JPS58174919A - ホログラム光走査装置 - Google Patents
ホログラム光走査装置Info
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- JPS58174919A JPS58174919A JP5753982A JP5753982A JPS58174919A JP S58174919 A JPS58174919 A JP S58174919A JP 5753982 A JP5753982 A JP 5753982A JP 5753982 A JP5753982 A JP 5753982A JP S58174919 A JPS58174919 A JP S58174919A
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- JP
- Japan
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- scanning
- holograms
- grating
- hologram
- plane
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/106—Scanning systems having diffraction gratings as scanning elements, e.g. holographic scanners
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は偏向率子きして直線回折格子を用いた九走ｔＶ
装置において光の利用効率を高めたもυに関する。
装置において光の利用効率を高めたもυに関する。
レーザプリンタ、バーコード＠、収り、レーザ欠陥憧査
等に用いられるレーザ光’７）７元話として、咎間隔直
婦格子を定速回転するディスク上ＶＣ練叡個四心円伏に
配置し、そυ半匝一定り位置にレーザビームを入射さ？
、回折された一次光を走査面に集束させるようにしたも
っけ既に知られている。
等に用いられるレーザ光’７）７元話として、咎間隔直
婦格子を定速回転するディスク上ＶＣ練叡個四心円伏に
配置し、そυ半匝一定り位置にレーザビームを入射さ？
、回折された一次光を走査面に集束させるようにしたも
っけ既に知られている。
こつ型Ｏ光偏向装置は１等間隔直線回折格子をホログラ
ムとして製造することにより、光偏向ｋｉとして回転多
面−を用、いる装置に比して製作が容易であり、実用上
７）貴いも７）を得ることが出来る。しかし、こ７）坤
装置１１１つ実用上を島めるためには、ホログラムの１
回折効率を高めると共に、その回折効率υディスクυ（
回転による、訳勧が小さいことが望ま（７いことは云う
までもない０ 杢光峡は、ホログラムυ格子方向と入射光υ偏光面とυ
関係において、上記り望ましい条件を光すことυ出来る
光圓向装置を提供しようとするもっである。
ムとして製造することにより、光偏向ｋｉとして回転多
面−を用、いる装置に比して製作が容易であり、実用上
７）貴いも７）を得ることが出来る。しかし、こ７）坤
装置１１１つ実用上を島めるためには、ホログラムの１
回折効率を高めると共に、その回折効率υディスクυ（
回転による、訳勧が小さいことが望ま（７いことは云う
までもない０ 杢光峡は、ホログラムυ格子方向と入射光υ偏光面とυ
関係において、上記り望ましい条件を光すことυ出来る
光圓向装置を提供しようとするもっである。
以Ｆ図囲を参照して詳細に説明する。
第１図はレーザビームＤ走資力向、いわゆる主走査方向
を宮む園内の元−同装置１つ光学配置図、第２図はこれ
と直角方向りいわゆる副走★方向で与た光学配置図であ
る。図示しないレーザからＯガクスビームけ、シリンド
リカルレンズｌによりＡ点にホログラムディスク２と平
行に＠伏に集束するような集光光束とされ、ホログラム
ディスク２上り直線格子ホログラムに入射角θｉで入゛
射する。ホログラムによる１次（ロ）折光は射出角θｄ
で回折され、集＊Ｉ！！Ａに対応するＡ′に線状Ｄビー
ムウェストを作る。Ａ′からυ発数光は球面レンズであ
る１０しｙズ３及び−走倉方向で収斂作用を持つシリン
ドリカルレンズ４により走斎面Ｐにビームウェストを作
る。主走ｆｔＭ内では、レーザビームはホログラムディ
スク２ｖ回転による回折方向ＯＫ化により、ビームウェ
