JPS58179012A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPS58179012A JPS58179012A JP6200282A JP6200282A JPS58179012A JP S58179012 A JPS58179012 A JP S58179012A JP 6200282 A JP6200282 A JP 6200282A JP 6200282 A JP6200282 A JP 6200282A JP S58179012 A JPS58179012 A JP S58179012A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- piezoelectric
- acoustic wave
- wave device
- surface acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、広帯域特性の実桟ン可能ならしめる一方向性
トランスジューサを備えた弾性表面波装置（関するもの
である。
トランスジューサを備えた弾性表面波装置（関するもの
である。
弾性体の平らな表面に沿ってエネルギーが集中した形で
伝搬する波いわゆる弾性表ｒｋ＃ｌ！は、従来用いられ
ているバルク波に比較して種々の点で優れているのでこ
の性質を利用してフィルタン初めとする各種の電子部品
に対し【弾性ＩＩＩＩｉ波デバイスとして適用されつつ
ある。ＪＩ１図はその一例としてフィルタを示す−ので
、１は圧電体基板、２は一対のすだれ状電極３Ａ、３Ｂ
からなる入力用トランスジューサ、４は一対のすだれ状
電＠５Ａ。
伝搬する波いわゆる弾性表ｒｋ＃ｌ！は、従来用いられ
ているバルク波に比較して種々の点で優れているのでこ
の性質を利用してフィルタン初めとする各種の電子部品
に対し【弾性ＩＩＩＩｉ波デバイスとして適用されつつ
ある。ＪＩ１図はその一例としてフィルタを示す−ので
、１は圧電体基板、２は一対のすだれ状電極３Ａ、３Ｂ
からなる入力用トランスジューサ、４は一対のすだれ状
電＠５Ａ。
５Ｂからなる出力用トランスジュー夛で、入力端子ＩＮ
から加えられた信号は上記人力用トランスジュー夛２に
より弾性表−ｍＫ変換され、矢印で示すように弾性体基
板１１１＋ｉｎ伝搬して上記出力用トランスジュー夛４
に到達した後、電気信号に変換されて出力端子ＯＵＴか
ら構成される装置に構成される。
から加えられた信号は上記人力用トランスジュー夛２に
より弾性表−ｍＫ変換され、矢印で示すように弾性体基
板１１１＋ｉｎ伝搬して上記出力用トランスジュー夛４
に到達した後、電気信号に変換されて出力端子ＯＵＴか
ら構成される装置に構成される。
ところで第１図の構造の表面波デバイスのように、各々
一対のすだれ状電極３Ａ、３Ｂおよび５Ａ、５Ｂを含む
２個のトランスジューサ２．４を配置したフィルタにあ
っては、これらトランスジューサ２，４が各々左右の双
方向に表面波を伝搬させるようＫｍ＜ために電気−機械
変換損失が避けられず、フィルタとして損失が多くなる
欠点がある。
一対のすだれ状電極３Ａ、３Ｂおよび５Ａ、５Ｂを含む
２個のトランスジューサ２．４を配置したフィルタにあ
っては、これらトランスジューサ２，４が各々左右の双
方向に表面波を伝搬させるようＫｍ＜ために電気−機械
変換損失が避けられず、フィルタとして損失が多くなる
欠点がある。
この欠点ン除くために圧電体基［１！面の一方向のみＫ
Ｎ面波を伝搬させるように工夫されたいわゆる一方向性
トランスジューサが提案された。この一方向性トランス
ジューサの具体的構成としては、第２図のように１２０
°移相ａｔ−用いる方法、あるいは９♂移相器ｌ用いる
方法、さらＫは第３図のよ５＜反射ｆｉを用いる方法が
知られている。
Ｎ面波を伝搬させるように工夫されたいわゆる一方向性
トランスジューサが提案された。この一方向性トランス
ジューサの具体的構成としては、第２図のように１２０
°移相ａｔ−用いる方法、あるいは９♂移相器ｌ用いる
方法、さらＫは第３図のよ５＜反射ｆｉを用いる方法が
知られている。
［２図において６，６Ａ、６Ｂはお互いに１２σの位相
差をもった電極で、そして６は他の電Ｉｋ６Ａとの間に
空ｉ１７あるいは絶縁属が介在されるように構成されて
！！ｌ！面波を一方向のみに伝搬させるよ５に働く。
差をもった電極で、そして６は他の電Ｉｋ６Ａとの間に
空ｉ１７あるいは絶縁属が介在されるように構成されて
！！ｌ！面波を一方向のみに伝搬させるよ５に働く。
しかしながら、このように移相器を用いる方法は、上記
のようＫｖＬ極に交叉部分を設ける必要があるために製
造工程が複雑となる欠点がある。
のようＫｖＬ極に交叉部分を設ける必要があるために製
造工程が複雑となる欠点がある。
一方第３図において、８Ａおよび８Ｂはすだれ状電極の
一部１−構成するように設けられた給電部および反射部
でともに正規形電極からなっており、９は上記電極８Ａ
、８８に対する共通電極、１０は信号源、１］は整合回
路、Ｌはりアクタンス回路である６以上において、信号
源ｌＯから整合回路ＩＩ ｖ経て加えられた信号は上記
給電１１８Ａから弾性表向波とされて左右の双方向に伝
搬される。この峙左方向に伝搬された表＃ＢＩｊＬは、
