JPS58112107A - 直交座標方向に運動するテ−ブル - Google Patents
直交座標方向に運動するテ−ブルInfo
- Publication number
- JPS58112107A JPS58112107A JP21031981A JP21031981A JPS58112107A JP S58112107 A JPS58112107 A JP S58112107A JP 21031981 A JP21031981 A JP 21031981A JP 21031981 A JP21031981 A JP 21031981A JP S58112107 A JPS58112107 A JP S58112107A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- saddle
- base
- guide
- fixed
- slide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は直角座禅のＸＹ座榔方向に運動できるテーブル
（以下ＸＹテーブルと称する）に関する。
（以下ＸＹテーブルと称する）に関する。
従来、ＩＣチップ勢をフレームに自動的に接続するには
、直角方向に移動できるテーブル上にワークを載置して
Ｘ軸及びＸ軸と直交するＹ軸のＸＹ方向夫々ｌとパルス
モータ又は直流サーボモータにて所要移動距離を決めて
運動させており、パルスモータ又は直流サーボモータは
制御装置例えばマイコン内置の数値制御装置（ＣＮＣ）
によって指示パルス数の回転を行うようになっている。
、直角方向に移動できるテーブル上にワークを載置して
Ｘ軸及びＸ軸と直交するＹ軸のＸＹ方向夫々ｌとパルス
モータ又は直流サーボモータにて所要移動距離を決めて
運動させており、パルスモータ又は直流サーボモータは
制御装置例えばマイコン内置の数値制御装置（ＣＮＣ）
によって指示パルス数の回転を行うようになっている。
通常直角方向に移動可能なテーブルはベースとサドルを
直−案内を介して係合してサドルを直線運動できるよう
にし、サドル上にベースとサドル間の案内に直交する案
内を設けてサドルとテーブルを係合し、例えばサドルの
運動によリテーブルにＸ方向の変位を与え、サドルに対
するテーブルの運動によりＸ方向−と直交するＹ方向の
運動を与えている。
直−案内を介して係合してサドルを直線運動できるよう
にし、サドル上にベースとサドル間の案内に直交する案
内を設けてサドルとテーブルを係合し、例えばサドルの
運動によリテーブルにＸ方向の変位を与え、サドルに対
するテーブルの運動によりＸ方向−と直交するＹ方向の
運動を与えている。
そうしてテーブルの送り駆動装置はサドル上に担持され
ている。そのためサドルを送るＸ方向の運動に際しては
サドルとテーブル及びテーブル駆動装置のボールねじ、
ボールナツト、ボールねじを支持する軸受とそのブラケ
ット、パルスモータ又は直流サーボモータ、パルスモー
タ又は直流サーボモータとボールねじとの軸継手等とワ
ーク取付臭、ワーク等が一体となって運動するため大会
な慣性力を持つので高速度の移動に適しない。即ち、Ｘ
方向起動時は慣性負荷が大きいので起動して定速になる
までの過渡時間が多くか＼す、又急停止すると位置決め
精度がよくないので結局停止時間が長くが−ることにな
る。
ている。そのためサドルを送るＸ方向の運動に際しては
サドルとテーブル及びテーブル駆動装置のボールねじ、
ボールナツト、ボールねじを支持する軸受とそのブラケ
ット、パルスモータ又は直流サーボモータ、パルスモー
タ又は直流サーボモータとボールねじとの軸継手等とワ
ーク取付臭、ワーク等が一体となって運動するため大会
な慣性力を持つので高速度の移動に適しない。即ち、Ｘ
方向起動時は慣性負荷が大きいので起動して定速になる
までの過渡時間が多くか＼す、又急停止すると位置決め
精度がよくないので結局停止時間が長くが−ることにな
