JPS58155759A - カラー固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
カラー固体撮像素子の製造方法Info
- Publication number
- JPS58155759A JPS58155759A JP58029350A JP2935083A JPS58155759A JP S58155759 A JPS58155759 A JP S58155759A JP 58029350 A JP58029350 A JP 58029350A JP 2935083 A JP2935083 A JP 2935083A JP S58155759 A JPS58155759 A JP S58155759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dyes
- dyeing
- dye
- exchange resin
- acid type
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、カラー固体撮像素子に関する。
固体カラー撮像装置の撮儂部は、多数の光検知部を持っ
た、たとえばシリコン七作製された半導体回路部（撮像
素子と略称する。）、および光検知部に対応して設けら
れた三原色（或は補色）フィルターより成る。当然、光
検知部の各光検知素子に三原色（或は補色）のたとえば
モザイク状の色フィルターを配置させる総構となってい
る。光検知部は、これを動作させるための周辺回路を形
つくる半導体集積回路と同一基材で作られる場合、或は
光検知部とこれ以外の半導体回路部と別種の半導体材料
を用いる場合などがある。
た、たとえばシリコン七作製された半導体回路部（撮像
素子と略称する。）、および光検知部に対応して設けら
れた三原色（或は補色）フィルターより成る。当然、光
検知部の各光検知素子に三原色（或は補色）のたとえば
モザイク状の色フィルターを配置させる総構となってい
る。光検知部は、これを動作させるための周辺回路を形
つくる半導体集積回路と同一基材で作られる場合、或は
光検知部とこれ以外の半導体回路部と別種の半導体材料
を用いる場合などがある。
従来、これら固体カラーｆｉＩｌ！素子の作シ方として
は固体撮像素子と色フィルタ等を別々に作シ、両者を光
学用接着剤にて撮像素子の光検知部の微細パターンへ位
置を合わせつつモザイク状の色フィルタを貼合せる方法
がとられていた。また、Ｐ、Ｌ、Ｐ、Ｄｉ １ｉｏｎ
等は上記光学用接着剤のかわりに光学用マツチング・
オイルを使って同様に色フィルタを固体撮像素子に配置
する方法も提案している。
は固体撮像素子と色フィルタ等を別々に作シ、両者を光
学用接着剤にて撮像素子の光検知部の微細パターンへ位
置を合わせつつモザイク状の色フィルタを貼合せる方法
がとられていた。また、Ｐ、Ｌ、Ｐ、Ｄｉ １ｉｏｎ
等は上記光学用接着剤のかわりに光学用マツチング・
オイルを使って同様に色フィルタを固体撮像素子に配置
する方法も提案している。
しかし、この様なカラー・フィルターを接着するタイプ
では、色フィルタを別な透明な基板に作る必要があるだ
めの材料費がかさむ、あるいは接着工程に手数がかかる
等種々問題点がある。
では、色フィルタを別な透明な基板に作る必要があるだ
めの材料費がかさむ、あるいは接着工程に手数がかかる
等種々問題点がある。
本発明は固体撮像素子の基板上に直接色フィルターを積
層するための方法を提供する。
層するための方法を提供する。
通常染料は水溶性を付与するために塩の形になッテイル
。特に酸性染料では多くがスルホン酸すトリウムの形に
なっている。しかし、固体撮像素子上に直接色フィルタ
ーを積層する場合フィルタ形成材料、特に染色中のアル
カリ金属を除去する必要がある。
。特に酸性染料では多くがスルホン酸すトリウムの形に
なっている。しかし、固体撮像素子上に直接色フィルタ
ーを積層する場合フィルタ形成材料、特に染色中のアル
カリ金属を除去する必要がある。
本発明は色フィルターを染色するだめの染料に陽イオン
