JPH1198809A - リニアモータ - Google Patents
リニアモータInfo
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- JPH1198809A JPH1198809A JP26824997A JP26824997A JPH1198809A JP H1198809 A JPH1198809 A JP H1198809A JP 26824997 A JP26824997 A JP 26824997A JP 26824997 A JP26824997 A JP 26824997A JP H1198809 A JPH1198809 A JP H1198809A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡易かつ低コストでコイルの過熱を検知でき
るようにし、さらには、コイルが過熱しても、それによ
る悪影響を防止するための処置が自動的に行われるよう
にする。 【解決手段】 磁石とコイル３を備え、指令電圧ｅ０に
応じて電流アンプ２を介してコイル３に電流ｉ１を供給
することにより磁石とコイル３とを相対的に移動させる
リニアモータにおいて、コイル３に印加される電圧ｅ１
と指令電圧ｅ０とを比較することにより、コイル３の過
熱を検出する過熱検出手段１３を備える。また、過熱検
出手段１３の出力に基づいてリニアモータの駆動を制御
する制御手段１を有する。
るようにし、さらには、コイルが過熱しても、それによ
る悪影響を防止するための処置が自動的に行われるよう
にする。 【解決手段】 磁石とコイル３を備え、指令電圧ｅ０に
応じて電流アンプ２を介してコイル３に電流ｉ１を供給
することにより磁石とコイル３とを相対的に移動させる
リニアモータにおいて、コイル３に印加される電圧ｅ１
と指令電圧ｅ０とを比較することにより、コイル３の過
熱を検出する過熱検出手段１３を備える。また、過熱検
出手段１３の出力に基づいてリニアモータの駆動を制御
する制御手段１を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２つの部材を相対
的に移動させるためのリニアモータに関し、特にステー
ジ駆動などに使用されるリニアモータに適用して好適な
ものである。
的に移動させるためのリニアモータに関し、特にステー
ジ駆動などに使用されるリニアモータに適用して好適な
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このようなリニアモータは、たと
えば半導体素子や液晶表示素子等の製造に使用される露
光装置では、マスク（レチクル等）が載置されるレチク
ルステージや感光性の基板（ウエハ、ガラスプレート
等）が載置されるウエハステージの駆動装置として使用
されることがある。そして、一般に、露光装置では、サ
ブミクロン単位の制御を行うため、熱による構造材料の
変形や計測装置への影響などが無視できないことから、
主な発熱要因であるリニアモータの発熱量を抑制するこ
とが必須である。その方法としては、特開平８−１６７
５５４号公報に記載のような方法が知られている。
えば半導体素子や液晶表示素子等の製造に使用される露
光装置では、マスク（レチクル等）が載置されるレチク
ルステージや感光性の基板（ウエハ、ガラスプレート
等）が載置されるウエハステージの駆動装置として使用
されることがある。そして、一般に、露光装置では、サ
ブミクロン単位の制御を行うため、熱による構造材料の
変形や計測装置への影響などが無視できないことから、
主な発熱要因であるリニアモータの発熱量を抑制するこ
とが必須である。その方法としては、特開平８−１６７
５５４号公報に記載のような方法が知られている。
【０００３】図７はこの方法に従った、従来のリニアモ
ータの構成図である。図８はこのリニアモータの固定子
および可動子部分の断面図である。これらの図に示すよ
うに、このリニアモータは、固定子５と可動子４を有
し、固定子５側には、コイル３を覆う、外形が矩形の筒
状容器１１が設けられている。そして、冷却機構用の筒
状容器１１内の流体（冷媒）流路１２を温調用の流体
