JPS58130520A - 熱処理炉用操作部 - Google Patents
熱処理炉用操作部Info
- Publication number
- JPS58130520A JPS58130520A JP22615482A JP22615482A JPS58130520A JP S58130520 A JPS58130520 A JP S58130520A JP 22615482 A JP22615482 A JP 22615482A JP 22615482 A JP22615482 A JP 22615482A JP S58130520 A JPS58130520 A JP S58130520A
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- JP
- Japan
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- furnace
- jig
- operating rod
- lid
- thermocouple
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体基板等に不純物拡散、気相化学成長、熱
酸化等の処理を行う熱処理炉において用いられる治具操
作部に関するものである。
酸化等の処理を行う熱処理炉において用いられる治具操
作部に関するものである。
ｔＣ（集積回路装置）、トランジスタなどの半導体装置
を構造するのに使用する拡散炉等の熱処理炉は横長石英
管からなる処理炉内部に処理すべき半導体ウェハ（基板
）を保持する処理治具を有し、炉の一端開口部にはこれ
を閉塞するための蓋部（キャップ）を有する構造のもの
が広く採用された。
を構造するのに使用する拡散炉等の熱処理炉は横長石英
管からなる処理炉内部に処理すべき半導体ウェハ（基板
）を保持する処理治具を有し、炉の一端開口部にはこれ
を閉塞するための蓋部（キャップ）を有する構造のもの
が広く採用された。
そして、拡散等の熱処理時の半導体ウェハの炉内部への
挿入及び引き出しは、その一端にある蓋部を取り外した
状態で、治具操作棒を外部から炉内に挿入し字導体つエ
ノ１を支持する処理治具の出し入れにより行っている。
挿入及び引き出しは、その一端にある蓋部を取り外した
状態で、治具操作棒を外部から炉内に挿入し字導体つエ
ノ１を支持する処理治具の出し入れにより行っている。
また、熱処理時の処理温度測定も蓋部（キャップ）を取
り外し熱電対を炉内に挿入することにより行われる。
り外し熱電対を炉内に挿入することにより行われる。
このように、上記熱処理炉は前記作業の必要のあるたび
毎に蓋を取り外さなければならず、半導体ウェハの挿入
及び引き出し、処理温度測定などの炉内部操作が極めて
複軸であった◎ また、熱処理中は炉内の内部がｔｏｏｏｃ以上の高温に
なることもあり、その一端にある蓋部も約６０Ｃに加熱
され、半導体ウニノーの出し入れ、処理温度の測定など
の操作は蓋部な取り外して行われることから、かなり危
険を伴うものであった。
毎に蓋を取り外さなければならず、半導体ウェハの挿入
及び引き出し、処理温度測定などの炉内部操作が極めて
複軸であった◎ また、熱処理中は炉内の内部がｔｏｏｏｃ以上の高温に
なることもあり、その一端にある蓋部も約６０Ｃに加熱
され、半導体ウニノーの出し入れ、処理温度の測定など
の操作は蓋部な取り外して行われることから、かなり危
険を伴うものであった。
さらに、上記蓋部は一般に透明な石英材が使用されるた
め、炉内部の熱が輻射の作用で透明石英蓋部を通過し炉
外部へ放射されるので、熱損失も大きいという欠点があ
った。
め、炉内部の熱が輻射の作用で透明石英蓋部を通過し炉
外部へ放射されるので、熱損失も大きいという欠点があ
った。
本発明は上記欠点を解消するためＫなされたものであり
、その目的は熱処理炉への半導体ウェハ等の処理物の挿
入及び引き出し、炉内部の温度測定などの炉内部の操作
を簡単にすること、他の目的は熱処理操作の危険性を少
くすること及び炉の熱損失な少くすること、適切な処理
条件のもとで熱処理が行えるようにすること等にある。