交換樹脂を作用させて脱イオンを行なうものである。
交換樹脂を作用させて脱イオンを行なうものである。
以下、本発明を実施例を参照して詳細に説明する０
染料中のナトリウムあるいはカリウムなどの除去、およ
びその他の金属不純物の除去は陽イオン交換樹脂（Ｄ
ｏｗｅ Ｘ ５０ Ｗ ｘ １２ ＋ダウケミカル社）
カムムを使用［２て行なった。すなわち、上記陽イオン
交換樹脂４０ｍｊをカラムに充填し、１４のイオン交換
水で洗浄、２Ｎ塩酸で洗浄、次いでイオン交換水で洗浄
をおこなってカラムの調製を行な３つた。つぎに、１〜
２ｍのナトリウムイオン含有の染料水溶液をカラム上部
から流下し、留出してくる脱イオン化染料の水溶液をあ
っめた。
びその他の金属不純物の除去は陽イオン交換樹脂（Ｄ
ｏｗｅ Ｘ ５０ Ｗ ｘ １２ ＋ダウケミカル社）
カムムを使用［２て行なった。すなわち、上記陽イオン
交換樹脂４０ｍｊをカラムに充填し、１４のイオン交換
水で洗浄、２Ｎ塩酸で洗浄、次いでイオン交換水で洗浄
をおこなってカラムの調製を行な３つた。つぎに、１〜
２ｍのナトリウムイオン含有の染料水溶液をカラム上部
から流下し、留出してくる脱イオン化染料の水溶液をあ
っめた。
この操作をカヤノール エロー（ＫａｙａｎｏｌＹｅｌ
ｌｏｗ Ｎ、 ５ Ｇ ） （黄色染料）、 リサミン
グリーン（Ｌｉａｓａｍｉｎｅ ＧｒｅｅｎＶ） （
緑色染料）、メチルブルー （Ｍｅｔｈｙｌ Ｈｌｕｅ
） （青色染料）、ボンソー８ （ＰｏｎｃｅａｕＳ
） （赤色染料）について行ない、分光分析、あるいは
無機分析によって染色水溶液中の金属不純物の分析を行
なった結果を表１に示す、 表１ 染料水溶液中の主な不純物の分析結果単位： ｐ
ｐｍ 表１から明らかなようにイオン交換処理を行なうことに
よって染料中のナトリウム等の金属不純物の含有量を大
巾に低減させることができる。
ｌｏｗ Ｎ、 ５ Ｇ ） （黄色染料）、 リサミン
グリーン（Ｌｉａｓａｍｉｎｅ ＧｒｅｅｎＶ） （
緑色染料）、メチルブルー （Ｍｅｔｈｙｌ Ｈｌｕｅ
） （青色染料）、ボンソー８ （ＰｏｎｃｅａｕＳ
） （赤色染料）について行ない、分光分析、あるいは
無機分析によって染色水溶液中の金属不純物の分析を行
なった結果を表１に示す、 表１ 染料水溶液中の主な不純物の分析結果単位： ｐ
ｐｍ 表１から明らかなようにイオン交換処理を行なうことに
よって染料中のナトリウム等の金属不純物の含有量を大
巾に低減させることができる。
このようにして得られる酸型の染料水溶液を用いゼラチ
ン膜を染色したところ、ナトリウム塩型の染料と同様の
染色性を示した。□ 酸型にすると溶解度が低く、沈殿を生ずる染料の場合は
、塩型たとえばアンモニウム塩に変える必要がある。
ン膜を染色したところ、ナトリウム塩型の染料と同様の
染色性を示した。□ 酸型にすると溶解度が低く、沈殿を生ずる染料の場合は
、塩型たとえばアンモニウム塩に変える必要がある。
アンモニウム塩凰の染料を得る方法としてはイオン交換
樹脂の調製の際に、まずイオン交換水、２Ｎ−塩酸、イ
オン交換水塩化アンモニウム（あるいは硫酸アンモニウ
ムなどの無機アンモニウム塩）水溶液、ついでイオン交
換水による洗浄を順次行なってイオン交換樹脂をアンモ
ニウム塩型にしておきこれに染料水溶液を流下すること
によって得る方法を使うことができる。このようにして
得たアンモニウム型染料を用いてもナトリウム型染料と
同様に染色を行なうことができた。
樹脂の調製の際に、まずイオン交換水、２Ｎ−塩酸、イ
オン交換水塩化アンモニウム（あるいは硫酸アンモニウ
ムなどの無機アンモニウム塩）水溶液、ついでイオン交
換水による洗浄を順次行なってイオン交換樹脂をアンモ
ニウム塩型にしておきこれに染料水溶液を流下すること
によって得る方法を使うことができる。このようにして
得たアンモニウム型染料を用いてもナトリウム型染料と
同様に染色を行なうことができた。
また、リサミングリーンの場合の如く、酸型にすると色
ｖＩ４が変化し、染色性が低下するものもある。しかし
、この場合も、前記のように染料をアンモニウム塩形に
