JPH1197846A - 配線基盤及びこれを用いた配線装置 - Google Patents
配線基盤及びこれを用いた配線装置Info
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- JPH1197846A JPH1197846A JP9268231A JP26823197A JPH1197846A JP H1197846 A JPH1197846 A JP H1197846A JP 9268231 A JP9268231 A JP 9268231A JP 26823197 A JP26823197 A JP 26823197A JP H1197846 A JPH1197846 A JP H1197846A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 配線基板と接続具との間のインピーダン
ス整合を容易に取ることができ、かつ、テスターランド
の配置面積を小さくすることができる配線基板とするこ
とにある。 【解決手段】 配線基板は、多層構造に配置された第１
及び第２の配線部を貫通する複数のスルーホールを備え
る。各スルーホールは、第１の配線部に接続された第１
の導電性壁部により形成される第１の穴部と、第２の配
線部に接続された第２の導電性壁部により形成される第
２の穴部とを備える。第１及び第２の穴は、同軸であ
り、またそれらの少なくとも一方はテーパーホールであ
る。
ス整合を容易に取ることができ、かつ、テスターランド
の配置面積を小さくすることができる配線基板とするこ
とにある。 【解決手段】 配線基板は、多層構造に配置された第１
及び第２の配線部を貫通する複数のスルーホールを備え
る。各スルーホールは、第１の配線部に接続された第１
の導電性壁部により形成される第１の穴部と、第２の配
線部に接続された第２の導電性壁部により形成される第
２の穴部とを備える。第１及び第２の穴は、同軸であ
り、またそれらの少なくとも一方はテーパーホールであ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、アース用配線部と
信号用配線部とを多層構造に配置した配線基板及びこれ
を用いる電気的な接続装置に関する。
信号用配線部とを多層構造に配置した配線基板及びこれ
を用いる電気的な接続装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路、液晶表示パネル等、平板状被
検査体の通電試験に用いられるプローブカード８０は、
図８，図９及び図１０に示すように、配線基板８２の中
央部に複数のプローブ８４を配置し、その周りに１以上
のアース用配線部８６と信号用配線部８８とを多層構造
に配置し、さらにその周りに多数のテスターランド９
０，９２を配置している。
検査体の通電試験に用いられるプローブカード８０は、
図８，図９及び図１０に示すように、配線基板８２の中
央部に複数のプローブ８４を配置し、その周りに１以上
のアース用配線部８６と信号用配線部８８とを多層構造
に配置し、さらにその周りに多数のテスターランド９
０，９２を配置している。
【０００３】配線部８６及び８８はプローブ８４に接続
されており、テスターランド９０は導電性のスルーホー
ル９４によりアース用配線部８６に接続されており、テ
スターランド９２は導電性のスルーホール９６により信
号用配線部８８に接続されている。このようなプローブ
カードは、また、プローブボードまたは検査用ヘッドと
も称されており、種々提案されている。
されており、テスターランド９０は導電性のスルーホー
ル９４によりアース用配線部８６に接続されており、テ
スターランド９２は導電性のスルーホール９６により信
号用配線部８８に接続されている。このようなプローブ
カードは、また、プローブボードまたは検査用ヘッドと
も称されており、種々提案されている。
【０００４】この種のプローブカード８０は、図１０に
示すように、通電試験（電気的特性試験）のための検査
装置１００において、プローブ８４に通電するテストヘ
ッド１０２に中継基板であるパフォーマンスボード１０
４を介して接続される。パフォーマンスボード１０４
