JPS58171642A - 赤外線検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はデューア形線の外囲器を具えている赤外線検出
器、特にデューア外囲器の真空空所からガス分子をゲッ
タリングするためのゲッター設備に関するものである。

従来技術 赤外線検出器は通常内壁および外壁を有するデューア外
囲器を具えており、内壁と外壁との間には真空空所があ
り筒内−はデューア外囲器の内側チャンバをｍ成し夢少
なくとも１個の赤外線検出素子が真空空所内で、しかも
前記内壁の端面に取付けられており蓼前記内側チャンバ
内に設けた冷却素子によって検出器の作動中前記内壁お
よびその内壁に取付は邂検出素子を冷却するようにして
いる。冷却内壁は屡々検出器の゛低温フィンガー″とも
称されている。

検出器が故障する主な原因は、内壁と外壁との間の空所
における真空にｌＩＩされる検出器の檎々の構成部分か
らその真空中に発生するガスにより真空度が漸次劣下す
ることにあることは既知である。

この真空度の劣下によって結局は冷却素子が検出素子を
赤外暇の有効検出に望ましい温度にまで最、早十分速く
少なくとも有効的に冷却することはできなげなる。従っ
て検出器の寿命が短くなる。このような真空中でのガス
発生の影響を低減させるために真空空所内に少なくとも
１個のゲッターを入れて、この空所内に発生するガス分
子をゲッタリングすることは既知である。

デューア外囲器の真空度を維持するゲッターを内蔵して
いる赤外線検出器は例えば米国待肝（ＬＩＳ−Ａ）第８
，７８６，２６９号に開示されている。この検出器にお
ける検出素子アレイをまスターリングサイクル式の冷却
器によって約５０°Ｋにまで冷却される。この特殊検出
器では、一連の化学的に活性のゲッターを外壁の外周に
取はけると共にこれらのゲッターを外壁と低ｍフィンガ
ーとの闇の真空空所内に突出させている。しかし、十分
多皺のガスをゲッタリングＴるためには斯様な化学的に
活性のゲッターの表面積を大きくする必要があり、非常
にかさばることになる。このことは内壁と外壁との間の
空所および／または外壁の形状に寸法上の問題を提起す
ることになる。ざらに、斯様な、化学的に活性のゲッタ
ーはデューア外囲器を排気し、封止した後に例えば９０
０〜１′６υＯ”Ｃのような極めて高い温度にすること
によって活性化させている。このためにゲッターを外部
電気接続線と一緒に外壁の内部に取付けているが、この
場合には斯かるゲッターと検出素子との間の間隔を大き
くしないと、検出素子が上述したような櫓めて高いＳ度
によって破壊されてしまう。このようなことからしてこ
の場合にはデューア外囲器の寸法を大きくする必要があ
り、慣例の構造のデューア外囲器は使用できない。

発明の開示 本発明の目的は上述した諸欠点を除去し得るように適切
に構成配置した上述した種類の赤外ｌｌ１ｌｉ！横出器
を提供することにある。

本発明は内−と外壁との闇に真空空所を有するデューア
形−の外囲器を具えてお、す、ｄ記内壁を検出器の作動
中に冷却素子によって冷却せしめるようにし、少なくと
も１個の赤外線検出孝子を前、記真空空所内で、しかも
前記内壁の上に奴Ｉｔけ、かつ真空空所からガス分子を
ゲッタリングするための少なくとも１個のゲッターを前
記興ｊ空所内に設けるようにした赤外線検出器において
、前記ゲッターを分子−収着性の材料から成る少なくと
も１個の造形棒状のものとし、該ゲッタ一本体を前記デ
ューア外囲器の内壁に関連すると共に検出器の作動中に
冷却素子によって冷却される環状冷却面のまわりに配置
し、前記ゲッタ一本体をその主面が前記冷却面に膜会し
、かつ該冷却面に熱交換関係をもって！１層されるよう
に造形して、該ゲッタ一本体が検出器の作動中に冷却素
子によって冷却されるようにしたことｔ−’＋ｅ＊とＴ
る。

