JPS58111941U - チヤツク - Google Patents

チヤツク

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Publication number
JPS58111941U
JPS58111941U JP756382U JP756382U JPS58111941U JP S58111941 U JPS58111941 U JP S58111941U JP 756382 U JP756382 U JP 756382U JP 756382 U JP756382 U JP 756382U JP S58111941 U JPS58111941 U JP S58111941U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
check
chuck
wafer
rotating
recorded
Prior art date
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Pending
Application number
JP756382U
Other languages
English (en)
Inventor
岸田　寿一
悟 橋本
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP756382U priority Critical patent/JPS58111941U/ja
Publication of JPS58111941U publication Critical patent/JPS58111941U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の回転洗浄機の回転機構を示す概略図であ
る。第２図はウェハの回転数とウォータマークの密度の
関係を示す図、第３図は本考案の一実施例を示すチャッ
クの断面図である。 １・・・洗浄室、２・・・薬液吐出ノズル、３・・・ウ
ェハチャック、４・・・ウェハ、５・・・モータ、６・
・・軸受、７・・・三方弁、８・・・真空ポンプ、９・
・・モータ軸接続部、１０・・・真空引き孔、１１・・
・０リング、１２・・・ウェハ吸着部、１３・・・接続
点、１４・・・スカート。 ７　　２　　図 才　３　図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対象物を吸着保持し、水平面内で回転させる回転機構の
    チャックにおいて、下面外周部に環状の突起を形成した
    ことを特徴とするチャック。
JP756382U 1982-01-25 1982-01-25 チヤツク Pending JPS58111941U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP756382U JPS58111941U (ja) 1982-01-25 1982-01-25 チヤツク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP756382U JPS58111941U (ja) 1982-01-25 1982-01-25 チヤツク

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58111941U true JPS58111941U (ja) 1983-07-30

Family

ID=30020308

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP756382U Pending JPS58111941U (ja) 1982-01-25 1982-01-25 チヤツク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58111941U (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4327084Y1 (ja) * 1966-02-04 1968-11-09
JPS5137573A (ja) * 1974-09-26 1976-03-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fuotorejisutonotofuhoho oyobi sochi
JPS53110377A (en) * 1977-03-09 1978-09-27 Hitachi Ltd Wax coating device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4327084Y1 (ja) * 1966-02-04 1968-11-09
JPS5137573A (ja) * 1974-09-26 1976-03-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fuotorejisutonotofuhoho oyobi sochi
JPS53110377A (en) * 1977-03-09 1978-09-27 Hitachi Ltd Wax coating device

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