は、テスターランド９０，９２に接触される半球状の端
部を有するスプリングピン（ポゴピン）のような複数の
接続具１０６を備えている。検査すべき集積回路１０８
は、検査ステージ１１０に載置されており、検査時各電
極部をプローブ８４の針先の押圧される。
示すように、通電試験（電気的特性試験）のための検査
装置１００において、プローブ８４に通電するテストヘ
ッド１０２に中継基板であるパフォーマンスボード１０
４を介して接続される。パフォーマンスボード１０４
は、テスターランド９０，９２に接触される半球状の端
部を有するスプリングピン（ポゴピン）のような複数の
接続具１０６を備えている。検査すべき集積回路１０８
は、検査ステージ１１０に載置されており、検査時各電
極部をプローブ８４の針先の押圧される。
【０００５】しかし、従来のこの種の検査装置１００に
おいては、接続具の半球状の端部がテスターランドに点
接触しているにすぎないから、テスターランドと接続具
との接触面積が著しく小さく、両者の間のインピーダン
ス整合を取ることが難しい。また、各テスターランドが
平面的であるから、アース用テスターランドと信号用の
テスターランドとを平面的に見て同じ位置に設けること
ができず、その結果テスターランドの配置面積が大きく
なり、また信号用配線部８８及び信号用テスターランド
９２がテスターランド９０，９２の位置の相違する部分
において保護されない。
おいては、接続具の半球状の端部がテスターランドに点
接触しているにすぎないから、テスターランドと接続具
との接触面積が著しく小さく、両者の間のインピーダン
ス整合を取ることが難しい。また、各テスターランドが
平面的であるから、アース用テスターランドと信号用の
テスターランドとを平面的に見て同じ位置に設けること
ができず、その結果テスターランドの配置面積が大きく
なり、また信号用配線部８８及び信号用テスターランド
９２がテスターランド９０，９２の位置の相違する部分
において保護されない。
【０００６】同種の課題は、テストヘッド１０２とパフ
ォーマンスボート１０４とをスプリングピンのような接
続具で接続して、通電試験をする検査装置において、テ
ストヘッド１０２側の配線基板と接続具との間において
も生じる。
ォーマンスボート１０４とをスプリングピンのような接
続具で接続して、通電試験をする検査装置において、テ
ストヘッド１０２側の配線基板と接続具との間において
も生じる。
【０００７】
【解決しようとする課題】それゆえに、配線基板と接続
具との間のインピーダンス整合を容易に取ることがで
き、かつ、テスターランドの配置面積を小さくすること
ができる配線基板とすることが望まれる。
具との間のインピーダンス整合を容易に取ることがで
き、かつ、テスターランドの配置面積を小さくすること
ができる配線基板とすることが望まれる。
【０００８】
【解決手段、作用および効果】本発明の配線基板は、多
層構造に配置された第１及び第２の配線部を貫通する複
数のスルーホールを備える。各スルーホールは、第１の
配線部に接続された第１の導電性壁部により形成される
第１の穴部と、第２の配線部に接続された第２の導電性
壁部により形成される第２の穴部とを備える。
層構造に配置された第１及び第２の配線部を貫通する複
数のスルーホールを備える。各スルーホールは、第１の
配線部に接続された第１の導電性壁部により形成される
第１の穴部と、第２の配線部に接続された第２の導電性
壁部により形成される第２の穴部とを備える。
【０００９】第１の配線部及び第１の穴部はアース用配
線部として用いられ、第２の配線部及び第２の穴部は信
号用配線部として用いられる。各スルーホールには、同
軸スプリングピン、同軸ケーブル等の同軸の接続具の一
端部が差し込まれる。
線部として用いられ、第２の配線部及び第２の穴部は信
号用配線部として用いられる。各スルーホールには、同
軸スプリングピン、同軸ケーブル等の同軸の接続具の一
端部が差し込まれる。
【００１０】同軸の接続具は、外部導体を第１の穴部の
内面に接触され、中心導体を第２の穴部の内面に接触さ
れる。このため、従来の配線基板に比べ、スルーホール
と接続具との接触面積が大きくなり、その結果両者の間