（冷媒）８が流れ、コイル３からの発熱を流体が吸収す
るようになっている。つまり、リニアモータの発熱によ
る温度上昇を防ぐために、発熱量の多いコイル３の周囲
を筒状容器１１で覆い、筒状容器１１中に、温度調節機
（以下、「温調機」という）７により温度制御された冷
媒８を流すという冷却機構により、コイル３の発熱によ
る温度の上昇を防いでいる。この際、平均的な発熱量を
基準として予め温調機の冷媒流量や温度を設定する場合
や、特開平７−３０２１２４号公報や特開平７−３０２
７２４号公報に記載のように、駆動条件や冷媒またはコ
イルの温度検出手段からの出力に基づいて冷媒流量や温
度設定を変化させたりする場合がある。
ータの構成図である。図８はこのリニアモータの固定子
および可動子部分の断面図である。これらの図に示すよ
うに、このリニアモータは、固定子５と可動子４を有
し、固定子５側には、コイル３を覆う、外形が矩形の筒
状容器１１が設けられている。そして、冷却機構用の筒
状容器１１内の流体（冷媒）流路１２を温調用の流体
（冷媒）８が流れ、コイル３からの発熱を流体が吸収す
るようになっている。つまり、リニアモータの発熱によ
る温度上昇を防ぐために、発熱量の多いコイル３の周囲
を筒状容器１１で覆い、筒状容器１１中に、温度調節機
（以下、「温調機」という）７により温度制御された冷
媒８を流すという冷却機構により、コイル３の発熱によ
る温度の上昇を防いでいる。この際、平均的な発熱量を
基準として予め温調機の冷媒流量や温度を設定する場合
や、特開平７−３０２１２４号公報や特開平７−３０２
７２４号公報に記載のように、駆動条件や冷媒またはコ
イルの温度検出手段からの出力に基づいて冷媒流量や温
度設定を変化させたりする場合がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来技術におい
て、コイル３の冷却機構が正常に機能しているときに
は、コイル３から発生する熱が筒状容器１１の流路１２
を流れる温調用流体８により除去されるため、コイル３
の過熱は事前に防ぐことができる。しかしながら、温調
機７の不具合などによりコイル３の冷却機構が正常に機
能しなくなると、コイル３が過熱したり、リニアモータ
自体に損傷を与えるおそれがある。また、特に、露光装
置のように、サブミクロン単位の制御を行う装置におい
ては、コイル３の過熱は、それによって計測装置や構造
材料に致命的な悪影響を与えるため、避けなければなら
ない。
て、コイル３の冷却機構が正常に機能しているときに
は、コイル３から発生する熱が筒状容器１１の流路１２
を流れる温調用流体８により除去されるため、コイル３
の過熱は事前に防ぐことができる。しかしながら、温調
機７の不具合などによりコイル３の冷却機構が正常に機
能しなくなると、コイル３が過熱したり、リニアモータ
自体に損傷を与えるおそれがある。また、特に、露光装
置のように、サブミクロン単位の制御を行う装置におい
ては、コイル３の過熱は、それによって計測装置や構造
材料に致命的な悪影響を与えるため、避けなければなら
ない。
【０００５】これに対処するため、コイル３の近辺に温
度センサを設け、コイル３の過熱を検出するなどして、
上述の冷却機構が正常に機能しているかどうかを監視す
ることが考えられるが、それによれば、リニアモータの
構造が複雑になり、コストもかかる。
度センサを設け、コイル３の過熱を検出するなどして、
上述の冷却機構が正常に機能しているかどうかを監視す
ることが考えられるが、それによれば、リニアモータの
構造が複雑になり、コストもかかる。
【０００６】本発明の目的は、このような従来技術の課
題を解決することにある。つまり、本発明の第１の目的
は、リニアモータにおいて、簡易かつ低コストでコイル
の過熱を検知できるようにすることにある。本発明の第
２の目的は、リニアモータにおいて、万が一コイルが過
熱しても、それによる悪影響を防止するための処置が自
動的に行われるようにすることにある。
題を解決することにある。つまり、本発明の第１の目的
は、リニアモータにおいて、簡易かつ低コストでコイル
の過熱を検知できるようにすることにある。本発明の第
２の目的は、リニアモータにおいて、万が一コイルが過
