JPS58102581A - 改良された高分子圧電材料の製造法 - Google Patents
改良された高分子圧電材料の製造法Info
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- JPS58102581A JPS58102581A JP56201422A JP20142281A JPS58102581A JP S58102581 A JPS58102581 A JP S58102581A JP 56201422 A JP56201422 A JP 56201422A JP 20142281 A JP20142281 A JP 20142281A JP S58102581 A JPS58102581 A JP S58102581A
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- Shaping By String And By Release Of Stress In Plastics And The Like (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はポリフツ化ビニリデン系樹脂を素材とした大き
な圧電率を有する高分子圧電フィルムの製造法に関する
ものである。
な圧電率を有する高分子圧電フィルムの製造法に関する
ものである。
圧電材料は一軟にオーディオ用トランスデユーサ、医療
用トランスデユーサ、超音波トランスデユーサ、物理計
測用トランスデユーサ、感圧素子等の圧電性を応用した
工業分野に広く利用されている。
用トランスデユーサ、超音波トランスデユーサ、物理計
測用トランスデユーサ、感圧素子等の圧電性を応用した
工業分野に広く利用されている。
エネルギー交換機能として知らｎて−る圧電性は対称中
心を持たない結晶体の性質として知ら１ており、現在、
実用化されている圧電体は水晶。
心を持たない結晶体の性質として知ら１ており、現在、
実用化されている圧電体は水晶。
ａツレエル［、ＰＺＴ（ジルコン酸、チタン酸鉛糸セラ
ミックス）等の無機材料が主である。
ミックス）等の無機材料が主である。
しかしながら、こルらの材料は圧電率は高いが。
硬くてしかも脆いので成形加工に難点があるため。
薄い大面積の圧電材料を製造することは非常に困難であ
る。
る。
こｎに対しである種の高分子材料２例えば、コラーゲン
、セルローズ等の天然高分子及びポリーｒ−メチルーＬ
−グルタメートに代表さｎる合成高分子の延伸フィルム
は圧電性を示す。又これらとは別のポリフッ化ビニリデ
ン、ポリフッ化ビニル、ポリアクリルニトリル、ポリカ
ーボネート等の合成高分子の延伸フイルムケ高温下で電
界を印加した状態で冷却す秦ことにより圧電性を示すこ
とが明らかにされている。こｎらの合成高分子のうち、
配向ｌ型（β型）結晶を含むポリフッ化ビニリデンの延
伸フィルムが最も・大きな圧電性を示すことが知ら几て
いる。しかしながら、ポリフッ化ビニリデンの延伸フィ
ルムの圧電率（ｄｓｒ）もたかだか５ Ｘ １０ ’
ｃ、ｇ、ｓ、ｅ、ｓ、ｕ程度であり、実用面での制約が
大きい。
、セルローズ等の天然高分子及びポリーｒ−メチルーＬ
−グルタメートに代表さｎる合成高分子の延伸フィルム
は圧電性を示す。又これらとは別のポリフッ化ビニリデ
ン、ポリフッ化ビニル、ポリアクリルニトリル、ポリカ
ーボネート等の合成高分子の延伸フイルムケ高温下で電
界を印加した状態で冷却す秦ことにより圧電性を示すこ
とが明らかにされている。こｎらの合成高分子のうち、
配向ｌ型（β型）結晶を含むポリフッ化ビニリデンの延
伸フィルムが最も・大きな圧電性を示すことが知ら几て
いる。しかしながら、ポリフッ化ビニリデンの延伸フィ
ルムの圧電率（ｄｓｒ）もたかだか５ Ｘ １０ ’
ｃ、ｇ、ｓ、ｅ、ｓ、ｕ程度であり、実用面での制約が
大きい。
本発明者らは、前記ポリフッ化ビニリデン系樹脂の示す
圧電率よりも更に大きな圧電率を示す高分子圧電材料の
製造法を見出した。
圧電率よりも更に大きな圧電率を示す高分子圧電材料の
製造法を見出した。
延伸状態にフィルムを拘束しｆｃまま、コロナ放電をお
こないながら、フィルムの温度を４０℃〜１２０℃の温
度に昇温しで、該温度で一定時間保持した後、フィルム
の温度を常温まで冷却するこ延伸状態にフィルムを拘束
したまま、コロナ放電をおこないながら、フィルムの温
度を４０℃〜１２０℃の温度に昇温して、該温度で一定
時間保持した後、フィルムの温度を常温まで冷却して。
こないながら、フィルムの温度を４０℃〜１２０℃の温
度に昇温しで、該温度で一定時間保持した後、フィルム
の温度を常温まで冷却するこ延伸状態にフィルムを拘束
したまま、コロナ放電をおこないながら、フィルムの温
度を４０℃〜１２０℃の温度に昇温して、該温度で一定
時間保持した後、フィルムの温度を常温まで冷却して。
コロナ放電を中止し、その後拘束したフィルムを４０℃