、その目的は熱処理炉への半導体ウェハ等の処理物の挿
入及び引き出し、炉内部の温度測定などの炉内部の操作
を簡単にすること、他の目的は熱処理操作の危険性を少
くすること及び炉の熱損失な少くすること、適切な処理
条件のもとで熱処理が行えるようにすること等にある。
以下本発明の一実施例を図面を参照しながら具体的に説
明する。
明する。
実施例１
第１図は本発明の一実施例に従った治具操作部２は炉本
体１の一端開口部に設けられた開口部を閉塞するための
蓋部（キャップ）で石英の中空管体３と、その内部に充
填された石英ウール又はアルミナウール＊ ８ ｉ Ｃ
，８＋等からなる断熱材４とから構成される。５は炉内
に載置する処理治具６の出し入れ操作な行う泊具操部と
なる治具操作棒、７は炉内の温度を測定する熱電対であ
る５治具操咋棒５はＭｒＣ又は８１０！を材料として形
成した主軸８とこれな支持する足部９と処理治具６に引
き掛ける５字形（又はＦ字鍵形でもよい）の掛具１０と
から構成されている。熱電対７は白金線又はアルメルク
ロメルからなり、その導線１１は蓋内部を通って外部に
導かれている。なお、アルメルクロメルからなる熱電対
は比較的低い熱処理の場合に用いる。
体１の一端開口部に設けられた開口部を閉塞するための
蓋部（キャップ）で石英の中空管体３と、その内部に充
填された石英ウール又はアルミナウール＊ ８ ｉ Ｃ
，８＋等からなる断熱材４とから構成される。５は炉内
に載置する処理治具６の出し入れ操作な行う泊具操部と
なる治具操作棒、７は炉内の温度を測定する熱電対であ
る５治具操咋棒５はＭｒＣ又は８１０！を材料として形
成した主軸８とこれな支持する足部９と処理治具６に引
き掛ける５字形（又はＦ字鍵形でもよい）の掛具１０と
から構成されている。熱電対７は白金線又はアルメルク
ロメルからなり、その導線１１は蓋内部を通って外部に
導かれている。なお、アルメルクロメルからなる熱電対
は比較的低い熱処理の場合に用いる。
上記蓋部（キャップ）２の外側にはその取り外しを容易
にするため、の把手１２が取付けられるとともに中空管
体蓋部内部の気圧を低下させるための圧力ぬき管１３が
取付けられている。蓋部２の内側には処理治具６の出し
入れ操作を行う治具操作部となる治具操作棒５及び温度
を測定する熱電対７が取付けられている。すなわち、把
手８と圧力ぬき管９を有する蓋部２に治具操作棒５及び
熱電対７が取付けられ；蓋部２と治具操作棒５と熱電対
７とからなる王者が一体になっている。したがって、蓋
部２Ｉｋ炉の一端から取り外すことによって同時に治具
操作棒５及び熱電対７を炉内部から引き出せ、一方蓋部
２を炉の一端開口部に取り付けることによって同時に治
具操作棒５及び熱電対７Ｉｋ炉内部に挿入できるように
なっている。
にするため、の把手１２が取付けられるとともに中空管
体蓋部内部の気圧を低下させるための圧力ぬき管１３が
取付けられている。蓋部２の内側には処理治具６の出し
入れ操作を行う治具操作部となる治具操作棒５及び温度
を測定する熱電対７が取付けられている。すなわち、把
手８と圧力ぬき管９を有する蓋部２に治具操作棒５及び
熱電対７が取付けられ；蓋部２と治具操作棒５と熱電対
７とからなる王者が一体になっている。したがって、蓋
部２Ｉｋ炉の一端から取り外すことによって同時に治具
操作棒５及び熱電対７を炉内部から引き出せ、一方蓋部
２を炉の一端開口部に取り付けることによって同時に治
具操作棒５及び熱電対７Ｉｋ炉内部に挿入できるように
なっている。
拡散等の熱処理時においては、多数の半導体ウェハ１４
を処理治具６に支持させた状Ｉで、ｆ１部２と一体にな
りている治具操作棒５により半導体ウェハ１４な支持し
たＭ治具６を炉内部に挿入する。この治具操作棒５が炉
の奥に挿入されたとき、処理治具６は炉内の所定位置に
達し、同時に蓋部２により炉の一端開口部が閉塞される
。なお、蓋部２には一体となっている熱電対７が取付け
られているので、炉閉鎖と同時に炉内部に熱電対７が設
置される。そして、炉外部に設けた加熱コイル（図示せ
ず）により炉内の処理温度を３００Ｃ〜１２００ｒにし
て拡散等の熱処理が行われる。
を処理治具６に支持させた状Ｉで、ｆ１部２と一体にな