リアクタンヌー路１２を接続した反射９８８により反射
されて右方向へ戻され、給電部８１において右方向へ向
かう表向波と反射されたＩＮ−波との合成が行われる。
一部１−構成するように設けられた給電部および反射部
でともに正規形電極からなっており、９は上記電極８Ａ
、８８に対する共通電極、１０は信号源、１］は整合回
路、Ｌはりアクタンス回路である６以上において、信号
源ｌＯから整合回路ＩＩ ｖ経て加えられた信号は上記
給電１１８Ａから弾性表向波とされて左右の双方向に伝
搬される。この峙左方向に伝搬された表＃ＢＩｊＬは、
リアクタンヌー路１２を接続した反射９８８により反射
されて右方向へ戻され、給電部８１において右方向へ向
かう表向波と反射されたＩＮ−波との合成が行われる。
このＩａ来、表ＩＩｌ波における中心周波数同士の場合
は両波は重ね合わさるが、中心胸波数からずれている場
合は両波は打ち消し合うように作用するために目的とす
る一方向と逆方向ＫｒＲ−波か伝搬してしまうことにな
る。したがって表面波の伝搬特性が狭帯域特性に制限さ
れる欠点がある。
は両波は重ね合わさるが、中心胸波数からずれている場
合は両波は打ち消し合うように作用するために目的とす
る一方向と逆方向ＫｒＲ−波か伝搬してしまうことにな
る。したがって表面波の伝搬特性が狭帯域特性に制限さ
れる欠点がある。
本発明は以上の間踊に対処してなされたもので、圧電体
基板上に形成されたｏ’、 １ｚθ°および２４ｏ６
の位相ンもった３個の１１極の各々に接続されるべき３
個の引き出し′ｔＩＬ極の一つが、上記圧電体基板上に
形成された圧電体ＮＵ ’ｔＲｔｈＫ Ｇって設けられ
るようＫＰＭ、されたトランスジューサを備える弾性表
面波装置′４Ｉ：提供することを目的とするものである
。
基板上に形成されたｏ’、 １ｚθ°および２４ｏ６
の位相ンもった３個の１１極の各々に接続されるべき３
個の引き出し′ｔＩＬ極の一つが、上記圧電体基板上に
形成された圧電体ＮＵ ’ｔＲｔｈＫ Ｇって設けられ
るようＫＰＭ、されたトランスジューサを備える弾性表
面波装置′４Ｉ：提供することを目的とするものである
。
以下図面ン参照して本発明実施ｆｐ４を説明する。
第４図および第５図は本発明実施例（よる弾性表―波装
置Ｙ示す概略上面図および概略断−図で、ニオブ酸リチ
ウム等の圧電体からなる弾性体基板１３表−（は、Ｏ’
、 １２♂および２４♂の３つの位Ｉｇをもった各電
極１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃが形成されている。
置Ｙ示す概略上面図および概略断−図で、ニオブ酸リチ
ウム等の圧電体からなる弾性体基板１３表−（は、Ｏ’
、 １２♂および２４♂の３つの位Ｉｇをもった各電
極１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃが形成されている。
以上の３相電極のうち電極１４Ｂ、１４ＣＫ対しては、
これらに対応して弾性体基板１３表−に設けられた引き
出し電１ｊ１５Ｂ、１５Ｃが各々ｌＩ統される。
これらに対応して弾性体基板１３表−に設けられた引き
出し電１ｊ１５Ｂ、１５Ｃが各々ｌＩ統される。
また上記電１ｉ１４Ｂ、１４Ｃを覆うように弾性体基板
口表ＩＩＫは酸化亜鉛等の圧電体膜１６が形成され、こ
の圧電体膜１６表ＩｆｌＫ浴って設けられた引き出し劃
１５Ａが上記１［極１４ Ａ Ｋ 接続される。さらに
以上の引き出し電極１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃの各々に対
しては、各位相信号を供給するための給電端子１７Ａ。
口表ＩＩＫは酸化亜鉛等の圧電体膜１６が形成され、こ
の圧電体膜１６表ＩｆｌＫ浴って設けられた引き出し劃
１５Ａが上記１［極１４ Ａ Ｋ 接続される。さらに
以上の引き出し電極１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃの各々に対
しては、各位相信号を供給するための給電端子１７Ａ。
１７Ｂ、１７ｃがワイヤホンディング等により配置され
る。
る。
以上の構！ン製造するための一方法は、初め弾性体基＆
１３の全＆１ＴＤＫｉ４当な金−を真空蒸着法等により
付着し、次にフォトエツチング法（より不要部会ＭＹ除
去して上記３相電極のうち１４Ｂ、１４Ｃおよび引き出
し電１ｋ１５Ｂ、１５ｃのパターンのみｔＩＡすようＫ
する。続いてこれら各電極１４Ｂ、１４Ｃおよび１５Ｂ
、１５Ｃｙ含む弾性体基板１３表面（圧電体＠ １６
ｇ一様（付着する。その後、電＠ １４ Ａ ｙ弾性体
基板１３上にそして電価１４Ｃ，１４Ｂ関に同じ電極巾
で構成するために圧電体＄１６ｆ必要な部分の窓あけン
おこなう。さらに続いて圧電体膜１６狭面および圧電体
膜１６が存在してない弾性体基板１３表−に金ｌＩ４膜
を形成することにより、電極１４ Ａが弾性体基板１３
上にそして引き出し電極１５Ａが圧電体層１６六面に沿
って形成される。
１３の全＆１ＴＤＫｉ４当な金−を真空蒸着法等により
付着し、次にフォトエツチング法（より不要部会ＭＹ除
去して上記３相電極のうち１４Ｂ、１４Ｃおよび引き出
し電１ｋ１５Ｂ、１５ｃのパターンのみｔＩＡすようＫ
する。続いてこれら各電極１４Ｂ、１４Ｃおよび１５Ｂ
、１５Ｃｙ含む弾性体基板１３表面（圧電体＠ １６