ゲッターとして分子−収着性の多孔質体を用いることは
既知であり、これについては例えば１９７４生ニＪＯｈ
ｎ　１ｉｌｅｙ　ａｎｄ　５ｏｎｓ社にて発行されたり
、　Ｗ、　Ｂｒ１ｃｋ　ｉ　ニよる”　Ｚｅｏｌｉｔｅ
　ａｎｄ　Ｍｏ］ａｃｕｌａｒＳｉ６ＶｅＳ　＋＋なる
杢に斯様な多孔質分子数層剤について概説されている。

スクリーンの後方またＧｌ！１４持器（かご）内に保持
されるルースビーズまたはルースベレット状のモレキュ
ツーシープゲッターを使用することも既知であり１これ
らの２ａりの受用法については例えば、液化ガス蓄積容
器に関する英国特許（ＧＢ−ム）第９２１，２７３号お
よび回路遮断器に関する英国時＃１−（ＧＢ−Ａ　ｌ第
１，１９２！、８９７号を参照することができる。しか
し本発明は赤外線検出器に関するもので、しかも赤外線
検出器のデューア外囲器の内壁に関連する冷却面のまわ
りに配置され、かつ主面が冷却面に嵌合すると共にその
冷却面に熱交＊Ｆ！４ｍ企もって接着されるように形成
される分子−収着性の多孔質材料から収る１個以上の造
形ゲッタ一本体を提供することも包含している。本発明
による斯種のゲッターは、赤外線検出器の機械的および
光学的特性ｔ−損なうことなく、検出素子は近のデュー
ア外囲−内に満足に収納させることができ、またデュー
ア外ｖ５器【或Ｔ内壁と外壁との間の間隔を大さくしな
くてもゲッターの収着能力を高めることができ、ざらに
はＩ：紀ゲッターを冷却素子によって有効に冷却して収
着効率を高めると共に内壁を例えば５０’に程度の適当
な極低温にまで冷却する４ｈａでもその冷却時間を早め
ることができる。この竣後の持献は１ｖ！！なことであ
る。その理由Ｇゴ、一般に分子−収着性の多孔質ゲッタ
ーの収着効率は極低温に冷却する場合に高まるのに対し
、化学的活性ゲッターの収着効率は例えば＃＃！囲１！
度が８００°におよびそれ以りの旨い温度とする場合に
増大するからである。ざらに既知の知く、分子−収着性
ゲッターはそれを真空空所に取付けた後に櫓めて高温度
に加熱して活性化させる必要がないため、ゲッターを検
出素子の近くに取付けて、その分子−収層性の多孔質ゲ
ッタ一本体を最大限に冷却することができる。

分子−収着性の多孔質造形ゲッタ一本体を最大限に有効
に冷却するのは、ゲッタ一本体をデューア外囲器の内−
における冷却素子によって直接冷却される個所付近の内
壁のまわりに取１寸けることによって達成することがで
きる。分子−収着性多孔′ｉＭ物質から成る少なくとも
１つの造形ゲッタ一本体は内壁の外１１１１１面および
／またはその内壁に関連する池の冷却面に接着すること
ができる。便用素子のまわりの内壁の端部には環状の放
射線遮蔽体を取げけて、少なくとも１個の前記造形ゲッ
タ一本体を固定させる冷却面を、放射線遮蔽体の外−面
とすることができる。

環状＃４ｆｉ！をしている冷却面のまわりに分子−数層
多孔質材料製の造形ゲッタ一本体を取付けるようにすれ
ば、真空空所、特にデューア外囲器の低温フィンガーの
１ｉ！ｌ−におけるガス−収着容積を有効的に大きくし
得ると云う利点がある。この場合、ゲッタ一本体そのも
のも環状にして、組立て処理上編を簡単にすると共に、
４小空間に分子−収着性資質を腫大量入れるようにする
のが好適である。

しかし、斯様な環状冷却面のまわりに各々部か的に延在
させるｌｆａ以上のゲッタ一本体を組会わせて、本発明
による検出器における環状ゲッターのようにすることも
できることは明らかである。なお、ギ明細書にて用いて
いる「環状コなる表現は円形＃ｌＩ造のものに限定され
るもりではないが、一般的にはデューア外囲の少なくと
も内壁は円形の、ものを用いるのが好適である。