ストａ走査面２１２２１点から２２点まで走査される一
方、副走査面内ではｆθレンズ３とシリンドリカルレン
ズ４とに関しホログラムディスク２而と走資面Ｐとは幾
何光学的に共役つ関係にあり、ディスク２つぶれ、ホロ
グラム７）取付角度誤差等が走萱面上υ巣東点位置に１
豐を与えることがないような光学配置とされるＯが一般
である。
を宮む園内の元−同装置１つ光学配置図、第２図はこれ
と直角方向りいわゆる副走★方向で与た光学配置図であ
る。図示しないレーザからＯガクスビームけ、シリンド
リカルレンズｌによりＡ点にホログラムディスク２と平
行に＠伏に集束するような集光光束とされ、ホログラム
ディスク２上り直線格子ホログラムに入射角θｉで入゛
射する。ホログラムによる１次（ロ）折光は射出角θｄ
で回折され、集＊Ｉ！！Ａに対応するＡ′に線状Ｄビー
ムウェストを作る。Ａ′からυ発数光は球面レンズであ
る１０しｙズ３及び−走倉方向で収斂作用を持つシリン
ドリカルレンズ４により走斎面Ｐにビームウェストを作
る。主走ｆｔＭ内では、レーザビームはホログラムディ
スク２ｖ回転による回折方向ＯＫ化により、ビームウェ
ストａ走査面２１２２１点から２２点まで走査される一
方、副走査面内ではｆθレンズ３とシリンドリカルレン
ズ４とに関しホログラムディスク２而と走資面Ｐとは幾
何光学的に共役つ関係にあり、ディスク２つぶれ、ホロ
グラム７）取付角度誤差等が走萱面上υ巣東点位置に１
豐を与えることがないような光学配置とされるＯが一般
である。
こつような光走査装置に用いられるホログラムディスク
２７）平面図０１例を第３図に示す・個々Ｄホログラム
２１．２２・・・け直線格子ケ持ち、図示Ｏ飼ではその
中心を通るディスク半径に直角に格子が配置されている
。
２７）平面図０１例を第３図に示す・個々Ｄホログラム
２１．２２・・・け直線格子ケ持ち、図示Ｏ飼ではその
中心を通るディスク半径に直角に格子が配置されている
。
ホログラムへυ入射ビーム７）（ａｉｌ光振動而と面ロ
グラム格子とＯなす角つ変化により、回折効率が変化す
ることが見出された。第４図ＶＣＩｊｉｌ光嶽勧面−格
子角虻と回折効率υ関係７）１卸會示す。
グラム格子とＯなす角つ変化により、回折効率が変化す
ることが見出された。第４図ＶＣＩｊｉｌ光嶽勧面−格
子角虻と回折効率υ関係７）１卸會示す。
測定には、０．８μｍ７）膜厚Ｄフォトレジストｌ＃を
持り記録材料にＨｅ −Ｃｄレーザ光により周知り記録
光学系でｌ ８６ Ｌｌ ’／ｗ ７）ホログラムを記
録し、再生７）ｖＩＩ＠ｒけＨｅ −Ｎｅ レーザヲ用
イテいる。ホログラムへυ入射角θｉは実験的に見出さ
れた回折効率が最南になる角度θｌＯを用いた。
持り記録材料にＨｅ −Ｃｄレーザ光により周知り記録
光学系でｌ ８６ Ｌｌ ’／ｗ ７）ホログラムを記
録し、再生７）ｖＩＩ＠ｒけＨｅ −Ｎｅ レーザヲ用
イテいる。ホログラムへυ入射角θｉは実験的に見出さ
れた回折効率が最南になる角度θｌＯを用いた。
すなわち
ただし λ：再生光り空気中波長
Ｕ：ホログラムの空間周波数
こ０例でけ λ＝０．６３２８Ｘ１０ ｗａｘ ｕ＝
１８６０−であるので θｉｏ＃３６．１である。
１８６０−であるので θｉｏ＃３６．１である。
入射ビームとしてＩ］［線傷光ビームと無偏光ビームを
用いレーザ管を回転させて回折効率が曖高となったとき
Ｄ回折効率を測定した結果直線偏光レーザの回折効率
６２．ｏチ無 偏光レーザの回折効率 ５４．ｏ％′ｆ
得な。ここで回折効率ηは入射光パワーを２０１次１！
ｌ！Ｉ折光パワーをＰｌとしてη＝Ｐｌ／Ｉ）ｏ Ｘ
ｌ Ｏｔ３ ％として求めている。
用いレーザ管を回転させて回折効率が曖高となったとき
Ｄ回折効率を測定した結果直線偏光レーザの回折効率
６２．ｏチ無 偏光レーザの回折効率 ５４．ｏ％′ｆ
得な。ここで回折効率ηは入射光パワーを２０１次１！
ｌ！Ｉ折光パワーをＰｌとしてη＝Ｐｌ／Ｉ）ｏ Ｘ
ｌ Ｏｔ３ ％として求めている。
これにより直線偏光レーザＯ方が高い回折効率を得られ
ることが明らかとなったって、次に直＠偏光を用いたｗ
ｌ会の偏光振動面と回折効率り関係を測定した。そ７）
＃Ｉ朱を示したつが第４図である。ここでα＝ｕｔｉ入
射光つ偏光振動面とホログラムＯ格子方向が一致してい
ることを表わし、いわゆるｓ４光であり、α＝９０Ｖｉ
（ａｌｌ光振動而と面子方向が垂直ないわゆるＰ（ｊｌ