ｇ一様（付着する。その後、電＠ １４ Ａ ｙ弾性体
基板１３上にそして電価１４Ｃ，１４Ｂ関に同じ電極巾
で構成するために圧電体＄１６ｆ必要な部分の窓あけン
おこなう。さらに続いて圧電体膜１６狭面および圧電体
膜１６が存在してない弾性体基板１３表−に金ｌＩ４膜
を形成することにより、電極１４ Ａが弾性体基板１３
上にそして引き出し電極１５Ａが圧電体層１６六面に沿
って形成される。
次（各引き出し１＊１５Ａ、１５Ｂ、１５ＣＫ適当な金
輌１ｔＩｔｖワイヤボンディング法により接続すること
Ｋよって給電端子１７ Ａ 、 １７ Ｂ 、 １７
Ｃ１（形成して第４図の構造が得られる。
輌１ｔＩｔｖワイヤボンディング法により接続すること
Ｋよって給電端子１７ Ａ 、 １７ Ｂ 、 １７
Ｃ１（形成して第４図の構造が得られる。
以上の構成のトランスジューサの３相＊ｆｆ１ｔｔＡ。
１４Ｂ、１４ｃの各々に対し給電端子１７Ａ、 １７Ｂ
、 １７Ｃｉ介して３相の電気信号Ｙ加えれば、広い動
作周波数範囲にわたって一方向性トランスジューサとし
て動作させることができる。
、 １７Ｃｉ介して３相の電気信号Ｙ加えれば、広い動
作周波数範囲にわたって一方向性トランスジューサとし
て動作させることができる。
ここで弾性体基板１３としてニオブ酸リチウム（ＬｉＮ
ｂ０ｍ ） Ｙ用い、また圧電体膜１６として酸化亜鉛
（ＺｎＯ） ｖ用いれば、電気−機械結合係数が上記ニ
オブ酸リチウム基板単体の場合（比べて大きくなるため
、トランスジューサを構成する電極対ａＹ：少な′くす
ることができるので動作効率ン上げることができ、より
高帯域特性の実現ン計ることができる。
ｂ０ｍ ） Ｙ用い、また圧電体膜１６として酸化亜鉛
（ＺｎＯ） ｖ用いれば、電気−機械結合係数が上記ニ
オブ酸リチウム基板単体の場合（比べて大きくなるため
、トランスジューサを構成する電極対ａＹ：少な′くす
ることができるので動作効率ン上げることができ、より
高帯域特性の実現ン計ることができる。
以上述べて明らかなように本発明和よれば、圧電体基板
上く形成された０＠、 １２０’および２４♂の位相
ｔもった３個の電極の各々に接続されるべき３−の引き
出し電極の一つが、上記圧電体基板上に形成され１こ圧
を体膜ａ ｍ Ｋ 泊って設けられるように一方向性ト
ランスジューサ馨偽成するものであるから、広帝城特性
を実現することができる。また製法的１Ｃも促米扱術ン
応用−ｆることにより容易に３相信弓ｖＬ極糸？形成す
ることかできるので、製造コストを圓秋Ｔることかでき
る。
上く形成された０＠、 １２０’および２４♂の位相
ｔもった３個の電極の各々に接続されるべき３−の引き
出し電極の一つが、上記圧電体基板上に形成され１こ圧
を体膜ａ ｍ Ｋ 泊って設けられるように一方向性ト
ランスジューサ馨偽成するものであるから、広帝城特性
を実現することができる。また製法的１Ｃも促米扱術ン
応用−ｆることにより容易に３相信弓ｖＬ極糸？形成す
ることかできるので、製造コストを圓秋Ｔることかでき
る。
なお実施例中で示し１こ製法は一例Ｙあげたものであり
、必要に応じて任意の製造工程の追加、変史等ン竹うこ
とができる。
、必要に応じて任意の製造工程の追加、変史等ン竹うこ
とができる。
第１図乃至第３図はいずれも従来例を示す概略図、第４
図Ｈよび第５図は共に本発明実施例Ｙ示す概略上面図お
よび概略断面図である。 １３・・・弾性体基板、１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ° ３
相電極、１５Ａ、１５８．１５ｃ・・・引き出し電極、
１６・・・圧電体膜、１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ・・・給
電端子。 特許出願人 クラリオン株式会社 代印人 升坤士 永 １）武 三 部第１Ｌ！４ 第２図 Ｂ い 第３図 第４図 第５図
図Ｈよび第５図は共に本発明実施例Ｙ示す概略上面図お
よび概略断面図である。 １３・・・弾性体基板、１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ° ３
相電極、１５Ａ、１５８．１５ｃ・・・引き出し電極、
１６・・・圧電体膜、１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ・・・給
電端子。 特許出願人 クラリオン株式会社 代印人 升坤士 永 １）武 三 部第１Ｌ！４ 第２図 Ｂ い 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 圧電体基板上に０°、１２６および２４０′の位
相ンもった各電極が形成され、これら３個の電極の各々
に接続されるべき３−の引き出し１ｉ！ｃ極の一つが上
記圧電体基板上に形成された圧電体基板上に沿って設け
られるように構成されたトランスジューすｌ備えること
ｔ特徴とする弾性表面波装置。 ２ 残りの二つのｔ極に対する引き出し電極が上記圧電
体基＆表面に＆って設けられてなること奮４Ｉ微とする
ｑ＃軒錆求の範囲第１項記載の弾性表面波装置。 ３、 上記圧電体膜が残りの二つの電極Ｙ５うよ５に形
成されてなることを特徴とする特許請求の範囲第１項又
は第２項記載の弾性表面波装置。 ４、 上記圧電体基板がニオブ酸リチウムからなり、上
