JPS58128021A - 磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ■発明の属する技術分野 本発明は、磁気記録媒体からの信号磁界を高周波を印加
した同調−路Ｏ共振点Ｏ変化および先鋭度（Ｑ）の変化
として捉え再生する磁気再生装置１ｌｌＫ用いられる磁
性体とコイルよｐ、成る磁気ヘッドに関する。

ｃ発＠Ｏ技術的背景 チープレ；−ダおよびビデオテープレコーダ等に用いら
れる磁気テープ、番るいは磁気デスクなどの磁気記＃に
媒体の再生には、通常空隙を有するリング状の磁性体コ
アにコイルを巻部して、磁気記録媒体からの磁束の時間
便化を出力電圧として得る。いわゆ為リングヘッドが使
用されてきた。

これに対して、磁性体をコイル中に含むインダクタンス
素子を磁気ヘッドとし、これと容量とで構成され九同調
回路に高周波を印加し、磁気紀鎌媒体からＯ１ｌ界によ
ｐ磁性体Ｏ透磁率μ変化、および高周波損失変化で同調
回路の共振点と先鋭−が変わることを有用して、同調ａ
ｍからの高周波の出力電圧変化として信号を取）だす磁
気再生装置が注１されている。

第１■唸この磁気記録再生装置の基本的構成を示すｔの
である０図に５Ｐｖｈて、板状の磁性体（３１）はコイ
ル（、セ）が巻回されて磁気ヘッドを構成している。コ
イルＣｊＣ２）には容量０３）が並列に接続され同調回
路を構成し、その一端は接地されている。

又、他の一端は容量（３４）を介して嶌周波発＊ａ（５
）Ｋ接地されている。容量（３４）は高周波発振器ｃ３
５）を等制約ＫＩＫ１５１源とみなし得るようにする丸
め、及び直流をカットする丸めのもので、前記同調回路
に影響を与えないような小さな容量値に設定されている
。−１方又、前記容量Ｃ３３）の輸の一端はさらに直流
カット用客、１（３６）を介してピーク検波回路（４７
）　Ｋ接続されている。このピーク検波回路（３７）は
ダイオードＣ３１４）と、このダイオード（弼）のカン
ードと接地間に接続された抵抗＠）及びこの抵抗（ｊ９
）に並列に接続された容量（２））とから構成されてい
る。又、ダイオード（２））のアノードと接地間にはチ
盲−クインダクタンス（４１）が接続されている。この
ような構成において、信号が紀鎌された磁気記録媒体（
４りＫ、前記磁性体（３１）にコイル（、（２）を巻回
して成る磁気ヘゲドを対接させると、磁気記録媒体（４
２）の紀鍮に応じて変化する磁界が磁気ヘッドに加わり
、これＫよυ磁性体（３１）の透磁率＾が、第２図に示
す如く変化する。ここで磁性体（３１）としてμの変化
が大きい材料、例えば薄膜化パーマロイ、センダスト・
Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト（単結晶ある一部ホットプレス
）などを選択すると、この岸の変化によりコイル（３２
）のインダクタンスが大きく変化し、これＫよってコイ
ル（（転）と容量（（３）とで構成される同調回路の同
調周波数が変化する。従って、例えば、この同調回路の
初期の同調周波数を、９３図（履）実線の特性曲線で示
す如（ｆｒｏと設定しておくと、コイル（、電）のイン
ダクタンスが変化することによりその同調周波数が第３
図（→の破線の特性曲線で示す如（ｆ（ｏ’に変化する
。従って、高周波発振器（３５）からとの゛同ｌ１１回
路に供給される高周波信号の周波数をｔｇ３図（荀のｆ
ｒｏ’Ｑ如く設定すると、同調回路の両端に発生する電
圧はＶｌからＶｆｉの如く変化する。従って高周波発振
器（３６）の出力は５１３図（ｂ）のように磁気記録媒
体Ｃ４２）の紀鎌信号によシ振幅変調をうけたものとな
る。この変調をうけ丸高周波信号はピーク検波回路０７
）Ｋ供給されてそのピーク値が検波される。その結果第
３図（Ｃ）に示すような検波出力、他ち信号再生出力が
得られる。

このように上記の磁気再生装置は、従来のリングヘッド
のように磁束の時間変化（ｄシ積）ではなく、磁気その
ものを検出する丸め１周波数４１１性が良好でしかも高
周波と印加し、その変化分として再生電圧を取り出す方
式の丸め、高感度でしかも大きい再生電圧が得られる特
徴がある。

