JPS58107289U - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS58107289U JPS58107289U JP1982001800U JP180082U JPS58107289U JP S58107289 U JPS58107289 U JP S58107289U JP 1982001800 U JP1982001800 U JP 1982001800U JP 180082 U JP180082 U JP 180082U JP S58107289 U JPS58107289 U JP S58107289U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- scanning optical
- workpiece
- processing equipment
- laser processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を示す模式図、第２図はこの考案めで実
施例を示す模式図である。 Ｌ・・・レーザ光、１１・・・集光レンズ、１２・・・
反射鏡、１３・・・可動反射鏡、１９・・・遮光体、２
３・・・ＸＹテーブル。
施例を示す模式図である。 Ｌ・・・レーザ光、１１・・・集光レンズ、１２・・・
反射鏡、１３・・・可動反射鏡、１９・・・遮光体、２
３・・・ＸＹテーブル。
Claims (1)
- レーザ発振器と、この発振器から放出されたレーザ光を
被加工物に所定の振幅で照射する走査光学系と、被加工
物を載置し上記走査光学系と共働し加工形状にしたがっ
て相対的に移動するテーブルと、上記走査光学系におけ
るレーザ光の振幅め両端部を遮光する位置に設けられ、
かつ遮光したレーザ光を熱吸収部もしくは熱放散部に導
く機能を有す遮光体とを備えることを特徴とするル−ザ
、加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982001800U JPS6037182Y2 (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982001800U JPS6037182Y2 (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | レ−ザ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58107289U true JPS58107289U (ja) | 1983-07-21 |
| JPS6037182Y2 JPS6037182Y2 (ja) | 1985-11-05 |
Family
ID=30014804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982001800U Expired JPS6037182Y2 (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6037182Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6149686U (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-03 | ||
| JPS62144891A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-06-29 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | レ−ザ加工装置 |
| JP2010064106A (ja) * | 2008-09-10 | 2010-03-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
-
1982
- 1982-01-12 JP JP1982001800U patent/JPS6037182Y2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6149686U (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-03 | ||
| JPS62144891A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-06-29 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | レ−ザ加工装置 |
| JP2010064106A (ja) * | 2008-09-10 | 2010-03-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6037182Y2 (ja) | 1985-11-05 |
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