〜フィルムの融点より１０℃低い温度で熱処理すること
を特徴とする高分子圧電材料の製造 ・延伸状態に
フィルムを拘束したまま、コロナ放電をおこないながら
、フィルムの温度を４０℃〜１２０℃の温度に昇温して
、該温度で一定時間保持した後、フィルムの温度を常温
まで冷却して。
〜フィルムの融点より１０℃低い温度で熱処理すること
を特徴とする高分子圧電材料の製造 ・延伸状態に
フィルムを拘束したまま、コロナ放電をおこないながら
、フィルムの温度を４０℃〜１２０℃の温度に昇温して
、該温度で一定時間保持した後、フィルムの温度を常温
まで冷却して。
コロナ放電を中止し、その後拘束したフィルムの両面に
電極をとりつけ、直流電界を印加することを特徴とする
高分子圧電゛材料の製造法を提供するものである。
電極をとりつけ、直流電界を印加することを特徴とする
高分子圧電゛材料の製造法を提供するものである。
以下に本発明の詳細な説明する。
本発”明に用いられる余りフッ化ビニリデン系樹脂とは
ビニリデンフルオライド（ＶＤＦと略す）のホモポリマ
ー及びＶＤＦを主成分とし、こ几と共電合μ■能な他の
一種類以上の七ツマ−との共重合体であり、こルらのポ
リマーは乳化重合、懸濁重合、俗゛液重合等のいづｎの
方法で重合されてもよい。
ビニリデンフルオライド（ＶＤＦと略す）のホモポリマ
ー及びＶＤＦを主成分とし、こ几と共電合μ■能な他の
一種類以上の七ツマ−との共重合体であり、こルらのポ
リマーは乳化重合、懸濁重合、俗゛液重合等のいづｎの
方法で重合されてもよい。
フッ化ビニリデンと共重合可能な七ツマ−としてはフッ
化ビニル、四フツイヒエテレン、三フッ化エチレン、三
うッ化塩化エチレン、六フッ化プロピレン、゛パーフロ
ロビニルエーテル、へ’ｔｆ７１’オロプテン等が挙げ
ら几るが、こルらに限定さｎるものではない。
化ビニル、四フツイヒエテレン、三フッ化エチレン、三
うッ化塩化エチレン、六フッ化プロピレン、゛パーフロ
ロビニルエーテル、へ’ｔｆ７１’オロプテン等が挙げ
ら几るが、こルらに限定さｎるものではない。
これらのポリフッ化ビニリデン系樹脂を溶融法。
溶解法等の方法にて適当な厚み（例えば３０〜２００μ
）に製膜し、こｎ′を通常ガラス転移点以上融点より約
２０℃低い温度で一軸方向あるいは二軸方向に延伸し、
配向β型（β型）結晶を含むフィルムを作製する。この
場合、できるだけ低い温度で延伸することが好ましいが
、製造した延伸フィルムの厚みの均一性を考慮する□と
常温（通常１５℃〜２５℃、以下常温と称す。）から８
０℃内の温度で延伸するのが特に好ましい。
）に製膜し、こｎ′を通常ガラス転移点以上融点より約
２０℃低い温度で一軸方向あるいは二軸方向に延伸し、
配向β型（β型）結晶を含むフィルムを作製する。この
場合、できるだけ低い温度で延伸することが好ましいが
、製造した延伸フィルムの厚みの均一性を考慮する□と
常温（通常１５℃〜２５℃、以下常温と称す。）から８
０℃内の温度で延伸するのが特に好ましい。
前記方法によって作成した延伸フィルムをそのままの状
態あるいは延伸倍率が変化しないように治具にとりつけ
て拘束した状態でコロナ放電処理をおこなう。
態あるいは延伸倍率が変化しないように治具にとりつけ
て拘束した状態でコロナ放電処理をおこなう。
一般にはコロナ放電処理時の温度による収縮。
及び実使用時での環境温度による収縮を防止するため両
温でアニール処理をほどこしてから、コロナ放電処理が
おこなわれるが、このような方法では本発明のような大
きな圧電率を示すフィルムを製造することは困難である
。
温でアニール処理をほどこしてから、コロナ放電処理が
おこなわれるが、このような方法では本発明のような大
きな圧電率を示すフィルムを製造することは困難である
。
すなわち本発明のように延伸フィルムの両端を拘束した
状態でコロナ放電処理をおこなうのが大きい圧電率を示
すフィルム製造の一つの要因である。なお本発明におい
ては、最後までフィルムを拘束した状態にしておく。
状態でコロナ放電処理をおこなうのが大きい圧電率を示
すフィルム製造の一つの要因である。なお本発明におい
ては、最後までフィルムを拘束した状態にしておく。
本発明においてコロナ放電時に用いる電極は平板状の電
極よりも先端の尖かった形状（例えば針状、ｍ状）電極
の方が大きな圧電率が得られるので好ましい。
極よりも先端の尖かった形状（例えば針状、ｍ状）電極
の方が大きな圧電率が得られるので好ましい。
コロナ放電方法としては通常図１に示すようにフィルム
の片面はアースに接地しておいて、もう一方の面側をフ
ィルム面より適当な距離へだてで電極を設置し、電圧を
印加する方法、又は図２に示すようにフィルム面の両側
に適当な距離へだてて電極を設置し９両電極に正の電圧
と負の電圧を印加する等の方法があるが１図１，２のい
ずれの方法でもよく、特に制限はない。
の片面はアースに接地しておいて、もう一方の面側をフ