発明の実施例 以Ｆ図面につき本発明を説明する・ なお各図は実寸図示したものでなく、説明の便江上部分
的に拡大または縮小して図示しである。

また、不発明にとって必要でない検出器の幾つかの部分
は図示してなく、これらは既知の方法で検出器に取付け
ることができる。

第１図に示す本発明による赤外線検出器は内壁ｌ　ト外
壁２　（！：　ｆＨｆ　６テユー７　（ｄｅｗａｒ　）
外ｌ！ｔｌ器１．２を具えている。内ｗ１はデューア外
囲器の内側チャンバ１１を画成し、内壁ｌと外壁２とり
〕間には真空空所１２が存在する。この真空空所１２内
で、しかも内壁ｌの端面上には少なくとも１個の赤外線
検出器子８を装着する。この検出素子は既知のタイプの
ものとすることができ、またこれはＬｉＩ２１１面上の
例えばサファイア製の基板５に既知の方法で取りけるこ
とができる。

デューア外囲器１．２は既知のタイプのものとすること
ができる。内＠１は例えば厚さが０．５＋ｗのガラス製
とすることができ、また外＋１１２は例えば金ｌｌ−と
することができる。図面には図示してないが、内−のガ
ラス−１にはその外側面上またはその外ｍ面に埋設され
る電気的な導線な既知の方法にて設ける。これらの導線
は内＃４１の端面に隣接する検出素子δの電極に磁気的
に接続して、内壁１のたけに沿って延在させてからデュ
ーア外囲器の外部に通して、その個所にて導線を検出器
用の外部接続線に既知の方法にて磁気的に接続する。デ
ューア外′ｄ５ｉの外側壁２は端部分６，７を具えてお
り、この端部分は検出素子８の取付けおよびその素子へ
の結線が済むまではデューア外囲器１．２の残部に封止
ないようにする。外側壁２の端面７は赤外線を透過Ｔる
窓を構成する。検出素子δのまわりには慣例の叩く環状
の放射Ｓ遮献体８も設ける。端部分６，７を外側壁２の
残りの部分に封止した後に内ｗ１１と外壁２との間の空
所を既知の方法で排ｇＬＴる。

デューア外囲器の内ｉｌｌは内側チャンバ１．１を画成
し、このチャンバ内には細長形の冷却素子２０をそのチ
ャンバ内壁に沿って内壁ｌの端面に向けて延在させるよ
うに挿入して、この冷却素子２０により検出器の作動中
検出素子８′ｆｔ既知の方法にて冷却せしめる。第１図
に示す例では牧射線遮蔽体８も冷却素子２０によって冷
却されるように内壁１に取付ける。

冷却素子２０Ｇ１．例えばジュール−トムソン効果の冷
却能力を利用すべく設計される既知の低温槽タイプのも
のとすることができる。この場妙には流体を圧力下にて
弁または池の孔を経て低圧個所へと流出させる。流体が
膨張する際にこの流体は低圧個所にて熱を吸収するため
、冷却作用が生ずる。組１に隣接するデューア外囲器１
，２の内側チャンバ１１は低圧領域を或す。冷却流体は
例えば乾燥空気、窒素またはアルゴンのようなものとす
ることができ、これをマウント（台板ン２１の入口２２
から冷却素子ｇｏに供給する。斯かるマウン）２１は例
えば既に公告されている欧州特許顧第０００６２７７号
に記載されているような方法で構成することができる。

人口２３は冷却素子２０のら旋状に巻回した官部分と連
通しているため、口Ｉ動流体は素子２０を漸次間わって
、１＆後には検出素子８および放射線１融体８を取付け
である端面にＦＩＡ接する冷却素子２０の遊熾における
孔から放出される。この放出時に流体が膨張するため、
流体湿度はＩ４１Ｔ望温度レベルに達するまで低ｆする
。冷却流体をデューア外囲器１．２の開口部を経て放出
する前に、内側チャンバ１１内で冷却流体を素子２０の
ら旋状のｆ部分のまわりに循環させるため、新た（こ到
来する流体は予゛じめ冷却されるようになる。このよう
な冷却素子２０を用いれば、検出素子８を例えば約８０
°にの温度にまで冷却することができ６０放射線遮蔽俸
８の７１！度は、この遮蔽体の壁部に沿う熱伝導率およ
びデューア外囲器の内壁１の端部へのｉ１１１００取付
は方法に応じて多少舖くなるのが＃通である。

