JPS58115715U - 空間周波数フイルタ - Google Patents

空間周波数フイルタ

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Publication number
JPS58115715U
JPS58115715U JP1344382U JP1344382U JPS58115715U JP S58115715 U JPS58115715 U JP S58115715U JP 1344382 U JP1344382 U JP 1344382U JP 1344382 U JP1344382 U JP 1344382U JP S58115715 U JPS58115715 U JP S58115715U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spatial frequency
frequency filter
fourier transform
angular range
light
Prior art date
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Application number
JP1344382U
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English (en)
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JPS6224257Y2 (ja
Inventor
武笠　俊介
杉崎　堅之助
Original Assignee
大日本印刷株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は空間フィルタリングの概要を示す概念図、第２
図は被検査物の円弧状規則性配列パターンを示す図、第
３図は第２図のＡ部、Ｂ部、０部に対応するフーリエ変
換パターンを示す図、第４図は本考案にかかる空間周波
数フィルタの構成を示すパターン図、第５−は被検査部
のパターンの詳細を表わす拡大図、笹９６図は本考案に
かかるフィルタを使用して連続的榛査を行う方法を表わ
斐−説明図である。 １・・・レーザ発振器、２・・・レーザビーム、３・・
・コリメータ、４・・・平行光、５・・・被検査物、６
・・・回折光、７−・・フーリエ変換レンズ、８・・・
空間周波数フィルタ、９・・・透過ＬＩＯ・・・逆フー
リエ変換レンズ、１１・・・スクリーン、１２・・・光
軸、１３・・・単位開口、１４・・・フーリエ変換スペ
クトル、１５・・：基準線、１６・・・遮光部、１７・
・・透光部、１８・・・開口部、’　１９・・・レーザ
光照射スポット、２０・・・レーザ光スポット移動方向
、Ｐ・・・単位量ロバターン配列　゛ピッチ：入・・・
レーザ光波長、ｆ・・・フーリエ変換レンズ焦点距離、
Ｗ・・・単位開口幅、Ｌ工・・・単位開口長さ、Ｌ２・
・・単位開口長手方向ピッチ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　規則的パターンの光学的フーリエ変換スペクトルに
    対応した遮光部を持つ空間周波数フィルタにおし）で、
    単位開口が円弧状に規則性配列されてなるパターンの各
    単位開口の傾き角度毎に現われるフーリエ変換スペクト
    ルをつなぎ合わせて同心円状に配した遮光部を有するこ
    とを特徴とする規則性パターンの欠陥認識のための空間
    周波数フィルタ。 ２　同心円状遮光部の角度範囲を単位開口−列の有して
    いる配列角度範囲又は検査を必要とする角度範囲にした
    実用新案登録請求の範囲第１項記載の空間周波数フィル
    タ。　　　゛
JP1344382U 1982-02-02 1982-02-02 空間周波数フイルタ Granted JPS58115715U (ja)

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JP1344382U JPS58115715U (ja) 1982-02-02 1982-02-02 空間周波数フイルタ

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JPS58115715U true JPS58115715U (ja) 1983-08-08
JPS6224257Y2 JPS6224257Y2 (ja) 1987-06-20

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ID=30025958

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005156537A (ja) * 2003-10-31 2005-06-16 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥観察方法及びその装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005156537A (ja) * 2003-10-31 2005-06-16 Hitachi High-Technologies Corp 欠陥観察方法及びその装置
JP4521240B2 (ja) * 2003-10-31 2010-08-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ 欠陥観察方法及びその装置

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Publication number Publication date
JPS6224257Y2 (ja) 1987-06-20

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