ィルム面より適当な距離へだてで電極を設置し、電圧を
印加する方法、又は図２に示すようにフィルム面の両側
に適当な距離へだてて電極を設置し９両電極に正の電圧
と負の電圧を印加する等の方法があるが１図１，２のい
ずれの方法でもよく、特に制限はない。
なお、コロナ放電による処理効果の大きいのは電極が設
定さルているフィルム部位でおるので。
定さルているフィルム部位でおるので。
フィルム全体の処理効果を均一にするには電極を一定速
度で移動させてコロナ放電処理をおこなうか、又はフィ
ルムを拘束した治、具とともにフィルムを電極の間を一
定速度で移動させルばよい。
度で移動させてコロナ放電処理をおこなうか、又はフィ
ルムを拘束した治、具とともにフィルムを電極の間を一
定速度で移動させルばよい。
又、延伸倍率により配向１型（β型）結晶の量が変化し
、圧電率にも影響を及ぼすので延伸倍率は大きい方がよ
い１本発明の延伸倍率としては５倍以上が好ましく、上
限については特に制限はない。
、圧電率にも影響を及ぼすので延伸倍率は大きい方がよ
い１本発明の延伸倍率としては５倍以上が好ましく、上
限については特に制限はない。
なお、溶融法とは押出機ＫＴ型ダイス、ある−はインフ
レーションダイスを付けてフィルムを成形する。又は加
熱プレスを用いてフィルム°を成形することである。溶
解法とは該樹脂の良溶媒（例えばジメチルホルムアミド
、ジメデルスルホキレドなどの極性溶媒）Ｋ溶解した後
、キャスティングにより製膜する。
レーションダイスを付けてフィルムを成形する。又は加
熱プレスを用いてフィルム°を成形することである。溶
解法とは該樹脂の良溶媒（例えばジメチルホルムアミド
、ジメデルスルホキレドなどの極性溶媒）Ｋ溶解した後
、キャスティングにより製膜する。
本発明における圧電フィルムの製造法の一つとして、前
記の倍率が拘束された延伸フィルムをコロナ放電処理を
おこないながら、フィルムの温度ｔ−４０℃〜１２０℃
の温度に昇温して、該温度で一定時間（通常５分以上で
、特に制限はない。）保持し、その後常温まで冷却する
ことである。
記の倍率が拘束された延伸フィルムをコロナ放電処理を
おこないながら、フィルムの温度ｔ−４０℃〜１２０℃
の温度に昇温して、該温度で一定時間（通常５分以上で
、特に制限はない。）保持し、その後常温まで冷却する
ことである。
前記において４０℃未満および１２０℃をこえた温度で
は大きな圧電率が得らｎ ７Ｊ：い。
は大きな圧電率が得らｎ ７Ｊ：い。
又本発明における更に改良された圧電フィルムの製造法
は、前記の方法で製造されたフィルムを更に熱処理又は
直流電界を印加することである。
は、前記の方法で製造されたフィルムを更に熱処理又は
直流電界を印加することである。
すなわち熱処理する方法は、常温まで冷却し、コロナ放
電処理の終了し几フィルムを拘束した状態で再度４０℃
〜フィルムの融点より１０℃低い温度で、すなわち４０
℃以上で、かつフィルムの融点より１０℃低い温度の範
囲内にて、一定時間熱処理する方法であり、熱処理時間
は１５分間以上が好ましいが、特に制限さ几ない。一方
直流電界を印加する方法は、常温まで冷却し、コロナ放
電処理の終了したフィルムを拘束した状態でフィルムの
表裏両面に金属膜を密層させて電極を形成し。
電処理の終了し几フィルムを拘束した状態で再度４０℃
〜フィルムの融点より１０℃低い温度で、すなわち４０
℃以上で、かつフィルムの融点より１０℃低い温度の範
囲内にて、一定時間熱処理する方法であり、熱処理時間
は１５分間以上が好ましいが、特に制限さ几ない。一方
直流電界を印加する方法は、常温まで冷却し、コロナ放
電処理の終了したフィルムを拘束した状態でフィルムの
表裏両面に金属膜を密層させて電極を形成し。
通常４０℃〜フィルムの融点未満の温度で直流電界を一
定時間印加する方法である。なお直流電界を印加する方
法は、フィルムを所定の温度に加熱し、一定の温度にな
ってから印加する方法、又印加しながら一定の温度まで
フィルムを昇温する方法等があり、特に制御ＩｌＮはな
い。
定時間印加する方法である。なお直流電界を印加する方
法は、フィルムを所定の温度に加熱し、一定の温度にな
ってから印加する方法、又印加しながら一定の温度まで
フィルムを昇温する方法等があり、特に制御ＩｌＮはな
い。
フィルム両面の電極形成は真空蒸着、化学メッキ、金属
塗膜、導電ペースト、＊属箔、金属板の接着などの種々
の方法によってなさｎる。
塗膜、導電ペースト、＊属箔、金属板の接着などの種々
の方法によってなさｎる。
印加する直流電圧は通常１００〜１５００ＫＶ／Ｃ１１
であり、印加時間には特に制限はない。
であり、印加時間には特に制限はない。
本発明の効果としては、従来よりも大きな圧電率をもっ
た高分子圧電フィルムが得られることである。
た高分子圧電フィルムが得られることである。
以下本発明の実施例について説明する。
実施例１〜３
Ｔ型ダイス付き４０％押出機を用いてポリフッ化ビニリ