ｌ光となる。回折効率ηはほぼ η＝Ａｃｏｓ２α＋Ｂ （Ａ、Ｂけ定数）を満
足することが見出された。
ることが明らかとなったって、次に直＠偏光を用いたｗ
ｌ会の偏光振動面と回折効率り関係を測定した。そ７）
＃Ｉ朱を示したつが第４図である。ここでα＝ｕｔｉ入
射光つ偏光振動面とホログラムＯ格子方向が一致してい
ることを表わし、いわゆるｓ４光であり、α＝９０Ｖｉ
（ａｌｌ光振動而と面子方向が垂直ないわゆるＰ（ｊｌ
ｌ光となる。回折効率ηはほぼ η＝Ａｃｏｓ２α＋Ｂ （Ａ、Ｂけ定数）を満
足することが見出された。
上記り結果を第１図、第２図に示す光偏向装置ＶＣ応用
する場合は、再生用の照明ビームＯ偏光振動面をホログ
ラムの格子方向、すなわちディスク２つ半径方向に直角
に設定すればよい。
する場合は、再生用の照明ビームＯ偏光振動面をホログ
ラムの格子方向、すなわちディスク２つ半径方向に直角
に設定すればよい。
このようにすれば走ｆ面υ中央Ｐ。の位１１を走査する
とき、ホログラムυ格子方向と入射ビーム７）端光振動
ｌが一致し、＃Ｉｋ尚Ｏ（ロ）折効率を示し、同時に走
査開始点Ｐ１％走査終了点Ｐ２における効率り低下も峡
低となる０第３図に示すホログラムディスクは８枚υホ
ログラムを有し、個々Ｄホログラムは約３ＬＪ７）走査
を行う。こＤ場合υホログラムＯ格子方向と濃光振ｖＪ
＠とのＭＦυｆ＠範囲Ｖｉ鶴４図ｖＢ７）範凹となる。
とき、ホログラムυ格子方向と入射ビーム７）端光振動
ｌが一致し、＃Ｉｋ尚Ｏ（ロ）折効率を示し、同時に走
査開始点Ｐ１％走査終了点Ｐ２における効率り低下も峡
低となる０第３図に示すホログラムディスクは８枚υホ
ログラムを有し、個々Ｄホログラムは約３ＬＪ７）走査
を行う。こＤ場合υホログラムＯ格子方向と濃光振ｖＪ
＠とのＭＦυｆ＠範囲Ｖｉ鶴４図ｖＢ７）範凹となる。
図示Ｏに置による！１１！ ＩＩＩＪυ結果、回転Ｍ３
Ｕで走査長２１υ■υ走食り間％モ均（ロ）折効率６０
．５ ％ 効率変動＋１５％つ良好な走査特注を持つ
ことが確認出来た。
Ｕで走査長２１υ■υ走食り間％モ均（ロ）折効率６０
．５ ％ 効率変動＋１５％つ良好な走査特注を持つ
ことが確認出来た。
上記り例はホログラム格子方向がディスクＤ半径方向に
垂直な場合について説明したが、格子方向がディスクＤ
半径方向と一致しているときけ入射光Ｏ偏光振動面もこ
れに一致させるのが良く、第５図つように格子方向が半
径方向に対し斜めに配置されているときけ入射光ｆ）Ｏ
１光振ＷＩＪＪ面も図中り矢印Ｃつように走査中央点を
走査していると轡の格子の方向に干行にすればよい０ なお、実験例はフォトレジストによるホログラムについ
て説明したが、銀塩、東クロム酸ゼラチン、アモルファ
ス材料、サーモゲラステック等、任意υ材料によるホロ
グラムについても同様であり、また、透過型でなく反射
型υホログラムについても同様に適用出来る。
垂直な場合について説明したが、格子方向がディスクＤ
半径方向と一致しているときけ入射光Ｏ偏光振動面もこ
れに一致させるのが良く、第５図つように格子方向が半
径方向に対し斜めに配置されているときけ入射光ｆ）Ｏ
１光振ＷＩＪＪ面も図中り矢印Ｃつように走査中央点を
走査していると轡の格子の方向に干行にすればよい０ なお、実験例はフォトレジストによるホログラムについ
て説明したが、銀塩、東クロム酸ゼラチン、アモルファ
ス材料、サーモゲラステック等、任意υ材料によるホロ
グラムについても同様であり、また、透過型でなく反射
型υホログラムについても同様に適用出来る。
第１図、第２図は本発明を実施する光走査染ＴＩＬ７）
光路配置図、第３図はホログラム１４３２０１例り乎（
８）図、第４図は回折効率曲線、第５図はホログラムデ
ィスクつ他υ９１Ｊ ７）部分平１図１１４ニジリント
リカルレンズ ２：ホログラムディスク ３：ｆθレン
ズ 特許出願人 法式会社 リコー
光路配置図、第３図はホログラム１４３２０１例り乎（
８）図、第４図は回折効率曲線、第５図はホログラムデ
ィスクつ他υ９１Ｊ ７）部分平１図１１４ニジリント
リカルレンズ ２：ホログラムディスク ３：ｆθレン
ズ 特許出願人 法式会社 リコー
Claims (1)
- 定速回転するディスク上にホログラムを豪数個、同心円
状に配置し、４核ホログラムに入射するレーザビーム７
）１次（ロ）折光によって走査面を走食する光走査装置
１において、入射光が直線偏光であり、その偏光振ｗＪ
