JPS58127342A - 物品収納治具 - Google Patents
物品収納治具Info
- Publication number
- JPS58127342A JPS58127342A JP890882A JP890882A JPS58127342A JP S58127342 A JPS58127342 A JP S58127342A JP 890882 A JP890882 A JP 890882A JP 890882 A JP890882 A JP 890882A JP S58127342 A JPS58127342 A JP S58127342A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellets
- jig
- different sizes
- recess
- pellet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67333—Trays for chips
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68313—Auxiliary support including a cavity for storing a finished device, e.g. IC package, or a partly finished device, e.g. die, during manufacturing or mounting
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体ペレット等を収納するための物品収納治
具に関する。
具に関する。
従来、たとえば半導体装置の製造過ＩＩにおいては、半
導体ペレットの外観検査やペレット付けを行うためにペ
レットを収納治具の凹みの中Ｋ１１Ｌ納して作業を行っ
ている。
導体ペレットの外観検査やペレット付けを行うためにペ
レットを収納治具の凹みの中Ｋ１１Ｌ納して作業を行っ
ている。
ところが、従来の収納治具は、第１１１１に示すように
、ベレット収納治具１の−１１にのみ一定寸法の大きさ
の凹み２を設けただけのものであった。
、ベレット収納治具１の−１１にのみ一定寸法の大きさ
の凹み２を設けただけのものであった。
そのため、凹み２０大きさよりも大きいペレットは収納
できず、逆にペレットが凹み２よりもあまり小さすぎる
と、折角ペレットの方向を整えて収納してもペレットが
凹み２内で動いて方向が不揃いになってしまうとい５問
題がある。
できず、逆にペレットが凹み２よりもあまり小さすぎる
と、折角ペレットの方向を整えて収納してもペレットが
凹み２内で動いて方向が不揃いになってしまうとい５問
題がある。
その結果、大きさの具なるペレットを量産工程で多種類
製造するような場合には、ある程度の種類のペレット収
納治具が必畳であり、保管スペースが大きくなり、管ｌ
ｌｍ１からもわずられしいのみならず、コスト的にも高
くなるという問題点があった。
製造するような場合には、ある程度の種類のペレット収
納治具が必畳であり、保管スペースが大きくなり、管ｌ
ｌｍ１からもわずられしいのみならず、コスト的にも高
くなるという問題点があった。
本発明の８的は、前記従来技術の問題点を解決し、１秋
の治具で被数−の興なる大きさの物品を収納できる汎用
性の物品収納治具ｖＩＩ供することにある。
の治具で被数−の興なる大きさの物品を収納できる汎用
性の物品収納治具ｖＩＩ供することにある。
この目的を達成するため、本発＠による物品収納治具は
、物品収納用の凹みを複数段に形成し、寸法の異なる物
品を豪数種収納できるよ５Ｋしたものである。
、物品収納用の凹みを複数段に形成し、寸法の異なる物
品を豪数種収納できるよ５Ｋしたものである。
以下、本発明を図面に示す一笑施例にしたがって詳細に
説明する。
説明する。
ｊＩ２図は本発−を半導体ベレットの収納治具に適用し
た一実施例を示すものであり、岡Ｅ（Ａ）はその！Ｉｌ
！面側、同図ＣＢ）は裏面側の斜ｌ１ｌＷＩＡ、同図（
Ｃ）は同図（Ａ）のＡ−Ａｌ１ｒｌｉｌｌである・本実
施例においては、ベレット収納治具の表裏両面に形成さ
れたベレット収納用の凹みが＊１１１Ｒに形成されてい
る。
た一実施例を示すものであり、岡Ｅ（Ａ）はその！Ｉｌ
！面側、同図ＣＢ）は裏面側の斜ｌ１ｌＷＩＡ、同図（
Ｃ）は同図（Ａ）のＡ−Ａｌ１ｒｌｉｌｌである・本実
施例においては、ベレット収納治具の表裏両面に形成さ
れたベレット収納用の凹みが＊１１１Ｒに形成されてい
る。
すなわち、本実施例のベレット収納治具１０の表裏両面
にはそれぞれ多数のベレット収納用の凹み１１．１２が
整列して形成されており、凹み１１の寸法ノ、ｌは凹み
１２の寸Ｗ＆ Ｊ ｔ ２より４大きくなっている。
にはそれぞれ多数のベレット収納用の凹み１１．１２が
整列して形成されており、凹み１１の寸法ノ、ｌは凹み
１２の寸Ｗ＆ Ｊ ｔ ２より４大きくなっている。
また、凹み１１，１２の内部は、比較的大きい寸法のベ
レットを収納する大寸法の第１段１ｘＡｙ１２人、比較
的小さい寸法のベレットを収納する小寸法の８２段１１
Ｂ、１２Ｂとの２段構造となっている。
レットを収納する大寸法の第１段１ｘＡｙ１２人、比較
的小さい寸法のベレットを収納する小寸法の８２段１１
Ｂ、１２Ｂとの２段構造となっている。
したがって、本実施例においては、表面側の凹み１１の
寸法４□が裏面側の凹みｌｚの寸法ノ１．よりも大きく
、しかも各凹み１１．１２の内部がそれよび第２段１１
Ｂ、１２Ｂよりなる（１１Ａ＞１２Ａ＞１１Ｂ＞１２Ｂ
の大きさ順→ので、複数種の異なる大きさのベレットを
量産するような場合でも、１枚のベレット収納治具１０
に少くとも４種類の異なる大きさのベレットを収納でき
、これをベレットの割れや欠は勢の外観検査、あるいは
ペレット付は等に利用すれば、非常に便利である。
寸法４□が裏面側の凹みｌｚの寸法ノ１．よりも大きく
、しかも各凹み１１．１２の内部がそれよび第２段１１
Ｂ、１２Ｂよりなる（１１Ａ＞１２Ａ＞１１Ｂ＞１２Ｂ
の大きさ順→ので、複数種の異なる大きさのベレットを
量産するような場合でも、１枚のベレット収納治具１０
に少くとも４種類の異なる大きさのベレットを収納でき
、これをベレットの割れや欠は勢の外観検査、あるいは
ペレット付は等に利用すれば、非常に便利である。
たとえば、凹み１１の纂１段１１Ａに収納するには小さ
すぎて腋凹み内で動いて方向が不揃いになるようなベレ
