JPS58126055A - 斜め溝加工方法 - Google Patents
斜め溝加工方法Info
- Publication number
- JPS58126055A JPS58126055A JP888282A JP888282A JPS58126055A JP S58126055 A JPS58126055 A JP S58126055A JP 888282 A JP888282 A JP 888282A JP 888282 A JP888282 A JP 888282A JP S58126055 A JPS58126055 A JP S58126055A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grindstone
- grinding wheel
- axis
- rotation
- work
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
- B24B19/02—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group for grinding grooves, e.g. on shafts, in casings, in tubes, homokinetic joint elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、複数の牛導体層が接合されてなる整流素子
にポジティブベベル形成用の斜め縛を加工する場合に好
適する斜め溝加工ｔｔｌｔＫ関する。
にポジティブベベル形成用の斜め縛を加工する場合に好
適する斜め溝加工ｔｔｌｔＫ関する。
［発明の技術的背景］
一般に１ｍ力用の半導体整流卓子には、耐電圧特性の向
上を目的として、円錐台状に形成された整流素子の一方
の端面上に外周縁に潟って円環状の斜め溝を加工し、ポ
ジティブベベルを形成している。上記斜め濤が設けられ
たＩｌＩ流素子の耐鑞圧特性畝嬉１図に示すように、斜
め＋１１１１１３の開口における幅Ｗと、斜め＃ｌＩ
１１）の底部における曲率半・価Ｃにより決定される。
上を目的として、円錐台状に形成された整流素子の一方
の端面上に外周縁に潟って円環状の斜め溝を加工し、ポ
ジティブベベルを形成している。上記斜め濤が設けられ
たＩｌＩ流素子の耐鑞圧特性畝嬉１図に示すように、斜
め＋１１１１１３の開口における幅Ｗと、斜め＃ｌＩ
１１）の底部における曲率半・価Ｃにより決定される。
したがって、最適の幅Ｗ及び曲率半径Ｃを得るための研
削工具としては、通常の平形砥石は不適であり、４２図
に示すような特殊な複合研削砥石（２）が好適である。
削工具としては、通常の平形砥石は不適であり、４２図
に示すような特殊な複合研削砥石（２）が好適である。
すなわち。
この研削砥石（２）は、−万の一面が先端部で１５〜４
５度の角度で傾斜した円錐台状の片角度砥石（３）と、
この片角度砥石（３）の大径側端面にこの片角度Ｉ砥石
（３）と同軸に連接され厚さが１０−１００μｍで外径
がＥ起片角度砥石（３）の大径よりも団〜５００μｍ大
きく形成された平板状の平形砥石（４）との組合せから
なっている。上記破適の幅Ｗ及び曲率半径Ｃは、片角に
砥石（３）の傾斜角度及び平形砥石（４）の厚さを適当
に設足することにより確実に得ることができる。
５度の角度で傾斜した円錐台状の片角度砥石（３）と、
この片角度砥石（３）の大径側端面にこの片角度Ｉ砥石
（３）と同軸に連接され厚さが１０−１００μｍで外径
がＥ起片角度砥石（３）の大径よりも団〜５００μｍ大
きく形成された平板状の平形砥石（４）との組合せから
なっている。上記破適の幅Ｗ及び曲率半径Ｃは、片角に
砥石（３）の傾斜角度及び平形砥石（４）の厚さを適当
に設足することにより確実に得ることができる。
［背喰技術の問題点］
実際の斜め４加工においては、嬉３図に示すように、整
流素子（５）を矢印（６）方向に回転するとともに、回
転軸心（力の１ｇ１りに矢印（８）方向に回転する研削
砥石Ｌ２１をｌ［索子（５）に対して切込ませ°ること
により斜め１ＪＩｌ１１）を形成している。この場合、
ｌｌ流素子（５）の−転帽心と研削砥石（２）の回転軸
心（７）とは同一平面上にあり、研削砥石（２）が整流
素子＋５）に食−込む圓（４３図の部分Ｘ９））におい
ては、Ｉｌ流素子＋６）が矢印（６）方向に回転してい
るので、Ｊ１４図に示すように５分力Ｆが平形砥石（４