熱しても、それによる悪影響を防止するための処置が自
動的に行われるようにすることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め本発明では、磁石とコイルを備え、指令電圧に応じて
電流アンプを介して前記コイルに電流を供給することに
より前記磁石とコイルとを相対的に移動させるリニアモ
ータにおいて、前記コイルに印加される電圧と前記指令
電圧とを比較することにより、前記コイルの過熱を検出
する過熱検出手段を具備することを特徴とする。
め本発明では、磁石とコイルを備え、指令電圧に応じて
電流アンプを介して前記コイルに電流を供給することに
より前記磁石とコイルとを相対的に移動させるリニアモ
ータにおいて、前記コイルに印加される電圧と前記指令
電圧とを比較することにより、前記コイルの過熱を検出
する過熱検出手段を具備することを特徴とする。
【０００８】この構成において、コイルが過熱していな
い正常な場合は、コイルには指令電圧に応じた電流が供
給され、指令電圧に応じた電圧がコイルに印加される
が、コイルが過熱すると、コイルの抵抗が増加するた
め、コイルに印加される電圧は、正常な場合において指
令電圧に応じてコイルに印加される電圧よりも上昇す
る。この電圧上昇が、コイルの過熱を示すものとして、
指令電圧とコイルに印加される電圧とを比較することに
より、検出される。
い正常な場合は、コイルには指令電圧に応じた電流が供
給され、指令電圧に応じた電圧がコイルに印加される
が、コイルが過熱すると、コイルの抵抗が増加するた
め、コイルに印加される電圧は、正常な場合において指
令電圧に応じてコイルに印加される電圧よりも上昇す
る。この電圧上昇が、コイルの過熱を示すものとして、
指令電圧とコイルに印加される電圧とを比較することに
より、検出される。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の好ましい実施形態
に係るリニアモータの特徴部分を示すブロック図であ
る。この場合、リニアモータは、相互に相対移動する図
示しない永久磁石およびコイル３と、リニアモータの駆
動を制御する制御装置１と、制御装置１の指令電圧ｅ０
をコイル３に供給される電流ｉ１に変換する電流アンプ
２と、コイル３に印加される電圧ｅ１と制御装置からの
指令電圧ｅ０とを比較して過熱検出信号を出力する比較
装置（過熱検出手段）１３とを有する。
に係るリニアモータの特徴部分を示すブロック図であ
る。この場合、リニアモータは、相互に相対移動する図
示しない永久磁石およびコイル３と、リニアモータの駆
動を制御する制御装置１と、制御装置１の指令電圧ｅ０
をコイル３に供給される電流ｉ１に変換する電流アンプ
２と、コイル３に印加される電圧ｅ１と制御装置からの
指令電圧ｅ０とを比較して過熱検出信号を出力する比較
装置（過熱検出手段）１３とを有する。
【００１０】一般に、リニアモータのコイル温度が上昇
したとき、コイルの抵抗値は上昇する。たとえば、コイ
ル３が銅線で構成されている場合、銅線の温度が２０度
上昇すると、８［％］程度の抵抗値の上昇を生じる。本
実施形態では、制御装置１からの指令電圧ｅ０に比例し
た電流ｉ１を電流アンプ２よりコイル３へ供給してお
り、そのため、コイル３の抵抗値が一定値Ｒ０の場合、
コイル３への印加電圧ｅ１も指令電圧ｅ０に比例した値
ｅ１０＝ｅ０×Ｋ０になる。
したとき、コイルの抵抗値は上昇する。たとえば、コイ
ル３が銅線で構成されている場合、銅線の温度が２０度
上昇すると、８［％］程度の抵抗値の上昇を生じる。本
実施形態では、制御装置１からの指令電圧ｅ０に比例し
た電流ｉ１を電流アンプ２よりコイル３へ供給してお
り、そのため、コイル３の抵抗値が一定値Ｒ０の場合、
コイル３への印加電圧ｅ１も指令電圧ｅ０に比例した値
ｅ１０＝ｅ０×Ｋ０になる。
【００１１】しかし、何らかの理由によりコイル３が過
熱すると、コイル３の抵抗値が上昇してＲ１（Ｒ１＞Ｒ
０）になり、電流アンプ２の働きにより、図２に示すよ
うに、コイル３への供給電圧ｅ１が指令電圧ｅ０のＫ０
倍より大きいＫ１倍のｅ１１＝ｅ０×Ｋ１となる。その
ため、コイル３への供給電圧ｅ１と指令電圧ｅ０を比較