デン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＄１１００）を２５
０℃で厚さｉ３０μｍのフィルムに押出成形した後、２
５℃にて延伸倍率５５倍に一軸延伸し。
デン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＄１１００）を２５
０℃で厚さｉ３０μｍのフィルムに押出成形した後、２
５℃にて延伸倍率５５倍に一軸延伸し。
この倍率に保つように治具に延伸フィルムを拘束した。
２５℃に於て図２に示すように拘束された延伸フィルム
の上部電極に＋６ＬＶ、下部電極に−６Ｌｖを印加して
コロナ放電処理をおこないながら、フィルムの温度を５
０℃（実施例１）、８０℃（実施例２）、１２０℃（実
施例３）に昇温し。
の上部電極に＋６ＬＶ、下部電極に−６Ｌｖを印加して
コロナ放電処理をおこないながら、フィルムの温度を５
０℃（実施例１）、８０℃（実施例２）、１２０℃（実
施例３）に昇温し。
該温度で１０分間保った後、フィルムの温度を２５℃ま
で冷却し、フィルムを治具から取り外した。このようＫ
して製造した圧電フィルムの表裏両面に金を真空蒸着さ
せて、電極を形成させ。
で冷却し、フィルムを治具から取り外した。このようＫ
して製造した圧電フィルムの表裏両面に金を真空蒸着さ
せて、電極を形成させ。
２５℃でレオログラフ（東洋精機■製）ｔ−用いて。
フィルムの圧電率（ｄｓｒ ）を測定した。測定結果を
表ＩＫ示す。
表ＩＫ示す。
実施例４〜６
Ｔ型ダイス付き４０％押出機を用いてポリフッ化ビニリ
デン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＄１１００）を２５
０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形した後、８０
℃で延伸倍率５５倍に一軸延伸し。
デン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＄１１００）を２５
０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形した後、８０
℃で延伸倍率５５倍に一軸延伸し。
この倍率に保つように治具に延伸フィルムを拘束してフ
ィルムの温度ｔ−２５℃まで冷却した。２５ＣＫ於て図
２に示すように拘束された延伸フィルムの上部電極に＋
４１Ｊ、下部電極に一６■を印加して、コロナ放電処理
をおこないながら、フィルムの温度を５０℃（実施例４
）、８０℃（実施例５）、１２０℃（実施例６）に昇温
し、該温度で１０分間保った後、２５℃まで冷却し、フ
ィルムを治具から外した。このようにして製造し几圧電
フィルムの表裏両面に金を真空蒸着させて、電極を形成
させ、２５℃でレオログラフ（東洋精機■製）を用いて
、フィルムの圧電率Ｃｄｓ’）を測定し ゝた。
ィルムの温度ｔ−２５℃まで冷却した。２５ＣＫ於て図
２に示すように拘束された延伸フィルムの上部電極に＋
４１Ｊ、下部電極に一６■を印加して、コロナ放電処理
をおこないながら、フィルムの温度を５０℃（実施例４
）、８０℃（実施例５）、１２０℃（実施例６）に昇温
し、該温度で１０分間保った後、２５℃まで冷却し、フ
ィルムを治具から外した。このようにして製造し几圧電
フィルムの表裏両面に金を真空蒸着させて、電極を形成
させ、２５℃でレオログラフ（東洋精機■製）を用いて
、フィルムの圧電率Ｃｄｓ’）を測定し ゝた。
測定結果ｔ−表１に示す。
比較例１〜３
実施例１と同様な方法で作製した延伸倍率五５倍のポリ
フッ化ビニリデンのフィルムを治具に拘束したまま、フ
ィルム温度を５０℃（比較例１）。
フッ化ビニリデンのフィルムを治具に拘束したまま、フ
ィルム温度を５０℃（比較例１）。
８０℃（比較例２）、１２０℃（比較例５）Ｋ昇温し、
一定温度になった時点で図２に示すように上部電極に＋
６■、下部電極に−６０を印加して。
一定温度になった時点で図２に示すように上部電極に＋
６■、下部電極に−６０を印加して。
コロナ放電処理を１０分間おこない、その後、コロナ放
電をかけたまま２５℃まで冷却し、フィルムを治具から
外した。このようにして製造した圧電フィルムを実施例
１と同様な方法で圧電率（ｄｓθを測定した。測定結果
を表ＩＫ示す。
電をかけたまま２５℃まで冷却し、フィルムを治具から
外した。このようにして製造した圧電フィルムを実施例
１と同様な方法で圧電率（ｄｓθを測定した。測定結果
を表ＩＫ示す。
比較例４〜６
実施例４と同様な方法で作製した延伸倍率５５倍のポリ
フッ化ビニリデンのフィルムを治具に拘束したまま、フ
ィルム温度ｔ−５０℃（比較例４）。
フッ化ビニリデンのフィルムを治具に拘束したまま、フ
ィルム温度ｔ−５０℃（比較例４）。
８０℃（比較例５）、１２０℃（比較例６）に昇温し、
一定温度になった時点で、実施例４と同様な方法で圧電
