JPS58137669A - シ−ル機構 - Google Patents
シ−ル機構Info
- Publication number
- JPS58137669A JPS58137669A JP57019806A JP1980682A JPS58137669A JP S58137669 A JPS58137669 A JP S58137669A JP 57019806 A JP57019806 A JP 57019806A JP 1980682 A JP1980682 A JP 1980682A JP S58137669 A JPS58137669 A JP S58137669A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable shaft
- magnetic
- yoke
- sealing mechanism
- tapered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
- F16J15/40—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid
- F16J15/43—Sealings between relatively-moving surfaces by means of fluid kept in sealing position by magnetic force
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Sealing Of Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は可動軸に対するシール機構ＫＩＩＬ、真空親電
などの密閉された空間に対して外部から軸方向の直線運
動や輪まわ）の回転運動を導入する場合に用いて有用な
ものである。
などの密閉された空間に対して外部から軸方向の直線運
動や輪まわ）の回転運動を導入する場合に用いて有用な
ものである。
第１１１＃ｉ従来Ｏ畿性流体シール機構（磁気シール機
構）を示す、岡１１ＫＴｈいて、ハウジング１内に＃ｉ
ミリングの永久磁石２及びこれ０両極にそれヤれ接しぇ
リンダ状０璽−り３．ｓが固定されて−る。これら永久
磁石２と曹−り３内に可動軸４ｔ−買過し、可動軸４と
舎璽−り３とＯ闘■に永久磁石！！による磁界で磁性流
体５を保持すること虻よ）シーｋｔ−形成している。こ
のような磁気シールは摩擦ｍ杭が小さく且つ摩耗が無い
という利点があ）、真空装置やコンビエータディスクド
ライブ勢における密閉容器の１転シール部に実用されて
いる。
構）を示す、岡１１ＫＴｈいて、ハウジング１内に＃ｉ
ミリングの永久磁石２及びこれ０両極にそれヤれ接しぇ
リンダ状０璽−り３．ｓが固定されて−る。これら永久
磁石２と曹−り３内に可動軸４ｔ−買過し、可動軸４と
舎璽−り３とＯ闘■に永久磁石！！による磁界で磁性流
体５を保持すること虻よ）シーｋｔ−形成している。こ
のような磁気シールは摩擦ｍ杭が小さく且つ摩耗が無い
という利点があ）、真空装置やコンビエータディスクド
ライブ勢における密閉容器の１転シール部に実用されて
いる。
一方、上述の如自磁気シールを直線運動をする軸のシー
ルに適用することが考えられるが、種々の問題があって
実用化されていない。即ち、Ｉｌｌ＠Ｉ＃ＩＣおいて可
動軸４が直線運動し九とすると、可動軸４に１１Ｍ触し
てい為磁性流体５が引きづられ、５１０如く曹−り１と
のギャップ部から移動方向へ流出してしまう、そのため
、真空権勢の密閉容器内を汚染させるという問題や、流
出によ）磁性流体５が不足してシール能力が低下する等
の問題がある。
ルに適用することが考えられるが、種々の問題があって
実用化されていない。即ち、Ｉｌｌ＠Ｉ＃ＩＣおいて可
動軸４が直線運動し九とすると、可動軸４に１１Ｍ触し
てい為磁性流体５が引きづられ、５１０如く曹−り１と
のギャップ部から移動方向へ流出してしまう、そのため
、真空権勢の密閉容器内を汚染させるという問題や、流
出によ）磁性流体５が不足してシール能力が低下する等
の問題がある。
嬉！ＩＩＫ直線運動への対策を図っ良磁気シール０１ｉ
ｌを示す。これは縦形であシ、磁気励路−〇下儒璽−り