のインピーダンス整合を容易に取ることができる。
内面に接触され、中心導体を第２の穴部の内面に接触さ
れる。このため、従来の配線基板に比べ、スルーホール
と接続具との接触面積が大きくなり、その結果両者の間
のインピーダンス整合を容易に取ることができる。
【００１１】第１及び第２の穴部は、これらが共通のス
ルーホールを形成するから、同軸的であり、テスターラ
ンドとして作用する各スルーホールはアース用と信号用
とに共通に用いられる。このため、従来の配線基板に比
べテスターランドとしてのスルーホールの配置面積を小
さくすることができる。
ルーホールを形成するから、同軸的であり、テスターラ
ンドとして作用する各スルーホールはアース用と信号用
とに共通に用いられる。このため、従来の配線基板に比
べテスターランドとしてのスルーホールの配置面積を小
さくすることができる。
【００１２】第１の穴は第２の穴部より大きい横断面積
を有することができる。これにより、接続具の中心導体
の一端部を中心導体と外部導体との間の電気絶縁体の端
部より突出させ、接続具を第１の穴部の側から差し込む
ことにより、接続具の中心導体及び外部導体がそれぞれ
対応しない第１及び第２の穴部に接触することを防止す
ることができる。
を有することができる。これにより、接続具の中心導体
の一端部を中心導体と外部導体との間の電気絶縁体の端
部より突出させ、接続具を第１の穴部の側から差し込む
ことにより、接続具の中心導体及び外部導体がそれぞれ
対応しない第１及び第２の穴部に接触することを防止す
ることができる。
【００１３】スルーホールは、横断面積が第１の穴部の
側から第２の穴部の側に向けて漸次小さくなるいわゆる
テーパホールとすることができる。これにより、接続具
の端部がスルーホールに案内されてスルーホールに差し
込まれるから、接続具をスルーホールに容易にかつ確実
に差し込むことができる。
側から第２の穴部の側に向けて漸次小さくなるいわゆる
テーパホールとすることができる。これにより、接続具
の端部がスルーホールに案内されてスルーホールに差し
込まれるから、接続具をスルーホールに容易にかつ確実
に差し込むことができる。
【００１４】しかし、第１及び第２の穴部の少なくとも
一方を、横断面積が第１の穴部の側から第２の穴部の側
に向かう方向の先端側ほど漸次小さくなるテーパホール
としてもよい。これによっても、接続具の端部がテーパ
状の第１または第２の穴部に案内されてスルーホールに
差し込まれるから、接続具をスルーホールに容易にかつ
確実に差し込むことができる。
一方を、横断面積が第１の穴部の側から第２の穴部の側
に向かう方向の先端側ほど漸次小さくなるテーパホール
としてもよい。これによっても、接続具の端部がテーパ
状の第１または第２の穴部に案内されてスルーホールに
差し込まれるから、接続具をスルーホールに容易にかつ
確実に差し込むことができる。
【００１５】本発明の配線装置は、上記のような配線基
板と、該配線基板のスルーホールに対応された同軸の複
数の接続具とを含む。各接続具は、対応するスルーホー
ルに差し込まれる先端部を有し、該先端部は対応するス
ルーホールの形状に対応する形状を有する。
板と、該配線基板のスルーホールに対応された同軸の複
数の接続具とを含む。各接続具は、対応するスルーホー
ルに差し込まれる先端部を有し、該先端部は対応するス
ルーホールの形状に対応する形状を有する。
【００１６】接続具は、中心導体と、該中心導体の周り
に配置された電気絶縁体と、該電気絶縁体の周りに配置
された外部導体とを含み、外部導体及び中心導体をそれ
ぞれ第１及び第２の穴部に接触させることができる。
に配置された電気絶縁体と、該電気絶縁体の周りに配置
された外部導体とを含み、外部導体及び中心導体をそれ
ぞれ第１及び第２の穴部に接触させることができる。
【００１７】接続具は、さらに、外部導体の周りに配置
されたケースを含む同軸スプリングピンとすることがで
きる。このような同軸スプリングピンは、一般に、スプ
リングを内装しており、また中心導体及び外部導体は軸
線方向へ相対的に移動可能である。
されたケースを含む同軸スプリングピンとすることがで
きる。このような同軸スプリングピンは、一般に、スプ