フィルムを製造し、圧電率（ｄｓｔ）を測定した。測定
結果を表１に示す。
一定温度になった時点で、実施例４と同様な方法で圧電
フィルムを製造し、圧電率（ｄｓｔ）を測定した。測定
結果を表１に示す。
比較例７
実施例Ｉにおいてコロナ放電処理をおこないながらフィ
ルムの昇温する温度を１５０℃にした以外は実施例１と
同”様な方法で圧電フィルムを製造し、圧電率（ｄｓｌ
）を測定した。測定結果を費１に示す。
ルムの昇温する温度を１５０℃にした以外は実施例１と
同”様な方法で圧電フィルムを製造し、圧電率（ｄｓｌ
）を測定した。測定結果を費１に示す。
比較例８〜１０
Ｔ型ダイス付き４０％押出機を用いてポリフッ化ビニリ
デン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＄１１００）を２５
０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形した後、２５
℃にて延伸倍率５５倍に一軸延伸し。
デン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＄１１００）を２５
０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形した後、２５
℃にて延伸倍率５５倍に一軸延伸し。
フィルムの温度を１３０℃にして、５０分間アニール処
理した後、２５℃まで冷却して、延伸治具からフィルム
金とり外し、２５℃にて１図２に示すようＫ（この場合
は、フィルムの両端を拘束しない）フィルムの上部電極
に＋６■、下部電極に一６■を印加してコロナ放電処理
をおこないながら、フィルムの温度を５０℃（比較例８
）、８０℃（比較例？）、１２０℃（比較例１０）Ｋ昇
温し、該温度で１０分間保った後、フィルムの温度を２
５℃まで冷却した。このようにして製造した圧電フィル
ムの圧電率（ｄ ｓｘ ）を実施例１と同様な方法で測
定した。測定結果を表１に示す。
理した後、２５℃まで冷却して、延伸治具からフィルム
金とり外し、２５℃にて１図２に示すようＫ（この場合
は、フィルムの両端を拘束しない）フィルムの上部電極
に＋６■、下部電極に一６■を印加してコロナ放電処理
をおこないながら、フィルムの温度を５０℃（比較例８
）、８０℃（比較例？）、１２０℃（比較例１０）Ｋ昇
温し、該温度で１０分間保った後、フィルムの温度を２
５℃まで冷却した。このようにして製造した圧電フィル
ムの圧電率（ｄ ｓｘ ）を実施例１と同様な方法で測
定した。測定結果を表１に示す。
比較例１１
実施例１におｉてコロナ放電処理をおこないながらフィ
ルムの昇温する温度を３０℃にした以外は実施例１と同
様な方法で圧電フィルムを製造し。
ルムの昇温する温度を３０℃にした以外は実施例１と同
様な方法で圧電フィルムを製造し。
圧電率（ｄｓｔ）を測定した。測定結果を表１に示す。
比較例１２
Ｔ型ダイス付き４０％押出機を用いて、ポリフッ化ビニ
リデン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＃＃１１００）を
２５０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形する。フ
ィルムを５０℃Ｋｍ節した恒温槽で図２に示すように上
部電極に＋６■、下部電極に一６■を印加してコロナ放
電処理をおこなｉながら。
リデン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＃＃１１００）を
２５０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形する。フ
ィルムを５０℃Ｋｍ節した恒温槽で図２に示すように上
部電極に＋６■、下部電極に一６■を印加してコロナ放
電処理をおこなｉながら。
フィルムｔＡ５倍に延伸する。（フィルム延伸速［１１
１１１１／１ｍ１ｋ ）延伸後、コロナ放電のまま直ち
に恒温槽の温度を２５℃まで冷却して、圧電フィルムを
製造する。該フィルムの圧電率（ｄｓｌ）を実施例１と
同様な方法で測定した。
１１１１／１ｍ１ｋ ）延伸後、コロナ放電のまま直ち
に恒温槽の温度を２５℃まで冷却して、圧電フィルムを
製造する。該フィルムの圧電率（ｄｓｌ）を実施例１と
同様な方法で測定した。
測定結果を表１に示す。
公人王侯り
表 １
実施例７〜９
Ｔ型ダイス付き４０％押出Ｉｌｉを用いてポリフッ化ビ
ニリデン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＃１１０Ｇ）を
２５０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形した後、
該フィルムを２５℃にて延伸倍率４５倍に一輪延伸し、
この倍率に保つように治具に拘束した。２５℃におｉて
図２に示すように、拘束された延伸フィルムの上部電極