するか、酸形のナイオン交換樹脂中を流下してＨ＋イオ
ン交換した形の染料をＮ１−１４０Ｈで中和して用いる
と染着性が回復する。
ｖＩ４が変化し、染色性が低下するものもある。しかし
、この場合も、前記のように染料をアンモニウム塩形に
するか、酸形のナイオン交換樹脂中を流下してＨ＋イオ
ン交換した形の染料をＮ１−１４０Ｈで中和して用いる
と染着性が回復する。
染色の条件はフィルタの分光特性に応じて染料の調合、
濃度、染色液の温度、染色の時間など従来の方法に従っ
て決定される。緑色、青色、赤色の染料の例について配
合、染色温度、染色時間を以下に示す。
濃度、染色液の温度、染色の時間など従来の方法に従っ
て決定される。緑色、青色、赤色の染料の例について配
合、染色温度、染色時間を以下に示す。
緑色
青色
赤色
染色温度は、緑色４０’０、青色４０℃、赤色４０℃で
ある。染色時間は緑色２分、青色１分、赤色２分である
。
ある。染色時間は緑色２分、青色１分、赤色２分である
。
以下にカラー固体撮像素子に即して工程を説明する。
第１図より第３図は固体撮像素子上に色フィルタを形成
する各工程を示す装置の断面図である。
する各工程を示す装置の断面図である。
次に示す感光性組成物を準備する。
ゼラチン ・・・・・・・・・３
ｇ４．４’−ジアジドスチルベン２．２′−ジスルホン
酸ソーダ（以下単にアジドと略記する）・・・・・・１
５０ｍｇ Ｎ−β（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメト
キシシラン（以下単にシランと略記する）・・・・・・
６０ μ！ 水 ・・・・・・
２２ｇ上記に示す感光性組成物を固体撮像素子上１に回
転塗布機を用いて均一に乾燥させた感光膜を形成した後
マスク露光法で赤色を感じる同体素子８上に１色目のモ
ザイクパターン部分２だけを７００００Ｌｘ−２０１１
ｅｃで露光し、４０℃の温水で２分間現象する。その後
水洗を２分間行ない該モザイクパターン部分２以外の感
光膜を除去した後に所定の分光特性を有する染料で該モ
ザイクパターン部分２を染色しこの上部に透明な中間層
（ポリグリシジルメタアクリレート）３を被覆する。第
１図がこの状態を示す断面図である。染色法は従来から
行なわれている染料水溶液を用いる方法で良い。この際
、前述した脱イオン化した染料を用いる。
ｇ４．４’−ジアジドスチルベン２．２′−ジスルホン
酸ソーダ（以下単にアジドと略記する）・・・・・・１
５０ｍｇ Ｎ−β（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメト
キシシラン（以下単にシランと略記する）・・・・・・
６０ μ！ 水 ・・・・・・
２２ｇ上記に示す感光性組成物を固体撮像素子上１に回
転塗布機を用いて均一に乾燥させた感光膜を形成した後
マスク露光法で赤色を感じる同体素子８上に１色目のモ
ザイクパターン部分２だけを７００００Ｌｘ−２０１１
ｅｃで露光し、４０℃の温水で２分間現象する。その後
水洗を２分間行ない該モザイクパターン部分２以外の感
光膜を除去した後に所定の分光特性を有する染料で該モ
ザイクパターン部分２を染色しこの上部に透明な中間層
（ポリグリシジルメタアクリレート）３を被覆する。第
１図がこの状態を示す断面図である。染色法は従来から
行なわれている染料水溶液を用いる方法で良い。この際
、前述した脱イオン化した染料を用いる。
次いで、同様に前記感光性組成物を均一に塗布し感光膜
を形成した後縁色を感じる固体素子９上にマスク露光法
で露光し現儂、水洗して２色目のモザイクパターン部分
４を形成する。次いで所定の分光特性を有する染料で該
ストライプ部分４を染色し、この上部に透明な中間層５
を被覆する。
を形成した後縁色を感じる固体素子９上にマスク露光法
で露光し現儂、水洗して２色目のモザイクパターン部分
４を形成する。次いで所定の分光特性を有する染料で該
ストライプ部分４を染色し、この上部に透明な中間層５
を被覆する。
この状態が第６図である。さらに同様にして前記感光性
組成物を均一に塗布し感光膜を形成した後青色を感じる
固体索子１０上にマスク露光法で露光し現儂して３色目
