JPS5810724B2 - ダイコウケイヒハンシヤタイブツケイ - Google Patents

ダイコウケイヒハンシヤタイブツケイ

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JPS5810724B2
JPS5810724B2 JP49022614A JP2261474A JPS5810724B2 JP S5810724 B2 JPS5810724 B2 JP S5810724B2 JP 49022614 A JP49022614 A JP 49022614A JP 2261474 A JP2261474 A JP 2261474A JP S5810724 B2 JPS5810724 B2 JP S5810724B2
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JP
Japan
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lens group
lens
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convergent
image plane
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JP49022614A
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JPS50116029A (ja
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小早川嘉
武士邦雄
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Canon Inc
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Canon Inc
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Publication date
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Priority to US05/550,742 priority patent/US3994573A/en
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Priority to DE2508384A priority patent/DE2508384C3/de
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B17/00Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/08Catadioptric systems
    • G02B17/0856Catadioptric systems comprising a refractive element with a reflective surface, the reflection taking place inside the element, e.g. Mangin mirrors
    • GPHYSICS
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    • G02B17/08Catadioptric systems
    • G02B17/0852Catadioptric systems having a field corrector only
    • GPHYSICS
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    • G02B17/00Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/08Catadioptric systems
    • G02B17/0884Catadioptric systems having a pupil corrector
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B42/00Obtaining records using waves other than optical waves; Visualisation of such records by using optical means
    • G03B42/02Obtaining records using waves other than optical waves; Visualisation of such records by using optical means using X-rays