装置１３を用いて比較し、コイル３の供給電圧ｅ１が指
令電圧ｅ０のＫ１倍以上か否かを判定することにより、
コイル３の過熱状態を判断することができる。比較装置
１３は、コイル３に印加される電圧の絶対値と指令電圧
の絶対値に所定値を乗じた値とを、好ましくはヒステリ
シス付きの比較演算回路により比較して過熱検出信号を
出力する。制御装置１は、比較装置１３の出力に基づい
て、リニアモータの駆動を停止する等の制御を行うこと
ができる。以下、本発明の実施形態について実施例を通
じてより具体的に説明する。
熱すると、コイル３の抵抗値が上昇してＲ１（Ｒ１＞Ｒ
０）になり、電流アンプ２の働きにより、図２に示すよ
うに、コイル３への供給電圧ｅ１が指令電圧ｅ０のＫ０
倍より大きいＫ１倍のｅ１１＝ｅ０×Ｋ１となる。その
ため、コイル３への供給電圧ｅ１と指令電圧ｅ０を比較
装置１３を用いて比較し、コイル３の供給電圧ｅ１が指
令電圧ｅ０のＫ１倍以上か否かを判定することにより、
コイル３の過熱状態を判断することができる。比較装置
１３は、コイル３に印加される電圧の絶対値と指令電圧
の絶対値に所定値を乗じた値とを、好ましくはヒステリ
シス付きの比較演算回路により比較して過熱検出信号を
出力する。制御装置１は、比較装置１３の出力に基づい
て、リニアモータの駆動を停止する等の制御を行うこと
ができる。以下、本発明の実施形態について実施例を通
じてより具体的に説明する。
【００１２】
【実施例】図３は本発明の一実施例に係るリニアモータ
の過熱検出手段部分を主に示すブロック図である。この
実施例は、図１の電圧比較装置１３を具体化したもので
ある。すなわち、指令電圧ｅ０とコイル３への供給電圧
ｅ１とを比較する電圧比較装置１３は、指令電圧ｅ０を
絶対値に変換する絶対値回路１６と、コイル３への印加
電圧ｅ１を増幅する増幅回路１４と、増幅回路１４の出
力ｅ２を絶対値に変換する絶対値回路１５と、絶対値回
路１５および１６の出力を比較してコイル３が過熱して
いるか否かを示す過熱検出信号を出力するヒステリシス
付き比較演算回路（コンパレータ）１７とを有する。リ
ニアモータの他の構成、すなわち可動子、固定子、コイ
ル３の冷却機構等は図７および８に示される従来のもの
を採用することができる。
の過熱検出手段部分を主に示すブロック図である。この
実施例は、図１の電圧比較装置１３を具体化したもので
ある。すなわち、指令電圧ｅ０とコイル３への供給電圧
ｅ１とを比較する電圧比較装置１３は、指令電圧ｅ０を
絶対値に変換する絶対値回路１６と、コイル３への印加
電圧ｅ１を増幅する増幅回路１４と、増幅回路１４の出
力ｅ２を絶対値に変換する絶対値回路１５と、絶対値回
路１５および１６の出力を比較してコイル３が過熱して
いるか否かを示す過熱検出信号を出力するヒステリシス
付き比較演算回路（コンパレータ）１７とを有する。リ
ニアモータの他の構成、すなわち可動子、固定子、コイ
ル３の冷却機構等は図７および８に示される従来のもの
を採用することができる。
【００１３】この構成において、指令電圧ｅ０は絶対値
回路１６で絶対値電圧ｅ３に変換され、比較演算回路１
７に入力される。一方、コイル３への駆動電圧ｅ１は増
幅回路１４により適当な増幅率で増幅され、増幅された
電圧ｅ２は絶対値回路１５で絶対値電圧ｅ４に変換さ
れ、比較演算回路１７に入力される。比較演算回路１７
は、入力されるｅ３およびｅ４を比較し、比較結果を過
熱検出信号ｅ５として出力する。コイル３が過熱してそ
の抵抗値がある一定値より大きくなると、過熱検出信号
ｅ５の値が変化する。
回路１６で絶対値電圧ｅ３に変換され、比較演算回路１
７に入力される。一方、コイル３への駆動電圧ｅ１は増
幅回路１４により適当な増幅率で増幅され、増幅された
電圧ｅ２は絶対値回路１５で絶対値電圧ｅ４に変換さ
れ、比較演算回路１７に入力される。比較演算回路１７
は、入力されるｅ３およびｅ４を比較し、比較結果を過
熱検出信号ｅ５として出力する。コイル３が過熱してそ
の抵抗値がある一定値より大きくなると、過熱検出信号
ｅ５の値が変化する。
【００１４】本実施例の場合、電流アンプ２は１［Ａ／
Ｖ］の増幅率を有し、正常時のコイル３の抵抗値は８
［Ω］である。このため、指令電圧ｅ０が振れ幅１
