JPS58115016A - 微粉末炭化珪素の製造方法 - Google Patents
微粉末炭化珪素の製造方法Info
- Publication number
- JPS58115016A JPS58115016A JP56210490A JP21049081A JPS58115016A JP S58115016 A JPS58115016 A JP S58115016A JP 56210490 A JP56210490 A JP 56210490A JP 21049081 A JP21049081 A JP 21049081A JP S58115016 A JPS58115016 A JP S58115016A
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- Japan
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- silicon
- carbon
- heating
- silicon carbide
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は微粉末炭化珪素゛の製造方法に関するものであ
り安価に微粉末の炭化珪素を製造することを目的とする
。
り安価に微粉末の炭化珪素を製造することを目的とする
。
最近の省エネルギー化にともない、特に耐熱材、耐食材
、耐摩耗材についてはさかんに研究開発が進められてい
るが、炭化珪素はすぐれた高温強度、耐熱衝撃性、耐食
性を有し、耐熱材や研磨材のみならず、最近では特に＾
部構造材料として注目されている。その際に用いる炭化
珪素焼結体原料粉末としてはりブ・ミクロン程度の大き
さの微粒Ｃあることが鐘要である。
、耐摩耗材についてはさかんに研究開発が進められてい
るが、炭化珪素はすぐれた高温強度、耐熱衝撃性、耐食
性を有し、耐熱材や研磨材のみならず、最近では特に＾
部構造材料として注目されている。その際に用いる炭化
珪素焼結体原料粉末としてはりブ・ミクロン程度の大き
さの微粒Ｃあることが鐘要である。
本発明者等はナトリウム、カリウム、アルミニウムなど
の金属と四弗化珪素との反応及びその生成物を種々研究
した。
の金属と四弗化珪素との反応及びその生成物を種々研究
した。
その結果、これ゛らの反応により生成したシリコンは微
粒部分（１μ程度以下）を多鏝に含み、このシリコンか
ら微粒部分のみを分離することは比較的容易であること
を知見した。さらに、この微粒シリコンと炭素又は炭素
含有物との反応により、微粉末炭化珪素が容易に得られ
ることを知見し、本発明に至ったものである。
粒部分（１μ程度以下）を多鏝に含み、このシリコンか
ら微粒部分のみを分離することは比較的容易であること
を知見した。さらに、この微粒シリコンと炭素又は炭素
含有物との反応により、微粉末炭化珪素が容易に得られ
ることを知見し、本発明に至ったものである。
本発明に使用する四弗化珪素は市販のガスでも良く、ま
た珪弗化物を熱分解した時に生成する四弗化珪素でも良
い。四弗化珪素の発生源に珪弗化アルカリ塩（Ｌｔ２Ｓ
ｆＦ６、ＮａｚＳｉＦ６又はに２ＳｉＦ６ ）を使用す
る時には、還元に用いる金属と予め混合が可能であって
、還元用金属と同様に、その形状は粉状、粒状、塊状、
はく状のいずれのものも使用可能であるが、粒度が粗い
場合には未反応の珪弗化アルカリや金属が残るので通常
粉末状又は粒状のものを使用する。
た珪弗化物を熱分解した時に生成する四弗化珪素でも良
い。四弗化珪素の発生源に珪弗化アルカリ塩（Ｌｔ２Ｓ
ｆＦ６、ＮａｚＳｉＦ６又はに２ＳｉＦ６ ）を使用す
る時には、還元に用いる金属と予め混合が可能であって
、還元用金属と同様に、その形状は粉状、粒状、塊状、
はく状のいずれのものも使用可能であるが、粒度が粗い
場合には未反応の珪弗化アルカリや金属が残るので通常
粉末状又は粒状のものを使用する。
シリコンを生成せしむる場合、還元用金属としてカリウ
ムを使用した時には１００℃以上、カリウムの沸点７６
２．２℃未満、ナトリウムを使用する時には１００℃以
上、ナトリウムの沸点８７７．５℃未満に加熱して反応
を遂行させる。１００℃以下の温度では生成されるシリ
