JPS58160907A - 顕微鏡用焦点検出装置 - Google Patents
顕微鏡用焦点検出装置Info
- Publication number
- JPS58160907A JPS58160907A JP4408482A JP4408482A JPS58160907A JP S58160907 A JPS58160907 A JP S58160907A JP 4408482 A JP4408482 A JP 4408482A JP 4408482 A JP4408482 A JP 4408482A JP S58160907 A JPS58160907 A JP S58160907A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- focus
- light
- photodetector
- objective lens
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/245—Devices for focusing using auxiliary sources, detectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は焦点検出制置１％に鵬黴鏡用の自動焦点調節装
置１；関する。
置１；関する。
従来のこの種のｉ！電としては１例えば米国特許第５．
７２１８２７号明細書の様に書面と共役な位雷にスリッ
トｖｔ＠、 ここン通過した元を焦点検出用元脚とし
て用いるものか知られている。しかしこの方式では、試
ｐ面で反射して戻ってきた焦点検出用ｊｔＩＩの光検出
器上に於ける強電か合焦時と非合焦時で着しく異なる辷
、スリットを通過させる為に光源の余エネルギーの瞳部
しか使えないという欠点かあった。このため光検出器と
して非常に感度の高いものＹ用いる公費かあり、又６反
射率の低い賦科由では焦点検出装置か作動しなくなると
いう障害か生じた。父、感度の高い元横出１！ｈ１に：
用いても、焦点すれかおこると九〇）Ｉｊ！［１１か急
激に大きく変化するため、ダイナミックレンジの関係か
ら０作動範囲を広くとれないという間亀もあった一０又
０％開昭５４−４０６４９号公轍に開示されたｆｊｋｔ
では具体的な魚点検出用党伽のとり万か明示されてはい
ないか０元源に集九レンズを組ろ曾わせるだけでは当然
上述したような問題か生ずる。
７２１８２７号明細書の様に書面と共役な位雷にスリッ
トｖｔ＠、 ここン通過した元を焦点検出用元脚とし
て用いるものか知られている。しかしこの方式では、試
ｐ面で反射して戻ってきた焦点検出用ｊｔＩＩの光検出
器上に於ける強電か合焦時と非合焦時で着しく異なる辷
、スリットを通過させる為に光源の余エネルギーの瞳部
しか使えないという欠点かあった。このため光検出器と
して非常に感度の高いものＹ用いる公費かあり、又６反
射率の低い賦科由では焦点検出装置か作動しなくなると
いう障害か生じた。父、感度の高い元横出１！ｈ１に：
用いても、焦点すれかおこると九〇）Ｉｊ！［１１か急
激に大きく変化するため、ダイナミックレンジの関係か
ら０作動範囲を広くとれないという間亀もあった一０又
０％開昭５４−４０６４９号公轍に開示されたｆｊｋｔ
では具体的な魚点検出用党伽のとり万か明示されてはい
ないか０元源に集九レンズを組ろ曾わせるだけでは当然
上述したような問題か生ずる。
本発明はこれらの欠点ン解決し０元源の元１ｇｔ十分に
利用でさ、且つ酋焦時、非酋焦時を通じて光検出器上で
の熱漬、検出用元−束の光強直か変わらない様な一徴鏡
用焦点検出装置を得ることン目的゛−と−ず１τ 纂１図は０本発明に於ける元字糸の基本的な概念図であ
り（１）は試料（２）ＩＩＯウェハ寺フ。
利用でさ、且つ酋焦時、非酋焦時を通じて光検出器上で
の熱漬、検出用元−束の光強直か変わらない様な一徴鏡
用焦点検出装置を得ることン目的゛−と−ず１τ 纂１図は０本発明に於ける元字糸の基本的な概念図であ
り（１）は試料（２）ＩＩＯウェハ寺フ。