のモザイクパターン部分６を形成する。所定の分光特性
を有する染料で核ストライプ部分６を染色し、この上部
に保護膜としてトップコート７を形成し、固体撮像索子
上にモザイクカラーフィルタを直接積層することができ
た。
組成物を均一に塗布し感光膜を形成した後青色を感じる
固体索子１０上にマスク露光法で露光し現儂して３色目
のモザイクパターン部分６を形成する。所定の分光特性
を有する染料で核ストライプ部分６を染色し、この上部
に保護膜としてトップコート７を形成し、固体撮像索子
上にモザイクカラーフィルタを直接積層することができ
た。
この工うに半導体素子に最とも悪影響を与えるナトリウ
ムおよびカリウムを除去されており、素子の寿命を大幅
に延ばすことができると同時に他の添加物の多種の悪影
響を与える金属不純物を除去でき信頼性を向上させるこ
とができた。
ムおよびカリウムを除去されており、素子の寿命を大幅
に延ばすことができると同時に他の添加物の多種の悪影
響を与える金属不純物を除去でき信頼性を向上させるこ
とができた。
前記の処理においてフィルター母材（一般には、ゼラチ
ン、カゼイン、印白等タンパク質系の有機材料を用いて
いる。）に対する架橋剤として次の如き水溶性のビスア
ジド化合物を用いるのが好ましい。このビスアジド化合
物のアルカリ金属あるいはアルカリ土類金属をＨ＋基も
しくはＮＨ：基で置換する。この置換はイオン交換樹脂
を用いて行なうことができる。
ン、カゼイン、印白等タンパク質系の有機材料を用いて
いる。）に対する架橋剤として次の如き水溶性のビスア
ジド化合物を用いるのが好ましい。このビスアジド化合
物のアルカリ金属あるいはアルカリ土類金属をＨ＋基も
しくはＮＨ：基で置換する。この置換はイオン交換樹脂
を用いて行なうことができる。
ビスアジド化合物の例としては次の如きものが掲げられ
る。
る。
（２、６−Ｂｉｓ−（４’−Ａｚｉｄｏ ｂｅｎｚａｌ
）−ａｃｅｔｏｎｅ２’−５ｕｌｆｏｎｉｃ ａｃｉｄ
）（Ｌ６−Ｂｉｓ −（４’−Ａｚｉｄｏ ｂｅｎｚ
ａｌ）−ａｃｅｔｏｎｅ２ｓ ２’−ｄｉｓｕｌｆｏｎ
ｉｃ ａｃｉｄ（Ｓｏｄｉｕｍ ５ａｌｔ） ）（２＊
６−Ｂ ｉ ｓ−（４’ −Ａｚｉｄｏ ｂｅｎｚａ
ｌ）−ｃｙｃｌｏｈａｘａｎｏｎｅ−１２’−ｄｉｇ
５ｕｌｆｏｎｉｃａｃｉｄ （ｓｏｄｉｕｍ ｓａｌ
ｔ）（２，６−Ｂｉｓ−（４’−Ａｚｉｄｏ ｂｅｎｚ
ａｌ）−ｍｅｔｈｙｌ ｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｏｎｅ
−２＋２’−ｄｉｓｕｌｆｏｎｉｃ ａｃｉｄ（Ｓｏｄ
ｉｕｍ ｇａｆｆ） ｉ′Ｎ５ （１ｖ ５−ｄｉａｚｉｄｏ ｎａｐｈｔｈａｌｅｎｅ
−３，７−ｄｉｓｕｌｆｏｎｉｃ ａｃｉｄ（Ｓｏｄ
ｉｕｍ ５ａｌｔ） ビスアジド化合物の脱イオン処理について説明する。
）−ａｃｅｔｏｎｅ２’−５ｕｌｆｏｎｉｃ ａｃｉｄ
）（Ｌ６−Ｂｉｓ −（４’−Ａｚｉｄｏ ｂｅｎｚ
ａｌ）−ａｃｅｔｏｎｅ２ｓ ２’−ｄｉｓｕｌｆｏｎ
ｉｃ ａｃｉｄ（Ｓｏｄｉｕｍ ５ａｌｔ） ）（２＊
６−Ｂ ｉ ｓ−（４’ −Ａｚｉｄｏ ｂｅｎｚａ
ｌ）−ｃｙｃｌｏｈａｘａｎｏｎｅ−１２’−ｄｉｇ
５ｕｌｆｏｎｉｃａｃｉｄ （ｓｏｄｉｕｍ ｓａｌ
ｔ）（２，６−Ｂｉｓ−（４’−Ａｚｉｄｏ ｂｅｎｚ
ａｌ）−ｍｅｔｈｙｌ ｃｙｃｌｏｈｅｘａｎｏｎｅ
−２＋２’−ｄｉｓｕｌｆｏｎｉｃ ａｃｉｄ（Ｓｏｄ
ｉｕｍ ｇａｆｆ） ｉ′Ｎ５ （１ｖ ５−ｄｉａｚｉｄｏ ｎａｐｈｔｈａｌｅｎｅ
−３，７−ｄｉｓｕｌｆｏｎｉｃ ａｃｉｄ（Ｓｏｄ
ｉｕｍ ５ａｌｔ） ビスアジド化合物の脱イオン処理について説明する。
アジドのナトリウムおよびカリウムイオンの除去は陽イ
オン交換樹脂（Ｄｏｗｅｘ 、５０Ｗｘ １２、ダ、、
′ト ウケミカル社）カラムを使用することによって行なった
。すなわち上記陽イオン交換樹脂４９ｍｊをカラムに充
填し、まず、１１のイオン交換水、２Ｎ−塩酸、イオン
交換水、塩化アンモニウム（あるいは硫酸アンモニウム
、又味他の無機アンモニウム塩）水溶液、ついでイオン