第１図の赤外線検出器はデューア外囲ａｌｔ２の一部を
収納させるデユーアーマラン）ｌδも具、えている。こ
のマウント１８は例えばアルミニウム製とすることがで
き、これには持に検出素子８用の電気接続線のまわりに
例えばシリコンゴム１４を部分的に充填させることがで
きる。デューア外ｇＷ１．２Ｇ１、その外壁２とマウン
ト１３の７ランジとの闇を例えば適当なろうけけ接合に
よってマウント１８に取付ける。冷却素子２０のマウン
）２１は例えばボルト締めのような既知の方法にてデユ
ーアーマラント１８に取付けることができる。

端部分６，７を外壁２の残りの部分に封止する前に、内
ｖ１１１と外壁２との間の空所１２には少なくとも１個
のゲッター１　（１、１０’を入れるようにする。端部
分６．７を封止し、かつ真空ポンプを用いて１記空所１
２を排気した後にト記ゲッターは、真空に曝される検出
器の檎々の構成部分から漸次発生するガスにより真空空
所１２内に発生するガス分子をゲッタリングして真空を
維持するのに仕える。

本発明によれば、ゲッターを分子−数層性多孔質材料製
の少なくとも１個の造形体Ｉ　Ｃ＋　、　１０’形状の
ものとし、その主面は内壁１に＠達する冷却面に嵌会し
、かつその冷却面に接着されて、冷却素子２０によって
冷却されるように形成する。第１図に示す例では、ゲッ
タ一本体１０を取付ける冷却面を環状の放射線遮蔽体８
の外ｙＢ面とする。

ゲッタ一本体ｌＯは例え＆；ｉ′前述し７ｅ　Ｄ、　Ｗ
、　Ｂｒｅａｋ著による論文に記載されているような′
°モレキュラーシープ”（分子ふるい）としても既知の
多孔責汗収ゼオライト物質製のも（ＪＪとする。Ｌ、Ｂ
−ＡＩ、１９　Ｌ８９７号およびＧＢ−Ａ９２１，２７
３号に記載されているようなゼオライト物質ｆ：用いて
ゲッタ一本体ｌＯを形成することができる。多孔質の分
子−敗看性吻質は不清注帖ｄ剤と一緒に第２図に示すよ
うに環状に成形する。その寸法は環状ゲッタ一本体１０
が冷却改射４Ｍ遮蔽体８の外ｄｉ面のまわ９に遊嵌する
ような大きざとする。ゲッタ一本体ｌＯの内側主面は検
出器の作動中に冷却素子２０によって冷却されるような
熱交侠関係で遮蔽体８の外ｌ１１ＩＩＵＩＩＪｋ：接層
せしめる。ゲッタ一本体１０はエポキシ樹脂の如き薄い
粘着性の中間フィルムによって遮蔽体８に固着して、こ
の環状ゲッタ一本体］０の内側主面と冷却遮蔽体８の外
側面との間にて大領域にわたる良好な熱接触が或される
ようにし、かつ検出器の取扱い中または操作中にゲッタ
一本体１０が遮蔽体８からすべり落ちないようにするの
が好適である。

第１および２図に示す構造をしている本発明による検出
器の特定例では、内壁ｌと外Ｉｊ！２との間の真空空所
１２の容積を、１０”−”パスカル以Ｆの残留ガス圧を
有する真空ヴで１ｏｃ−とじ！環状放射線遮蔽体Ｂを外
径が約１．Ｑｃｍの円形＃造とし喜環状ゲッター亭体１
０も第２図に示すように、内径が約１，１ｃ＋ｉで、長
さが約０．５　Ｃｊｌで、厚さが約０、ＩＣＩｍの円形
構造のものとすることができる。斯様な肉厚を有してい
る環状ゲッタ一本体ｌＯは、遮蔽体８の外側面と外壁２
の端部分６の内＠面との間における通常０．４Ｃ１１の
距離を有している真空空所１２に容易に収納させること
ができる。

