 JP JP6096082A patent/JPS58179609A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61280904A (ja) * | 1985-06-07 | 1986-12-11 | 岡本工機株式会社 | 工作機械の加工速度制御方法 |
| JPS6296400A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-02 | Mitsubishi Metal Corp | ウエハの製造方法 |
| JPH0429640B2 (ja) * | 1985-10-23 | 1992-05-19 | ||
| JPH0317976U (ja) * | 1988-03-08 | 1991-02-21 | ||
| JPH03221410A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-09-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 柱状体材料の切断方法 |
| JPH03221411A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-09-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 柱状体材料の切断方法 |
| JPH04122608A (ja) * | 1990-09-14 | 1992-04-23 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 内周刃スライサーによる単結晶インゴットの切断方法及び装置 |
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