JPS58148480A - 圧電性素子集合体の製法 - Google Patents
圧電性素子集合体の製法Info
- Publication number
- JPS58148480A JPS58148480A JP57031271A JP3127182A JPS58148480A JP S58148480 A JPS58148480 A JP S58148480A JP 57031271 A JP57031271 A JP 57031271A JP 3127182 A JP3127182 A JP 3127182A JP S58148480 A JPS58148480 A JP S58148480A
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- Japan
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- film
- voltage
- lines
- piezoelectric
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は分極化した多数の圧電素子を有して成る圧電
性素子集合体の製法を提供するものである。
性素子集合体の製法を提供するものである。
従来弗化ビニリデン樹脂フィルムを４０℃乃至゛ 融点
で１４０乃至１５００ＫＶ／、、の高電圧下で旭理した
フィルムの両面に縦、横に蒸着又は貼付けによる電極を
形成するのは知られているが、この法によるものは上記
樹脂フィルムの圧電率が全面に渡って等しく、電極部分
と非電極部分での圧電率が同一であるため局所に加わっ
た物理的刺激に対する検出能が低い点に問題がある。す
なわち局所ｌこ加わった物理的刺激に応じて電極の有る
場所も無い場所も同様に電圧を発生するので検出分離能
が悪くなるのである。
で１４０乃至１５００ＫＶ／、、の高電圧下で旭理した
フィルムの両面に縦、横に蒸着又は貼付けによる電極を
形成するのは知られているが、この法によるものは上記
樹脂フィルムの圧電率が全面に渡って等しく、電極部分
と非電極部分での圧電率が同一であるため局所に加わっ
た物理的刺激に対する検出能が低い点に問題がある。す
なわち局所ｌこ加わった物理的刺激に応じて電極の有る
場所も無い場所も同様に電圧を発生するので検出分離能
が悪くなるのである。
この発明は以上の事実に鑑みてなされたもので局所に加
わった圧力熱などの物理的刺激番こ対して検出分離能の
高い圧電性素子集合体の製法を提供するもので具体的に
は第１の発明は２次元の物理的刺激５こ対する検出分離
能の高い単層の圧電性集合体の製法に係り、第２の発明
は３次元の物理的刺激に対する検出分離能の高い複層の
圧電性集合体の製法に係るものである。
わった圧力熱などの物理的刺激番こ対して検出分離能の
高い圧電性素子集合体の製法を提供するもので具体的に
は第１の発明は２次元の物理的刺激５こ対する検出分離
能の高い単層の圧電性集合体の製法に係り、第２の発明
は３次元の物理的刺激に対する検出分離能の高い複層の
圧電性集合体の製法に係るものである。
以下、ｊｌｉｌの発明を図面を用いて具体約１こ説明す
る。誘電性高分子フィルム１としてはたとえば一軸蔦伸
したポリフッ化ビニリデンフィルムその他罪誘電性高分
子フィルムにたとえばチタン酸バリウムの如き圧電体微
粒子を充填したものが用いられる。この誘電性フィルム
１の一面に間隔を参いて多数列電極＠１ 、１２．１１
３・・・を形成し、この電極凰１．為２．凰３・・・を
形成し、この電極龜１ ＋＠３ｓａ３・・・に交叉する
電極ｂｌ、ｂ３．ｂ３・・・を他面に間隔をおいて形成
する。そしてこの電極１１．ａ２゜１３・・・と他の電
極ｂ１．ｂ２，１）３１・・・に直流電圧を印加する。
る。誘電性高分子フィルム１としてはたとえば一軸蔦伸
したポリフッ化ビニリデンフィルムその他罪誘電性高分
子フィルムにたとえばチタン酸バリウムの如き圧電体微
粒子を充填したものが用いられる。この誘電性フィルム
１の一面に間隔を参いて多数列電極＠１ 、１２．１１
３・・・を形成し、この電極凰１．為２．凰３・・・を
形成し、この電極龜１ ＋＠３ｓａ３・・・に交叉する
電極ｂｌ、ｂ３．ｂ３・・・を他面に間隔をおいて形成
する。そしてこの電極１１．ａ２゜１３・・・と他の電
極ｂ１．ｂ２，１）３１・・・に直流電圧を印加する。
この場合通常９０〜１３０℃で１０〜１５００ ＫＶ／
ＣＩ＋の直流電圧が用いられる。この印加処理によって
電極凰１．１！・・・とｂｌ、ｂｌ間のフィルム部分は
圧電率が高まる。これにより電極間のフィルム部分ａｂ
の圧電率００は電極のない部分のそれの約１００〜１０
００倍を有することになり、局所に加わった圧、あるい
は熱などの物理的刺激を検出することができるのである
。
ＣＩ＋の直流電圧が用いられる。この印加処理によって
電極凰１．１！・・・とｂｌ、ｂｌ間のフィルム部分は
圧電率が高まる。これにより電極間のフィルム部分ａｂ
の圧電率００は電極のない部分のそれの約１００〜１０
００倍を有することになり、局所に加わった圧、あるい
は熱などの物理的刺激を検出することができるのである
。
なお、電極ｌト」２・・−・−・・ｂｌ、ｂ２・・−・
−・・は蒸着で形成してもよく又は貼り付けで形成して
もよ（特に限定されない。又電極の材質は金銀、銅、ア
ルミニウム等が用いられる。貼り付けには導電性接着剤
が用いられる。