）の一端面において研削砥石（２）の回転軸方向（矢印
Ｕ・方向）に作用する。しかし、平形砥石（４）は片角
度砥石（３）により強固に支持されているので剛性は大
であり、平形砥石（４）は破損することはない。ところ
が、研削砥石（齢が！１ｔＩＬ素子（５）から抜は出す
側すなわち切屑排出側においては、第５図に示すように
１分力ｒが平形砥石（４）の一端面において研削砥石（
２）の回転軸と反対方向（矢印ａ田方向）に作用するが
、この場合分力ｒの作用方向は、平形砥石（４）を片角
度砥石（３）から剥−するような方向であるので、上記
矢印Ｑ１方向に分力ｒが作用する場合に比べて材料力学
的に剛性が著しく低下して破損しゃすくな９．研削砥石
としての寿命が短くなる。のみならず、加工精度が低下
して、ポジティブベベルの形成が不完全となって所期の
耐電圧特性を有する１１ｉＲ素子を得ることができなく
なる結果、ｌｌ１１品歩留９が低下する。
流素子（５）を矢印（６）方向に回転するとともに、回
転軸心（力の１ｇ１りに矢印（８）方向に回転する研削
砥石Ｌ２１をｌ［索子（５）に対して切込ませ°ること
により斜め１ＪＩｌ１１）を形成している。この場合、
ｌｌ流素子（５）の−転帽心と研削砥石（２）の回転軸
心（７）とは同一平面上にあり、研削砥石（２）が整流
素子＋５）に食−込む圓（４３図の部分Ｘ９））におい
ては、Ｉｌ流素子＋６）が矢印（６）方向に回転してい
るので、Ｊ１４図に示すように５分力Ｆが平形砥石（４
）の一端面において研削砥石（２）の回転軸方向（矢印
Ｕ・方向）に作用する。しかし、平形砥石（４）は片角
度砥石（３）により強固に支持されているので剛性は大
であり、平形砥石（４）は破損することはない。ところ
が、研削砥石（齢が！１ｔＩＬ素子（５）から抜は出す
側すなわち切屑排出側においては、第５図に示すように
１分力ｒが平形砥石（４）の一端面において研削砥石（
２）の回転軸と反対方向（矢印ａ田方向）に作用するが
、この場合分力ｒの作用方向は、平形砥石（４）を片角
度砥石（３）から剥−するような方向であるので、上記
矢印Ｑ１方向に分力ｒが作用する場合に比べて材料力学
的に剛性が著しく低下して破損しゃすくな９．研削砥石
としての寿命が短くなる。のみならず、加工精度が低下
して、ポジティブベベルの形成が不完全となって所期の
耐電圧特性を有する１１ｉＲ素子を得ることができなく
なる結果、ｌｌ１１品歩留９が低下する。
「発明の目的」
本発明は、加工精度及び砥石寿命を同上させるとともに
、１１ｆｉ素子に完全なポジティブベベルが形成される
ような斜め溝加工装置を提供することにある。
、１１ｆｉ素子に完全なポジティブベベルが形成される
ような斜め溝加工装置を提供することにある。
［＠明の概４１１
被加工物である整流素子の回転軸心に対して。
この９１流素子の回転軸心と同一平面上にあるべき研削
砥石の回転軸の回転軸心を＊＊＊子と研削砥石との接触
部分における整流素子の回転方向と反対側にずらすこと
により研削砥石の一部をなす平形砥石にＥ記研削砥石の
回転軸方向とは反対方向の分力がかからないようにＶる
ｔのである０［発明の実！ＩＡ例］ 以Ｆ、本発明を図面を参照して実施列に基づいて鮮述す
る１５．ケお、以下の説明にお・いて、従来技術の説明
に用いた４１図ないし第５図中の各部分と同一箇所には
同一符号を付しである０４ｈ図は、本発明の１！廁例の
斜め溝加工装置を示している。この−め溝加工装置は、
整流素子（５）を保持回転する被加工物回転部αり及び
研削砥石（２）を保持する研削加工部ｕ１とからなって
いる０上記被児ニー回転部ａりは、軸受α◆、この軸受
α◆に軸支された回転軸ａ９．この回転軸１９の一端部
に同軸に設けられ整流素子（５）を同軸に真空吸着によ
り保持する保持体σ・、上記回転軸−の他端部に取付け
られたプーリαη、このプーリＩに近接して設けられた
電動機−１この電動機端の回転軸−に取付けられたプー
リ（至）及び上記プーリ（ｌηとプーリ―との間に巻き
掛けられ九ベルトシ珍とから構成されて−る◎一方、上
記研削加工部ｌは、保持体ｕ５１に近接して設けられハ
ンドル＠の回転により矢印（至）方向に進退自在、かつ
嬉６図紙ｒｉａ！ｌＩ直方向の高さを最適位−に−節す
ることができる横送りテーブル（至）、この横送りテー
ブル＠の上−に矢印（至）方向に対して所定の角度傾い
て設けられ１ｔ１ｗ１機（至）によシ矢印一方向（この
矢印（至）方向は矢印（至）に直角な方向から角度θだ
け傾斜している。）に進退自在な切込み送りテーブル（