リングを内装しており、また中心導体及び外部導体は軸
線方向へ相対的に移動可能である。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１から図３を参照するに、接続
装置１０は、円板状の配線基板１２と複数の接続具１４
とを含む。
装置１０は、円板状の配線基板１２と複数の接続具１４
とを含む。
【００１９】配線基板１２は、第１の配線部１６とマイ
クロストリップ状の複数の第２の配線部１８とを電気絶
縁材料製の円板状の絶縁基板２０に層を別にした多層に
形成している。図示の例では、第１及び第２の配線部１
６及び１８は、両者が１層ずつの合計２層に形成されて
いる。
クロストリップ状の複数の第２の配線部１８とを電気絶
縁材料製の円板状の絶縁基板２０に層を別にした多層に
形成している。図示の例では、第１及び第２の配線部１
６及び１８は、両者が１層ずつの合計２層に形成されて
いる。
【００２０】第１の配線部１６は、第２の配線部１８で
共通に利用するように、第２の配線部１８のほぼ全配置
範囲にわたって形成されている。これに対し、第２の配
線部１８は、これらが互いに交差する２方向の一方向に
間隔をおいて他方向に平行に伸びる状態に、または、絶
縁基板２０の中央部から半径方向外方へ伸びる状態に形
成されている。
共通に利用するように、第２の配線部１８のほぼ全配置
範囲にわたって形成されている。これに対し、第２の配
線部１８は、これらが互いに交差する２方向の一方向に
間隔をおいて他方向に平行に伸びる状態に、または、絶
縁基板２０の中央部から半径方向外方へ伸びる状態に形
成されている。
【００２１】しかし、第２の配線部１８と同数以上のマ
イクロストリップ状の複数の第１の配線部１６を形成し
てもよい。この場合、各第１の配線部１６は、第２の配
線部１８に対応し、対応する第２の配線部１８とほぼ平
行に伸びることが好ましい。
イクロストリップ状の複数の第１の配線部１６を形成し
てもよい。この場合、各第１の配線部１６は、第２の配
線部１８に対応し、対応する第２の配線部１８とほぼ平
行に伸びることが好ましい。
【００２２】配線基板１２には、複数のスローホール２
２が形成されている。各スルーホール２２は、第２の配
線部１８に対応されており、また第１の配線部１６及び
対応する第２の配線部１８を経て絶縁基板２０を厚さ方
向に貫通している。
２が形成されている。各スルーホール２２は、第２の配
線部１８に対応されており、また第１の配線部１６及び
対応する第２の配線部１８を経て絶縁基板２０を厚さ方
向に貫通している。
【００２３】各スルーホール２２は、第１の配線部１６
に一体的に続く第１の導電性壁部２４により形成される
第１の電極部すなわち第１の穴部２２ａと、第２の配線
部１８に一体的に続く第２の導電性壁部２６により形成
される第２の電極部すなわち第２の穴部２２ｂと、第１
及び第２の配線部１６及び１８間の基板材料により形成
される非導電性部すなわちの第３の穴部２２ｃとを備え
る。
に一体的に続く第１の導電性壁部２４により形成される
第１の電極部すなわち第１の穴部２２ａと、第２の配線
部１８に一体的に続く第２の導電性壁部２６により形成
される第２の電極部すなわち第２の穴部２２ｂと、第１
及び第２の配線部１６及び１８間の基板材料により形成
される非導電性部すなわちの第３の穴部２２ｃとを備え
る。
【００２４】図示の例では、各スルーホール２２は、円
形の横断面形状（軸線と直角の断面の形状）を有してお
り、また、横断面積（直径寸法）が第１の穴部２２ａの
側から第２の穴部２２ｂの側に向けて漸次小さくなるい
わゆる二次元的に見てテーパホール（三次元的には、截
頭円錐形の穴）である。第１及び第２及び第３の穴部２
２ａ，２２ｂ及び２２ｃの軸線は同じである。第１の導
電性部２４は、絶縁基板２０の一方の面に形成された導
電性のフランジ部２８に一体的に続く。
形の横断面形状（軸線と直角の断面の形状）を有してお
り、また、横断面積（直径寸法）が第１の穴部２２ａの
側から第２の穴部２２ｂの側に向けて漸次小さくなるい
わゆる二次元的に見てテーパホール（三次元的には、截
頭円錐形の穴）である。第１及び第２及び第３の穴部２