［Ｖ］の正弦波であるとき、コイル３には振れ幅８
［Ｖ］の正弦波駆動電圧ｅ１が印加される。この駆動電
圧ｅ１を増幅率０．１１５の増幅回路１４に通すと、振
れ幅０．９２［Ｖ］の正弦波電圧ｅ２になる。この増幅
率は、過熱によりコイル３の抵抗が８．７［Ω］より大
きくなったときに過熱検出信号ｅ５が過熱である旨を示
すように調整した値である。また、コイル３の抵抗値
８．７［Ω］は、コイル３の温度がおよそ２０［℃］上
昇したときの抵抗値である。また、増幅回路１４の増幅
率は、検出精度の許す範囲で加熱温度を想定して調整す
ることができる。
Ｖ］の増幅率を有し、正常時のコイル３の抵抗値は８
［Ω］である。このため、指令電圧ｅ０が振れ幅１
［Ｖ］の正弦波であるとき、コイル３には振れ幅８
［Ｖ］の正弦波駆動電圧ｅ１が印加される。この駆動電
圧ｅ１を増幅率０．１１５の増幅回路１４に通すと、振
れ幅０．９２［Ｖ］の正弦波電圧ｅ２になる。この増幅
率は、過熱によりコイル３の抵抗が８．７［Ω］より大
きくなったときに過熱検出信号ｅ５が過熱である旨を示
すように調整した値である。また、コイル３の抵抗値
８．７［Ω］は、コイル３の温度がおよそ２０［℃］上
昇したときの抵抗値である。また、増幅回路１４の増幅
率は、検出精度の許す範囲で加熱温度を想定して調整す
ることができる。
【００１５】このような正弦波電圧ｅ２が、比較しやす
くするために絶対値回路１５を経て絶対値電圧ｅ４とさ
れ、比較演算回路１７において、指令電圧ｅ０の絶対値
ｅ３と比較される。
くするために絶対値回路１５を経て絶対値電圧ｅ４とさ
れ、比較演算回路１７において、指令電圧ｅ０の絶対値
ｅ３と比較される。
【００１６】図４は、指令電圧ｅ０および増幅回路１４
の出力電圧ｅ２の波形を示す。ｅ２０はコイル３が過熱
していないときのｅ２の波形であり、ｅ２１は過熱して
いるときの波形である。また、図５は、絶対値回路１６
および１５の出力ｅ３およびｅ４の波形を示し、ｅ４０
はコイル３が過熱していないときのｅ４の波形であり、
ｅ４１は過熱しているときの波形である。これらの図に
示されるように、指令電圧ｅ０が０［Ｖ］付近に近づく
と、比較演算回路１７における比較対象ｅ３、ｅ４同士
の差が小さくなるため、比較演算回路１７の出力ｅ５が
不安定になる可能性がある。そこで、比較演算回路１７
としてはヒステリシス付きのものを用いて、検出の安定
度を向上させている。
の出力電圧ｅ２の波形を示す。ｅ２０はコイル３が過熱
していないときのｅ２の波形であり、ｅ２１は過熱して
いるときの波形である。また、図５は、絶対値回路１６
および１５の出力ｅ３およびｅ４の波形を示し、ｅ４０
はコイル３が過熱していないときのｅ４の波形であり、
ｅ４１は過熱しているときの波形である。これらの図に
示されるように、指令電圧ｅ０が０［Ｖ］付近に近づく
と、比較演算回路１７における比較対象ｅ３、ｅ４同士
の差が小さくなるため、比較演算回路１７の出力ｅ５が
不安定になる可能性がある。そこで、比較演算回路１７
としてはヒステリシス付きのものを用いて、検出の安定
度を向上させている。
【００１７】比較演算回路の出力は一般にハイ（High）
かロー（Low ）で出力され、本実施例では比較演算回路
１７の出力は、正常時はハイ、加熱時はローが出力され
るように設定されている。これについては、使用状況に
応じて正常時はロー、加熱時はハイが出力されるように
設定してもよい。図６は比較演算回路１７の出力ｅ５が
ハイの時の波形ｅ５０およびローの時の波形ｅ５１を示
す波形図である。
かロー（Low ）で出力され、本実施例では比較演算回路
１７の出力は、正常時はハイ、加熱時はローが出力され
るように設定されている。これについては、使用状況に
応じて正常時はロー、加熱時はハイが出力されるように
設定してもよい。図６は比較演算回路１７の出力ｅ５が
ハイの時の波形ｅ５０およびローの時の波形ｅ５１を示
す波形図である。
【００１８】これによれば、図７および８に示す従来の
リニアモータの固定子５および可動子４の変更を伴わず
にコイル３の過熱を検出することができる。したがっ
て、新たに温度センサ等を設置することによる固定子５
や可動子４の再設計を必要とせず、温度センサ設置に伴