成形ゲッタ一本体’１０は一般に極めてもろいため、放
射線遮蔽体８によってゲッタ一本体ｌｏの内側主面を機
械的に支持せしめるのが重要である“。

代表的には＆成ゼオライト、本体１０を、幅がせいぜい
数マイクロメータの粒子で構成するので、本体ｌＯには
多少不規則の粒子間空隙も存在する。

ゲッタ一本体１０を或す多孔質ゼオライト粒子の細孔の
幅は真空空所１２内におけるガスの分子の寸よ（約０．
５ｎｍまで）に匹敵し、斯様な細孔はゼオライト粒子Ｔ
ｔｇＩ４状に成形して本体ｌｏを形成する前にゼオフィ
ト物質の結晶水を収除くことによって形成されたもので
あり、従って斯かる脱水を行なうのに必要な加熱はデュ
ーア外囲器１，２にゲッタ一本体１０を取付ける前に行
なうようにする。斯くして分子の大きざの細孔がゼオラ
イト粒子に広がって内部表面領ｔ＆を極めて大きくする
ために、冷却されたゲッタ一本体ｌｏは細孔の内−面で
の吸着作用によって火源のガスを吸収Ｔることができる
。

冷却素子２０は放射線遮蔽体８を適切な檎低扇に冷却す
るだけであるため、ゲッタ一本体１ｏの内側主面と遮蔽
体８の外＠面との１−の大領域の熱接触を良好とするこ
と′は、モレキュラーシーブ本体１０を有効に冷却して
高い収着効率を得るために特に１１に要である。ゲッタ
一本体ＩＬＩおよび（遮蔽体８によって形成される）冷
却面の双方を上述したように環状構造とすることによっ
て、ゲッター杢４１０’）遮蔽体８に固着するのに用い
るエポキシ接着剤の置も最少で済み、このことは多量の
エポキシ樹脂が真空空所１２内に多量のガスを発生し得
ることからして慮髪なことである。代表的にはエポキシ
フィルムの膜厚を１００マイクロメータとするのが好適
である。膜厚が厚し１エポキシフイルムの熱伝導率は銀
または池の伝熱材料を混ぜたエポキシ樹脂を用いること
によって高めることができる。

本発明によれば、少なくとも１個の多孔質の分子−収着
性造形体をデューア外囲ｆｉｌ、２の内−１に関連する
適当な冷却面に固定させることかできる。従って、＆収
ゼオライト物質製の同様な多孔質体を、例えば第１図に
破＠［１０’にて示すように、内１１１そのものの環状
外側面に同一な方法で収付けることもできる。このよう
な多孔質のゲッタ一本体１０′は放射１１１遮蔽体８に
取付ける前記ゲッタ一本体ｌＯの代りか、またはそれに
加えて設けることができる。なお、杢発明者等は、ゼオ
ライト物質から成る環状ゲッター効率１０′を冷却素子
２０の冷却熾付近にて内壁ｌの外側面のまわりに接着さ
せるようにすると、内壁ｌの端部を越す遮蔽体８に同一
４１Ｉ我のゲッタ一本体ｌＯを接着する場合に比べてゲ
ッター効率が著しく改善されることを確りた０遮蔽体８
および内［１が冷却されるダ際の温度に応じて、同−構
成のゲッタ一本体ｌＯおよび１０’のゲッター能力は、
そのゲッタ一本体を冷却素子２０によって直接冷却され
る個所の内Ｉ！１に取付けるようにすると、ゲッタ一本
体を内壁ｌの端部を越した遮蔽体８に取付ける場合に比
べて１０倍以上に高めることができる。このことからし
て、適切な極低温にまで冷却される赤外縁検出器用のゲ
ッタ一本体１０′および／または１０の取付けに当り、
熱交換関係を良好とすることは重要なことである。しか
し、内＠１の端部を越す遮蔽体８にゲツタ一本体ｌ口を
取付ける場合でも、本発明に基すき、遮蔽体Ｓの冷却面
に環状のゲッタ一本体を少なくとも１個配置し、この゛
ゲッタ一本体の主面を前記冷却面に嵌合させると共に該
冷却面に熱交換関係をもって接着せしめるようにするこ
とによって満足のゆくゲッター効率を達成することがで
きる。