に＋６に、Ｖ、下部電極に一６■を印加してコロナ放電
をおこないながら。
ニリデン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＃１１０Ｇ）を
２５０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形した後、
該フィルムを２５℃にて延伸倍率４５倍に一輪延伸し、
この倍率に保つように治具に拘束した。２５℃におｉて
図２に示すように、拘束された延伸フィルムの上部電極
に＋６に、Ｖ、下部電極に一６■を印加してコロナ放電
をおこないながら。
フィルムの温度を５０℃（実施例７）、８０℃（実施例
８）、１２０℃（！ｉｔ！施例９）に昇温して。
８）、１２０℃（！ｉｔ！施例９）に昇温して。
該温度で１０分間保った後、フィルムの温度を２５℃ま
で冷却した。その後、該フィルムを１５０℃で３０分間
熱処理をおこなった後、フィルムの温［ｔ−２５℃まで
冷却し、フィルムを治具から外した。該フィルムの圧電
率（ｄａｔ）を実施例１と同様な方法で測定した。測定
結果を表２に示す。
で冷却した。その後、該フィルムを１５０℃で３０分間
熱処理をおこなった後、フィルムの温［ｔ−２５℃まで
冷却し、フィルムを治具から外した。該フィルムの圧電
率（ｄａｔ）を実施例１と同様な方法で測定した。測定
結果を表２に示す。
実施例１０〜１１
実施例７において熱処理温度を１５０℃から８０℃（実
施例ＬＯ）、 １．００℃（実施例１１）に変更した
以外は実施例７と同様な方法で圧電フィルムを製造した
。該フィルムの圧電率（ｄａｔ）を実施例１と同様な方
法で測定した。測定結果を表２に示す。
施例ＬＯ）、 １．００℃（実施例１１）に変更した
以外は実施例７と同様な方法で圧電フィルムを製造した
。該フィルムの圧電率（ｄａｔ）を実施例１と同様な方
法で測定した。測定結果を表２に示す。
実施例１２〜１４
実施例７〜９において、延伸時における温度を２５℃か
ら８０℃に変更した以外は実施例７〜９（実施例７→実
施例１２．実施例８→実施例１ｓ。
ら８０℃に変更した以外は実施例７〜９（実施例７→実
施例１２．実施例８→実施例１ｓ。
実施例９→実施例１４）と同様な方法で圧電フィルムを
製造し、圧電率（ｄ ｓｓ ）を測定した。測定結果を
表２に示す。
製造し、圧電率（ｄ ｓｓ ）を測定した。測定結果を
表２に示す。
比較例１ｓ
実施例７において、コロナ放電をか仁なμながら、フィ
ルムの温度を１５０℃に昇温した以外は実施例７と同様
な方法で圧電フィルムを製造し。
ルムの温度を１５０℃に昇温した以外は実施例７と同様
な方法で圧電フィルムを製造し。
圧電率（ｄｓｓ）を測定した。
測定結果を表２に示す。
比較例１４
実施例７におφて、フィルムの熱処理温度を１５０℃か
ら５０℃に変更した以外は、実施例７と同様な方法で圧
電フィルムを製造し、圧電率（ｄ １１ ）を測定した
。測定結果を表２に示す。
ら５０℃に変更した以外は、実施例７と同様な方法で圧
電フィルムを製造し、圧電率（ｄ １１ ）を測定した
。測定結果を表２に示す。
比較例１５
Ｔ型ダイス付き４０％押出機を用いてポリフッ化ビニリ
デン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＃１１００）を２５
０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形した後、２５
℃にて延伸倍率５５倍に一軸延伸し。
デン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー＃１１００）を２５
０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形した後、２５
℃にて延伸倍率５５倍に一軸延伸し。
この倍率に保つように治具に延伸フィルムを拘束した０
次に該フィルムを昇温しで１３０℃で５０分間熱処理を
おこなった後、２５℃まで冷却する。
次に該フィルムを昇温しで１３０℃で５０分間熱処理を
おこなった後、２５℃まで冷却する。
２５℃にて図２に示すようにフィルムの上部電極に６Ｋ
Ｖ、下部電極に−６ＥＭを印加して、コロナ放電をおこ
ないながら、該フィルムを昇温して１００℃で１０分間
保った後、２５℃まで冷却して、フィルムを治具から外
した。
Ｖ、下部電極に−６ＥＭを印加して、コロナ放電をおこ
ないながら、該フィルムを昇温して１００℃で１０分間
保った後、２５℃まで冷却して、フィルムを治具から外
した。
表 ２
実施例１５〜１７
Ｔ型ダイス付き４０％押出ａＩを用いてポリフッ化ビニ
リデン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー１１１００）を２
５０℃で厚さ８０μｍのフ′イルムに押出成形した後、
該フィルムを２５℃にて延伸倍率五５倍 に−軸延伸