交換水の順に流下してアンモニウム塩型イオン交換樹脂
カラムを調整する。これにアジドの水溶液（２，５チ）
を流し、留出してくるアンモニウム塩をあつめる。
オン交換樹脂（Ｄｏｗｅｘ 、５０Ｗｘ １２、ダ、、
′ト ウケミカル社）カラムを使用することによって行なった
。すなわち上記陽イオン交換樹脂４９ｍｊをカラムに充
填し、まず、１１のイオン交換水、２Ｎ−塩酸、イオン
交換水、塩化アンモニウム（あるいは硫酸アンモニウム
、又味他の無機アンモニウム塩）水溶液、ついでイオン
交換水の順に流下してアンモニウム塩型イオン交換樹脂
カラムを調整する。これにアジドの水溶液（２，５チ）
を流し、留出してくるアンモニウム塩をあつめる。
又、前述の処理でアンモニウム塩水溶液を用いずアンモ
ニウム塩に変換せず、イオン交換によってＨ＋基を有す
る様にしても良い。水溶性の点からはアンモニウム塩と
したほうが好ましい。このようにしてナトリウムおよび
カリウムイオンを除去したアジド架橋剤を得ることが出
来る。
ニウム塩に変換せず、イオン交換によってＨ＋基を有す
る様にしても良い。水溶性の点からはアンモニウム塩と
したほうが好ましい。このようにしてナトリウムおよび
カリウムイオンを除去したアジド架橋剤を得ることが出
来る。
第１図より＠３図は本発明の固体撮像素子の製造工程を
示す素子断面図である。 図において、１・・・半導体基板、２．４．６・・・染
色部分、３．５・・・中間層、７・・・保護層、８．９
゜１０・・・光検知部。 第１頁の続き ０発 明 者 松丸治男 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発 明 者 丸山瑛− 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内
示す素子断面図である。 図において、１・・・半導体基板、２．４．６・・・染
色部分、３．５・・・中間層、７・・・保護層、８．９
゜１０・・・光検知部。 第１頁の続き ０発 明 者 松丸治男 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ０発 明 者 丸山瑛− 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内
Claims (1)
- 光検知部とこれよりの電気信号を取シ出すための駆動回
路を有する固体撮像基板上に有機材料の被膜が設けられ
、その所望部分に所定の分光特性を有する染料で染色さ
れたフィルタを有するカラー固体撮像素子において、前
記染料が陽イオン交換樹脂を作用させて脱イオン化した
染料であることを特徴とするカラー固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58029350A JPS58155759A (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | カラー固体撮像素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58029350A JPS58155759A (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | カラー固体撮像素子の製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1160744A Division JPH0256503A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | カラー固体撮像素子用カラーフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58155759A true JPS58155759A (ja) | 1983-09-16 |
| JPS6338681B2 JPS6338681B2 (ja) | 1988-08-01 |
Family