コンの収率が著しくＦす、また各金属の沸点以上では還
元用金属が沸−し、大粒のシリコンが生成されやすくな
ったり、還元用金属の気体の散逸が著しくなりシリコン
の生成が充分ではなくなる。
ムを使用した時には１００℃以上、カリウムの沸点７６
２．２℃未満、ナトリウムを使用する時には１００℃以
上、ナトリウムの沸点８７７．５℃未満に加熱して反応
を遂行させる。１００℃以下の温度では生成されるシリ
コンの収率が著しくＦす、また各金属の沸点以上では還
元用金属が沸−し、大粒のシリコンが生成されやすくな
ったり、還元用金属の気体の散逸が著しくなりシリコン
の生成が充分ではなくなる。
また還元用金属としてアルミニウムを用いる場合には４
００℃以上、アルミニウムとシリコンの共融点（５７５
℃）未満に加熱してシリコンを生成せしむる。５１５℃
以上ではシリコンとアルミニウムの共融物が出来る可能
性があり、また４００℃以トではシリコンの生成収率が
著しく下る。
００℃以上、アルミニウムとシリコンの共融点（５７５
℃）未満に加熱してシリコンを生成せしむる。５１５℃
以上ではシリコンとアルミニウムの共融物が出来る可能
性があり、また４００℃以トではシリコンの生成収率が
著しく下る。
加熱された金属粉又は粒に四弗化珪来気体を導く事によ
りシリコンを生、成させる場合、反応は速やかに進行し
、金属の表面および周辺の壁などに微粉末シリコンと還
元用金属の弗化物が生成づる。
りシリコンを生、成させる場合、反応は速やかに進行し
、金属の表面および周辺の壁などに微粉末シリコンと還
元用金属の弗化物が生成づる。
四弗化珪素発生源として珪弗化ナトリウムを用いる場合
には４００℃以上６８０℃以下の温度にて加熱を行い、
珪弗化カリウムを用いる場合には４００℃・以上１００
０℃以下、珪弗化リチウムを用いる場合には４００℃以
上６００’Ｃ以下の温度にて加熱を行い四弗化珪素を発
生させる。
には４００℃以上６８０℃以下の温度にて加熱を行い、
珪弗化カリウムを用いる場合には４００℃・以上１００
０℃以下、珪弗化リチウムを用いる場合には４００℃以
上６００’Ｃ以下の温度にて加熱を行い四弗化珪素を発
生させる。
次に、珪弗化アルカリと金属との混合物をシリコン生成
の為の原料とする場合、還元用金属としてナトリウム又
はカリウムを使用する時には、珪弗化アルカリ：金属ア
ルカリのモル比を１：４の近傍の割合で混合する。一方
、還元用金属としてアルミニウムを使用するときには、
珪弗化アルカリニ金属アルミニウムのモル比を３：４の
近傍の割合で混合する。これらの比より大きく離れた割
合で混合して、原料とした場合には、未反応物や揮散物
が多くなるので経済的ではなくなる。
の為の原料とする場合、還元用金属としてナトリウム又
はカリウムを使用する時には、珪弗化アルカリ：金属ア
ルカリのモル比を１：４の近傍の割合で混合する。一方
、還元用金属としてアルミニウムを使用するときには、
珪弗化アルカリニ金属アルミニウムのモル比を３：４の
近傍の割合で混合する。これらの比より大きく離れた割
合で混合して、原料とした場合には、未反応物や揮散物
が多くなるので経済的ではなくなる。
反応時開は、例えば珪弗化アルカリとアルミニウムの混
合物から５？θ℃にてシリコンを生成させる場合には、
数１０分程度で充分である。
合物から５？θ℃にてシリコンを生成させる場合には、
数１０分程度で充分である。
炭化反応は１３００℃以上、シリコンの融点１４１４℃
未満で行う。この場合、Ｓｉ ＋Ｃ→ＳｉＣの反応は発
熱反応′であり、この熱により温度が上昇し、シリコン
が溶融すると、反応が阻害されるばかりでなく目的とす
る微粉末の炭化珪素が得られない。
未満で行う。この場合、Ｓｉ ＋Ｃ→ＳｉＣの反応は発
熱反応′であり、この熱により温度が上昇し、シリコン
が溶融すると、反応が阻害されるばかりでなく目的とす
る微粉末の炭化珪素が得られない。
このため従来は充分に精密に温度を制御して溶融を避け
る必要があるなど工業的製造を妨げる要因となっていた
。しかしながら本発明の様に、四弗化珪素を原料として
製造する微粉末２リコンは、この様な傾向が極めて少な
いことを知見した。
る必要があるなど工業的製造を妨げる要因となっていた
。しかしながら本発明の様に、四弗化珪素を原料として