りている治具操作棒５により半導体ウェハ１４な支持し
たＭ治具６を炉内部に挿入する。この治具操作棒５が炉
の奥に挿入されたとき、処理治具６は炉内の所定位置に
達し、同時に蓋部２により炉の一端開口部が閉塞される
。なお、蓋部２には一体となっている熱電対７が取付け
られているので、炉閉鎖と同時に炉内部に熱電対７が設
置される。そして、炉外部に設けた加熱コイル（図示せ
ず）により炉内の処理温度を３００Ｃ〜１２００ｒにし
て拡散等の熱処理が行われる。
このとき、処理温度を炉内部に設置した熱電対７により
外部から１時測定し適切な処理条件のもとで拡散等の熱
処理を行う。
外部から１時測定し適切な処理条件のもとで拡散等の熱
処理を行う。
上記熱処理において１字導体ウェハ１４の炉内部への挿
入及び引き出しは炉な加熱した状態で行われるので、炉
の一端開口部に蓋部２な取付けたときに、中空管体蓋部
２の内部の空気が熱膨張し約５Ｋｐの圧力が加わるが、
圧力空気は蓋部２に設けられた圧力ぬき管１３を通って
大気に貫けるようになっているから、熱膨張による危険
を防止することができる。
入及び引き出しは炉な加熱した状態で行われるので、炉
の一端開口部に蓋部２な取付けたときに、中空管体蓋部
２の内部の空気が熱膨張し約５Ｋｐの圧力が加わるが、
圧力空気は蓋部２に設けられた圧力ぬき管１３を通って
大気に貫けるようになっているから、熱膨張による危険
を防止することができる。
このような構造の熱処理炉であれば、炉の一端開口部に
蓋部２を取付けることによって蓋部２と一体になってい
る治具操作棒８及び熱電対７も同時に炉内部へ挿入され
、蓋部２の取付け、処理治具６の炉内部への挿入及び処
理温度測定が一回の操作で同時に行うことができ、一方
炉の一端から蓋部２を取り外せば、同時に処理治具６の
引き出し及び熱電対７の引き出しができ、熱処理操作が
簡単になる。
蓋部２を取付けることによって蓋部２と一体になってい
る治具操作棒８及び熱電対７も同時に炉内部へ挿入され
、蓋部２の取付け、処理治具６の炉内部への挿入及び処
理温度測定が一回の操作で同時に行うことができ、一方
炉の一端から蓋部２を取り外せば、同時に処理治具６の
引き出し及び熱電対７の引き出しができ、熱処理操作が
簡単になる。
実施例 ■
第２図は本発明の他の実施例に従った治具操作部を示し
、治具操作部となる治具操作棒内部に熱電対が内在する
ようにして、蓋部と治具操作棒と熱電対と一体になった
ものを示すものである。
、治具操作部となる治具操作棒内部に熱電対が内在する
ようにして、蓋部と治具操作棒と熱電対と一体になった
ものを示すものである。
５は処理治具６の出し入れ操作を行５８ ｉＣ又はＳｉ
ｎ、からなる治具操作棒で、この棒内部に炉内の温度を
測定する熱電対７が内蔵されている。
ｎ、からなる治具操作棒で、この棒内部に炉内の温度を
測定する熱電対７が内蔵されている。
この場合、治具操作棒５は内在する熱電対７により機械
的に補強されるので、熱による治具操作棒８の変形が避
けられる。
的に補強されるので、熱による治具操作棒８の変形が避
けられる。
また、この実施例においては、治具操作棒５はその先端
り字形の掛具ｌＯがその軸に対してあらゆる角度に曲げ
ることのできるユニバーサルジヨイント構造を有してお
り、処理治具６の出し入れ操作を行うとき、炉の内壁が
多少変形していてもそれにＬ字形の掛具１０が追従でき
るようになっている。したがって、治具処理６がＬ字形
の掛具ｌＯからはずれることがない。
り字形の掛具ｌＯがその軸に対してあらゆる角度に曲げ
ることのできるユニバーサルジヨイント構造を有してお
り、処理治具６の出し入れ操作を行うとき、炉の内壁が
多少変形していてもそれにＬ字形の掛具１０が追従でき
るようになっている。したがって、治具処理６がＬ字形
の掛具ｌＯからはずれることがない。
実施例 ■
第３図及び第４図は本発明のさらに他の実施例に従った
治具操作部を示し、炉の一端開口部を閉塞する蓋部と治
具操作部となる治具操作棒とが一体になったものを示す
ものである。
治具操作部を示し、炉の一端開口部を閉塞する蓋部と治
具操作部となる治具操作棒とが一体になったものを示す
