JPS5816737B2 - 電子管用酸化物陰極 - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子管用酸化物陰極、特にW、Me 。
Re、Taなどの高融金属を含む合金を基体金属とする
酸化物陰極に関するものである。
酸化物陰極に関するものである。
最近、酸化物陰極を備えた電子管において、電源スイツ
チ投入後、電子放射が起るまでの時間を短縮させるため
に基体金属板の板厚を薄くしてカソードの熱容量を減少
させたり、あるいは基体金属に直接通電加熱するいわゆ
る直熱方式の陰極を用いることが検討されている。
チ投入後、電子放射が起るまでの時間を短縮させるため
に基体金属板の板厚を薄くしてカソードの熱容量を減少
させたり、あるいは基体金属に直接通電加熱するいわゆ
る直熱方式の陰極を用いることが検討されている。
この場合、基体金属は、従来より大きな高温強度をもつ
事が必要となり、従来のNiに微量の還元性元素を含む
基体金属にかわってW、Mo 、Re、Taなとの高融
点金属を含む合金が基体金属として用いられている。
事が必要となり、従来のNiに微量の還元性元素を含む
基体金属にかわってW、Mo 、Re、Taなとの高融
点金属を含む合金が基体金属として用いられている。
ところが、このような高融点金属は、Niに比べて酸化
しやすい特性を有している。
しやすい特性を有している。
このために高融点金属を含む合金を基体金属とした酸化
物陰極を通常の製造方法で製作すると、高融点金属が酸
化し、この高融点金属酸化物とアルカリ土類酸化物ある
いはアルカリ土類炭酸塩との界面間に急激な反応が起る
。
物陰極を通常の製造方法で製作すると、高融点金属が酸
化し、この高融点金属酸化物とアルカリ土類酸化物ある
いはアルカリ土類炭酸塩との界面間に急激な反応が起る
。
そして、この界面反応の反応速度反応生成物量は、従来
のN1に微量の還元性元素を含む基体金属とアルカリ土
類酸化物(以下オキサイドと略す)との反応に比べると
比較にならないほど大きい。
のN1に微量の還元性元素を含む基体金属とアルカリ土
類酸化物(以下オキサイドと略す)との反応に比べると
比較にならないほど大きい。
このように基体金属とオキサイド間に多量の界面反応が
起ると、基体金属とオキサイドとの接触状況が大幅に変
化し、オキサイドが基体金属から剥れたり、あるいはオ
キサイドと基体金属との接触が不十分で陰極動作中のオ
キサイド層の温度が降下するなどしてオキサイドの電子
放射量が低下し、カソードとして全く実用にならなくな
ってしまうなどの欠点を有していた。
起ると、基体金属とオキサイドとの接触状況が大幅に変
化し、オキサイドが基体金属から剥れたり、あるいはオ
キサイドと基体金属との接触が不十分で陰極動作中のオ
キサイド層の温度が降下するなどしてオキサイドの電子
放射量が低下し、カソードとして全く実用にならなくな
ってしまうなどの欠点を有していた。
したがって、本発明の目的は上記の欠点を除去し、オキ
サイドと基体金属間の界面反応を防止させ、電子放射寿
命を長期間にわたって維持できるようにした電子管用酸
化物陰極を提供することにある。
サイドと基体金属間の界面反応を防止させ、電子放射寿
命を長期間にわたって維持できるようにした電子管用酸
化物陰極を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明による電子管用
酸化物陰極は、基体金属表面にZr、TiAl、Si2
My、U、Thなどの還元性元素の少なくとも1つの酸
化物を多量に含む層を設け、さらにその上面に炭素の層
を設けて製造工程中に生じるオキサイドと基体金属間の
界面反応を抑制するようにしたものである。
酸化物陰極は、基体金属表面にZr、TiAl、Si2
My、U、Thなどの還元性元素の少なくとも1つの酸
化物を多量に含む層を設け、さらにその上面に炭素の層
を設けて製造工程中に生じるオキサイドと基体金属間の
界面反応を抑制するようにしたものである。
以下図面を用いて本発明による電子管用酸化物陰極につ
いて詳細に説明する。
いて詳細に説明する。
ます、電子管用酸化物陰極を構成する基体金属板は、W
、Mo 、Re、Taなとの高融点金属の少なくとも1
種類を2重量%以上と残りNiとを含む合金から形成し
、この基体金属板上にZr、AlME 、S I 5
T l 、TJ 、Cr t Nb 、Thなどの還元
性元素の酸化物を多量に含む酸化物層を50〜1000
人の厚さに被着形成させ、さらにこの酸化物層上に50
〜700λの厚さに炭素被膜層を被着形成して酸化物陰
極を構成したものである。