製造する微粉末２リコンは、この様な傾向が極めて少な
いことを知見した。
炭化工程では、シリコンと炭素又は含炭素物質との混合
比は、モル比で１：１〜１：３とする。
比は、モル比で１：１〜１：３とする。
シリコンに対する炭素のモル数が１以下だと未反応のシ
リコンが残存するようになり、３以上だと未反応の炭素
が多く残るので好ましくない。
リコンが残存するようになり、３以上だと未反応の炭素
が多く残るので好ましくない。
原料の炭素としては、カーボンブラックやグラファイト
の粒状のものを使用する。また含炭素物質としては、セ
ルロースや樹脂炭化物の粉体を使用する。ただし、上述
の含炭素物質のモル数とは、このものを１３００℃以上
１４１４℃未満にて、非酸化性雰囲気中で加熱した際に
得られる炭素のモル数を意味する。
の粒状のものを使用する。また含炭素物質としては、セ
ルロースや樹脂炭化物の粉体を使用する。ただし、上述
の含炭素物質のモル数とは、このものを１３００℃以上
１４１４℃未満にて、非酸化性雰囲気中で加熱した際に
得られる炭素のモル数を意味する。
炭化後の残存炭素は空気中５００℃以上、１０００℃以
下の温度において加熱することにより除去することがで
きる。。
下の温度において加熱することにより除去することがで
きる。。
本発明にお番プる炭化珪素の生成の為の反応式は金属と
してナトリウムを用いた場合には次の如くである。
してナトリウムを用いた場合には次の如くである。
Ｓｉ Ｆ４ ＋４Ｎａ −＋Ｓｉ ＋４Ｎａ ｒＳｉ
＋Ｃ→ＳｉＣ 上式中の副生成物ＮａＦは酸に溶解するので容易にシリ
コンのみ、を分離することができる。
＋Ｃ→ＳｉＣ 上式中の副生成物ＮａＦは酸に溶解するので容易にシリ
コンのみ、を分離することができる。
次に、本発明における炭化珪素の生成の為の反応式は金
属としてアルミニウムを用いた場合には次の如くである
。
属としてアルミニウムを用いた場合には次の如くである
。
３Ｓｉ Ｆ４ ＋４Ａ区→３Ｓｆ＋４ＡＱＦｓｓ＋
＋ｃ−＋ｓ＋ ｃ 副生成物のＡｔＦ３ はＮａＦを予め又は後に添加して
加熱することによりフルオロアルミン酸塩を生成せしめ
、酸又は塩溶液により溶解除去するか、そのまま炭素原
料と混合加熱して反応させる事も可能である。ＡｔＦ、
はその昇華温度が１２６０℃であるから炭化反応温
度（１３００Ｔ−１，４１，４℃）又は昇温過程におい
ては昇華する。
＋ｃ−＋ｓ＋ ｃ 副生成物のＡｔＦ３ はＮａＦを予め又は後に添加して
加熱することによりフルオロアルミン酸塩を生成せしめ
、酸又は塩溶液により溶解除去するか、そのまま炭素原
料と混合加熱して反応させる事も可能である。ＡｔＦ、
はその昇華温度が１２６０℃であるから炭化反応温
度（１３００Ｔ−１，４１，４℃）又は昇温過程におい
ては昇華する。
また弗化アルカリやフルオロアルミン酸塩は酸又は塩基
性溶液に溶解するので、生成したシリコンから副生成物
を除去せずに炭素又は含炭素化合物と反応させたのちに
酸処理を行っても純度の高い微粉末炭化珪素を製造する
ことも可能である。
性溶液に溶解するので、生成したシリコンから副生成物
を除去せずに炭素又は含炭素化合物と反応させたのちに
酸処理を行っても純度の高い微粉末炭化珪素を製造する
ことも可能である。
また、還元用金属としてアルミニウムを用いる場合には
生成したシリコンがアルミニウムを包含する場合がある
が、この様なアルミニウムは主に粒径が１０μ−以上の
シリコン粒子に含有される。
生成したシリコンがアルミニウムを包含する場合がある
が、この様なアルミニウムは主に粒径が１０μ−以上の
シリコン粒子に含有される。
これはふるい又は水難などにより容易（分離することが
でき、分離した後の微粉末シリコンを用いて炭化珪素を
製造する場合には、さらに微粉で純度の高い炭化珪素が
得られる。
でき、分離した後の微粉末シリコンを用いて炭化珪素を
製造する場合には、さらに微粉で純度の高い炭化珪素が
得られる。
予め、珪弗化アルカリと還元用金属を混合しておいて加
熱する場合も、副生成物である弗化アルカリ、又はフル
オロアルミン酸塩及び未反応の珪弗化アルカリは同様に
酸又は塩により処理出来、シリコンのみを分離すること
ができる。この場合、原料の金属としてす１リウム又は
カリウムの粒又は片を用いた場合には粒又は片の存在す