記圧電体膜が酸化亜鉛からなること％：ｑＩｆｌＩｋと
する特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれか（記教
の弾性表面波装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6200282A JPS58179012A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 弾性表面波装置 |
| US06/482,755 US4521711A (en) | 1982-04-14 | 1983-04-07 | Unidirectional transducer for a surface-acoustic-wave device and a method of making same |
| DE3312726A DE3312726C2 (de) | 1982-04-14 | 1983-04-08 | Mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement |
| GB08309962A GB2120892B (en) | 1982-04-14 | 1983-04-13 | Surface-acoustic-wave device unidirectional transducer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6200282A JPS58179012A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58179012A true JPS58179012A (ja) | 1983-10-20 |
| JPH0356012B2 JPH0356012B2 (ja) | 1991-08-27 |
Family
ID=13187507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6200282A Granted JPS58179012A (ja) | 1982-04-14 | 1982-04-14 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58179012A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01319314A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-25 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| WO2004017789A1 (ja) | 2002-07-30 | 2004-03-04 | Yoshida Industry Co., Ltd. | 収納ケース |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5762001A (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-14 | Toshiba Corp | Observation device for inside in atmosphere of high temperature and highly pressurized water |
-
1982
- 1982-04-14 JP JP6200282A patent/JPS58179012A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5762001A (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-14 | Toshiba Corp | Observation device for inside in atmosphere of high temperature and highly pressurized water |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01319314A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-25 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| WO2004017789A1 (ja) | 2002-07-30 | 2004-03-04 | Yoshida Industry Co., Ltd. | 収納ケース |
| US7393115B2 (en) | 2002-07-30 | 2008-07-01 | Yoshida Industry Co., Ltd. | Storage case |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0356012B2 (ja) | 1991-08-27 |
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