ID=12273765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58029350A Granted JPS58155759A (ja) | 1983-02-25 | 1983-02-25 | カラー固体撮像素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58155759A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6286303A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-20 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | 有機カラ−フイルタ− |
| JPH07271020A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-20 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ブラックマトリックス形成用感光性組成物、カラーフィルター基板及びそれを用いた液晶表示装置 |
| JP2003507856A (ja) * | 1999-08-11 | 2003-02-25 | ダラミック、インク | 複数のスタッドと垂直リブを設置した電池隔離板 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5217375A (en) * | 1975-07-21 | 1977-02-09 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | Membrane separating apparatus |
| JPS53134324A (en) * | 1977-04-28 | 1978-11-22 | Sony Corp | Manufacture for color pick up element |
-
1983
- 1983-02-25 JP JP58029350A patent/JPS58155759A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5217375A (en) * | 1975-07-21 | 1977-02-09 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | Membrane separating apparatus |
| JPS53134324A (en) * | 1977-04-28 | 1978-11-22 | Sony Corp | Manufacture for color pick up element |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6286303A (ja) * | 1985-10-11 | 1987-04-20 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | 有機カラ−フイルタ− |
| JPH07271020A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-20 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ブラックマトリックス形成用感光性組成物、カラーフィルター基板及びそれを用いた液晶表示装置 |
| JP2003507856A (ja) * | 1999-08-11 | 2003-02-25 | ダラミック、インク | 複数のスタッドと垂直リブを設置した電池隔離板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6338681B2 (ja) | 1988-08-01 |
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