る部分に生成するシリコンは大きな塊となる事があるが
、これは容易にふるいにより分離することができ、他の
目的のためのシリコン源として用いることが可能である
。
熱する場合も、副生成物である弗化アルカリ、又はフル
オロアルミン酸塩及び未反応の珪弗化アルカリは同様に
酸又は塩により処理出来、シリコンのみを分離すること
ができる。この場合、原料の金属としてす１リウム又は
カリウムの粒又は片を用いた場合には粒又は片の存在す
る部分に生成するシリコンは大きな塊となる事があるが
、これは容易にふるいにより分離することができ、他の
目的のためのシリコン源として用いることが可能である
。
本発明によれば原料に用いる四弗化珪素、珪弗化アルカ
リおよび還元用金属は高純度のものが安価に入手でき、
また粉砕工程を必要としないので、微粉末炭化珪素を経
済的に製造することができる。
リおよび還元用金属は高純度のものが安価に入手でき、
また粉砕工程を必要としないので、微粉末炭化珪素を経
済的に製造することができる。
実施例１
金属ナトリウム粒（＜ ３ ｓｎ） ３００（ｌをア
ルゴン雰囲気下で２００℃に加熱し、四弗化珪素ガスを
導入しつつ攪拌しながら約９０分間保持した後、冷却後
得られた生成物を塩酸溶液で処理、濾過洗浄してシリコ
ン８０ｇを得た。これに塩化ビニリデン炭化物粉末３０
０Ｑを充分に混合後アルゴン雰囲気下の電気か中で１４
００℃、１時同加熱後、温度を６５０℃に下げ空気を炉
内に流しつつ２時間保持後、冷却して得たものは微粉末
炭化珪素であった。その粒度は０．０４μ−であり、ま
た得られた炭化珪素の重量は１１３．５０であった。
ルゴン雰囲気下で２００℃に加熱し、四弗化珪素ガスを
導入しつつ攪拌しながら約９０分間保持した後、冷却後
得られた生成物を塩酸溶液で処理、濾過洗浄してシリコ
ン８０ｇを得た。これに塩化ビニリデン炭化物粉末３０
０Ｑを充分に混合後アルゴン雰囲気下の電気か中で１４
００℃、１時同加熱後、温度を６５０℃に下げ空気を炉
内に流しつつ２時間保持後、冷却して得たものは微粉末
炭化珪素であった。その粒度は０．０４μ−であり、ま
た得られた炭化珪素の重量は１１３．５０であった。
実施例２
珪弗化ナトリウムと金属アルミニウムの微粉をモル比で
３：４に配合したもの１１２ｇをボットミルでよ（混合
した後、減圧下、電気炉で５６０℃、１時間加熱した。
３：４に配合したもの１１２ｇをボットミルでよ（混合
した後、減圧下、電気炉で５６０℃、１時間加熱した。
その結果得られた生成物を１０％塩酸溶液で処理した後
、残漬を濾過分離洗浄して得られた微粉、末シリコン１
２９とカーボンブラック７．７Ｑ （平均粒径０．１
μ以下）を混合した。これをアルゴン雰囲気下、電気炉
で１３５０℃、４０分加熱したのち空気中で１時間、７
００℃にて加熱した。
、残漬を濾過分離洗浄して得られた微粉、末シリコン１
２９とカーボンブラック７．７Ｑ （平均粒径０．１
μ以下）を混合した。これをアルゴン雰囲気下、電気炉
で１３５０℃、４０分加熱したのち空気中で１時間、７
００℃にて加熱した。
その結果、得られた生成物は微粉末炭化珪素であり、そ
の平均粒径は０．８μであり、その重−は１７、ＯＱで
あった。
の平均粒径は０．８μであり、その重−は１７、ＯＱで
あった。
実施例３
珪弗化カリウムおよび金属アルミニウム微粉また珪弗化
リチウムおよび金属アルミニウム微粉をそれぞれモル比
で３＝４に配合し、ボットミルでよく混合した後、加圧
成形したものをアルゴン雰囲気下、電気炉で５００℃、
１時間加熱して得られた生成物を塩酸溶液（１０％）で
処理し、残漬を濾過分離洗浄して得られたシリコンと無
定形炭素をモル比で２＝３でまぜ、ボットミルで混合し
たのち、さらにアルゴン雰囲気下、電気炉で１３６０℃
、１峙閤加熱し、さらに大気下、６００℃、１時間加熱
処理して得られた生成物は微粉末炭化珪素であり、その
平均粒径は各々０．３及び０．２μであった。
リチウムおよび金属アルミニウム微粉をそれぞれモル比
で３＝４に配合し、ボットミルでよく混合した後、加圧
成形したものをアルゴン雰囲気下、電気炉で５００℃、
１時間加熱して得られた生成物を塩酸溶液（１０％）で
処理し、残漬を濾過分離洗浄して得られたシリコンと無