る。
このようなＸＹテーブルの駆動装置は通常サドル、テー
ブル夫々の裏側に送り用ボールナツトを取付け、骸ナツ
トにボールねじを係合するものであるためベース下面よ
りテーブル上ａｔで高さが高くなり、高速動作は動的不
安定で振動し易くなるのでやはり高速度の運動には適し
ない。
ブル夫々の裏側に送り用ボールナツトを取付け、骸ナツ
トにボールねじを係合するものであるためベース下面よ
りテーブル上ａｔで高さが高くなり、高速動作は動的不
安定で振動し易くなるのでやはり高速度の運動には適し
ない。
以上の間廟点を解決したものとして％Ｍ昭ｊｊ−７Ｊデ
０６号の発明「ｘ−Ｙ方向作動テーブルの動作装置」？
はリンク機構を介してＸ−Ｙ方向の運動を行って、Ｘ−
Ｙテーブル等にはモータ等の重量物が取付けられておら
ず、しかもそのＸ−Ｙテーブルの支持機構及び動力伝達
部の接触抵抗が極めて小さく構成されているので咳テー
ブルの移動調整が極めて円滑になされる特長がある。然
し乍ら一方て直線案内による上記間膳点を解消すべき要
請も強いのである。この直線案内の組合せによる解決手
段としてはサドル上に構成されたテーブルの駆動装置を
サドル上に置かないでＸＹテーブルの側方にて機台に置
いたものがある１機台上に載置する形でテーブルの駆動
装置を設けるとサドルの駆動装置とそれに直交して従来
のＸＹテーブルと同じ位の大きさのテーブル駆動装置を
備えることになり、大きな設置面積を資するという不都
合がある。
０６号の発明「ｘ−Ｙ方向作動テーブルの動作装置」？
はリンク機構を介してＸ−Ｙ方向の運動を行って、Ｘ−
Ｙテーブル等にはモータ等の重量物が取付けられておら
ず、しかもそのＸ−Ｙテーブルの支持機構及び動力伝達
部の接触抵抗が極めて小さく構成されているので咳テー
ブルの移動調整が極めて円滑になされる特長がある。然
し乍ら一方て直線案内による上記間膳点を解消すべき要
請も強いのである。この直線案内の組合せによる解決手
段としてはサドル上に構成されたテーブルの駆動装置を
サドル上に置かないでＸＹテーブルの側方にて機台に置
いたものがある１機台上に載置する形でテーブルの駆動
装置を設けるとサドルの駆動装置とそれに直交して従来
のＸＹテーブルと同じ位の大きさのテーブル駆動装置を
備えることになり、大きな設置面積を資するという不都
合がある。
本発明は従来例にあるようなＸＹ方向に運動可能なテー
ブルに詔いて、サドルが運動時にはテーブルの駆動装置
はサドルが担持して移動することなく、且つベース下面
より作業テーブル上面までを低くすることにより高速運
動可能なＸＹテーブルを得ることを目的とするものであ
る。
ブルに詔いて、サドルが運動時にはテーブルの駆動装置
はサドルが担持して移動することなく、且つベース下面
より作業テーブル上面までを低くすることにより高速運
動可能なＸＹテーブルを得ることを目的とするものであ
る。
以下１図面に従ってこの発明の実施例について説明する
。第１図は一部破断して示す平面図、第１図は第１図の
Ａ−Ａ断面図を含む正面図、ＩＩ３図は第１図のＢ−Ｂ
断面図である。
。第１図は一部破断して示す平面図、第１図は第１図の
Ａ−Ａ断面図を含む正面図、ＩＩ３図は第１図のＢ−Ｂ
断面図である。
機台／＋こ固定されたベースコにはスライドガイドＪの
軌道台参が固定され、転動体Ｉを介して係合する軌道台
６はサドル７に固定されている。サドルクにはスライド
ガイド３と直交する二条のスライドガイドｔの軌道台デ
が固定され、軌道台デに転動体ｌｌを介して係合する軌
道台ｌコがテーブル／、？に固定されている。
軌道台参が固定され、転動体Ｉを介して係合する軌道台
６はサドル７に固定されている。サドルクにはスライド
ガイド３と直交する二条のスライドガイドｔの軌道台デ
が固定され、軌道台デに転動体ｌｌを介して係合する軌
道台ｌコがテーブル／、？に固定されている。
第一図に示すように機台ｌに固定されたブラ／ｙツ）
／ 参には例えばパルスモータのような駆動モータｌ！