し、この倍率に保つように治具に拘束した。２５℃にお
いて図２に示すように、拘束された延伸フィルムの上部
電極に＋６にＮ、下部電極に−６にＶを印加して、コロ
ナ放Ｗ：をおこなｉながら、フィルムの温度を５０℃（
実施例１５）。
リデン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー１１１００）を２
５０℃で厚さ８０μｍのフ′イルムに押出成形した後、
該フィルムを２５℃にて延伸倍率五５倍 に−軸延伸
し、この倍率に保つように治具に拘束した。２５℃にお
いて図２に示すように、拘束された延伸フィルムの上部
電極に＋６にＮ、下部電極に−６にＶを印加して、コロ
ナ放Ｗ：をおこなｉながら、フィルムの温度を５０℃（
実施例１５）。
８０℃（１ｉ！施例１６）、１２０℃（実施例１７）Ｋ
昇温して、該温度で１０分間保った後、フィルムの温度
を２５℃まで冷却した。その後、該フィルムの表裏両面
に金を真空蒸着して、電極を形成し、１０００■／１の
直流電界を印加して、その状態においてフィルムの温度
を１００℃に昇温して、該温度で３０分間放置後、２５
℃まで冷却して。
昇温して、該温度で１０分間保った後、フィルムの温度
を２５℃まで冷却した。その後、該フィルムの表裏両面
に金を真空蒸着して、電極を形成し、１０００■／１の
直流電界を印加して、その状態においてフィルムの温度
を１００℃に昇温して、該温度で３０分間放置後、２５
℃まで冷却して。
フィルムを治具から外した。該フィルムの圧電率（ｄ
ｓりを実施例１と同様な方法で測定した。測定結果１表
５ＶＣ示す。
ｓりを実施例１と同様な方法で測定した。測定結果１表
５ＶＣ示す。
実施例１８
実施例１５において、１０００にＶ ／ （ＩＩの直流
電界を印加して、その状態においてフィルムの温度を１
００℃に昇温して、該温度で５０分間放置後。
電界を印加して、その状態においてフィルムの温度を１
００℃に昇温して、該温度で５０分間放置後。
２５℃まで冷却することをフィルムの温度を１００℃に
昇温してから１０００に、ｙ ／ ａｍの直流電界ｔ５
０分間印加した後、電圧印加のまま２５℃まで冷却する
ことに変更した以外は、実施例１５と同様な方法で圧電
フィルムを製造し、圧電率を測定した。
昇温してから１０００に、ｙ ／ ａｍの直流電界ｔ５
０分間印加した後、電圧印加のまま２５℃まで冷却する
ことに変更した以外は、実施例１５と同様な方法で圧電
フィルムを製造し、圧電率を測定した。
測定結果を我３に示す。
実施例１９〜２１
実施例１５〜１７において、延伸時における温度を２５
℃から８０℃に変更し゛た以外は実施例１５〜１７（実
施例１５→実施例１９．実施例１６→実施例２０．実施
例１７→実施例２１）と同様な方法で圧電フィルムを製
造し、圧電率（ｄｓ＋）を測定した。測定結果を表５に
示す。
℃から８０℃に変更し゛た以外は実施例１５〜１７（実
施例１５→実施例１９．実施例１６→実施例２０．実施
例１７→実施例２１）と同様な方法で圧電フィルムを製
造し、圧電率（ｄｓ＋）を測定した。測定結果を表５に
示す。
比較例１６
Ｔ型ダイス付き４０％押出機を用いてポリフッ化ビニリ
デン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー１１１００）を２５
０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形した後、２５
℃にて延伸倍率五５倍に一軸延伸し。
デン（呉羽化学■製ＫＦ−ポリマー１１１００）を２５
０℃で厚さ８０μｍのフィルムに押出成形した後、２５
℃にて延伸倍率五５倍に一軸延伸し。
この倍率を保つように治具に延伸フィルムを拘束した。
該フィルムの真裏両面に金を蒸着して、電極を形成し、
２５℃で１００（ＩＶ／ｃｓ＋の直流電界を印加して、
該フィルムを１００℃に昇温して、該温度で５０分間放
置後、２５℃まで冷却して、フイルムを治具から外して
、圧電率を測定した。
２５℃で１００（ＩＶ／ｃｓ＋の直流電界を印加して、
該フィルムを１００℃に昇温して、該温度で５０分間放
置後、２５℃まで冷却して、フイルムを治具から外して
、圧電率を測定した。
図１．２は本発明の一実施態様の概略図である。
１・・・フィルム ２・・・フィルム固定治具３．４
・・・電極 ５・・・針状電極６・・・恒温槽
７・・・電源 ８・・・アース 特許出願人 日本合成ゴム株式会社 図１ 図２ ７゜
・・・電極 ５・・・針状電極６・・・恒温槽
７・・・電源 ８・・・アース 特許出願人 日本合成ゴム株式会社 図１ 図２ ７゜
Claims (2)
- （１）ポリフッ化ビニリデン樹脂フィルムを延伸し延伸
状態にフィルムを拘束したまま、コロナ放電をおこなｉ
ながら、フィルムの温度を４０℃〜１２０℃の温度に昇
温して、該温度で一定時間保持した後、フィルムの温度
を常温まで冷却することを特徴とする高分子圧電材料の