定形炭素をモル比で２＝３でまぜ、ボットミルで混合し
たのち、さらにアルゴン雰囲気下、電気炉で１３６０℃
、１峙閤加熱し、さらに大気下、６００℃、１時間加熱
処理して得られた生成物は微粉末炭化珪素であり、その
平均粒径は各々０．３及び０．２μであった。
実施例４
実施例２とまった全く同様の方法で製造した微粉末シリ
コンとセルロース粉を重量比で１：３に混合し、蒸溜水
でねった後圧縮成形したもの９ｇをアルゴン雰囲気中、
１３８０℃、１時間加熱処理した慢、空気中で６００℃
、１時間加熱処理した。生成物を塩酸溶液で処理して得
たものは微粉末炭化珪素であり、その平均粒径は０゜６
μであり、その重最は４．９ｇであった 。実施例５ 珪弗化ナトリウム粉末と金属゛アルミニウム粒（平均粒
径１−）をモル比で１：３に混合し、窒素雰囲気下で５
５０℃、３０分加熱した。得られた反応物を水に入れ、
濃塩酸を徐々に加えて濃塩酸溶液とし、煮沸し、濾過洗
浄後、ふるいにより０．２−以上の粗粒子を除いて微粉
末シリコンを得た。
コンとセルロース粉を重量比で１：３に混合し、蒸溜水
でねった後圧縮成形したもの９ｇをアルゴン雰囲気中、
１３８０℃、１時間加熱処理した慢、空気中で６００℃
、１時間加熱処理した。生成物を塩酸溶液で処理して得
たものは微粉末炭化珪素であり、その平均粒径は０゜６
μであり、その重最は４．９ｇであった 。実施例５ 珪弗化ナトリウム粉末と金属゛アルミニウム粒（平均粒
径１−）をモル比で１：３に混合し、窒素雰囲気下で５
５０℃、３０分加熱した。得られた反応物を水に入れ、
濃塩酸を徐々に加えて濃塩酸溶液とし、煮沸し、濾過洗
浄後、ふるいにより０．２−以上の粗粒子を除いて微粉
末シリコンを得た。
このシリコンとカーボンブラックとをモル比で４５に混
ぜ加圧成形した後、減圧下で１３６０℃、１ｖＩ間加熱
処理して得られたものは、微粉末炭化珪素であり、その
粒度は０．２μであった。
ぜ加圧成形した後、減圧下で１３６０℃、１ｖＩ間加熱
処理して得られたものは、微粉末炭化珪素であり、その
粒度は０．２μであった。
実施例６
珪弗化カリウム粉末と金属ナトリウム片（平均長さ５−
儀、厚さ１１−）をモル比で１：２に配合し、混合した
。これを、アルゴン雰囲気下で６００℃、１時間加熱し
た。得られた反応物をめのう乳鉢でかるくくだいた後、
ふるいにより０．２１１Ｉｌ１以上の大粒子を除いて得
られた生成物を塩酸により処理して、得られたものは微
粉末シリコンであった。
儀、厚さ１１−）をモル比で１：２に配合し、混合した
。これを、アルゴン雰囲気下で６００℃、１時間加熱し
た。得られた反応物をめのう乳鉢でかるくくだいた後、
ふるいにより０．２１１Ｉｌ１以上の大粒子を除いて得
られた生成物を塩酸により処理して、得られたものは微
粉末シリコンであった。
このシリコンとグラプアイト粉末をモル比１：２に混ぜ
、粉状のままアルゴン雰囲気−ト１３８０℃、５０分加
熱処理した後、さらに空気中で１００℃、３０分加熱処
理して得たものは微粉末炭化珪素であり、その粒度は０
．８μであった。
、粉状のままアルゴン雰囲気−ト１３８０℃、５０分加
熱処理した後、さらに空気中で１００℃、３０分加熱処
理して得たものは微粉末炭化珪素であり、その粒度は０
．８μであった。
代理人 弁唾士 不 破 良 −ロ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）四弗素化珪素をナトリウム、カリウムまたはアルミ
ニウム金属により還元して生成したシリコンに炭素又は
含炭素物質を混合し、非酸化性雰囲気中で加熱すること
を・特徴とする微粉末炭化珪素の製造方法。 ２）珪弗化アルカリを加熱して発生せしめた四弗化珪素
をナトリウム、力Ｊラムまたはアルミニウム金属により
還元して生成せしめた微粉末シリコンに炭素又は含炭素
物質を混合したものを非酸化性雰囲気中１３００℃以上
、シリコンの融点１４１４℃未満に加熱することを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の微粉末炭化珪素の製
造方法。 ３）珪弗化アルカリとナトリウム、カリウムまたはアル
ミニウム金属との混合物を加熱処理した後、未反応物お
よび副生成物を除去して得られた微粉末シリコンを炭素