ものである。
治具操作棒５は炉の一端開口部を閉塞する蓋部２に取付
けられ、治具操作棒５と蓋部２とが一体になっている。
けられ、治具操作棒５と蓋部２とが一体になっている。
蓋部２と一体罠なっている治具操作棒５は蓋部近傍にお
いてユニバーサルジヨイント構造を有しその先端にＦ字
鍵形の掛具１ｏが取付けられ、この治具操作棒５は案内
支持部１５に支持されその先端２字鍵形の掛具１０が大
きくこま運動できるようになっている。
いてユニバーサルジヨイント構造を有しその先端にＦ字
鍵形の掛具１ｏが取付けられ、この治具操作棒５は案内
支持部１５に支持されその先端２字鍵形の掛具１０が大
きくこま運動できるようになっている。
この場合、炉内壁下面が凹凸していても、治具操作棒５
の先端が大きくこま運動をするから、処理治具６がＦ字
鍵形の掛具１０からはずれることはなく、また、治具操
作棒５と蓋部２とが一体になっていることから、処理治
具６の出し入れ操作と炉の開閉操作を同時に行うことが
でき、処理治具６の出し入れ操作が極めて簡単になる。
の先端が大きくこま運動をするから、処理治具６がＦ字
鍵形の掛具１０からはずれることはなく、また、治具操
作棒５と蓋部２とが一体になっていることから、処理治
具６の出し入れ操作と炉の開閉操作を同時に行うことが
でき、処理治具６の出し入れ操作が極めて簡単になる。
なお、第３図はユニバーサルジヨイント構造の治具操作
棒５の下側にこれを補助的に支持する足部９が設けられ
るものを示し、第Ｆｍは治具操作棒５が蓋部２に直接ユ
ニバーサルジヨイント構造で取付けられているものを示
している。
棒５の下側にこれを補助的に支持する足部９が設けられ
るものを示し、第Ｆｍは治具操作棒５が蓋部２に直接ユ
ニバーサルジヨイント構造で取付けられているものを示
している。
本発明は上記実施例に限定されるものでなく、その構造
は必要に応じて変えられるものであり、拡散炉に限らず
、気相化学成長炉、熱酸化炉、その他の熱処理炉等広範
囲に利用できるものである。
は必要に応じて変えられるものであり、拡散炉に限らず
、気相化学成長炉、熱酸化炉、その他の熱処理炉等広範
囲に利用できるものである。
以上実施例で説明したような本発明によれば、蓋部と治
具操作棒と熱電対、蓋部と熱電対、蓋部と治具操作棒の
ように蓋部と他の操作具とが一体となっていることから
、処理治具の出し入れ及び処理温度測定が蓋部取付操作
と同時に行うことができ、処理治具の出し入れ操作及び
処理温度測定などの炉内操作を極めて簡単にすることが
できるものである。実施例Ｉ、 ＩＩ、 Ｈの場合、通
常熱電対は炉内に備えておくことから、処理温度を随時
測定することができ、適切な条件のもとで熱処理が行え
るものである。
具操作棒と熱電対、蓋部と熱電対、蓋部と治具操作棒の
ように蓋部と他の操作具とが一体となっていることから
、処理治具の出し入れ及び処理温度測定が蓋部取付操作
と同時に行うことができ、処理治具の出し入れ操作及び
処理温度測定などの炉内操作を極めて簡単にすることが
できるものである。実施例Ｉ、 ＩＩ、 Ｈの場合、通
常熱電対は炉内に備えておくことから、処理温度を随時
測定することができ、適切な条件のもとで熱処理が行え
るものである。
本発明によれば、中空管体蓋部内部には石英ウール、ア
ルミナウール等の断熱材が充填されていることから、炉
外部へ熱が伝達されず蓋部開閉の危険は極めて少なく、
また断熱材による開封を遮断することから、炉の熱損失
も極めて少ない。
ルミナウール等の断熱材が充填されていることから、炉
外部へ熱が伝達されず蓋部開閉の危険は極めて少なく、
また断熱材による開封を遮断することから、炉の熱損失
も極めて少ない。
さらに本発明によれば、炉内部操作を炉開閉と同時に行
うことによる蓋開閉回数が減少し、これによる熱損失も
少なくなるなどの種々の顕著な効果を奏するものである
。
うことによる蓋開閉回数が減少し、これによる熱損失も
少なくなるなどの種々の顕著な効果を奏するものである
。
第１図は本発明の一実施例に従った治具操作部を用いた
熱処理炉の断面図、第２図乃至第４図は本発明の他の実
施例に従った治具裸部を示す断面図である。 １・・・炉本体、２・・・蓋部、３・・・中空管体、４