製造法。 だ９ - （２） ”７フ化ビニリデン系樹脂フイルムを延伸し延
伸状態にフィルムを拘束したまま、コロナ放電をおこな
いながら、フィルムの温度を４０℃〜１２０℃の温度に
昇温して、該温度で一定時間保持した後、フィルムの温
度を常温まで冷却して。 コロナ放電を中止し、その後拘束したフィルムを４０℃
〜フィルムの融点より１０℃低い温度で熱処理すること
を特徴とする高分子圧電材料の製造延伸状態にフィルム
を拘束Ｌ７たまま、コロナ放電をおこないながら、フィ
ルムの温度を４０℃〜１２０℃の温度に昇温して、該温
度で一定時間保持した後、フィルムの温度を常温まで冷
却して。 コロナ放電を中止し、その後拘束したフィルムの両面に
電極をとりつけ、直流電界を印加することを特徴とする
高分子圧電材料の製造法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56201422A JPS58102581A (ja) | 1981-12-14 | 1981-12-14 | 改良された高分子圧電材料の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56201422A JPS58102581A (ja) | 1981-12-14 | 1981-12-14 | 改良された高分子圧電材料の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58102581A true JPS58102581A (ja) | 1983-06-18 |
Family
ID=16440810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56201422A Pending JPS58102581A (ja) | 1981-12-14 | 1981-12-14 | 改良された高分子圧電材料の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58102581A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62154900A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-09 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 超音波センサ |
| EP0699137A1 (en) * | 1994-03-21 | 1996-03-06 | Spectra, Inc. | Simplified ink jet head |
| JP2015015316A (ja) * | 2013-07-03 | 2015-01-22 | 株式会社リコー | 分極処理装置、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置 |
| JP2017079734A (ja) * | 2015-10-29 | 2017-05-18 | 株式会社倉元製作所 | 防虫用超音波発生装置 |
-
1981
- 1981-12-14 JP JP56201422A patent/JPS58102581A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62154900A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-09 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 超音波センサ |
| EP0699137A1 (en) * | 1994-03-21 | 1996-03-06 | Spectra, Inc. | Simplified ink jet head |
| EP0699137A4 (en) * | 1994-03-21 | 1996-12-27 | Spectra Inc | SIMPLIFIED INK JET PRINT HEAD |
| US6682181B1 (en) | 1994-03-21 | 2004-01-27 | Spectra, Inc. | Ink jet head containing a carbon member |
| JP2015015316A (ja) * | 2013-07-03 | 2015-01-22 | 株式会社リコー | 分極処理装置、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置 |
| JP2017079734A (ja) * | 2015-10-29 | 2017-05-18 | 株式会社倉元製作所 | 防虫用超音波発生装置 |
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