（２）は纂ルンズ、（６）は＠２レンズ、（４）は書面
である。第ルンズ（２）は一般に１ｗ４倣−の鷹寸荀レ
ンズに相当するものである。纂２レンズ（６）の前側焦
点ｌ纂ルンズ（２）の後側焦点の位置（対物レンズ内に
後側焦点かある場合は・後側焦点の、それより像側にあ
るレンズによる像の位１１）に曾わせることにより、試
料面上の点（５）より元軸に平行に出射した丸線（点組
で図示）は、蘂ルンス（２）娶経て第２レンズ（３）’
ｔ’ｆｉ遇したのち、ｈび元軸Ｃ二平村な光−となって
渾圓上の共役点（ｂ’Ｊ ｉ二連する。第１図より明ら
かなように、第ルンスシ）及び纂２ししており、纂ルン
ズ（２１二人射する平行元鎌束は纂２レンズ（５）ｔ’
出射するとき再び平行党纏東となる。いま、纂ルンズ（
２）に入射する光線６ムかシフトして６Ａ′の位ｌｌ１
ｌ二なったとすると、′＠３レンズ（３）ン通過する対
応する出射光−は＄１図に示したごと＜６Ｂから６ Ｂ
’の位置４ニシフトする。このときのシフト量の比（纂
１図に於ける距ａＳと距離８′との比］は嘱ルンズＱ）
及び纂２レンズ（５）よりなる元竿系の＊＊倍皐Ｍに等
しい。
である。第ルンズ（２）は一般に１ｗ４倣−の鷹寸荀レ
ンズに相当するものである。纂２レンズ（６）の前側焦
点ｌ纂ルンズ（２）の後側焦点の位置（対物レンズ内に
後側焦点かある場合は・後側焦点の、それより像側にあ
るレンズによる像の位１１）に曾わせることにより、試
料面上の点（５）より元軸に平行に出射した丸線（点組
で図示）は、蘂ルンス（２）娶経て第２レンズ（３）’
ｔ’ｆｉ遇したのち、ｈび元軸Ｃ二平村な光−となって
渾圓上の共役点（ｂ’Ｊ ｉ二連する。第１図より明ら
かなように、第ルンスシ）及び纂２ししており、纂ルン
ズ（２１二人射する平行元鎌束は纂２レンズ（５）ｔ’
出射するとき再び平行党纏東となる。いま、纂ルンズ（
２）に入射する光線６ムかシフトして６Ａ′の位ｌｌ１
ｌ二なったとすると、′＠３レンズ（３）ン通過する対
応する出射光−は＄１図に示したごと＜６Ｂから６ Ｂ
’の位置４ニシフトする。このときのシフト量の比（纂
１図に於ける距ａＳと距離８′との比］は嘱ルンズＱ）
及び纂２レンズ（５）よりなる元竿系の＊＊倍皐Ｍに等
しい。
一２図は、纂１図に於ける第ルンズ（２）及び試１４（
ｔＤ（１）の拡大図である。纂２図に於いて元ｌｌｌ１
８か元軸と角度θ馨なしてｌ＠ルンスＱ）から出射する
とき、試料面かｆｊＩＡ悪的な酋焦位ｔ （９）にあれ
は反射光は８′となるが、試料圓か酋焦位ｔ（９）より
ｄだけすれた位１１（９’ｌにあるときは反射光は８″
となる。このときの反射光のシフト量Ｓは８２図より ８＝２ｄｔａｎθ・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・（１）となる。像間上でのシフトｔ８′は入射
位置のシフト歓のＭ倍（ＭはＭｅ倍軍）であるから８＝
２ｄＭｔａｎθ・・・・・・・・・・・・・・・（２）
となる。
ｔＤ（１）の拡大図である。纂２図に於いて元ｌｌｌ１
８か元軸と角度θ馨なしてｌ＠ルンスＱ）から出射する
とき、試料面かｆｊＩＡ悪的な酋焦位ｔ （９）にあれ
は反射光は８′となるが、試料圓か酋焦位ｔ（９）より
ｄだけすれた位１１（９’ｌにあるときは反射光は８″
となる。このときの反射光のシフト量Ｓは８２図より ８＝２ｄｔａｎθ・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・（１）となる。像間上でのシフトｔ８′は入射
位置のシフト歓のＭ倍（ＭはＭｅ倍軍）であるから８＝
２ｄＭｔａｎθ・・・・・・・・・・・・・・・（２）
となる。
典型的な横付としてｄ ” １ ｔｔｒｎ、 Ｍ＝４
Ｑ、θ＝２４の場合を考えると（２）式より ８′＝５
５゜６ｆｉｍとなる。即ち１μｍの焦点すれか＊面上で
６５．６μｍの反射光シフトとなって検出できるから、
渾面（又はその共役点）上盛−イメージせンサＹ配置し
ておけば反射光の変位により焦点すれか検出でさる。纂
２図シー於ける光線８は焦、娠検出用元森に相当し、第