う固定子５と可動子４間の磁界への影響もまったく生じ
ない。しかも、従来のリニアモータに対し、電圧比較装
置１３を加えるだけでよいため、コスト面でも非常に有
効である。また、コイル３を温度センサとしても利用し
ているわけであるが、これはリニアモータの駆動に対し
て何ら影響を与えることはない。
リニアモータの固定子５および可動子４の変更を伴わず
にコイル３の過熱を検出することができる。したがっ
て、新たに温度センサ等を設置することによる固定子５
や可動子４の再設計を必要とせず、温度センサ設置に伴
う固定子５と可動子４間の磁界への影響もまったく生じ
ない。しかも、従来のリニアモータに対し、電圧比較装
置１３を加えるだけでよいため、コスト面でも非常に有
効である。また、コイル３を温度センサとしても利用し
ているわけであるが、これはリニアモータの駆動に対し
て何ら影響を与えることはない。
【００１９】さらに、過熱検出出力ｅ５に基づいて、ブ
ザー等を用いて本リニアモータを扱っている者に過熱を
知らせることも可能である。また、コイル３の加熱時に
は、過熱検出出力ｅ５を制御装置１にフィードバックし
て自動的にリニアモータの駆動を停止するなど、適切な
処置を施すことにより、リニアモータの信頼性をより高
めることもできる。
ザー等を用いて本リニアモータを扱っている者に過熱を
知らせることも可能である。また、コイル３の加熱時に
は、過熱検出出力ｅ５を制御装置１にフィードバックし
て自動的にリニアモータの駆動を停止するなど、適切な
処置を施すことにより、リニアモータの信頼性をより高
めることもできる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、シ
ンプルな構成によってコイルの過熱を検出し、コイルの
過熱によるコイルの損傷、リニアモータの変形等を防止
することができる。また、コイルの過熱を検出したとき
には、リニアモータの駆動を停止するなどの駆動制御を
行うことにより、より信頼性の高いリニアモータを提供
することができる。
ンプルな構成によってコイルの過熱を検出し、コイルの
過熱によるコイルの損傷、リニアモータの変形等を防止
することができる。また、コイルの過熱を検出したとき
には、リニアモータの駆動を停止するなどの駆動制御を
行うことにより、より信頼性の高いリニアモータを提供
することができる。
【図１】 本発明の好ましい実施形態に係るリニアモー
タの特徴部分を示すブロック図である。
タの特徴部分を示すブロック図である。
【図２】 図１の構成における各電圧の波形図である。
【図３】 本発明の一実施例に係るリニアモータの過熱
検出手段部分を主に示すブロック図である。
検出手段部分を主に示すブロック図である。
【図４】 図３の構成における指令電圧および増幅回路
の出力電圧の波形図である。
の出力電圧の波形図である。
【図５】 図３の構成の各絶対値回路の出力の波形図で
ある。
ある。
【図６】 図３の構成における比較演算回路の出力の波
形図である。
形図である。
【図７】 従来例に係るリニアモータの構成を示す図で
ある。
ある。
【図８】 図７のリニアモータの固定子および可動子部
分の断面図である。
分の断面図である。
１：制御装置、２：電流アンプ、３：コイル、４：可動
子、５：固定子、６：永久磁石、７：温調機、８：冷
媒、９：配管、１０：ヨーク、１１：筒状容器、１２：
冷媒流路、１３：電圧比較装置、１４：増幅回路、１
５：絶対値回路、１６：絶対値回路、１７：比較演算回
路、ｅ０：指令電圧、ｅ１：駆動電圧、ｅ２：ｅ１を増
幅回路１４に通した出力、ｅ３：ｅ０を絶対値回路１５
に通した出力、ｅ４：ｅ２を絶対値回路１６に通した出
力、ｅ５：過熱検出出力、ｅ１０，ｅ２０，ｅ３０，ｅ
５０：コイルが過熱していないときのｅ１，ｅ２，ｅ
３，ｅ５の波形、ｅ１１，ｅ２１，ｅ３１，ｅ５１：コ
イルが過熱しているときのｅ１，ｅ２，ｅ３，ｅ５の波
形。
子、５：固定子、６：永久磁石、７：温調機、８：冷
媒、９：配管、１０：ヨーク、１１：筒状容器、１２：
冷媒流路、１３：電圧比較装置、１４：増幅回路、１
５：絶対値回路、１６：絶対値回路、１７：比較演算回
路、ｅ０：指令電圧、ｅ１：駆動電圧、ｅ２：ｅ１を増