６の内周面に軸方向に対する傾斜を持たせ、且つ、磁気
回路部の上方に磁性流体５０１１７を設けたものである
。っｔＭ、Ｍ−り６０領斜によってこの画一り６と可動
軸４関０磁束１度に勾配を生じさせ、この磁気勾配を利
用して可動軸４の移動に伴って流出した磁性流体ｓ１上
方の流体１１７に戻そうとするものである。菖２図のシ
ール機構によれば、一旦流出し良磁性流体５”Ｋは磁気
勾配によ）これを磁気−終部Ｋｊ！す方向の力が作用す
るのであるが、一旦流出した磁性流体は磁束密度が大き
一磁気回終部Ｏ挟隘部分に補足され、ζこで形成される
シールによって流体１１７ ＫＦｉ戻〉難いという欠点
がある。また、狭隘部分をすぎて隙間が広い領域に存在
する磁性流体５１はそこでは磁束密度が−くその拘束力
も小さいため、高速移動において飛散するという事故が
生じ易１０更に、可動軸４０半径方向への動きに伴って
ヨークとの隙間が変動し易く、シールの安定性に問題が
ある。
ｌを示す。これは縦形であシ、磁気励路−〇下儒璽−り
６の内周面に軸方向に対する傾斜を持たせ、且つ、磁気
回路部の上方に磁性流体５０１１７を設けたものである
。っｔＭ、Ｍ−り６０領斜によってこの画一り６と可動
軸４関０磁束１度に勾配を生じさせ、この磁気勾配を利
用して可動軸４の移動に伴って流出した磁性流体ｓ１上
方の流体１１７に戻そうとするものである。菖２図のシ
ール機構によれば、一旦流出し良磁性流体５”Ｋは磁気
勾配によ）これを磁気−終部Ｋｊ！す方向の力が作用す
るのであるが、一旦流出した磁性流体は磁束密度が大き
一磁気回終部Ｏ挟隘部分に補足され、ζこで形成される
シールによって流体１１７ ＫＦｉ戻〉難いという欠点
がある。また、狭隘部分をすぎて隙間が広い領域に存在
する磁性流体５１はそこでは磁束密度が−くその拘束力
も小さいため、高速移動において飛散するという事故が
生じ易１０更に、可動軸４０半径方向への動きに伴って
ヨークとの隙間が変動し易く、シールの安定性に問題が
ある。
本発明は上記従来技術Ｏ欠ＪＬＫ鑑み、直線運動に対す
るシールが確実なシール機構を提供することを目的とす
る。この目的は、軸方向に対して内周面が傾斜しえテー
バ冒−りを端部に備える磁性流体シールと、可動軸に対
して内周面が一定一閏でなるべく近接する筒体とを併用
するととによ）達成できる。以下、第３図〜第７図を参
照して本発Ｗ１４Ｙｔ説明する。
るシールが確実なシール機構を提供することを目的とす
る。この目的は、軸方向に対して内周面が傾斜しえテー
バ冒−りを端部に備える磁性流体シールと、可動軸に対
して内周面が一定一閏でなるべく近接する筒体とを併用
するととによ）達成できる。以下、第３図〜第７図を参
照して本発Ｗ１４Ｙｔ説明する。
第３図は本発明の第１０実施例を示し、１はへウジング
、２は永久磁石、８ＦｉＭ−り、４は可動軸、Ｓは磁性
流体であ）、更に、＄は軸方向に対して内周面に傾斜を
持たせ良テーパヨーク、９はすべ）軸受を兼ねる筒体、
１０は軸受押えである。第３図において１を真空側、ｌ
を大気側とすると、テーバ菖−り６は磁気回路部の真空
側Ｉで永久磁石２Ｋｍｍ配置してノ・ウジングＩＫ固定
してあプ、且つその大径部は真空側夏に肉いている。仁
のようにテーパヨーク８を設けておくと、通常紘永久磁
石２からの磁場によって可動軸４と叢−り３関に保持さ
れている磁性流体５が可動軸４の直線運動にっれて移動
しても、テーパヨーク８によって形成される磁束密度の
勾配によって可動軸４との隙間が小さい先端方崗即ち小
径部に引き寄せられる。こＯ場合、テーパ璽−り８の先
端部の最小−関暑はなるべく小さい方が良いが、本実施
例では他Ｃ）Ｎ−り３の隙間すよ如も大きく取ってあり
、磁性流体５が磁気回路部の中心部へ戻シ易いようにし
である。一方、へウジングＩＫは可動軸４に内周面が極
〈近接する筒体９を固定してあり、これＫよ）可動軸４
０牛径方向への変位を小さく抑えると共Ｋｌｌ性流体Ｓ
の蒸気の流出管抑えている。本実施例では筒体９はすベ
シ軸受【兼ねており、真空中での潤滑性に優れているふ
っ素樹脂や二硫化モリブデン等の同体潤滑剤を構成成分
とした複合材料など【用いえ１のである。ここては１対
の筒体９．９によル磁気回路部を挾む位置で可動軸４を
支持している。従って可動軸４０半径方向変位が極めて
小さくなるから、磁気回路部における瞭聞ａ、ｂｔ十分