、Mo 、Re、Taなとの高融点金属の少なくとも1
種類を2重量%以上と残りNiとを含む合金から形成し
、この基体金属板上にZr、AlME 、S I 5
T l 、TJ 、Cr t Nb 、Thなどの還元
性元素の酸化物を多量に含む酸化物層を50〜1000
人の厚さに被着形成させ、さらにこの酸化物層上に50
〜700λの厚さに炭素被膜層を被着形成して酸化物陰
極を構成したものである。
この場合、上記基体金属板上の二重層で最初の還元性元
素の酸化物を多量に含む酸化物層は、基体金属中に還元
性元素が含まれている場合には水素。
素の酸化物を多量に含む酸化物層は、基体金属中に還元
性元素が含まれている場合には水素。
窒素、アルゴン、ヘリウムなどのガスに微量の酸化性ガ
スすなわちC02,N20,02を添加した雰囲気中で
基体金属板を600〜1000°Cで約5〜60分加熱
処理するかあるいは10−4〜1O−6Torrの通常
の真空熱処理炉中で600〜J2000Cで約10〜6
0分加熱することによって得られる。
スすなわちC02,N20,02を添加した雰囲気中で
基体金属板を600〜1000°Cで約5〜60分加熱
処理するかあるいは10−4〜1O−6Torrの通常
の真空熱処理炉中で600〜J2000Cで約10〜6
0分加熱することによって得られる。
また、基体金属中に還元性元素が含まれていない場合は
、前記還元性元素の酸化物の少なくとも1種類をスパッ
ターなどで基体金属上につければ良い。
、前記還元性元素の酸化物の少なくとも1種類をスパッ
ターなどで基体金属上につければ良い。
そして、これらの還元性元素の酸化物を多量に含む酸化
物層の厚さは、400〜700人の範囲が最も望ましく
、明瞭な効果が得られるのは50〜1000人の範囲で
ある。
物層の厚さは、400〜700人の範囲が最も望ましく
、明瞭な効果が得られるのは50〜1000人の範囲で
ある。
この場合、酸化物層の膜厚が50人より薄くなると、上
層の炭素被膜層が陰極動作中に基体金属と反応し、基体
金属表面に活性度の高い状態を作り出し、オキサイドと
基体との反応が大きくなったり、あるいは基体金属上に
接着性を高めるためにNi、Ni−C0,N1−W、N
i−Mo、Ni−Re等の他の金属粉を付着させた場合
にこの金属粉が基体金属上に流れ出したりする。
層の炭素被膜層が陰極動作中に基体金属と反応し、基体
金属表面に活性度の高い状態を作り出し、オキサイドと
基体との反応が大きくなったり、あるいは基体金属上に
接着性を高めるためにNi、Ni−C0,N1−W、N
i−Mo、Ni−Re等の他の金属粉を付着させた場合
にこの金属粉が基体金属上に流れ出したりする。
また酸化物層の厚さが1000人を超えると、上層の炭
素被膜がオキサイドあるいは炭酸塩分解中のCO□ガス
と反応して消失した後、基体金属中の金属元素とオキサ
イド層との接触が悪く陰極の活性度不足になる。
素被膜がオキサイドあるいは炭酸塩分解中のCO□ガス
と反応して消失した後、基体金属中の金属元素とオキサ
イド層との接触が悪く陰極の活性度不足になる。
したがって、酸化物層の膜厚は50〜1000人の範囲
、望ましくは400〜700人の厚さが最も良く、この
場合は炭素被膜層が消失した後も適当に還元性元素の酸
化物が基体金属表面を覆い一部は基体金属中の金属元素
が表面に露出しているため、基体金属表面の活性度は適
度となり、安定した良好なカソードが得られる。
、望ましくは400〜700人の厚さが最も良く、この
場合は炭素被膜層が消失した後も適当に還元性元素の酸
化物が基体金属表面を覆い一部は基体金属中の金属元素
が表面に露出しているため、基体金属表面の活性度は適
度となり、安定した良好なカソードが得られる。
また、還元性元素の酸化物を多量に含む層の上に被着形
成する炭素被膜の厚みは50〜700人の範囲が最適で
あってその膜厚が50人より薄くなると酸化物陰極製造
時の基体金属とアルカリ土類炭酸塩、酸化物との反応を
抑制できない。
成する炭素被膜の厚みは50〜700人の範囲が最適で
あってその膜厚が50人より薄くなると酸化物陰極製造
時の基体金属とアルカリ土類炭酸塩、酸化物との反応を
抑制できない。
また、この膜厚が700人より厚い場合、動作中に炭素
被膜層と基体金属、炭素被膜層とオキサイド層との反応
量が大きくなり、陰極として十分な動作が出来なくなる
。
被膜層と基体金属、炭素被膜層とオキサイド層との反応
量が大きくなり、陰極として十分な動作が出来なくなる
。
したがって、炭素被膜層の膜厚は50〜700人の範囲
が最適であり、この場合はオキサイドと基体金属との界
面反応を抑制し、またオキサイドと炭素被膜層、炭素被