が固定され、駆動モータ／ｊの出力軸端は軸継手ｌ乙に
より例えばボールねじのような送りねじｌりに連結され
ている。送りねじ１７は機台ｌに固定された軸受箱／１
に嵌入して外輪が軸受箱ｌｔ内段穴の肩部に当るように
背面合せにした例えばアンギュラ−コンタクト玉軸受の
ような軸受／？、／？に嵌入し、軸受／９．／ｌの内輪
を送りねじ１７の段部／７Ａとロックナラトコｌにより
予荷重を調整して送りねじ／りの回転精度を保つよ引こ
して支持されている。送りねじｌりには評細は図示され
なｌ、１が送りねじ／７がボールねじの場合はポール循
環式のナツトココが係合し、咳ナツトλコはサドルクに
固定されたブラケットコ３に嵌入固定されている。送り
ねじ１７はかくしてスライドガイド３と平行に配される
。
／ 参には例えばパルスモータのような駆動モータｌ！
が固定され、駆動モータ／ｊの出力軸端は軸継手ｌ乙に
より例えばボールねじのような送りねじｌりに連結され
ている。送りねじ１７は機台ｌに固定された軸受箱／１
に嵌入して外輪が軸受箱ｌｔ内段穴の肩部に当るように
背面合せにした例えばアンギュラ−コンタクト玉軸受の
ような軸受／？、／？に嵌入し、軸受／９．／ｌの内輪
を送りねじ１７の段部／７Ａとロックナラトコｌにより
予荷重を調整して送りねじ／りの回転精度を保つよ引こ
して支持されている。送りねじｌりには評細は図示され
なｌ、１が送りねじ／７がボールねじの場合はポール循
環式のナツトココが係合し、咳ナツトλコはサドルクに
固定されたブラケットコ３に嵌入固定されている。送り
ねじ１７はかくしてスライドガイド３と平行に配される
。
第３図に示すように機台ｌに固定されたブラケット２４
１には例えばパルスモータのような駆動モータコＩが固
定され、駆動モータコＩの出力軸端には軸継手コロによ
り例えばボールねじのような送りねじコアに連結されて
いる。送りねじコクは機台ｌ化固定された軸受箱Ｊｆに
嵌入して外輪が軸受箱コｇ内段大の肩に当るよう化背面
倉せにした例えばアンギュラ−コンタクト玉軸受のよう
な軸受コデ、コデ化嵌入し、軸受コデ、コｔの内輪を送
りねじコアの段部コツ人とロックナツトＪ／により予荷
重を調整して送りねじコクの回転精度を保つようにして
支持されている。送りねじコアには詳細は図示されない
が送りねじコクがボールねじの場合はボール循環式のナ
ラ）Ｊコが係合する。
１には例えばパルスモータのような駆動モータコＩが固
定され、駆動モータコＩの出力軸端には軸継手コロによ
り例えばボールねじのような送りねじコアに連結されて
いる。送りねじコクは機台ｌ化固定された軸受箱Ｊｆに
嵌入して外輪が軸受箱コｇ内段大の肩に当るよう化背面
倉せにした例えばアンギュラ−コンタクト玉軸受のよう
な軸受コデ、コデ化嵌入し、軸受コデ、コｔの内輪を送
りねじコアの段部コツ人とロックナツトＪ／により予荷
重を調整して送りねじコクの回転精度を保つようにして
支持されている。送りねじコアには詳細は図示されない
が送りねじコクがボールねじの場合はボール循環式のナ
ラ）Ｊコが係合する。
ベースコにはスライドガイドＪの下方にスライドガイド
Ｊ＆こ直交して二条のスライドガイド３Ｊが配されてい
る。スライドガイドＪ３は二条のスライドガイド３の一
つゆ下方に交叉するが他の一つには交叉せず、スライド
ガイド３Ｊの軌道台Ｊ１はベースコに固定され、軌道台
Ｊｌに転動体ＳＳを介して係合する軌道台３４がスライ
ド３りに固定されている。従ってスライド３７はサドル
クとベース−関に出入りできるようになっている。スラ
イド３７には軸ＪＫ。
Ｊ＆こ直交して二条のスライドガイド３Ｊが配されてい
る。スライドガイドＪ３は二条のスライドガイド３の一
つゆ下方に交叉するが他の一つには交叉せず、スライド
ガイド３Ｊの軌道台Ｊ１はベースコに固定され、軌道台
Ｊｌに転動体ＳＳを介して係合する軌道台３４がスライ
ド３りに固定されている。従ってスライド３７はサドル
クとベース−関に出入りできるようになっている。スラ