小さく取れ、よって七〇部分の磁束密度が大きくなシ耐
圧の大きい確実なシール機構となる。
、２は永久磁石、８ＦｉＭ−り、４は可動軸、Ｓは磁性
流体であ）、更に、＄は軸方向に対して内周面に傾斜を
持たせ良テーパヨーク、９はすべ）軸受を兼ねる筒体、
１０は軸受押えである。第３図において１を真空側、ｌ
を大気側とすると、テーバ菖−り６は磁気回路部の真空
側Ｉで永久磁石２Ｋｍｍ配置してノ・ウジングＩＫ固定
してあプ、且つその大径部は真空側夏に肉いている。仁
のようにテーパヨーク８を設けておくと、通常紘永久磁
石２からの磁場によって可動軸４と叢−り３関に保持さ
れている磁性流体５が可動軸４の直線運動にっれて移動
しても、テーパヨーク８によって形成される磁束密度の
勾配によって可動軸４との隙間が小さい先端方崗即ち小
径部に引き寄せられる。こＯ場合、テーパ璽−り８の先
端部の最小−関暑はなるべく小さい方が良いが、本実施
例では他Ｃ）Ｎ−り３の隙間すよ如も大きく取ってあり
、磁性流体５が磁気回路部の中心部へ戻シ易いようにし
である。一方、へウジングＩＫは可動軸４に内周面が極
〈近接する筒体９を固定してあり、これＫよ）可動軸４
０牛径方向への変位を小さく抑えると共Ｋｌｌ性流体Ｓ
の蒸気の流出管抑えている。本実施例では筒体９はすベ
シ軸受【兼ねており、真空中での潤滑性に優れているふ
っ素樹脂や二硫化モリブデン等の同体潤滑剤を構成成分
とした複合材料など【用いえ１のである。ここては１対
の筒体９．９によル磁気回路部を挾む位置で可動軸４を
支持している。従って可動軸４０半径方向変位が極めて
小さくなるから、磁気回路部における瞭聞ａ、ｂｔ十分
小さく取れ、よって七〇部分の磁束密度が大きくなシ耐
圧の大きい確実なシール機構となる。
筒体９は上述の如き可動軸４の変位抑制の他、可動軸４
と０１１間が筒体の前後よシ相当に小さいため、磁性流
体５が蒸発して真空槽等の密閉客器内に入ろうとしても
、これｔｉｌ止するシールの８′目を果す、この役目を
果すため、真空槽の場合には真空のコンダクタンスを考
慮して可動軸４と筒体９関ｏ＊ａｅｔ設定しておシ、特
に本実施例では筒体９を／１ウジング１０軸受押え１０
に圧入等で固定後、旋削や研削等によって内ｍＹｔ高精
度に仕上げ、偏心等による誤差を除去しである。
と０１１間が筒体の前後よシ相当に小さいため、磁性流
体５が蒸発して真空槽等の密閉客器内に入ろうとしても
、これｔｉｌ止するシールの８′目を果す、この役目を
果すため、真空槽の場合には真空のコンダクタンスを考
慮して可動軸４と筒体９関ｏ＊ａｅｔ設定しておシ、特
に本実施例では筒体９を／１ウジング１０軸受押え１０
に圧入等で固定後、旋削や研削等によって内ｍＹｔ高精
度に仕上げ、偏心等による誤差を除去しである。
なお、第３図の実施例では筒体９にすべ夛軸受を兼用さ
せたが、可動軸４はころが）軸受等の専用の軸受で支持
し、同時に可動軸４に内周面が近接する筒体を別途挿入
する構成であっても本発明のシール機構であシ＠３図と
同様の効果を発揮する。
せたが、可動軸４はころが）軸受等の専用の軸受で支持
し、同時に可動軸４に内周面が近接する筒体を別途挿入
する構成であっても本発明のシール機構であシ＠３図と
同様の効果を発揮する。
第４図は本発明の第２の実施例を示し、テーバヨーク８
０大径＠端部に流出した磁性流体５″を掻き落すための
掻落部材１１を形成しである。
０大径＠端部に流出した磁性流体５″を掻き落すための
掻落部材１１を形成しである。
との掻落部材１１は高分子化合物や非磁性金属で作られ
、テーパヨーク８から可動軸４に向かつて突出して込る
。なお、掻落部材１１は突起片、ｓ！状体いずれでも良
く、また先端は可動軸４に接触しても良い。このような
掻落部材１１を形成しておくと、可動軸４に引きづられ
て移動し良磁性流体５”は掻落部材１１の先端で可動軸
４表面から掻き取られ、テーパヨーク８による磁気勾配
によって磁気回路部の中央に戻る。
、テーパヨーク８から可動軸４に向かつて突出して込る
。なお、掻落部材１１は突起片、ｓ！状体いずれでも良
く、また先端は可動軸４に接触しても良い。このような
掻落部材１１を形成しておくと、可動軸４に引きづられ
て移動し良磁性流体５”は掻落部材１１の先端で可動軸
４表面から掻き取られ、テーパヨーク８による磁気勾配