ルンズ及び纂２レンズより成る元学糸の像側よりある程
度の８４ｗもった平竹元−乗として０元軸に対しメリジ
オナル向内で２１１轟な角度をなして入射させるが、該
元芋糸かアフィー刀ル系であるため焦点ずれ量にかかわ
らず９反射元の元来の太さは一定であり、従ってイメー
ジセンサ上での反射光の強ｆは一足である。このイメー
ジセンサの出力から焦点ずれｄＹ（２１式により検出し
、これｔモータ等の駆動手段でフィードバックすること
により自動焦点ｔｓｍｉｉｔが構成される。
Ｑ、θ＝２４の場合を考えると（２）式より ８′＝５
５゜６ｆｉｍとなる。即ち１μｍの焦点すれか＊面上で
６５．６μｍの反射光シフトとなって検出できるから、
渾面（又はその共役点）上盛−イメージせンサＹ配置し
ておけば反射光の変位により焦点すれか検出でさる。纂
２図シー於ける光線８は焦、娠検出用元森に相当し、第
ルンズ及び纂２レンズより成る元学糸の像側よりある程
度の８４ｗもった平竹元−乗として０元軸に対しメリジ
オナル向内で２１１轟な角度をなして入射させるが、該
元芋糸かアフィー刀ル系であるため焦点ずれ量にかかわ
らず９反射元の元来の太さは一定であり、従ってイメー
ジセンサ上での反射光の強ｆは一足である。このイメー
ジセンサの出力から焦点ずれｄＹ（２１式により検出し
、これｔモータ等の駆動手段でフィードバックすること
により自動焦点ｔｓｍｉｉｔが構成される。
纂３図は、上述の構成に基づく本発明Ｙ＊倣跳の自前焦
点調節装置（−用いた＊ｍ例の概略４１！取図である。
点調節装置（−用いた＊ｍ例の概略４１！取図である。
（１０）は試料向、（１１）は、鵜１図に於ける纂ルン
ズ（２■：対応する顕微−の対物レンズ、＋１２）はハ
ーフミラ−（又はダイクロイックミラー）、 １１３
７は可視透過赤外光カットフィルタ、（１４Ｊは観察用
像Ｉ１ｍ、 １１５）は＠１図に於ける纂２レンズ（
５）に河応する禰助レンズ、＋１６Ｊは焦点検出用赤外
ｊｔ源、＋１７３はコリメートレンズ、（１８）はハー
フミラ−，１１９）は可視元カット赤外透過フィルタ、
１２０）は紙面１ユ直交する方向に１率をもったシリン
ドリカルレンズ（纂４＃ＡＪ、（２１）はイメージでン
サ、（２２＋は観察用照明光源、 （２５）は可視Ｉ
！に過赤外カットフィルタ、＋２４７はハーフミラ−，
１２５７は変位検出回路、＋２６Ｊはモータ駆１１２１
ｔｇｌ路。
ズ（２■：対応する顕微−の対物レンズ、＋１２）はハ
ーフミラ−（又はダイクロイックミラー）、 １１３
７は可視透過赤外光カットフィルタ、（１４Ｊは観察用
像Ｉ１ｍ、 １１５）は＠１図に於ける纂２レンズ（
５）に河応する禰助レンズ、＋１６Ｊは焦点検出用赤外
ｊｔ源、＋１７３はコリメートレンズ、（１８）はハー
フミラ−，１１９）は可視元カット赤外透過フィルタ、
１２０）は紙面１ユ直交する方向に１率をもったシリン
ドリカルレンズ（纂４＃ＡＪ、（２１）はイメージでン
サ、（２２＋は観察用照明光源、 （２５）は可視Ｉ
！に過赤外カットフィルタ、＋２４７はハーフミラ−，
１２５７は変位検出回路、＋２６Ｊはモータ駆１１２１
ｔｇｌ路。
（２７）はステージ駆動用モータである。いま。
十分（ニルさい光源（１６）Ｙ出た光廖はコリメートレ
ンズ（１７目−よって平行光ａ束となるが、この平行九
騨宋が紙面内で対物レンズ元軸１１１ａ）ｌ：対し着干
の角度ｔな丁ように元＄１１６）とレンズ（１７Ｊ’か
配ｌｌされている。
ンズ（１７目−よって平行光ａ束となるが、この平行九
騨宋が紙面内で対物レンズ元軸１１１ａ）ｌ：対し着干
の角度ｔな丁ように元＄１１６）とレンズ（１７Ｊ’か
配ｌｌされている。
この平行光融宋はハーフミラ−＋１８７’ｔ’経て補助
レンズ＋１５）ン過過し、ハーフミラ−（１２Ｊ、 （
２４３）ｊ−経て対物レンズロ１月二人射し、試料面（
１０）で反射したのち再び同じ経略Ｙ通ってハーフミラ
−１ｌ８）Ｃ違する。
レンズ＋１５）ン過過し、ハーフミラ−（１２Ｊ、 （
２４３）ｊ−経て対物レンズロ１月二人射し、試料面（
１０）で反射したのち再び同じ経略Ｙ通ってハーフミラ