ａ（そのｉａ来、研削砥石（２）は整流素子（５）の一
端面に対し、この端面に立てた法−に対して角度０だけ
傾斜する。）、この切込み送りテーブルＣｎＯ上［Ｋ固
定された電動機−１この鴫−磯（至）の回転軸に一端部
が連結され軸受＠により軸支された回転軸（Ａ）及びこ
の回転軸（至）の他端部に一対のフランジ０１）により
１ｇ１転軸（，１０）と同軸かつ平形砥石＋４１１Ｉが
整流素子（５）の回転軸心に対向するように挾持固定さ
れた研削砥石（４）から構成されている。
砥石の回転軸の回転軸心を＊＊＊子と研削砥石との接触
部分における整流素子の回転方向と反対側にずらすこと
により研削砥石の一部をなす平形砥石にＥ記研削砥石の
回転軸方向とは反対方向の分力がかからないようにＶる
ｔのである０［発明の実！ＩＡ例］ 以Ｆ、本発明を図面を参照して実施列に基づいて鮮述す
る１５．ケお、以下の説明にお・いて、従来技術の説明
に用いた４１図ないし第５図中の各部分と同一箇所には
同一符号を付しである０４ｈ図は、本発明の１！廁例の
斜め溝加工装置を示している。この−め溝加工装置は、
整流素子（５）を保持回転する被加工物回転部αり及び
研削砥石（２）を保持する研削加工部ｕ１とからなって
いる０上記被児ニー回転部ａりは、軸受α◆、この軸受
α◆に軸支された回転軸ａ９．この回転軸１９の一端部
に同軸に設けられ整流素子（５）を同軸に真空吸着によ
り保持する保持体σ・、上記回転軸−の他端部に取付け
られたプーリαη、このプーリＩに近接して設けられた
電動機−１この電動機端の回転軸−に取付けられたプー
リ（至）及び上記プーリ（ｌηとプーリ―との間に巻き
掛けられ九ベルトシ珍とから構成されて−る◎一方、上
記研削加工部ｌは、保持体ｕ５１に近接して設けられハ
ンドル＠の回転により矢印（至）方向に進退自在、かつ
嬉６図紙ｒｉａ！ｌＩ直方向の高さを最適位−に−節す
ることができる横送りテーブル（至）、この横送りテー
ブル＠の上−に矢印（至）方向に対して所定の角度傾い
て設けられ１ｔ１ｗ１機（至）によシ矢印一方向（この
矢印（至）方向は矢印（至）に直角な方向から角度θだ
け傾斜している。）に進退自在な切込み送りテーブル（
ａ（そのｉａ来、研削砥石（２）は整流素子（５）の一
端面に対し、この端面に立てた法−に対して角度０だけ
傾斜する。）、この切込み送りテーブルＣｎＯ上［Ｋ固
定された電動機−１この鴫−磯（至）の回転軸に一端部
が連結され軸受＠により軸支された回転軸（Ａ）及びこ
の回転軸（至）の他端部に一対のフランジ０１）により
１ｇ１転軸（，１０）と同軸かつ平形砥石＋４１１Ｉが
整流素子（５）の回転軸心に対向するように挾持固定さ
れた研削砥石（４）から構成されている。
ここで、嬉７図に示すように上記研削砥石（２）の回転
軸心（至）が切込み送りテーブル＠による切込み送りに
ともなって移−する平面と整流素子（５）の回転軸心（
至）は互に平行になるように設定され、かつ研削砥石（
２）の回転軸心−は、整流素子（５）の回転軸心（至）
に対して、整流素子（５）と研削砥石（２）との接触部
分におけるＩｆｉ＃子（５）の回転方向（第７図及び第
８図矢印（至）方向）とは反対側にずれるように設定さ
れている。
軸心（至）が切込み送りテーブル＠による切込み送りに
ともなって移−する平面と整流素子（５）の回転軸心（
至）は互に平行になるように設定され、かつ研削砥石（
２）の回転軸心−は、整流素子（５）の回転軸心（至）
に対して、整流素子（５）と研削砥石（２）との接触部
分におけるＩｆｉ＃子（５）の回転方向（第７図及び第
８図矢印（至）方向）とは反対側にずれるように設定さ
れている。
すなわち、従来においては、研削砥石（２）のＬｇ１転
軸心−と整流素子（５）の回転軸心（至）とは同一平面
上にあるように設定されているが、本ｖ４ＪＩＩｉ！例
にシいては４８図に示すように上記従来の回転軸心（至
）と回転軸心（至）とがのっている平面（至）（紙面喬
直方向）に対し、切込み送りによる回転軸心−の移動面
（至）数ｍｍ ）だけ整ｌｔ素子（５）と研削砥石（２
）との接触部分における整流素子（５）の回転方向（第
８図矢印（至）方向）に対して反対側方向に平行にずれ
るように。
軸心−と整流素子（５）の回転軸心（至）とは同一平面
上にあるように設定されているが、本ｖ４ＪＩＩｉ！例
にシいては４８図に示すように上記従来の回転軸心（至
）と回転軸心（至）とがのっている平面（至）（紙面喬
直方向）に対し、切込み送りによる回転軸心−の移動面