によって磁気回路部の中央に戻る。
なお、掻落部材１１社八へジングｌ自体に形成した）、
筒体９とテーパヨーク８間に挟み付けて配置しても良い
。
筒体９とテーパヨーク８間に挟み付けて配置しても良い
。
第５図は本発明の第３の実施例を示し、テーパヨーク８
の先端がｉＩＩ接のヨーク３に極〈接近して伸びている
。これは、流出した磁性流体を磁気回路部中央に戻し島
くする九め、狭いスペースでテーバ環−り８の傾斜を長
くし且つ所望の磁束密度関係を保とうとした形状である
。例えば曹−り３と可動軸４間の磁束密度ｆＡ、 ｉｗ
−り３とテーパ１−り８先端間の磁束密度ｔ−Ｂ。
の先端がｉＩＩ接のヨーク３に極〈接近して伸びている
。これは、流出した磁性流体を磁気回路部中央に戻し島
くする九め、狭いスペースでテーバ環−り８の傾斜を長
くし且つ所望の磁束密度関係を保とうとした形状である
。例えば曹−り３と可動軸４間の磁束密度ｆＡ、 ｉｗ
−り３とテーパ１−り８先端間の磁束密度ｔ−Ｂ。
テーバ環−り８先端と可動軸４開の磁束密度をＣとする
と、 Ａ≧Ｂ及びＡ≧Ｃ・・・式（１） ％式％） という式（１）あるい鉱式ｈ＞を満足する範囲でテーパ
ヨーク８の先端が隣接の曹−り３に近接し、且つテーバ
環−り８の傾斜が長いと磁性流体が戻り易い。つま）、
テーバ環−り８の傾斜が長いと流出した磁性流体を戻さ
せる磁気勾配の領域が長くなる。また、テーバ環−り８
の磁気勾配によｊＩＩ間の小さい万両に引き寄せられた
磁性流体は、更に、ＣよＩｊ４大きな磁束密度Ａ又はＢ
の磁界に引っ張られることになシ、ヨーク３と可動軸４
関に補足される。
と、 Ａ≧Ｂ及びＡ≧Ｃ・・・式（１） ％式％） という式（１）あるい鉱式ｈ＞を満足する範囲でテーパ
ヨーク８の先端が隣接の曹−り３に近接し、且つテーバ
環−り８の傾斜が長いと磁性流体が戻り易い。つま）、
テーバ環−り８の傾斜が長いと流出した磁性流体を戻さ
せる磁気勾配の領域が長くなる。また、テーバ環−り８
の磁気勾配によｊＩＩ間の小さい万両に引き寄せられた
磁性流体は、更に、ＣよＩｊ４大きな磁束密度Ａ又はＢ
の磁界に引っ張られることになシ、ヨーク３と可動軸４
関に補足される。
第６図は本発明の第４の実施例を示し、チーＡｇ−り８
ｔ−複数段構成している。各テーバ環−り３の作る磁束
密度はシール外側例えば真空槽からシール内部に至るほ
ど大きくなるようにしている。これによシ、流出した磁
性流体は外側のテーパヨークから内側のテーパヨークへ
願に引き寄せられて磁気回路部中央に戻る。
ｔ−複数段構成している。各テーバ環−り３の作る磁束
密度はシール外側例えば真空槽からシール内部に至るほ
ど大きくなるようにしている。これによシ、流出した磁
性流体は外側のテーパヨークから内側のテーパヨークへ
願に引き寄せられて磁気回路部中央に戻る。
第７図は本発明の第５の実施例を示し、シール機構の両
側例えば真空側Ｉと大気側層にそれぞれテーパヨーク８
．８・を配置しである。各側１、Ｉのテーパヨーク８．
８１の傾斜の長さ及び傾き社、永久磁石２．ヨー７３９
両テーバ環−り８，８１及び可動軸４で構成される磁気
回路部で生じる磁場の大きさ並びに可動軸４の直線運動
のスト目−りに応じて定められる。この例では、シール
機構の全長を短かくし且つ磁性流体の真空側１への流出
を確実に防ぐため、真空側Ｉのテーパ長を長くシ、大気
側層のテーパ長【短くしである。
側例えば真空側Ｉと大気側層にそれぞれテーパヨーク８
．８・を配置しである。各側１、Ｉのテーパヨーク８．
８１の傾斜の長さ及び傾き社、永久磁石２．ヨー７３９
両テーバ環−り８，８１及び可動軸４で構成される磁気
回路部で生じる磁場の大きさ並びに可動軸４の直線運動
のスト目−りに応じて定められる。この例では、シール
機構の全長を短かくし且つ磁性流体の真空側１への流出
を確実に防ぐため、真空側Ｉのテーパ長を長くシ、大気
側層のテーパ長【短くしである。
以上、嬉１〜ｔＩＭＳの実施例を説明したが、いずれの
場合もテーパヨーク８．８′の少くとも内周面にふっ素
糸樹脂のような無極性ポリマーからなる低エネルギ表面
処理を施しである。このような表面処理を行うと、可動
軸４によって引きづられた磁性流体はテーパ■−り８．
８’に：は粘着しなくな）、磁気勾配によって磁気回路
部中央に容ＪＩＫ戻される。なお、中央部のヨーク３で