上述したタイプの赤外線検出器では、改射＠遮蔽体８ま
たは内＃！ｌのまわりのかごにルースービーズまたはル
ースーペレット状のモレキュラーシープゲッターを入れ
るようにするのは好ましくなく、このようなルース粒子
形態のゲッターは本発明によるものではない。斯様なル
ース粒子は内壁ｌまたは遮蔽体Ｂの冷却面と十分な熱交
換をしないため、適切な極低温に冷却するだけの赤外線
検出器の真空空所１２内にて斯かるルース粒子Ｇ＝−切
な高速ゲッターとして作用しない。しかし本発明によれ
ば、ゲッタ一本体１０　、１０’の主面を、冷却面の輪
郭に整合させ、かつその冷却面に接着させる形状とする
ために、ゲッタ一本体と冷ｊ！ｉｌ圓との熱交換が有効
に行なわれるようになる０ゲツタ一本体を環状構造とす
ることによってその接合ｒＩＩＪ個所におけるゲッター
の熱室−の関係が最適となるため、ゲッタ一本体１０　
、１０’を作動温度にまで早く冷却させることができる
。このことは特に赤外線検出器に必要とされる冷却醒力
を低減させるのに１＃なことであり、検出器の作動に際
しては真空空所の圧力を例えば８０秒以内に１Ｏ−８Ｔ
Ｏｒｒ以下に低減させるのが望まれることが屡々ある。

ルース粒子形態のゲッターはかさばると共に、赤外線検
出器の狭い真空空所１２内に収納させるのが困−であり
、場合によっては不μ■能なこともある。また、検出素
子８または光学窓７がルース粒子からのほこりで不透明
とならないようにすることも困−である。本発明によ・
る環状構造をしている接層ゲッタ一本体１０．１０’は
機械的にゼ利な構ｉｔ−しており、これはコンパクトに
なり、しかも機械旧な衝撃にも耐え、また検出器の振動
中、でもデューア外囲器の内ｉｌｌが左―疲労すること
もない。

本発明は上述した例のみに限定されるものでなく、幾多
の変更を加え得ること勿論である。例えば放射線遮蔽体
８は内ｄｌｌに直なるように下ｄ部分まで延在させるこ
とができ、この遮蔽体の延長部にゲッタ一本体１０／′
４ｒ：接 によって直接冷却される内ｉｌｌの個所のまわりにこの
ゲッタ一本体１　０’が取付けられるようにすることも
できる。完全な環状体を成Ｔ囃−のゲッタ一本体ｌＯの
代りに、２つ以上の各別のゲッタ一本体となるように半
径方向に分割される環状体を用い、これらの各別の本体
をそれらの内側主面と遮蔽体８の外１ｌｌｉ１面との１
１ｊｌにエポキシ接着剤を用いて遮蔽体８の外側面のま
わりに個々固定させることもできる。これらの個々のゲ
ッタ一本体全体はほぼ完全な環状体を収Ｔようにするか
、またはｍ個のゲッタ一本体間にギャップをｆＴる不連
続な構造となるようにすることもできΦ。このように個
々のゲッタ一本体を組むわせて一緒にすることは検出器
の製造を複雑とし、これは単一の環状ゲッタ一本体を使
用する程には好ましくない°ｏしかし、各別の環状ゲッ
タ一本４１ｏおよびＩ　Ｏ’のように、２個以上の各別
のゲッタ一本体、即ち各々が環状構造をしている各別の
ゲッタ一本体を２個以上検出器に設けることは、個々の
ゲッタ一本体がそれぞれ異なるガス分子に対して異なる
縫い生を呈するようにする場合に有利である。

所要に応じゲッタ一本体１０はデューア外囲潴１、２に
遮蔽体８を取付ける前に、そのｍ数体の外−向に分子−
収着性物質を堆積することによって前述した元の位置に
形成することもでき、この場きには中間のエポキシ接着
層が不要となる。ａ成ゼオライト以外の分子−収着性の
多孔質物質としては例えばシリカゲルを用いることがで
きる。