さて、この磁気再生装置に用いられる磁性体０１）とコ
イル（３２）とからなる磁気ヘッドは、＠４図に示す形
状が一般的である◇第４図（→紘従来の磁気ヘッドの斜
視図を示し、第４図（呻は（荀のムー人線に宿った断面
図を示す。

非磁性、非導電体性の基板αυの上には、コイルｕＱの
一部を構成する下部コイルｔｌりが形成されている。下
部コイル（Ｌ湯は、Ｃｕ、Ａｕ、ＡＪ等の金属を蒸着等
により形成するものである。この下部コイル１１上の一
部には絶縁層（２））を介して、下部コイルυ上に磁性
体層ａ尋が所定の再生トラック幅Ｔ、ならびに′ラドの
空隙長とほぼ等しい厚さに選ばれる。また磁性体層ａ４
は、パーマロイ、センダネト等を蒸着等によ〉被着させ
て得られる０この磁性体層ａ◆の表ｗｉには絶縁層（１
３））が再び形成され、さらに上部コイル（２）を一部
下部コイルａｌＫ導通するように設けることで、磁性体
層α尋を囲む、ｌターンのコイルａｅが形成される０こ
うして、ｌターンのコイル舖中に磁性体層α４を有して
なる従来の磁気ヘッド［株］が得られる。

■背景技術の問題点 さて、磁気ヘッド■の感度は、第４図（ｂ）に示される
コイルａ・のコイル深さＤｃに大きく依存し、ｌ）ｃの
減少くともなって高感度になる。また、コイル輪の先鋭
度Ｑ唸Ｑ　＝　＃Ｌ／Ｂ　（・二角周波数、Ｌ：インダ
クタンス、Ｒ＝直流抵抗）で示され、コイルばＬが増す
ことにより、中ｔｌＱを大きくすることができる。

以上、磁気ヘッド■の特性を高めるための要求をまとめ
ると、 ｔｌｌ　　コイル深さＤＣは小さい方が良く、シかもコ
イルａｅの直流抵抗を減少させるため、厚く形成さとな
る゛。

しかしながら、まず磁性体層収◆の深さは、その構成上
、磁性体層ａ４が下部コイル下部働上く形成されている
ため、下部コイル働の深さＤｃよシ大きでコイル深さＤ
ｃと一致しなければならない。さら上記の要求ｔ１）中
の「ＤＣを小さくする」という要求は果せなくなる。し
たがって、できる＠り磁気ヘッド轡の特性を高める丸め
には、下部、上部コイルα々、（ハ）の厚さを厚くする
ととＫｌｌる以外ない。

しかし、例えば下部、上部コイル（２）、−を数１０μ
ＩＩｎ楊度に形成すると、第４図（ｂ）に示すように、
コイル（２）の終端上湯部分で下部コイル（ｌり、磁性
体層α尋、上部コイル（ハ）が、短絡してしまうＯこれ
は、現在の蒸着、スパッタリング等Ｏ膜形成技術では、
多層の厚い膜を正確に位置合せして形成することがｖＡ
Ｉｌｌなことによるｏｆえ、短絡が起きないとしてもコ
イル終端の不揃いは往々にして起き、いずれの場合にお
いても磁気ヘッドの機能が著しく損われることになる。

■発明の目的 本発明は上記の問題点く鑑み、先に示した磁気ヘッドの
特性を高める丸めに要求されるふたつの事項を満たす磁
気ヘッドを提供することを目的とする。

■発明の概要 本発明の磁気ヘッドは、基板に８ｉ等の半導体を用い、
下部コイルを半導体表面に拡散層として設さらに磁性体
層先端付近に上部コイルを下部コイルと同様に直流分抵
抗が少なくなるように厚く設けてなるものである。

■実施例 以下、図面を参照し１本発明の実施例を製造方法ととも
に詳細に説明する。

まず、第５図に示すようにＳ五等の半導体基板０１）上
に拡飲あるいはイオン注入等の手段で拡散層を設け、下
部コイル（２）を形成する。下部コイル（２）の形状は
一例として図示の如くＬ字形状とし、電流を通電させる
ための電極として折一部＠１）を利用する。下部コイル
＠の厚みは、直流分抵抗が低下するように十分な厚みを
もって形成さ九る。