面が足憂線中央を走食し、でいるとｄ５Ｔ）ホログラム
０Ｖ１１子方回と一致していることケ特徴とするホログ
ラム−ｙｔ走査餉噴
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5753982A JPH0248885B2 (ja) | 1982-04-07 | 1982-04-07 | Horoguramuhikarisosasochi |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5753982A JPH0248885B2 (ja) | 1982-04-07 | 1982-04-07 | Horoguramuhikarisosasochi |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58174919A true JPS58174919A (ja) | 1983-10-14 |
| JPH0248885B2 JPH0248885B2 (ja) | 1990-10-26 |
Family
ID=13058559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5753982A Expired - Lifetime JPH0248885B2 (ja) | 1982-04-07 | 1982-04-07 | Horoguramuhikarisosasochi |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0248885B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60172018A (ja) * | 1984-02-17 | 1985-09-05 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
| JPS60238812A (ja) * | 1984-05-14 | 1985-11-27 | Fujitsu Ltd | 光走査方法 |
| EP0223508A2 (en) * | 1985-11-06 | 1987-05-27 | Holographix, Inc. | Scanner system having rotating deflector hologram |
| US4923262A (en) * | 1985-11-06 | 1990-05-08 | Holographix, Inc. | Scanner system having rotating deflector hologram |
-
1982
- 1982-04-07 JP JP5753982A patent/JPH0248885B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60172018A (ja) * | 1984-02-17 | 1985-09-05 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置 |
| JPS60238812A (ja) * | 1984-05-14 | 1985-11-27 | Fujitsu Ltd | 光走査方法 |
| JPH0668582B2 (ja) * | 1984-05-14 | 1994-08-31 | 富士通株式会社 | 光走査方法 |
| EP0223508A2 (en) * | 1985-11-06 | 1987-05-27 | Holographix, Inc. | Scanner system having rotating deflector hologram |
| US4923262A (en) * | 1985-11-06 | 1990-05-08 | Holographix, Inc. | Scanner system having rotating deflector hologram |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0248885B2 (ja) | 1990-10-26 |
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