−・・は蒸着で形成してもよく又は貼り付けで形成して
もよ（特に限定されない。又電極の材質は金銀、銅、ア
ルミニウム等が用いられる。貼り付けには導電性接着剤
が用いられる。
以下、第１の発明に係る実施例を下記する。
実施例
一軸圧伸したポリフッ化ビニリデンフィルム（厚５０μ
）の上面及び下面に第１図に示すように２−幅の電極１
１．１２ 、・・・・・・・ｂｌ 、 ｂ２・・・を互
イに直交する様に、かつ同一面内の電極１１ 、ｍｙ・
・・・。
）の上面及び下面に第１図に示すように２−幅の電極１
１．１２ 、・・・・・・・ｂｌ 、 ｂ２・・・を互
イに直交する様に、かつ同一面内の電極１１ 、ｍｙ・
・・・。
ｂｌ、ｂｌ・・・・・・・の間隔をｌ■に設定して形成
しな。この電極１１・・・ｂｌ・・・はアルミニウムの
蒸着によって形成した。
しな。この電極１１・・・ｂｌ・・・はアルミニウムの
蒸着によって形成した。
コノ電極Ｊ 、１１ｇ ・−・・・・ｂｌ、 ｂ２−−
−−−に１００℃で７０ ＫＶ／ｃｍの直流電圧を３０
分印加し、次ぎ定温まで冷却し電極亀１１１２−・・・
ｂｌ、 ｂ、・曲の重なる部分を分極化し単層の圧電素
子集合体を得た。これを試験片として電極Ｊ、Ｊを高イ
ンピーダンス電流測定回路に継ぎ局所圧に対する検出性
能を調べた。すなわち電極８１．ｂｌの重なり合う交点
町。
−−−に１００℃で７０ ＫＶ／ｃｍの直流電圧を３０
分印加し、次ぎ定温まで冷却し電極亀１１１２−・・・
ｂｌ、 ｂ、・曲の重なる部分を分極化し単層の圧電素
子集合体を得た。これを試験片として電極Ｊ、Ｊを高イ
ンピーダンス電流測定回路に継ぎ局所圧に対する検出性
能を調べた。すなわち電極８１．ｂｌの重なり合う交点
町。
ｂｌ をペンで圧を加えたところ電極ａｌ、ｂｌ 間
に電圧変化が認められた。
に電圧変化が認められた。
更に電極１１．ｂ２の重なり合う交点ａ１．ｂ２に同様
に圧を加えたところ電圧変化がほとんど認められず隣接
キー位置に生ずるノイズが少なく圧電性のパルス信号に
より座標選択が容易であった。
に圧を加えたところ電圧変化がほとんど認められず隣接
キー位置に生ずるノイズが少なく圧電性のパルス信号に
より座標選択が容易であった。
次ぎｊ１２の発明について第２図を用いて説明すると、
誘電性為分子フィルム１の一面に間隔をおいて複数列電
極１１ 、ｅ ａ雪を形成し、他面にこの電極ａｌ、ｂ
２に交叉する電極ｂ１．ｂ２を多数列形成して単層素子
２とする。この場合電極としては圧に対して断線しにく
い材種が好ましい。この単層素子２は第１の発明の実施
形態と同様にして得られる。次ぎこの単層素子２は第２
図に示す如く非誘電性フィルム３と接着剤を介在させて
交互に積載し、被圧体４を構成する。ここで非誘電性フ
ィルム３は層間の物理的刺激の伝帳を加減する役割をは
たすもので無機、有機を問わず、また性状についても発
泡体あるいは繊布不繊布も問わない。
誘電性為分子フィルム１の一面に間隔をおいて複数列電
極１１ 、ｅ ａ雪を形成し、他面にこの電極ａｌ、ｂ
２に交叉する電極ｂ１．ｂ２を多数列形成して単層素子
２とする。この場合電極としては圧に対して断線しにく
い材種が好ましい。この単層素子２は第１の発明の実施
形態と同様にして得られる。次ぎこの単層素子２は第２
図に示す如く非誘電性フィルム３と接着剤を介在させて
交互に積載し、被圧体４を構成する。ここで非誘電性フ
ィルム３は層間の物理的刺激の伝帳を加減する役割をは
たすもので無機、有機を問わず、また性状についても発
泡体あるいは繊布不繊布も問わない。
たとえばフッ化ビニリデンやビニリデンサイアナイドの
ホモポリマー、コポリマ、重合硬化型のプレポリマを用
いることができる。この重合硬化型の非誘電性フィルム
３としてはエポキシ１詣やフェノール樹脂を未硬化の状
態を含有する接着シートあるいはエチレン酢ビ樹脂やポ
リウレタンなどの粘着性シートが用いられこの種のフィ
ルムは流動性を有するので硬化の際に電極に圧を加えず
かつ接着機能を有するので接着剤を省くことができる点
で有利である。非誘電性フィルム３と単層素子２．２間
に介在させる接着剤としてはエポキシ樹脂系、ポリエス
テル系、ポリウレタン系、又はニトリルゴム系など合成
樹脂、ゴムなど種々の接着剤が用いられる。
ホモポリマー、コポリマ、重合硬化型のプレポリマを用
いることができる。この重合硬化型の非誘電性フィルム
３としてはエポキシ１詣やフェノール樹脂を未硬化の状
態を含有する接着シートあるいはエチレン酢ビ樹脂やポ
リウレタンなどの粘着性シートが用いられこの種のフィ
ルムは流動性を有するので硬化の際に電極に圧を加えず
かつ接着機能を有するので接着剤を省くことができる点
で有利である。非誘電性フィルム３と単層素子２．２間
に介在させる接着剤としてはエポキシ樹脂系、ポリエス
テル系、ポリウレタン系、又はニトリルゴム系など合成
樹脂、ゴムなど種々の接着剤が用いられる。
被圧体４は次ぎ常温又は加熱下で加圧され一体化され積
層体をなす複層素子５を得る。この複層素子の興なる面
に露出する電極１１．ｂｌ間に直流電圧を印加し３次元
の物理的刺激を検癲することのできる圧電素子集合体６
を得ることができるのである。
層体をなす複層素子５を得る。この複層素子の興なる面
に露出する電極１１．ｂｌ間に直流電圧を印加し３次元
の物理的刺激を検癲することのできる圧電素子集合体６
を得ることができるのである。
第１図は第１発明に係る実施例を示し、ピ）は（ロ）の