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 系に特に大きな口径比を必要とする反射対物系に関する
ものである。
この種の光学系としては例えば特公昭39−26447
号が知られており、これは第1図の構成をしている。
そしてこの反射対物系は機能上から3群に分けて考えら
れ、■は正メニスカスレンズ11と負メニスカスレンズ
I2の二枚のレンズから成る弱発散性レンズ群、■は凹
面反射鏡、■は負レンズを含み全体と発散性のレンズ群
である。
ここでレンズ群Iは全光学系のうちで反射鏡■で発生す
る像面彎曲以外の収差の補正を主として行い、レンズ群
■で反射鏡■により生じた画像彎曲を補正する。
また反射鏡■で発生する球面収差を補正する必要上から
レンズ群Iは発散性であるが、このため反射鏡は大型化
せざるを得ない。
一方収差補正と云う点から見るとこの種の大口径比反射
対物系てま、レンズ群I中のコマ収差を補正する正メニ
スカレンズ11と球面収差を補正する負メニスカレンズ
I2が隣接している為相互に逆作用を持つので、反射鏡
■で生じる外向性のコマ収差を充分に補正することはか
なり困難であった。
本発明は、従来発散性のレンズ群Iを収斂性のレンズ群
とし、また反射鏡も反射が内面で生じるマンギン鏡を使
うことによくへ反射鏡の外径寸法が小型で、収差が良好
に補正された反射対物系を提供することを目的としてい
る。
以下本発明の基本の実施例を説明する。
第2図で1は物体に凹面を向けたレンズにより構成され
た収斂性レンズ群、2は物体に近いa面より物体に遠い
6面の曲率半径が犬であり、また6面に鏡面処理のなさ
れた凹面マンギン鏡で反射屈折作用を司り、3は少なく
とも1個の発散性レンズを含む3個以上の単レンズより
成る収斂性の像面平坦化レンズ群である。
ここで像面平坦路レンズ群3の最終面を除いて全系のす
べての屈折面および反射面が物体側に凹面を向けている
そして更に、光学系設計のための具体的規準をあげると
すると、収斂性レンズ群1は、大口径比反射対物系にお
いて性能を限定しているコマ収差を主に補正し、全系の
合成焦点距離をfとすると、以下(1)の範囲にあると
良い。
Flは収斂性レンズ群1の焦点距離。3.5f≦F1≦
4f…五………………(1)次にマンギン鏡2は、球面
収差の補正に使用され、以下(2)の範囲にあると良い
F2はマンギン鏡2の焦点距離。
1.2f<F2<1.6f…………………(2)像面平
坦化レンズ群3は、マンギン鏡2によって生じた像面彎
曲を補正し、以下(3)の条件を充たすと良い結果が得
られる。
F3は像面平坦化レンズ群3の焦点距離。
F3<2f…………………………(3) かかる系において収差補正がいかに行われるか第1図の
場合に比較して見ると、第1図の1群の負メニスカスレ
ンズI、によりコマ収差補正と相い矛盾するためにレン
ズ11の効果を減殺せしめた。
そこでレンズ11とI2を分離させて、これを局限にも
っていたのが本発明の第2図の例であり球面収差の補正
は主屈折力を持つ要素の鏡面に対する配置には影響され
ることが少ないことから、このようなレンズ配置を採る
ことが可能となる。
一方、主にコマ収差補正を分担する第1図のレンズ11
は第2図のレンズ1にあたり、第1図の場合はレンズ■
1による補正の効果が隣接するレンズI2の作用によっ
て減殺されていたが、本発明ではこのようなことがなく
全系として外向コマ収差は非常に良好な補正をなし得る
更に1群が収斂性を持つため、反射鏡が大型になるのが
避けられるという利点が生ずる。
なお、屈折面のほとんどを物体側に凹面を向ける形態に
した理由は、まず正メニスカスレンズ1の物体側面の場
合物体から来る発散性の光束が入射し、残りレンズ面の
場合マンギン鏡2から来る収斂性の光束が入射するため
で、この形態により光線はスムーズにレンズへ入射し、
レンズ面で余計な収差が発生するのを防止し得るからで
ある。
第3図は本発明の実施例で、以下に数値例■と■を示す
なお、第4図の収差曲線は数値例Iに関するもので、他
の収差とともにコマ収差が良好に補正されている事が認
められた。
数値例 I f=100 口径比=1:0.57 結像倍率=1:
4.65 R1ニー501°9 d、=13.3 N1=1.62004 V1=3
6.3R2=−163,4 Sに60.2 R3=−88,6 d2二10.7 N2=1.51633 V2=6
4.1R4ニー176.3 d2二10.7 N5=1.51633 V3=64
.IR5ニー88.6 S2=60.2 R6=−163°4 d3二13.3 N4=1.62.004 V4=
36.3R7=−501,9 S3=16.1 R8ニー52.3 d4=10.5 N7=1.51633 V5=6
4.IR9=−112,3 S4=1.3 RIOニー52.2 d5=7.8 N6二1.78472 V6二25
.7R1に−30,1 d6=22.3 N7=1.51633 V7二6
4.1R12−″ なお、レンズ群1に当るレンズの直径は116φ、マン
ギン鏡の直径は122φ、レンズ群3を構成する3枚の
レンズの直径は、レンズ群1側から順に57φ、54φ
そして47φである。
また、ここでR1〜R1□:順次に各構成レンズの曲率
半径、dl−d6:各構成レンズの軸上厚、81〜S7
:各構成レンズ間の空気間隙、N1〜N7:各構成レン
ズのスペクトルd線に対する屈折率、■1〜V7:各構
成レンズのアツベ数。
数値例 ■ f=214.1 口径比 結像倍率 R,=−840,3 d、=27、ON、=1.62004 V1=36.3
R2ニー313.3 Sに143.1 R3=−180,1 d2−21.0 N2二1.51633 V2=64
.IR4ニー341.0 d2二21.0 N5=1.51633 V3=64
.1R5−180,1 52=143.1 R6=−313,3 d3=27.0 N4=1.62004 V4二3
6.3R7=−840,3 S3=10.9 R8=−90,0 d4二20.6 N5=1.51633 V5=6
4.IR9ニー149.2 S4=2.6 R,o=−93,6 d、=12.0 N6=1.71736 V6=2
9.5R1,=−56,0 d6=36.0 N7=1.51633 V7=6
4.IR,2=閃
【図面の簡単な説明】
第1図は公知の反射対物系を示す断面図、第2図は本発
明の基本実施例の断面図、第3図は本発明の実施例断面
図、第4図は数値例■の収差曲線図。 図中で、1は収斂レンズ、2はマンギン鏡、3は像面平
坦化レンズ群、Riはレンズの曲率半径、diはレンズ
の軸上厚、Siはレンズ間隔である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 少な(とも1枚の正メニスカスレンズを有スる収斂
    性レンズ群と、前記収斂性レンズ群に対し物体より遠い
    方にマンギン鏡をそして物体に近い方に、少なくとも1
    枚の発散性レンズを含む収斂性の像面平坦化レンズ群を
    配置し、前記マンギン鏡の物体側の面の曲率半径はもう
    一方の面の曲率半径より小さく、前記像面平坦化レンズ
    群の最も物体に近い面を除いた全系の屈折面および反射
    面は物体に凹面を向け、前記収斂性レンズ群の焦点距離
    をFい前記マンギン鏡の焦点距離をF2、前記像面平坦
    化レンズ群の焦点距離をF3そして全系の合成焦点距離
    をfとしたとき、 3.5f≦F1≦4f 12f<F2<1.6f F3≦2f を満足することを特徴とする大口径比反射対物系3
JP49022614A 1974-02-26 1974-02-26 ダイコウケイヒハンシヤタイブツケイ Expired JPS5810724B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP49022614A JPS5810724B2 (ja) 1974-02-26 1974-02-26 ダイコウケイヒハンシヤタイブツケイ
US05/550,742 US3994573A (en) 1974-02-26 1975-02-18 High aperture catoptric system
GB7990/75A GB1482486A (en) 1974-02-26 1975-02-26 Large aperture single-reflecting catadioptric system
DE2508384A DE2508384C3 (de) 1974-02-26 1975-02-26 Spiegellinsenobjektiv

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP49022614A JPS5810724B2 (ja) 1974-02-26 1974-02-26 ダイコウケイヒハンシヤタイブツケイ

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Publication Number Publication Date
JPS50116029A JPS50116029A (ja) 1975-09-11
JPS5810724B2 true JPS5810724B2 (ja) 1983-02-26

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ID=12087703

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
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US (1) US3994573A (ja)
JP (1) JPS5810724B2 (ja)
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GB (1) GB1482486A (ja)

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Also Published As

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DE2508384B2 (de) 1981-07-02
DE2508384C3 (de) 1982-03-11
JPS50116029A (ja) 1975-09-11
DE2508384A1 (de) 1975-08-28
US3994573A (en) 1976-11-30
GB1482486A (en) 1977-08-10

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