イド３７には軸ＪＫ。
３デが設けられ、軸３１．３９には玉軸受＄／。
グーが夫々嵌入し、軸Ｊｔ、Ｊ９の円周溝に嵌入する軸
用止輪ダ３により夫々軸方向に脱出しないように止めら
れている。軸３１は偏心軸となっていて玉軸受参／、４
１−の間隔を調整して玉軸受＄／、＄−で隙間なく挾持
するようにスライドガイド３に平行するように正確に両
面が仕上げられたガイド板参参が配され、ガイド［１１
はテーブル／Ｊ＃こ固定されている。
用止輪ダ３により夫々軸方向に脱出しないように止めら
れている。軸３１は偏心軸となっていて玉軸受参／、４
１−の間隔を調整して玉軸受＄／、＄−で隙間なく挾持
するようにスライドガイド３に平行するように正確に両
面が仕上げられたガイド板参参が配され、ガイド［１１
はテーブル／Ｊ＃こ固定されている。
ナツトココはスライドＪりの端部に一体に設けられたハ
ウジング部Ｊ？Ａに恢大して固定されている。従ってほ
ぼテーブル１３の平面投影内にスライド３γ、ナツトＪ
２が納壕っている訳である。
ウジング部Ｊ？Ａに恢大して固定されている。従ってほ
ぼテーブル１３の平面投影内にスライド３γ、ナツトＪ
２が納壕っている訳である。
駆動モータｌｊが駆動されると軸継手／６を介して送り
ねじｌりを回転し、ナツトココは送られ、ブラケットＪ
３を介してナツトココの動きはサドルクに伝えられサド
ルクは送られる。
ねじｌりを回転し、ナツトココは送られ、ブラケットＪ
３を介してナツトココの動きはサドルクに伝えられサド
ルクは送られる。
従ってサドル７番こ担持されているテーブル／３は一方
向に往復動できる。その際ガイド板４Ｉりは第２図の紙
面に平行、第３図の紙面に直交して移動し、玉軸受−／
、＄Ｊを回転させる。ガイド板４１＋１はスライドガイ
ド３と板面が平行しているから玉軸受＄／、４１Ｊは回
転するだけでテーブル／Ｊは直交方向に運動はしない。
向に往復動できる。その際ガイド板４Ｉりは第２図の紙
面に平行、第３図の紙面に直交して移動し、玉軸受−／
、＄Ｊを回転させる。ガイド板４１＋１はスライドガイ
ド３と板面が平行しているから玉軸受＄／、４１Ｊは回
転するだけでテーブル／Ｊは直交方向に運動はしない。
駆動モーター３が駆動されると軸継手コロを介して送り
ねじコクを回転し、ナツト３コは送られ、スライド３り
はスライドガイド３３を介してベースコに担持されて往
復動し、スライド３りの動きは軸Ｊｔもしくは３デ１回
転しない玉軸受ダｌもしくは参コを介してガイド板４Ｉ
参に伝えられ、テーブルｉｓは前述したサドルクの運動
によるテーブルｉｓの運動方向と直交する方向にスライ
ドガイドｔを介してサドルク上で往復動する。
ねじコクを回転し、ナツト３コは送られ、スライド３り
はスライドガイド３３を介してベースコに担持されて往
復動し、スライド３りの動きは軸Ｊｔもしくは３デ１回
転しない玉軸受ダｌもしくは参コを介してガイド板４Ｉ
参に伝えられ、テーブルｉｓは前述したサドルクの運動
によるテーブルｉｓの運動方向と直交する方向にスライ
ドガイドｔを介してサドルク上で往復動する。
上述ではテーブル／ＪのＸＹ方向の運動を夫々個別にの
べたが駆動モータｉｊ、コ！を同時に駆動することを邪
げるものではなく、一般には例えばマイコンを備えた二
輪数値制御装置（ＣＮＣ）により同時に駆動されワーク
を曲線の経路に沿う如く運動させ得るものである。
べたが駆動モータｉｊ、コ！を同時に駆動することを邪
げるものではなく、一般には例えばマイコンを備えた二
輪数値制御装置（ＣＮＣ）により同時に駆動されワーク
を曲線の経路に沿う如く運動させ得るものである。
本発明はサドルとベース間にサドルとベース間の直線案
内の下方に直交してベースと係合して往復動するスライ
ドを設け、スライド下にナツトを取付け、ナツトに送り
ねじを係合して送りねじを機台にて支持し、機台に支持
した駆動モータを備え、スライドの運動をガイド板とガ
イド板を挾持する回転体にてテーブルに伝えサドルとテ