（至）数ｍｍ ）だけ整ｌｔ素子（５）と研削砥石（２
）との接触部分における整流素子（５）の回転方向（第
８図矢印（至）方向）に対して反対側方向に平行にずれ
るように。
回転軸（至））が軸受（至）により軸支されている。
つぎに、上記斜め溝加工装置の作動について説明する。
まず、被加工物回転部Ｉの保持体ｄ・にこの保持体σ・
の回転軸心と同軸に整流素子（５）を保持するとともに
、鴫勧磯Ｕ轡、（至）を起動し、保持体は・及び研削砥
石（２）をそれぞれ嬉７図矢ｔ４］ｌＡ及び矢印（至）
方向に回転駆動する。矢印（至）方向は、研削砥石（２
）が整流素子（５）に対して下向き研削になる方向であ
る（嬉９図参照）。しかして、ハンドル−を操作して、
横送りテーブル＠を整流素子（５）に進め、研削砥石（
２）の一部をなす平形砥石（４）の先端部を整流素子（
５）の斜めＩ１１＋１）を形成する位置に合わせたのち
（このと自研削砥石（２）の平形砥石（４）−がｉｆ！
ｌｅ軸心−に対向している。）、電動機（至）を作動さ
せて切込み送りテーブル（至）を整流素子（５）方向に
送る。
の回転軸心と同軸に整流素子（５）を保持するとともに
、鴫勧磯Ｕ轡、（至）を起動し、保持体は・及び研削砥
石（２）をそれぞれ嬉７図矢ｔ４］ｌＡ及び矢印（至）
方向に回転駆動する。矢印（至）方向は、研削砥石（２
）が整流素子（５）に対して下向き研削になる方向であ
る（嬉９図参照）。しかして、ハンドル−を操作して、
横送りテーブル＠を整流素子（５）に進め、研削砥石（
２）の一部をなす平形砥石（４）の先端部を整流素子（
５）の斜めＩ１１＋１）を形成する位置に合わせたのち
（このと自研削砥石（２）の平形砥石（４）−がｉｆ！
ｌｅ軸心−に対向している。）、電動機（至）を作動さ
せて切込み送りテーブル（至）を整流素子（５）方向に
送る。
すると、ｊｌＩ６図に示すように、研削砥石（２）が１
１魔素子（５）の一端面に対して角度θだけ傾いた状−
で切込むから、この整流素子（６）の外周縁部に１ｓ１
図に示すような断面を有する円環状の斜め錦（１）が形
（ヱ） 成される。このとき、帥述したように研１ＩＩｌ砥石４
が、１１流素子（５）と研削砥石（２）との接触点にお
ける１１１ｉ５１＊子（５）の回転方向に対して反対側
方向にずれでいるので、ｇ９図に示すように切屑排出側
（至）においては、研削砥石（２）は被加工物である１
１ｆＩＬ素子（５）に接触せず切込み側（至）において
のみ斜め＃ （１）加工が行われる。したがって、従来
の研削方法のように、切屑排出＠−において、平形砥石
（４）の破損を容易に惹起する研削砥石（２）の回転軸
−と反対方向（４５図矢印ａυ方同）の分力Ｆが作用す
ることがなく、切込み１１Ｉ（至）において平形砥石（
４）が破損しにくい研削砥石（２）の回転軸（２））方
向（第４図矢印（１（１方向）の分力？が作用するのみ
である。また、切屑排出−（至）に空間−が形成される
ので、切屑の排出が８Ｊ１１になり、研削抵抗及び研削
加工熱が減少する。したがって、上記研削砥石に対して
この研削砥石を支持する回転軸と反対方向の分力が作用
しないことと、切屑の排出が容易になることとが相俟っ
て、加工精度が向上し整流素子のポジティブベベルの形
成がより完全になるので、耐鑞圧特性が向上し、整流素
子としての製造歩留率が高くなるとと％に、研削砥石が
破損しにくくなり研削砥石の工具寿命を長くすることが
できる。また、して砥粒が圧縮方向に作用することによ
り、斜め溝内面の破砕層が小さくなることも、加工精度
の向上に寄与している。
１魔素子（５）の一端面に対して角度θだけ傾いた状−
で切込むから、この整流素子（６）の外周縁部に１ｓ１
図に示すような断面を有する円環状の斜め錦（１）が形
（ヱ） 成される。このとき、帥述したように研１ＩＩｌ砥石４
が、１１流素子（５）と研削砥石（２）との接触点にお
ける１１１ｉ５１＊子（５）の回転方向に対して反対側
方向にずれでいるので、ｇ９図に示すように切屑排出側
（至）においては、研削砥石（２）は被加工物である１
１ｆＩＬ素子（５）に接触せず切込み側（至）において
のみ斜め＃ （１）加工が行われる。したがって、従来
の研削方法のように、切屑排出＠−において、平形砥石
（４）の破損を容易に惹起する研削砥石（２）の回転軸
−と反対方向（４５図矢印ａυ方同）の分力Ｆが作用す
ることがなく、切込み１１Ｉ（至）において平形砥石（
４）が破損しにくい研削砥石（２）の回転軸（２））方
向（第４図矢印（１（１方向）の分力？が作用するのみ