膜層と基体金属との反応量を小さくさせ、良好なカソー
ドを得ることができる。
が最適であり、この場合はオキサイドと基体金属との界
面反応を抑制し、またオキサイドと炭素被膜層、炭素被
膜層と基体金属との反応量を小さくさせ、良好なカソー
ドを得ることができる。
また、W、Mo 、Re、Taなどの高融点金属を含む
基体金属は、基体金属からオキサイド層が−般に剥れ易
いという理由で基体金属表面にNi。
基体金属は、基体金属からオキサイド層が−般に剥れ易
いという理由で基体金属表面にNi。
Ni−C0,Nj−W、Ni−Mo、Ni−Reなどの
金属粉を被着し、その上面にアルカリ土類酸化物層を設
けることが行なわれるが、この場合も上記基体金属上に
酸化物を多量に含む酸化物層さらにその上面に炭素被膜
層を形成したカソードでは、この金属粉が基体金属表面
へ流出するのを防止させ、金属粉と界面反応生成物の反
応も防止させて通常発生する金属粉の変質、変形を防止
してカソードの電子放射寿命を長くする効果が得られる
。
金属粉を被着し、その上面にアルカリ土類酸化物層を設
けることが行なわれるが、この場合も上記基体金属上に
酸化物を多量に含む酸化物層さらにその上面に炭素被膜
層を形成したカソードでは、この金属粉が基体金属表面
へ流出するのを防止させ、金属粉と界面反応生成物の反
応も防止させて通常発生する金属粉の変質、変形を防止
してカソードの電子放射寿命を長くする効果が得られる
。
次に以上説明したことを実症例を用いて説明する。
実施例 1
第1図は0.4 ’w t%のZrと、27.5wt%
のWと、残りN1の合金からなる基体金属の上面に下記
の表1で示したようにA、B、C,D、E、Fの5種類
の酸化物層、炭素被膜層を被着形成し、以後通常の方法
により酸化物陰極を製作し、カラーブラウン管に実装し
た時の陽極最大電流の動作時間依存性を示し、縦軸は陽
極最大電流値の初期値に対する割合、横軸は陰極の動作
時間を示したものであり、表1の種類A−Fを第1図の
特性A〜Fに対応させている。
のWと、残りN1の合金からなる基体金属の上面に下記
の表1で示したようにA、B、C,D、E、Fの5種類
の酸化物層、炭素被膜層を被着形成し、以後通常の方法
により酸化物陰極を製作し、カラーブラウン管に実装し
た時の陽極最大電流の動作時間依存性を示し、縦軸は陽
極最大電流値の初期値に対する割合、横軸は陰極の動作
時間を示したものであり、表1の種類A−Fを第1図の
特性A〜Fに対応させている。
この場合、還元性元素の酸化層を多量に含む層はI X
10−5.Torrの真空中で熱処理温度900°C
の加熱時間で調整した。
10−5.Torrの真空中で熱処理温度900°C
の加熱時間で調整した。
また炭素被膜層はITorrのCH4ガス中でイオンブ
レーティングによって形成し、その厚さはイオンブレー
ティングの時間によって制御した。
レーティングによって形成し、その厚さはイオンブレー
ティングの時間によって制御した。
この図から明らかなように、特殊Aで示した酸化層55
0人、炭素被膜層250人のものは、極めて優れた特性
を有し、また特性B、D−Fに示したように酸化層、炭
素被膜層の膜厚が特許請求の範囲からずれるにしたがっ
て動作中の電子放射量が減少する。
0人、炭素被膜層250人のものは、極めて優れた特性
を有し、また特性B、D−Fに示したように酸化層、炭
素被膜層の膜厚が特許請求の範囲からずれるにしたがっ
て動作中の電子放射量が減少する。
特に特性Bは表面に酸化層、炭素被膜層を形成しなかっ
たときの電子放射の劣化状況を示したものであり、この
場合は極めて大きな劣化を示し、本願の有効性が明瞭に
示されている。
たときの電子放射の劣化状況を示したものであり、この
場合は極めて大きな劣化を示し、本願の有効性が明瞭に
示されている。
実姉例 2
第2図は下記の表■にG、H,I、Jに示す4種類の基
体金属に酸化層500〜700λ、炭素被膜層200〜
300人を順次被着形成したときの特性Iと、基体金属
の表面に酸化層、炭素被膜層を全く形成しなかったとき
の特性Hについての基体金属組成の影響を示した特注図
である。
体金属に酸化層500〜700λ、炭素被膜層200〜
300人を順次被着形成したときの特性Iと、基体金属
の表面に酸化層、炭素被膜層を全く形成しなかったとき
の特性Hについての基体金属組成の影響を示した特注図
である。
この場合、酸化層および炭素被膜層の作り方、カソード
、カラーブラウン管の作り方などは全て実姉例1に準じ
た。
、カラーブラウン管の作り方などは全て実姉例1に準じ
た。
このように第2図から明らかなように基体金属の組成が