は上述の低エネルギ表ｉｉｒｍ理をせず、補足した磁性
流体がヨーク３と可動軸４間に磁気力及び粘着力によ）
強固に固定されるよう圧して信頼性を上げている。を九
、各実施例でのヨーク３には内周面ＫＶＩＩを切ってあ
シ、磁束を集中させて密度を上げることによシ磁性′流
体の固定を確実にしている。
場合もテーパヨーク８．８′の少くとも内周面にふっ素
糸樹脂のような無極性ポリマーからなる低エネルギ表面
処理を施しである。このような表面処理を行うと、可動
軸４によって引きづられた磁性流体はテーパ■−り８．
８’に：は粘着しなくな）、磁気勾配によって磁気回路
部中央に容ＪＩＫ戻される。なお、中央部のヨーク３で
は上述の低エネルギ表ｉｉｒｍ理をせず、補足した磁性
流体がヨーク３と可動軸４間に磁気力及び粘着力によ）
強固に固定されるよう圧して信頼性を上げている。を九
、各実施例でのヨーク３には内周面ＫＶＩＩを切ってあ
シ、磁束を集中させて密度を上げることによシ磁性′流
体の固定を確実にしている。
以上説明したように、本発明のシール機構はテーパヨー
クと可動軸に内周面が十分近接する筒体とを備えるので
、汚染が少ない確実なシール性能ｔ−発揮する。し友が
って、真空等の密閉された空間に外部から軸方向の直線
運動及び軸まわ如の回転運動を導入することが可能とな
り、ＬＳＩ （大規模集積回路）の製造装置など応用分
野が極めて広い。
クと可動軸に内周面が十分近接する筒体とを備えるので
、汚染が少ない確実なシール性能ｔ−発揮する。し友が
って、真空等の密閉された空間に外部から軸方向の直線
運動及び軸まわ如の回転運動を導入することが可能とな
り、ＬＳＩ （大規模集積回路）の製造装置など応用分
野が極めて広い。
菖１図は従来の磁性流体シール機構の断面図、第２図は
従来の直線運動用磁性流体シール機構の断面図、第３図
〜第７図社それぞれ本発明の一実論例を示す断面図であ
る。 図 面 中、 １はハウジング、 ２は永久磁石、 ３はヨーク、 ４は可動軸、 ５は磁性流体、 Ｓｌは流出した磁性流体、 ８と８＠はテーパヨーク、 ９は筒体、 １０は軸受押え、 １１は掻落部材、 Ｉは真空側、 １紘大気側である。 特許出願人 日本電信電話公社 代 理 人 弁理士光石士部 （他１名）
従来の直線運動用磁性流体シール機構の断面図、第３図
〜第７図社それぞれ本発明の一実論例を示す断面図であ
る。 図 面 中、 １はハウジング、 ２は永久磁石、 ３はヨーク、 ４は可動軸、 ５は磁性流体、 Ｓｌは流出した磁性流体、 ８と８＠はテーパヨーク、 ９は筒体、 １０は軸受押え、 １１は掻落部材、 Ｉは真空側、 １紘大気側である。 特許出願人 日本電信電話公社 代 理 人 弁理士光石士部 （他１名）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （リ 可動軸の磁気シール機構ＫｓＰＩＡて、永久磁石
と曹−りとを組合せてなる磁気回路部の端ｌＩＫ軸線に
対して内周面が傾斜し良テーバヨークを備えると共に、
このテーパヨークの軸方内外方に可動軸に対して内ｍが
極（近接する筒体を備えたこと１０黴とするシール機構
。 ←） 上記テーパ曹−りは可動−に付着した磁性流体を
可動軸からテーパ曹−り内面に掻き落す非磁性体製の掻
落部材を備えていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のシール機構。 （１） 上記筒体が可動軸管軸承するすベク軸受であ
ること１０黴とする特許請求の範Ｓ第１項または嬉２項
記載のシール機構。 （４）上記テーパｌ−りａＳ接ｌ−り側の先端が、！１
Ｍ先ｍｌ隣ＩＩ！ｍ−り及び可動軸との間のいずれの磁
束密度よ）も隣ＩＩＭ−りと可動軸との間の磁束密度が
大となる範囲内で、１４８Ｍ−りに近接していることｔ
−特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項また社
第３項記載のシール機構。 （５） 上記テーパヨークは内周面に無極性ポリマー
からなる低エネルギ表面処理層を形成しであること′ｔ
ｑ！ｉｌｌきする特許請求の範囲第１項または第２項ま
たは第３項または第４項記載のシール機構。 （６） 上記テーパヨークが磁気回路ＩＰめ両端部に
それぞれ備えられている仁とを特徴とする特許請求の範