Ｘ−Ｘ断面図、（ロ）は平面図である。１３２図は第２
発明に係る実施例を示し、（イ）は（ロ）のＸ−Ｘ断面
図、（ロ）は平面図である。 特許出願人 松下電工株式会社 代理人弁理士 竹 元 敏 丸 （ばか２名）
Ｘ−Ｘ断面図、（ロ）は平面図である。１３２図は第２
発明に係る実施例を示し、（イ）は（ロ）のＸ−Ｘ断面
図、（ロ）は平面図である。 特許出願人 松下電工株式会社 代理人弁理士 竹 元 敏 丸 （ばか２名）
Claims (2)
- （１）誘電性高分子フィルムの一面に、間隔を詔いて多
数列電極を形成し、他面にこの電極に交叉する電極を多
数列形成した後、異なる面の電極間に直流電圧を印加す
ることを特徴とする圧電性素子集合体の製法。 - （２）誘電性高分子フィルムの一面に間隔をおいて多数
列電極を形成し、他面にこの電極に交叉する電極を多数
列形成して単層素子とし、この電極集合素子と非誘電性
フィルムを交互に接着して複層素子とし、この複層素子
の興なる市の電極間に直流電圧を印加することを特徴と
する圧電性素子集合体の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57031271A JPS58148480A (ja) | 1982-02-28 | 1982-02-28 | 圧電性素子集合体の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57031271A JPS58148480A (ja) | 1982-02-28 | 1982-02-28 | 圧電性素子集合体の製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58148480A true JPS58148480A (ja) | 1983-09-03 |
Family
ID=12326665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57031271A Pending JPS58148480A (ja) | 1982-02-28 | 1982-02-28 | 圧電性素子集合体の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58148480A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61163675A (ja) * | 1985-01-14 | 1986-07-24 | Nok Corp | 圧電型触感センサー用複合圧電材料の製造法 |
| US4653581A (en) * | 1984-06-28 | 1987-03-31 | Kabushiki Kaisha Tsuchiya Seisakusho | Plate type heat exchanger |
| US5491879A (en) * | 1993-01-06 | 1996-02-20 | Institut Franco-Allemand De Recherches De Saint-Louis | Procedure to polarize at least one zone of a foil of ferroelectric material to produce a polarized element for piezoelectric or pyroelectric transducers |
| US9846000B2 (en) | 2012-08-01 | 2017-12-19 | Calsonic Kansei Corporation | Heat exchanger |
-
1982
- 1982-02-28 JP JP57031271A patent/JPS58148480A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4653581A (en) * | 1984-06-28 | 1987-03-31 | Kabushiki Kaisha Tsuchiya Seisakusho | Plate type heat exchanger |
| JPS61163675A (ja) * | 1985-01-14 | 1986-07-24 | Nok Corp | 圧電型触感センサー用複合圧電材料の製造法 |
| JPH0511435B2 (ja) * | 1985-01-14 | 1993-02-15 | Nok Corp | |
| US5491879A (en) * | 1993-01-06 | 1996-02-20 | Institut Franco-Allemand De Recherches De Saint-Louis | Procedure to polarize at least one zone of a foil of ferroelectric material to produce a polarized element for piezoelectric or pyroelectric transducers |
| US9846000B2 (en) | 2012-08-01 | 2017-12-19 | Calsonic Kansei Corporation | Heat exchanger |
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