ーブル間には案内以外の駆動装置を介在させないように
したから、サドルを駆動する際にはテーブルのみがサド
ル上に担持され、慣性モーメントが小さい。サドル移動
方向に直交するテーブルの運動に際してはテーブルとス
ライド３りが主たる慣性モーメントを生ずる部品であり
、スライド３りはテーブルへの送りねじＪ７の運動の媒
体であり、送り力に１耐えればよいから図示のように小
さくてよいからテーブルに比べるとスライド３７の慣性
モーメントはずっと小さい。装置全体も従って又軽量に
出来る。
内の下方に直交してベースと係合して往復動するスライ
ドを設け、スライド下にナツトを取付け、ナツトに送り
ねじを係合して送りねじを機台にて支持し、機台に支持
した駆動モータを備え、スライドの運動をガイド板とガ
イド板を挾持する回転体にてテーブルに伝えサドルとテ
ーブル間には案内以外の駆動装置を介在させないように
したから、サドルを駆動する際にはテーブルのみがサド
ル上に担持され、慣性モーメントが小さい。サドル移動
方向に直交するテーブルの運動に際してはテーブルとス
ライド３りが主たる慣性モーメントを生ずる部品であり
、スライド３りはテーブルへの送りねじＪ７の運動の媒
体であり、送り力に１耐えればよいから図示のように小
さくてよいからテーブルに比べるとスライド３７の慣性
モーメントはずっと小さい。装置全体も従って又軽量に
出来る。
サドルとテーブルは案内を介して殆んど密接できるよう
に構成できるので極めて高さを低くでき動的安定がよく
、高さが低いため例えばワイヤボンディング装置に用い
た場合性の装置の納まりが良い。スライドがサドル下に
あるため屹テーブルのみを駆動する駆動モータコ！側の
駆動装置設置面積が極めて小さく、突出長さも極めて小
さい。このことは他の機器装置を設置しなければならな
いワイヤーボンダー勢では特に重要なことである。
に構成できるので極めて高さを低くでき動的安定がよく
、高さが低いため例えばワイヤボンディング装置に用い
た場合性の装置の納まりが良い。スライドがサドル下に
あるため屹テーブルのみを駆動する駆動モータコ！側の
駆動装置設置面積が極めて小さく、突出長さも極めて小
さい。このことは他の機器装置を設置しなければならな
いワイヤーボンダー勢では特に重要なことである。
以上のとおり本発明はＸＹテーブルに詔いてテーブルＸ
Ｙ方向移動の慣性モーメントが小さく、且つテーブル面
の高さが極めて低く設置面積が小さい特徴がある。
Ｙ方向移動の慣性モーメントが小さく、且つテーブル面
の高さが極めて低く設置面積が小さい特徴がある。
ｌ＠１図は本発明の実施例の平面図、第一図はｔｓ１図
のＡ−Ａｌｌｌｉ面図を含む正面図、第３図は第１図の
Ｂ−Ｂｖ＃面図である。 ／・・機台 コ・・ベース ３・・スライドガイド ダ
・・軌道台 ！・・転動体 ６・・軌動台 ７・・サド
ル ｌ・・スライドガイド！・・軌動台 ／／・・転動
体 ｌコ・・軌道台 ／３・・テーブル ／ｌ・・ブラ
ケット／ｊ・・駆動モータ ／４−−軸継手 ／７−・
送りねじ ７７人・・段部 １ｇ・・軸受箱ｌデ拳・軸
受 コ／・拳ロックナツト ２２・・ナツト コｊ、２
ｆ −−ブラケット コ５・・駆動モータ −６・・軸
継手 コア・・送りねじ コアＡ・争段部 コｆｆ−−
軸受箱 コ９ｍ・軸受 ３１・・ロックナツト ３コ・
・ナツト ３３・・スライドガイド ｊｆ・・軌道台３
ｊ−・転動体 ３６−・軌道台 ３７・・スライド Ｊ
り人・・ハウジング部 ３ｔ、３デ・・軸 ｆ／、４１
１コ・・玉軸受 ゲＪ・・軸用止輪ダダ・・ガイド板。 特許出願人 東京測範株式会社 代理人 新 井 −部
のＡ−Ａｌｌｌｉ面図を含む正面図、第３図は第１図の
Ｂ−Ｂｖ＃面図である。 ／・・機台 コ・・ベース ３・・スライドガイド ダ
・・軌道台 ！・・転動体 ６・・軌動台 ７・・サド
ル ｌ・・スライドガイド！・・軌動台 ／／・・転動
体 ｌコ・・軌道台 ／３・・テーブル ／ｌ・・ブラ