・・・断熱材、５・・・治具操作棒、６・・・処理治具
、７・・・熱電対、８・・・主軸、９・・・足部、１０
・・・掛具、１１・・・導線、１２・・・把手、１３・
・・圧力ぬき管、１４・・・半導体ウェハ、１５・・・
案内支持部。
熱処理炉の断面図、第２図乃至第４図は本発明の他の実
施例に従った治具裸部を示す断面図である。 １・・・炉本体、２・・・蓋部、３・・・中空管体、４
・・・断熱材、５・・・治具操作棒、６・・・処理治具
、７・・・熱電対、８・・・主軸、９・・・足部、１０
・・・掛具、１１・・・導線、１２・・・把手、１３・
・・圧力ぬき管、１４・・・半導体ウェハ、１５・・・
案内支持部。
Claims (1)
- １、熱処理炉内に挿入する処理治具を傑作する操作部で
あって、上記熱処理炉の一端開口部を閉塞する蓋部な有
することを特徴とする熱処理炉用操作部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22615482A JPS58130520A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 熱処理炉用操作部 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22615482A JPS58130520A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 熱処理炉用操作部 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP155476A Division JPS597913B2 (ja) | 1976-01-09 | 1976-01-09 | 熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58130520A true JPS58130520A (ja) | 1983-08-04 |
| JPS6313334B2 JPS6313334B2 (ja) | 1988-03-25 |
Family
ID=16840702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22615482A Granted JPS58130520A (ja) | 1982-12-24 | 1982-12-24 | 熱処理炉用操作部 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58130520A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03222412A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-10-01 | Fujitsu Ltd | 熱処理炉 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5024074A (ja) * | 1973-06-29 | 1975-03-14 |
-
1982
- 1982-12-24 JP JP22615482A patent/JPS58130520A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5024074A (ja) * | 1973-06-29 | 1975-03-14 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03222412A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-10-01 | Fujitsu Ltd | 熱処理炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6313334B2 (ja) | 1988-03-25 |
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