−１ｌ８）Ｃ違する。
このとき元婦宋か平行光−束の状總−二戻るのは前述し
た通りである。次にハーフミラ−（１Ｂ）１に：通過し
た元繍來はＩＩＩＴ視元カット赤外透過フィルタ（１９
）によって一部用照明ｊｔ源（２２）による成分（これ
は雑ｆ成分となる一ン取り除かれ、さらにシリンドリカ
ルレンズ（２０）によって紙面に直交する方向（ピント
ずれ４二よるシフトが生じない方向］の光縁束径馨政ら
れたあとイメージセンサ（２１）に入射する。ここで、
観察用照明か雑音として焦点検出光＠ｌ：まじって残ら
ぬよう、観察用照明光源（２２）とハーフミラ−（２４
）との間６：可視透過赤外カットフィルタ１２３）か記
音され。
た通りである。次にハーフミラ−（１Ｂ）１に：通過し
た元繍來はＩＩＩＴ視元カット赤外透過フィルタ（１９
）によって一部用照明ｊｔ源（２２）による成分（これ
は雑ｆ成分となる一ン取り除かれ、さらにシリンドリカ
ルレンズ（２０）によって紙面に直交する方向（ピント
ずれ４二よるシフトが生じない方向］の光縁束径馨政ら
れたあとイメージセンサ（２１）に入射する。ここで、
観察用照明か雑音として焦点検出光＠ｌ：まじって残ら
ぬよう、観察用照明光源（２２）とハーフミラ−（２４
）との間６：可視透過赤外カットフィルタ１２３）か記
音され。
父、観察用ｇ１向口４２に赤外光−か到達せぬ様、ハー
フミラ−（１２）と観察用書面（１４）との間番二可視
透過赤外カットフ４ＪＬ、９１１３３か配置されている
。イメージセンサ（２１）からの出力信号は変位検出回
路＋２５）ｌユより。
フミラ−（１２）と観察用書面（１４）との間番二可視
透過赤外カットフ４ＪＬ、９１１３３か配置されている
。イメージセンサ（２１）からの出力信号は変位検出回
路＋２５）ｌユより。
合焦に必要なステージ１２８）の駆動量に対応Ｔる信号
に変換され、この出力信号に基さモータ駆＠［９１１Ｍ
＋２６３がステージ駆ｗＪ用モータ（２７）ｉ’粗駆動
、ステージ（２８）が必貿童移動して酋漬か行われる。
に変換され、この出力信号に基さモータ駆＠［９１１Ｍ
＋２６３がステージ駆ｗＪ用モータ（２７）ｉ’粗駆動
、ステージ（２８）が必貿童移動して酋漬か行われる。
このようなｌＢ成（二よれば、焦点外れの状態礁；おい
ても元検出―上に於ける焦点検出用光―束の光強直が一
定となるような焦点検出糸ｔ’ｌｐｌ［できるから、ダ
イナミックレンジの狭い元横１ｆｊｆｔでも安定して作
動させることかできる。又、焦点検出用元麿の光源とし
て半導体レーザの様な発光体のきわめて小さいものを用
いれは、焦点短離が小さくｒナンバーが小さな明るいコ
リメートレンズな使用すること（二より細くて強度の大
８な焦点検出用九縁Ｙ：得ることができる。ざら４；１
元検出−の１創（二、焦点検出用元−のシフト方向と１
父する方向すなわち渠５図中紙面に撫直な方向に曲率ｔ
もったＩ＠４図のｆｉ＋視図のごときシリンドリカルレ
ンズ（２０）か挿入されているので稍ｔＩ；影曽なく元
検出養上での無点横出用元愚の光＊［’に増大させるこ
とか０１能である。
ても元検出―上に於ける焦点検出用光―束の光強直が一
定となるような焦点検出糸ｔ’ｌｐｌ［できるから、ダ
イナミックレンジの狭い元横１ｆｊｆｔでも安定して作
動させることかできる。又、焦点検出用元麿の光源とし
て半導体レーザの様な発光体のきわめて小さいものを用
いれは、焦点短離が小さくｒナンバーが小さな明るいコ
リメートレンズな使用すること（二より細くて強度の大
８な焦点検出用九縁Ｙ：得ることができる。ざら４；１
元検出−の１創（二、焦点検出用元−のシフト方向と１
父する方向すなわち渠５図中紙面に撫直な方向に曲率ｔ
もったＩ＠４図のｆｉ＋視図のごときシリンドリカルレ
ンズ（２０）か挿入されているので稍ｔＩ；影曽なく元
検出養上での無点横出用元愚の光＊［’に増大させるこ
とか０１能である。
従って１党元感度の低い元検出指でも安定して動作させ
ることか可能となり、又０反射率の低い試料ｌ１１１ニ
ー刈しても扁精匿で付熱を行なうことかでさる。
ることか可能となり、又０反射率の低い試料ｌ１１１ニ