囲第１項または第２項または第３項ま良紘第４項またヰ
第５項記載のシール機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57019806A JPS58137669A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | シ−ル機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57019806A JPS58137669A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | シ−ル機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58137669A true JPS58137669A (ja) | 1983-08-16 |
| JPS6239311B2 JPS6239311B2 (ja) | 1987-08-21 |
Family
ID=12009572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57019806A Granted JPS58137669A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | シ−ル機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58137669A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4575103A (en) * | 1984-04-09 | 1986-03-11 | Pedu Alexander A | Magnetic seal for magnetic particle clutches and brakes |
| JPS6231776A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Tohoku Metal Ind Ltd | 磁性流体シ−ル装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4178792B2 (ja) * | 1999-07-09 | 2008-11-12 | Ｎｏｋ株式会社 | 磁性流体シール |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5865373A (ja) * | 1981-10-14 | 1983-04-19 | Kiichi Taga | 磁性粒子を混ぜた粘性流体による軸シ−ルパツキング方式 |
-
1982
- 1982-02-12 JP JP57019806A patent/JPS58137669A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5865373A (ja) * | 1981-10-14 | 1983-04-19 | Kiichi Taga | 磁性粒子を混ぜた粘性流体による軸シ−ルパツキング方式 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4575103A (en) * | 1984-04-09 | 1986-03-11 | Pedu Alexander A | Magnetic seal for magnetic particle clutches and brakes |
| JPS6231776A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Tohoku Metal Ind Ltd | 磁性流体シ−ル装置 |
| JPH0520627B2 (ja) * | 1985-08-02 | 1993-03-22 | Tokin Corp |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6239311B2 (ja) | 1987-08-21 |
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