次に、第６図の如く、絶縁層（２３ａ）で半導体基板（
２〃上を覆い、さらに磁性体層−を形成する。絶縁層■
ａ）は、加熱酸化あるいは酸化シリコンの蒸着、スパッ
タ等によシ設けられる。この際、後に形成される上部コ
イル（至）と下部コイル（２）の一部とが接触できるよ
うに、また折曲部ｍａ＞の一部が電極として利用できる
ように１半導体基４１［ｇｔＸ）上の一部であるコイル
接触部（６Ｇ１１）と電極部（６０ｂ）Ｋは絶縁コイル
（２）の深さＤｃと等しいか、それ以上に設ける。

さらに、ｌＥ’１図に示すように、磁性体層（至）の表
面上に第２の絶縁層（２３１））を形成した後に、上部
コイル（至）を磁性体層ｃ１４ｉ先端を覆うように形成
する。

第２の絶縁層（２３ｂ）は、酸化シリコン等を蒸着、ス
パッタ等の手段により設けられる０ｉ部コイル（至）の
一部は、下部コイル（２）の一部（ｅ）と導通して形成
され、下部；イ′ル（２）とともに磁性体層＠を包むよ
うＫして１ターンのコイル（６１）を形成する０なお、
このコイル（６１）に電流を流すには、上部コイｈＱ５
の一部を電極部（６ＧＣ）とし、電極部（６０ｂ）、（
６０ｃ）間で通電が行われる。

以上の如くして、本発明の磁気ヘッド（η）を得ること
ができる。実際にこの磁気ヘッド（妃）を紀鎌媒体に一
部させ、再生を行うには、磁気ヘッド（７０）　Ｋ１１
１面を形成し、かつ磁気ヘッド（親）自体を保−する目
的で、露出している上部コイル＠部分を覆う保一部材を
さらに付加することが行われるが、図示を省く。

■発明の効果 第８図は、第７図中０Ｂ−Ｂ線に沿って切断したときの
、磁気ヘッド（７９）のｗＲｒＩｆＪ図である。本発明
の磁気ヘッド（７０）は、コイル（６１）の一部である
り深く形成することができ、かつ下部、上部コイル（２
）、（ハ）ともに磁性体層（至）の先端付近く厚く形成
することを可能とする。まえ、磁性体層＠と下部上部コ
イル＠、四間の絶縁も確実に行うことができ、短絡とい
った不実の発生が皆無である。

以上の如く、本発明の磁気ヘッド虫）は前述した磁気ヘ
ッドの特性を高めるために要求される事項を余すことな
く満たしておシ、優れ九磁気ヘッドだといえる。

【図面の簡単な説明】

５４１図は、本発明の磁気ヘッドが使用される磁気再生
装置の基本構成図、ｇ′２図は、磁界の変化に対する磁
性体の透磁率声の変化を示す図、第３図は同調回路の同
調周波数の変化により同調回路の両端の電圧が変化する
様子を示す図、第４図−）は従来の磁気ヘッドの斜視図
、第４図（ｂ）は同断面図、第５図乃至［Ｉ７図は本発
明の磁気ヘッドが形成される１椙を示す図、第８図は本
発明の磁気ヘッドのＷＲ面図である。 （２１）・・・半導体基板、　　（２２）・・・下部コ
イル、Ｃ２４）・・・磁性体層、　　　（６１）・・・
コイル（ほか１名ン 第１図 第２図 第４図 ２ρ 第８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 コイルがＩｌｂ装されえ磁性体よシなる磁界検出用のイ
   ンダクタンス素子を磁気゛ヘッドとし、この磁気ヘッド
   と容量とで構成される同調回路に高周波を印加し、磁気
   記録媒体からの磁界により変化する前記磁気ヘッドの―
   性体の透磁率声および為周波損失に応じて変化する曽記
   同ｍＷＮａＫ印加される高周波の共振点および先鋭度ｑ
   の変化を検出し。 前記磁気紀鎌６媒体に紀鍮され良信号を再生する磁気再
   生装置において用いられる前記磁気ヘッドは、半導体基
   板の表面中に設けられ良導体層を下部；イルとし、この
   下１ｉａｒイルＯコイル深さ以上に堆積形成された磁性
   体層を有す為ことを特徴とする磁気ヘッド。