JPS5814137U - 半導体感圧装置 - Google Patents
半導体感圧装置Info
- Publication number
- JPS5814137U JPS5814137U JP10840381U JP10840381U JPS5814137U JP S5814137 U JPS5814137 U JP S5814137U JP 10840381 U JP10840381 U JP 10840381U JP 10840381 U JP10840381 U JP 10840381U JP S5814137 U JPS5814137 U JP S5814137U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensitive chip
- pressure sensitive
- sensitive device
- semiconductor pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体感圧装置を示す断面図、第２図は
この考案による半導体感圧装置の一実施例の要部を示す
断面図である。 １・・・基台、３・・・半導体感圧チップ、６，７・・
・リード片、１１・・・圧力導入孔、１３・・・弾性接
着剤層、１４・・・連通孔。
この考案による半導体感圧装置の一実施例の要部を示す
断面図である。 １・・・基台、３・・・半導体感圧チップ、６，７・・
・リード片、１１・・・圧力導入孔、１３・・・弾性接
着剤層、１４・・・連通孔。
Claims (1)
- 流体圧力の導入孔をもった絶縁基台に複数のリード片を
一体に形成し、所定のリード片の上面に接着剤層を介し
て感圧チップを固定するとともに、上記圧力導入孔を上
記チップの受圧部に連通させるための連通孔を上記リー
ド片に形成し、さらに感圧チップの設定用リード片の熱
膨張係数を感圧チップのそれと等しくなるように選定し
たことを特徴とする半導体感圧装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10840381U JPS5814137U (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 半導体感圧装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10840381U JPS5814137U (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 半導体感圧装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814137U true JPS5814137U (ja) | 1983-01-28 |
| JPS6236112Y2 JPS6236112Y2 (ja) | 1987-09-14 |
Family
ID=29902810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10840381U Granted JPS5814137U (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 半導体感圧装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814137U (ja) |
-
1981
- 1981-07-20 JP JP10840381U patent/JPS5814137U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6236112Y2 (ja) | 1987-09-14 |
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