２ａ，２２ｂ及び２２ｃの軸線は同じである。第１の導
電性部２４は、絶縁基板２０の一方の面に形成された導
電性のフランジ部２８に一体的に続く。
【００２５】配線基板１２がプローブカード用の配線基
板である場合、複数のプローブは絶縁基板２０の中央部
下面に半径方向へ伸びる状態に配置され、第２の配線部
１８はプローブの配置位置から半径方向外方へ伸びる状
態に形成される。
板である場合、複数のプローブは絶縁基板２０の中央部
下面に半径方向へ伸びる状態に配置され、第２の配線部
１８はプローブの配置位置から半径方向外方へ伸びる状
態に形成される。
【００２６】各接続具１４は、細長いピン状の中心導体
３０と、該中心導体の周りに配置された円筒状の電気絶
縁体３２と、該電気絶縁体の周りに配置された円筒状の
外部導体３４と、該外部導体の周りに配置された円筒状
のケース３６とを含む同軸スプリングピン（同軸ポゴピ
ン）である。少なくとも中心導体３０及び外部導体３４
は、ポゴピンのプリング力に抗してケース３６に対し軸
線方向へ独立的に移動可能である。
３０と、該中心導体の周りに配置された円筒状の電気絶
縁体３２と、該電気絶縁体の周りに配置された円筒状の
外部導体３４と、該外部導体の周りに配置された円筒状
のケース３６とを含む同軸スプリングピン（同軸ポゴピ
ン）である。少なくとも中心導体３０及び外部導体３４
は、ポゴピンのプリング力に抗してケース３６に対し軸
線方向へ独立的に移動可能である。
【００２７】中心導体３０、電気絶縁体３２及び外部導
体３４は、ケース３６から突出されており、それらの端
部はスルーホール２２に対応するテーパー状（三元的に
は、截頭円錐形状）に形成されている。中心導体３０の
直径寸法は、第２の穴部２２ｂの最小横断面積の部分の
それより大きく、第２の穴部２２ｂの最大横断面積の部
分のそれより小さい。外部導体３４は、第１の穴部２２
ａとほぼ同じ直径寸法を有する。
体３４は、ケース３６から突出されており、それらの端
部はスルーホール２２に対応するテーパー状（三元的に
は、截頭円錐形状）に形成されている。中心導体３０の
直径寸法は、第２の穴部２２ｂの最小横断面積の部分の
それより大きく、第２の穴部２２ｂの最大横断面積の部
分のそれより小さい。外部導体３４は、第１の穴部２２
ａとほぼ同じ直径寸法を有する。
【００２８】接続具１４は、その端部を第１の穴部２２
ａの側（上方）から対応するスルーホール２２に挿入さ
れる。このとき、スルーホール２２が第１の穴部２２ａ
側ほど横断面積が大きいテーパホールであるから、接続
具１４の端部はスルーホール２２に案内される。このた
め、接続具１４はスルーホール２２に容易にかつ確実に
差し込まれる。
ａの側（上方）から対応するスルーホール２２に挿入さ
れる。このとき、スルーホール２２が第１の穴部２２ａ
側ほど横断面積が大きいテーパホールであるから、接続
具１４の端部はスルーホール２２に案内される。このた
め、接続具１４はスルーホール２２に容易にかつ確実に
差し込まれる。
【００２９】接続具１４のスプリング力により、外部導
体３４は第１の穴部２２ａに押圧されてこれに接触し、
中心導体３０は第２の穴部２２ｂに押圧されて接触す
る。外部導体３４と第１の穴部２２ａとの接触は面接触
であり、中心導体３０と第２の穴部２２ｂとの接触は線
接触または面接触である。このため、外部導体３４と第
１の穴部２２ａとの接触面積、及び、中心導体３０と第
２の穴部２２ｂとの接触面積が従来の点接触に比べて大
きくなり、外部導体３４と第１の穴部２２ａとの間、及
び、中心導体３０と第２の穴部２２ａとの間のインピー
ダンス整合を容易に取ることができる。
体３４は第１の穴部２２ａに押圧されてこれに接触し、
中心導体３０は第２の穴部２２ｂに押圧されて接触す
る。外部導体３４と第１の穴部２２ａとの接触は面接触
であり、中心導体３０と第２の穴部２２ｂとの接触は線
接触または面接触である。このため、外部導体３４と第
１の穴部２２ａとの接触面積、及び、中心導体３０と第
２の穴部２２ｂとの接触面積が従来の点接触に比べて大
きくなり、外部導体３４と第１の穴部２２ａとの間、及
び、中心導体３０と第２の穴部２２ａとの間のインピー