ー刈しても扁精匿で付熱を行なうことかでさる。
伺、′５を検出器としてイメージセンサを用いることの
メリットを次に述べる。ます、検出ｎ覆か商いこと、こ
れはイメージセンサのビツナ（二もよるか、境在では回
路技術等ｖｔめ１０μ禍の変位は容易６：検出できる。
メリットを次に述べる。ます、検出ｎ覆か商いこと、こ
れはイメージセンサのビツナ（二もよるか、境在では回
路技術等ｖｔめ１０μ禍の変位は容易６：検出できる。
父、デジタル的な処塩となるため、温度や湿度等の変化
による誤差も少ない。次ζ二徴械的取付位−゛の一警か
容易である。これはイメージπフサ上での原点を任意６
；選ぶことができるため。
による誤差も少ない。次ζ二徴械的取付位−゛の一警か
容易である。これはイメージπフサ上での原点を任意６
；選ぶことができるため。
無点検出用ｊｔｉＩかシフトする方向の取付精贋かされ
めて大まかでよいことに起因するものである。又、イメ
ージセンサ上での原点を任意−二移動できる様なｌ！！
ｌｌ１ｉ２！１栴成にすれは、対物レンズを交換したと
さにせンサ上での合焦位置か変わっても簡単な操作１
ｆｌＪえは手動リセットノによりすぐに付熱を始めるこ
とかできる。父、イメージセンサ、伸−二すニアイメー
ジπンサは他の受光素子ζ：比べて受光部か長いので、
自動焦点＃１４節範四が広くでさる。賊後ζ；、対重し
ンスとの合成で７フオーカル糸を形成−（る為の補助レ
ンズ（二関してであるか。
めて大まかでよいことに起因するものである。又、イメ
ージセンサ上での原点を任意−二移動できる様なｌ！！
ｌｌ１ｉ２！１栴成にすれは、対物レンズを交換したと
さにせンサ上での合焦位置か変わっても簡単な操作１
ｆｌＪえは手動リセットノによりすぐに付熱を始めるこ
とかできる。父、イメージセンサ、伸−二すニアイメー
ジπンサは他の受光素子ζ：比べて受光部か長いので、
自動焦点＃１４節範四が広くでさる。賊後ζ；、対重し
ンスとの合成で７フオーカル糸を形成−（る為の補助レ
ンズ（二関してであるか。
正レンズに限らす灼蜀レンズの瞳位置によっては負レン
ズＹ用いてもよい。又、灼柳しンスか物体ｗ≦二はぼテ
レセントリックで、且つ射出瞳の位置も大よそ−！にす
る様に設計されていれは、後側焦点（又は上町Ｆの泣電
もはば一足となっているはずであるから、上記テレセン
ドリンクの条件か守られている限り。
ズＹ用いてもよい。又、灼柳しンスか物体ｗ≦二はぼテ
レセントリックで、且つ射出瞳の位置も大よそ−！にす
る様に設計されていれは、後側焦点（又は上町Ｆの泣電
もはば一足となっているはずであるから、上記テレセン
ドリンクの条件か守られている限り。
対物レンズ馨交換しても補助レンズを交換する必要はな
い。
い。
以上の株に１本発明によれは合焦時及び非合焦ａｉｖ通
して充積ｆｉｌ器上での焦点検出用元栂束の元９ｉ度が
変わらないため、一般に受元感度が低く、受光面積も狭
く０月つダイナミックレンジも狭いイメージせンサン、
焦点横出用元検出益として安定して動作させることか可
能となり、より広い範囲にわたって＾精度の合焦検出が
ｎＪ能となる。
して充積ｆｉｌ器上での焦点検出用元栂束の元９ｉ度が
変わらないため、一般に受元感度が低く、受光面積も狭
く０月つダイナミックレンジも狭いイメージせンサン、
焦点横出用元検出益として安定して動作させることか可
能となり、より広い範囲にわたって＾精度の合焦検出が
ｎＪ能となる。
纂１図は本発明による装置の元字糸の基本的な概念図。
纂２図は購１図の纂ルンズ、ｌｉｔ科面部分の拡大図。
軌３図は本開明による爽′ｍ例の概略傳成図。
ｌ１Ａ４図はシリンドリカルレンズの斜視図である。
〔主要部分の符号の説明〕
１６・・・・・・・・・・・・・・・焦点検出光Ｑｌ赤
外光源１０・・・・・・・・・・・・・試料面１１・・
・・・・・・・・・・・・・対物レンズ２１・・・・・
・・・・・・・・・・イメージセンサ１５・・・・・・
・・・・・・・・・補助レンズ出 願 人 ： 日本元
学工業株式会社、ｔＩ図 第２因
外光源１０・・・・・・・・・・・・・試料面１１・・