ットでも、凹み１２の１１１Ｉ１段１２Ａ。
すぎて腋凹み内で動いて方向が不揃いになるようなベレ
ットでも、凹み１２の１１１Ｉ１段１２Ａ。
凹み１１の第２段１１Ｂ、あるいは凹みｌｓの第２段１
２Ｂのいずれかであればぴったり適合でき、良好に収納
できる。その逆に、凹み１２の第２段１２Ｂのためには
大きすぎて収納できない寸法のベレットでも、凹みＩＩ
Ｆ）第２段１１Ｂ、ｒ！！Ｊミ１２１Ｆ）第１段１２Ａ
、あるいは凹み１１＃）落１ＪＲ１１Ａのいずれかには
びった９適含して良好に収納できる。
２Ｂのいずれかであればぴったり適合でき、良好に収納
できる。その逆に、凹み１２の第２段１２Ｂのためには
大きすぎて収納できない寸法のベレットでも、凹みＩＩ
Ｆ）第２段１１Ｂ、ｒ！！Ｊミ１２１Ｆ）第１段１２Ａ
、あるいは凹み１１＃）落１ＪＲ１１Ａのいずれかには
びった９適含して良好に収納できる。
したがって、本ｌＩＩ施例は異なる大きさのベレットの
収納をそれぞれの寸法に合せて最適に行うことができる
上に、治具のＳ＊が減少するので、治具製作コスト、管
層の手間、保管スペース等ｖ＊約できる。
収納をそれぞれの寸法に合せて最適に行うことができる
上に、治具のＳ＊が減少するので、治具製作コスト、管
層の手間、保管スペース等ｖ＊約できる。
なお、治具の表面および／または裏面の各々についても
互いに異なる大きさの複数種の凹みを形成してもよく、
あるいは−ＴＩｉＫのみ複数段の凹みを形成してもよい
。
互いに異なる大きさの複数種の凹みを形成してもよく、
あるいは−ＴＩｉＫのみ複数段の凹みを形成してもよい
。
また、本発明は半導体ベレット以外の物品の収納にも適
用できる。
用できる。
以上ｌ！明したように、本発明によれば、治具の汎用性
が向上し、少数の治具で多種類の異なる大きさの物品を
収納でき、使用に便利であるのみならず、治具の製作や
管層のコストを低減でき、また治具の保管スペースを節
減できる等の優れた効果が得られる。
が向上し、少数の治具で多種類の異なる大きさの物品を
収納でき、使用に便利であるのみならず、治具の製作や
管層のコストを低減でき、また治具の保管スペースを節
減できる等の優れた効果が得られる。
図面の簡単なａＷ１４
第１図は従来のベレット収納治具の斜視図、第２図（Ａ
）は本発明をペレット収納治具に適用した場合の表面側
の斜視図、岡Ｉｔ （Ｂ）は裏ｉｉｎの斜視図、同図（
Ｃ）は同図（Ａ）のＡ−Ａｌｌ断曹閣である。
）は本発明をペレット収納治具に適用した場合の表面側
の斜視図、岡Ｉｔ （Ｂ）は裏ｉｉｎの斜視図、同図（
Ｃ）は同図（Ａ）のＡ−Ａｌｌ断曹閣である。
ｌＯ・・・ペレット収納治具、１１・・・大きい方の凹
み、ＩＩＡ・・・第１段、ＩＩＢ・・・＠２＠、１２・
・・小さい方の凹み、１２人・・・５１１１段、１２Ｂ
・・・第２段。
み、ＩＩＡ・・・第１段、ＩＩＢ・・・＠２＠、１２・
・・小さい方の凹み、１２人・・・５１１１段、１２Ｂ
・・・第２段。
第 １ 図
（Ａ） ”ン（Ｃン
タ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、物品を収納する凹みを有し、該凹みの内部が寸法の
異なる物品を収納する複数段に形成したことを特徴とす
る物品収納治具。 ２、凹みが治具の表裏両１ｉＫ形成されていることをｑ
ｆｌ像とする特許請求の範囲第１項記載の物品収納治具
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP890882A JPS58127342A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 物品収納治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP890882A JPS58127342A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 物品収納治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58127342A true JPS58127342A (ja) | 1983-07-29 |
Family
ID=11705766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP890882A Pending JPS58127342A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 物品収納治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58127342A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63151038A (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-23 | Tokyo Electron Ltd | Ｉｃ製品搬送用具及びｉｃ製品検査方法 |
| US5565008A (en) * | 1990-07-17 | 1996-10-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Process of raising a semiconductor device out of a pallet using a positioning rod |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP890882A patent/JPS58127342A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63151038A (ja) * | 1986-12-16 | 1988-06-23 | Tokyo Electron Ltd | Ｉｃ製品搬送用具及びｉｃ製品検査方法 |
| US5565008A (en) * | 1990-07-17 | 1996-10-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Process of raising a semiconductor device out of a pallet using a positioning rod |
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