ダンス整合を容易に取ることができる。
【００３０】配線基板１２と接続具１４とを上記のよう
に結合させた接続装置１０において、外部導体３４，第
１の穴部２２ａ及び第１の配線部１６は、アース用通電
路として用いられる。これに対し、中心導体３０，第２
の穴部２２ｂ及び第２の配線部１８は、信号用通電路と
して用いられる。
に結合させた接続装置１０において、外部導体３４，第
１の穴部２２ａ及び第１の配線部１６は、アース用通電
路として用いられる。これに対し、中心導体３０，第２
の穴部２２ｂ及び第２の配線部１８は、信号用通電路と
して用いられる。
【００３１】配線基板１０によれば、第１及び第２の穴
部２２ａ，２２ｂがこれらの軸線方向から見て同軸的で
あり、テスターランドとして作用する各スルーホール２
２をアース用通電路及び信号用通電路の両者に共通に利
用するから、フランジ部２８を含む領域の面積を従来の
テスターランドに比べて小さくすることができることと
あいまって、スルーホール２２の全配置面積を従来のテ
スターランドに比べて小さくすることができる。
部２２ａ，２２ｂがこれらの軸線方向から見て同軸的で
あり、テスターランドとして作用する各スルーホール２
２をアース用通電路及び信号用通電路の両者に共通に利
用するから、フランジ部２８を含む領域の面積を従来の
テスターランドに比べて小さくすることができることと
あいまって、スルーホール２２の全配置面積を従来のテ
スターランドに比べて小さくすることができる。
【００３２】図５を参照するに、接続装置５０は、各ス
ルーホール５２の第１の穴部５２ａだけを截頭円錐形状
のいわゆるテーパホール（截頭円錐の穴）とし、第２及
び第３の穴部５２ｂ及び５２ｃを軸線方向の各部の直径
寸法がほぼ同じ円筒状の穴としている。第２の穴部５２
ｂの直径寸法は、接続具１４の電気絶縁体３２の外形寸
法よりやや小さく、中心導体３０の直径寸法より大き
い。第３の穴部５２ｃの直径寸法は、電気絶縁体３２の
外形寸法とほぼ同じである。
ルーホール５２の第１の穴部５２ａだけを截頭円錐形状
のいわゆるテーパホール（截頭円錐の穴）とし、第２及
び第３の穴部５２ｂ及び５２ｃを軸線方向の各部の直径
寸法がほぼ同じ円筒状の穴としている。第２の穴部５２
ｂの直径寸法は、接続具１４の電気絶縁体３２の外形寸
法よりやや小さく、中心導体３０の直径寸法より大き
い。第３の穴部５２ｃの直径寸法は、電気絶縁体３２の
外形寸法とほぼ同じである。
【００３３】接続具１４は、外部導体３４の先端部のみ
第１の穴部５２ａとほぼ同じテーパ状（截頭円錐形状）
とされている。接続具１４は、外部導体３４及び中心導
体３０がそれぞれ第１及び第２の穴部５２ａ及び５２ｂ
に位置するように、第１の穴部５２ａの側（上方）から
対応するスルーホール５２に挿入される。これにより、
外部等体３４は第１の穴部５２ａに接触する。しかし、
中心導体３０の直径寸法が第２の穴部５２ｂのそれより
大きいから、中心導体３０と第２の穴部５２ｂの内面と
の間に空間が形成される。
第１の穴部５２ａとほぼ同じテーパ状（截頭円錐形状）
とされている。接続具１４は、外部導体３４及び中心導
体３０がそれぞれ第１及び第２の穴部５２ａ及び５２ｂ
に位置するように、第１の穴部５２ａの側（上方）から
対応するスルーホール５２に挿入される。これにより、
外部等体３４は第１の穴部５２ａに接触する。しかし、
中心導体３０の直径寸法が第２の穴部５２ｂのそれより
大きいから、中心導体３０と第２の穴部５２ｂの内面と
の間に空間が形成される。
【００３４】中心導体３０と第２の穴部５２ｂの内面と
の間の空間には、導電性を有する筒状の雌ピン５４が下
方側から嵌め込まれる。雌ピン５４は、第２の穴部５２
ｂを形成する第２の導電性壁部２６と中心導体３０との
間に挟み込まれる。これにより、中心導体３０は、雌ピ
ン５４と広い範囲で接触し、また雌ピン５４及び第２の
導電性壁部２６を介して第２の配線部１８に電気的に接
続される。その結果、中心導体３０と第２の配線部２６
との間のインピーダンス整合を取ることができる。
の間の空間には、導電性を有する筒状の雌ピン５４が下
方側から嵌め込まれる。雌ピン５４は、第２の穴部５２