又は含炭素物質と混合し、これを非酸化性雰囲気中、１
３００’Ｃ以上１４１４℃未満に加熱することを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の微粉末炭化珪素の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56210490A JPS58115016A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 微粉末炭化珪素の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56210490A JPS58115016A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 微粉末炭化珪素の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58115016A true JPS58115016A (ja) | 1983-07-08 |
Family
ID=16590205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56210490A Pending JPS58115016A (ja) | 1981-12-26 | 1981-12-26 | 微粉末炭化珪素の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58115016A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5178847A (en) * | 1988-11-30 | 1993-01-12 | Kemira Oy | Process for producing ceramic raw materials |
| EP1857640A2 (de) * | 2006-05-10 | 2007-11-21 | Silicon Fire AG | Neuartiger kaskadierter Kraftwerksprozess und Verfahren zum Bereitstellen von reversibel einsetzbaren Wasserstoffträgern in einem solchen Kraftwerksprozess |
| EP1857168A2 (de) * | 2006-05-10 | 2007-11-21 | Sincono Ag | Ölhaltige Sande und Schiefer und ihre Gemische als Ausgangssubstanzen zum Binden oder Zerlegen von Kohlenstoffdioxid und Nox, sowie zur Darstellung von kristallinem Silizium und Wasserstoffgas sowie zur Herstellung von Siliziumnitrid, Siliziumcarbid und Silanen |
| WO2008052951A3 (de) * | 2006-10-29 | 2010-10-21 | Sincono Ag | Sand, schiefer und andere siliziumdioxidfeststoffverbindungen als ausgangssubstanzen zum bereitstellen von siliziumfeststoffverbindungen und entsprechende verfahren zum betreiben von kraftwerken |
| CN108622882A (zh) * | 2017-03-18 | 2018-10-09 | 深圳格林德能源有限公司 | 一种石墨烯的液相共沉积制备方法 |
-
1981
- 1981-12-26 JP JP56210490A patent/JPS58115016A/ja active Pending
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