である。また、切屑排出−（至）に空間−が形成される
ので、切屑の排出が８Ｊ１１になり、研削抵抗及び研削
加工熱が減少する。したがって、上記研削砥石に対して
この研削砥石を支持する回転軸と反対方向の分力が作用
しないことと、切屑の排出が容易になることとが相俟っ
て、加工精度が向上し整流素子のポジティブベベルの形
成がより完全になるので、耐鑞圧特性が向上し、整流素
子としての製造歩留率が高くなるとと％に、研削砥石が
破損しにくくなり研削砥石の工具寿命を長くすることが
できる。また、して砥粒が圧縮方向に作用することによ
り、斜め溝内面の破砕層が小さくなることも、加工精度
の向上に寄与している。
な°お、他の実施例として、研削砥石（２）を上向き研
削となる方向（嬉７図矢印−と反対方向）に回転させた
場合にも、上′述したと同様の効果を奏することができ
る。また、上記夷ｊｌｌｆ１においては。
削となる方向（嬉７図矢印−と反対方向）に回転させた
場合にも、上′述したと同様の効果を奏することができ
る。また、上記夷ｊｌｌｆ１においては。
研削砥石（２）の回転部１１１＃ｉとして電動機を用い
ているが、これに限らずエア・タービンを用いてもよφ
０ ［発明の効果］ 本発明の斜め溝加工装置は以下に記す顕著な効米を奏す
る。
ているが、これに限らずエア・タービンを用いてもよφ
０ ［発明の効果］ 本発明の斜め溝加工装置は以下に記す顕著な効米を奏す
る。
一部）研削砥石の一部をなす平形砥石に対してこの研削
砥石を支持する回転軸と反対方向すなわち平形砥石を片
角度砥石から剥離するような分力が作用しないので、研
削砥石が破損しに〈〈なり、研削砥石としての工具寿命
が著しく向丘する。
砥石を支持する回転軸と反対方向すなわち平形砥石を片
角度砥石から剥離するような分力が作用しないので、研
削砥石が破損しに〈〈なり、研削砥石としての工具寿命
が著しく向丘する。
（ロ）加工積度が向ヒし整流素子のポジティブベベルの
形成がより完全になるので、耐電圧特性が向ＬＬ、Ｉ流
素子色素子の製造歩留り率が高くなる。
形成がより完全になるので、耐電圧特性が向ＬＬ、Ｉ流
素子色素子の製造歩留り率が高くなる。
第１図は整流素子に形成された斜め溝を示す断面図、第
２図は本発明の斜め溝加工ｆ１１置で用いられる研削砥
石の構造を示す袋部Ｗｒ１１図、４３図は従来における
斜め婢加工を示す図、第４図及び第５図は第３図の切込
み側において平形砥石の一端面に自直な分力方向を示す
図、４６図は本発明の一実施例における貞めｒｌ＃加工
装置を示す平面図、４７図は４６Ｌ！４の畳部廚視図、
４８図及び４９図は本発明の一実施例における−め溝加
工を示す図である。 （Ｉ）：斜めｉｌｌ、 ＋２）：研削砥石、（３）二
片角度砥石、＋４）：平形砥石。 （５） ：１１流素子、 Ｗ、ｎ：回転軸心。 化４人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 箪 １図 第６図 ′＄７図
２図は本発明の斜め溝加工ｆ１１置で用いられる研削砥
石の構造を示す袋部Ｗｒ１１図、４３図は従来における
斜め婢加工を示す図、第４図及び第５図は第３図の切込
み側において平形砥石の一端面に自直な分力方向を示す
図、４６図は本発明の一実施例における貞めｒｌ＃加工
装置を示す平面図、４７図は４６Ｌ！４の畳部廚視図、
４８図及び４９図は本発明の一実施例における−め溝加
工を示す図である。 （Ｉ）：斜めｉｌｌ、 ＋２）：研削砥石、（３）二
片角度砥石、＋４）：平形砥石。 （５） ：１１流素子、 Ｗ、ｎ：回転軸心。 化４人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 箪 １図 第６図 ′＄７図
Claims (2)
- （１）復故の半導体の接合からなる円錐台状の整流素子
を回転軸心と同軸に保持して回転させる被加工物回転部
と１内鑵台状の片角度砥石及びこの片角度砥石の大径側
端面に上記片角度砥石と同軸に連接され外径が上記片角
度砥石の大径＋すを大なる薄板状の平形砥石からなる複
合研削砥石をこの原産研削砥石の平形砥石側を上記整流
素子の回転軸心に対向させるとともに上記整流素子の一
端面に対して傾斜させて保持しかつ上記研削砥石を回転
させて上記暢流素子の一端面に切込ませることにより１
記ａｍ素子の一端面に円環状の斜め溝を形成する研削加
工部とを具備し、上記ＩＥＩ！ＴＩ素子の回転軸心と上
記研削砥石の回転軸心が切込みにともなって移動する平