ケット／ｊ・・駆動モータ ／４−−軸継手 ／７−・
送りねじ ７７人・・段部 １ｇ・・軸受箱ｌデ拳・軸
受 コ／・拳ロックナツト ２２・・ナツト コｊ、２
ｆ −−ブラケット コ５・・駆動モータ −６・・軸
継手 コア・・送りねじ コアＡ・争段部 コｆｆ−−
軸受箱 コ９ｍ・軸受 ３１・・ロックナツト ３コ・
・ナツト ３３・・スライドガイド ｊｆ・・軌道台３
ｊ−・転動体 ３６−・軌道台 ３７・・スライド Ｊ
り人・・ハウジング部 ３ｔ、３デ・・軸 ｆ／、４１
１コ・・玉軸受 ゲＪ・・軸用止輪ダダ・・ガイド板。 特許出願人 東京測範株式会社 代理人 新 井 −部
Claims (1)
- ｌ ベースに直線の案内を介して係合するサドルと、サ
ドル上にベースとサドル間の案内に直交する直線の案内
を介して係合するテーブルと、サドル、テーブルの駆動
装置を備えてテーブルが直交する座標方向く運動する如
く構成されたテーブルに詔いて、ベースとサドル間の案
内とベース間にベースとサドル間の案内に直交して設け
た案内を介してベースとスライドを係合し、スライドに
は駆動装置のナツトを固定し、ナツトと係合する送りね
じを含む駆動装置を固定して備え、テーブルにはベース
とサドル間の案内と板面の平行するガイド板を固定し、
スライドに回転可能に支持される一対のガイド板上を転
動する回転体によりガイド板を挾持してなり、ベースと
サドル間にテーブル駆動に介在するスライドを備えたこ
とを４１徴とする直交座標方向−こ運動するテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21031981A JPS58112107A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 直交座標方向に運動するテ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21031981A JPS58112107A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 直交座標方向に運動するテ−ブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58112107A true JPS58112107A (ja) | 1983-07-04 |
Family
ID=16587451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21031981A Pending JPS58112107A (ja) | 1981-12-25 | 1981-12-25 | 直交座標方向に運動するテ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58112107A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5371569A (en) * | 1976-12-08 | 1978-06-26 | Hitachi Ltd | X - y moving table |
| JPS5646252B2 (ja) * | 1976-12-23 | 1981-10-31 |
-
1981
- 1981-12-25 JP JP21031981A patent/JPS58112107A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5371569A (en) * | 1976-12-08 | 1978-06-26 | Hitachi Ltd | X - y moving table |
| JPS5646252B2 (ja) * | 1976-12-23 | 1981-10-31 |
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