・・・・・・・・・・・・・対物レンズ２１・・・・・
・・・・・・・・・・イメージセンサ１５・・・・・・
・・・・・・・・・補助レンズ出 願 人 ： 日本元
学工業株式会社、ｔＩ図 第２因
Claims (1)
- 対智レンズと、該対重レンズの＊＊より一焦点検出用−
ｙｔ、＊＊ｗ賦科面へ供給するための照明手段と、ｌ［
試料面で反射され再び対重しンズ官貴６；戻ってくる骸
′ｙｔ、ｌ１束の位置を検出する光検出器とｔ有する順
黴鏡用焦点検出装置（：於いて、鎖対豐レンズの像儒に
咳対豐レンズとの合皮で７フオーカル系をなす補助レン
ズを設け、Ｗ記照明手設は沸点検出用元１１１にとして
該アフォーカル系へ平行党−束を供給することＣ；より
前記光検出器上に於ける光強［Ｙ−足としたことｔ特徴
とする朧黴鏡用焦点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4408482A JPS58160907A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 顕微鏡用焦点検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4408482A JPS58160907A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 顕微鏡用焦点検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58160907A true JPS58160907A (ja) | 1983-09-24 |
Family
ID=12681745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4408482A Pending JPS58160907A (ja) | 1982-03-19 | 1982-03-19 | 顕微鏡用焦点検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58160907A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6084522A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-13 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 投影検査機 |
| US6974938B1 (en) | 2000-03-08 | 2005-12-13 | Tibotec Bvba | Microscope having a stable autofocusing apparatus |
| CN108646396A (zh) * | 2018-04-27 | 2018-10-12 | 合肥工业大学 | 自动对焦显微镜系统 |
-
1982
- 1982-03-19 JP JP4408482A patent/JPS58160907A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6084522A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-13 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 投影検査機 |
| JPH04246B2 (ja) * | 1983-10-17 | 1992-01-06 | Mitutoyo Corp | |
| US6974938B1 (en) | 2000-03-08 | 2005-12-13 | Tibotec Bvba | Microscope having a stable autofocusing apparatus |
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