面と互に平行かつ上記研削砥石の回転軸心はｔ記整ｆｉ
素子の回転軸心に対して上記整ｔＩＬＩＡ子と上記研削
砥石との接触部分における上記１１流素子の回転方向と
は反対側にずれていることを特徴とする斜め溝加工装置
。 - （２）゛研削砥石の回転軸心の１１ｒＩｔ素子のｔｇｌ
＠−心に対するずれｔａ数μｍ〜数ｍｍであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の斜め＃Ｊ＃加工装
置０
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP888282A JPS58126055A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 斜め溝加工方法 |
| US06/377,008 US4517769A (en) | 1981-05-20 | 1982-05-11 | Method and apparatus for forming oblique groove in semiconductor device |
| GB8214280A GB2098893B (en) | 1981-05-20 | 1982-05-17 | Method and apparatus for forming oblique groove in semiconductor device |
| DE3218953A DE3218953C2 (de) | 1981-05-20 | 1982-05-19 | Verfahren und Vorrichtung zur Ausbildung einer Schrägrille in einer Halbleitervorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP888282A JPS58126055A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | 斜め溝加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58126055A true JPS58126055A (ja) | 1983-07-27 |
| JPS6335379B2 JPS6335379B2 (ja) | 1988-07-14 |
Family
ID=11705040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP888282A Granted JPS58126055A (ja) | 1981-05-20 | 1982-01-25 | 斜め溝加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58126055A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014003216A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの加工方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5656372A (en) * | 1979-08-02 | 1981-05-18 | Smp Soc Mec Perrache | Grinder for drill* etc* |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP888282A patent/JPS58126055A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5656372A (en) * | 1979-08-02 | 1981-05-18 | Smp Soc Mec Perrache | Grinder for drill* etc* |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014003216A (ja) * | 2012-06-20 | 2014-01-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6335379B2 (ja) | 1988-07-14 |
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