幅回路１４に通した出力、ｅ３：ｅ０を絶対値回路１５
に通した出力、ｅ４：ｅ２を絶対値回路１６に通した出
力、ｅ５：過熱検出出力、ｅ１０，ｅ２０，ｅ３０，ｅ
５０：コイルが過熱していないときのｅ１，ｅ２，ｅ
３，ｅ５の波形、ｅ１１，ｅ２１，ｅ３１，ｅ５１：コ
イルが過熱しているときのｅ１，ｅ２，ｅ３，ｅ５の波
形。
Claims (4)
- 【請求項１】 磁石とコイルを備え、指令電圧に応じて
電流アンプを介して前記コイルに電流を供給することに
より前記磁石とコイルとを相対的に移動させるリニアモ
ータにおいて、前記コイルに印加される電圧と前記指令
電圧とを比較することにより、前記コイルの過熱を検出
する過熱検出手段を具備することを特徴とするリニアモ
ータ。 - 【請求項２】 前記過熱検出手段は、前記コイルに印加
される電圧の絶対値が前記指令電圧の絶対値に所定値を
乗じた値以上であるときに前記コイルが過熱した旨の信
号を出力するものであることを特徴とする請求項１に記
載のリニアモータ。 - 【請求項３】 前記過熱検出手段は、前記コイルに印加
される電圧の絶対値と前記指令電圧の絶対値に所定値を
乗じた値とを、ヒステリシス付きの比較演算回路により
比較して前記過熱した旨の信号を出力するものであるこ
とを特徴とする請求項２に記載のリニアモータ。 - 【請求項４】 前記過熱検出手段の出力に基づいてリニ
アモータの駆動を制御する制御手段を有することを特徴
とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のリニア
モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26824997A JPH1198809A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26824997A JPH1198809A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | リニアモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1198809A true JPH1198809A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17455969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26824997A Pending JPH1198809A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1198809A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6583527B2 (en) * | 2001-05-15 | 2003-06-24 | Hitachi Metals, Ltd. | Linear motor and apparatus and method for protecting it |
| WO2022234759A1 (ja) * | 2021-05-06 | 2022-11-10 | 株式会社日立ハイテク | 検体搬送装置、検体分析システム、検体前処理システム |
-
1997
- 1997-09-16 JP JP26824997A patent/JPH1198809A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6583527B2 (en) * | 2001-05-15 | 2003-06-24 | Hitachi Metals, Ltd. | Linear motor and apparatus and method for protecting it |
| WO2022234759A1 (ja) * | 2021-05-06 | 2022-11-10 | 株式会社日立ハイテク | 検体搬送装置、検体分析システム、検体前処理システム |
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