デューア外囲Ｉｔ　１　＊　２の内側チャンバ１１に入
れる冷却素子２０は必ずしもジュール−トムソン式の冷
却器とする必ｖＩはなく、池の多くの既知の冷却素子を
用いることができる。例えば冷却素子としてはスターリ
ングサイクル式の冷却器を用いることかできる。また、
所！ｆＩ液体輸送式の冷却素子を使用することもでき、
この場合には２つの誠直ぐの同心管のアセンブリを冷却
素子に設けて、斯かるアセンブリをデューア外ｍ器ｘ，
２の内側チャンバ内に延在させ寥例えば液化窒素または
液化乾燥空気のようなものとし得る極低温化流体を内側
のチューブ２介して内側チャンバ１１内に供給し、この
際上記内側チューブに沿って極低温流体を端面に向けて
小滴状に輸送せしめ；この流体′Ｉｒ：Ｘ１１！！常例
えばゴム封止リングを介してデューア外囲５１．２の内
壁１に接触させる外側チューブを経て排出せしめるよう
にする。冷却素子としては所謂バルク液体冷却式のもの
を用いることもでき、この場合にはデューア外囲器ｌ，
２の内［チャン／＜１１内に延在する単一チューブを用
いて極低温液体を外１１１端面に接触させるようにする
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による赤外線検出器の一部を断面にて示
す側面図、 第２図は第１図の検出器に用いる分子−収着性、ゲッタ
一本体の一例を示す斜視図である。 ｌ・・・内・＠　　　　　　　　　　＄１・・・外鐘（
−１　、　ｇ’　）・・・デューア外囲器δ・・・赤外
縁検出素子　　６・・・基板６・・・外側壁端部　　　
　フ・・・赤外４Ｉ透過窓８・・・放射線遮蔽体　　　
１　０　、　１　０’・・・ゲッター１１・・・内側チ
ャンバ　　１！・・・真空空所１８・・・デユーアマラ
ント１４・・・シリコンゴム２０・・・冷却素子　　　
　　２１・・・冷却素子用マウント８２・・・冷却流体
供給用入口。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　内壁と外壁との間に真空空所ご有するデューア形態
   の外囲器を具えており、前記内壁を検出器の作動中に冷
   却素子によって冷却せしめるようにし、少なくとも１個
   の赤外線検出素子を前記真空空所内で、しかも前記内壁
   の上に取付け、かつ真空空所からガス分子をゲッタリン
   グするための少なくとも１個のゲッターを前記真空空所
   内に設けるようにした赤外線検出器において、前記ゲッ
   ターを分子−収着性の材料から収る少なくとも１個の造
   形体状のものとし、該ゲッタ一本体を前記デューア外囲
   器の内壁に関連すると共に検出器の作動中に冷却素子に
   よって冷却される環状冷却面のまわりに配置し、前記ゲ
   ッタ一本体を−その主面が前記冷却向に嵌会し、かつ該
   冷却面に熱交換関係をもって接着されるように造形して
   、該ゲッタ一本体が検出器の作動中にに冷却素子によっ
   て冷却されるようにしたことを特徴とする赤外線検出器
   。 １’ｌ？許請求の範１１紀威の検出ａにおいて、少なく
   とも１個の前記盾杉ゲッター亭体をデューア外囲器の内
   壁における冷却素子によって直接冷却される個所のまわ
   りに取付けるようにしたことを特徴とする赤外線検出器
   。 ＆　特許請求の範囲ｇ！ｌｃ！威の検出器において、少
   なくとも１個の前記造形ゲッタ一本体を固層させる冷却
   面を前記内壁の外側面としたことを特徴とする赤外線検
   出器。 ４　特許請求の範囲１または２に記載の検出器において
   、検出素子のま４）りの内壁に環状の放射線遮蔽体を取
   付け、少なくとも１個の前記造形ゲッタ一本体を取付け
   る冷却面を前記改射４Ｉ遮蔽体の外側面としたことを待
   酸とする赤外線検出器。 ＆　特許請求の範囲１〜鶴の何れか１つに記載の検出器
   において、１個の前記造形ゲッタ一本体′ｆ：礪状のも
   のとし、該ゲッタ一本体の内側面が前記主面を収すよう
   にすると共Ｇこ該内側面を前記冷却面のまわりに嵌きす
   るように造形したことを特徴とする赤外線検出ａ０＆　
   特ｆｆｆｌ求の範囲１〜５の何れか１つに記載の検出器
   において、前記少なくとも１個の造形ゲッタ一本体を接
   着フィルムによって冷却面に固着させるようにしたこと
   を特徴とする赤外線検出器。 フ、　特許請求の範囲６記載の検出器において、接層フ
   ィルムを工ｌキシ樹脂としたことを特徴とする赤外線検
   出器。 ＆　特許請求の範囲１〜７の何れか１つに記載の検出器
   において、ゲッターを合成ゼオライト吻質の成形体とし
   たことご特徴とする赤外線検出器。