大幅に変っても特性Iで示したように本願の適当な厚さ
の酸化層、炭素被膜層を有するものは使用中の電子放射
量の劣化は極めて少ない。
大幅に変っても特性Iで示したように本願の適当な厚さ
の酸化層、炭素被膜層を有するものは使用中の電子放射
量の劣化は極めて少ない。
また特性■で示したように表面二重層を有しないカソー
ドは基体金属の影響も大きくなり、またカソード使用中
の電子放射量の劣化が大きくなる。
ドは基体金属の影響も大きくなり、またカソード使用中
の電子放射量の劣化が大きくなる。
したがって、このように本願の表面二重層は高融点金属
を含む基体金属を用いた酸化物陰極では、基体金属の組
成が多少変動しても極めて大きな効果が得られる。
を含む基体金属を用いた酸化物陰極では、基体金属の組
成が多少変動しても極めて大きな効果が得られる。
なお、上記実施例において、炭素被膜層の形成は、CH
4ガスを用いたイオンブレーティングを用いた場合につ
いて説明したが、炭素のスパーク蒸着法、ハイljoカ
ーボンの熱分解など他の通常の方法で形成しても良い。
4ガスを用いたイオンブレーティングを用いた場合につ
いて説明したが、炭素のスパーク蒸着法、ハイljoカ
ーボンの熱分解など他の通常の方法で形成しても良い。
以上説明したように本発明による電子管用酸化物陰極に
よれば、酸化物陰極の使用中における電子放射能の劣化
を防止して、長期間にわたって電子放射量を維持させ、
電子管の品質、信頼性等を大幅に向上させることができ
る極めて優れた効果が得られる。
よれば、酸化物陰極の使用中における電子放射能の劣化
を防止して、長期間にわたって電子放射量を維持させ、
電子管の品質、信頼性等を大幅に向上させることができ
る極めて優れた効果が得られる。
第1図、第2図は本発明による電子管用酸化物陰極の陽
極最大電流の動作時間依存性を示す%注図である。
極最大電流の動作時間依存性を示す%注図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 少なくとも1種類の高融点金属を2重量%以上含む
合金からなる基体金属板に電子放射性アルカリ土類酸化
物を被着形成してなる電子管用酸化物陰極において、前
記基体金属板の酸化物被着面に少なくとも1種類の還元
性元素の酸化物を多量に含む酸化物層と、該酸化物層の
上面に炭素被膜層とを被着形成したことを特徴とする電
子管用酸化物陰極。 2 前記基体金属板に前記高融点金属とZr、Al。 Mg、Si、Ti、U、CrjNb、Tbなどの還元性
元素の少なくとも1種類とを含有させたことを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の電子管用酸化物陰極。 3 前記基体金属板がNiを含む合金としたことを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の電子管用酸化物陰極
。 4 前記基体金属板はNiと、Zr、A12Mg、Si
。 Ti、U、Cr、Nb、Thなどの還元性元素の少なく
とも1種類とを含む合金としたことを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載の電子管用酸化物陰極。 5 @記還元性元素酸化物を多量に含む酸化物層の膜厚
を50〜1000人、炭素被膜層の膜厚を50〜700
人としたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
電子管用酸化物陰極。 6 前記基体金属板はNi−W−Mg、Ni−W−Mo
−Mg、 N i −W −Re −Mg 、 N i
−W−M。 Re−Mgの合金としたことを特徴とする特許請求の範
囲第4項記載の電子管用酸化物陰極。 7 前記基体金属板はN i −W −S i 、 N
i −W −Mo−8i 、N1−W−Re−8i
、Ni−W−M。 −Re−8iの合金としたことを特徴とする特許請求の
範囲第4項記載の電子管用酸化物陰極。 8 前記基体金属板はN i −W −Z r 、 N
i −W −Mo−Zr 、Nj−W−Re−Zr、
Ni−W−M。 −Re−Zrの合金としたことを特徴とする特許請求の
範囲第4項記載の電子管用酸化物陰極。
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JP53047789A JPS5816737B2 (ja) | 1978-04-24 | 1978-04-24 | 電子管用酸化物陰極 |
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