ｂを形成する第２の導電性壁部２６と中心導体３０との
間に挟み込まれる。これにより、中心導体３０は、雌ピ
ン５４と広い範囲で接触し、また雌ピン５４及び第２の
導電性壁部２６を介して第２の配線部１８に電気的に接
続される。その結果、中心導体３０と第２の配線部２６
との間のインピーダンス整合を取ることができる。
【００３５】図６を参照するに、接続装置６０は、各ス
ルーホール６２をほぼ截頭円錐形状のいわゆるテーパホ
ールとし、接続具１４の中心導体３０を第２の穴部６２
ｂを貫通させている。中心導体３０は、第２の穴部６２
ｂを形成する第２の導電性壁部２６に半田６４により固
定され、外部導体３４は第１の穴部６２ａを形成する第
１の導電性壁部２４とフランジ部２８とに半田６６によ
り固定されている。このため、接続装置６０によって
も、中心導体３０と第２の配線部１８との間、及び、外
部導体３４と第１の配線部１６との間のインピーダンス
整合を取ることができる。
ルーホール６２をほぼ截頭円錐形状のいわゆるテーパホ
ールとし、接続具１４の中心導体３０を第２の穴部６２
ｂを貫通させている。中心導体３０は、第２の穴部６２
ｂを形成する第２の導電性壁部２６に半田６４により固
定され、外部導体３４は第１の穴部６２ａを形成する第
１の導電性壁部２４とフランジ部２８とに半田６６によ
り固定されている。このため、接続装置６０によって
も、中心導体３０と第２の配線部１８との間、及び、外
部導体３４と第１の配線部１６との間のインピーダンス
整合を取ることができる。
【００３６】図７を参照するに、接続装置７０は、各ス
ルーホール７２の第１の穴部７２ａを軸線方向の各部の
直径寸法がほぼ同じ円筒状の穴とし、第２及び第３の穴
部７２ｂ及び７２ｃをほぼ截頭円錐形状のいわゆるテー
パホールとしている。第１の穴部７２ａの直径寸法は接
続具１４の外部導体３４の外形寸法とほぼ同じであり、
第３の穴部７２ｃの最大直径寸法は電気絶縁体３２の外
形寸法ほぼ同じである。このため、第１及び第３の穴部
７２ａ及び７２ｃにより段部が形成されている。
ルーホール７２の第１の穴部７２ａを軸線方向の各部の
直径寸法がほぼ同じ円筒状の穴とし、第２及び第３の穴
部７２ｂ及び７２ｃをほぼ截頭円錐形状のいわゆるテー
パホールとしている。第１の穴部７２ａの直径寸法は接
続具１４の外部導体３４の外形寸法とほぼ同じであり、
第３の穴部７２ｃの最大直径寸法は電気絶縁体３２の外
形寸法ほぼ同じである。このため、第１及び第３の穴部
７２ａ及び７２ｃにより段部が形成されている。
【００３７】接続具１４の中心導体３０は、第２の穴部
７２ｂを貫通しており、また第２の穴部７２ｂを形成す
る第２の導電性壁部２６に半田７４により固定されてい
る。外部導体３４は、第１の穴部７２ａを形成する第１
の導電性壁部２４とフランジ部２８とに半田７６により
固定されている。このため、接続装置７０も、中心導体
３０と第２の配線部１８との間、及び、外部導体３４と
第１の配線部１６との間のインピーダンス整合を取るこ
とができる。
７２ｂを貫通しており、また第２の穴部７２ｂを形成す
る第２の導電性壁部２６に半田７４により固定されてい
る。外部導体３４は、第１の穴部７２ａを形成する第１
の導電性壁部２４とフランジ部２８とに半田７６により
固定されている。このため、接続装置７０も、中心導体
３０と第２の配線部１８との間、及び、外部導体３４と
第１の配線部１６との間のインピーダンス整合を取るこ
とができる。
【００３８】接続装置６０及び７０は、いずれも、半田
６４，６６及び７４，７６を用いるから、接続具１４と
して、同軸スプリングピンを用いる代わりに、同軸ケー
ブルを用いてもよい。このようにすれば、外部導体３４
としての網線が第１の導電性壁部２４とフランジ部２８
とに半田６６または７６により固定されるから、隣り合
うスルーホール６２または７２が網線により短絡されな
い。
６４，６６及び７４，７６を用いるから、接続具１４と
して、同軸スプリングピンを用いる代わりに、同軸ケー
ブルを用いてもよい。このようにすれば、外部導体３４
としての網線が第１の導電性壁部２４とフランジ部２８
とに半田６６または７６により固定されるから、隣り合
うスルーホール６２または７２が網線により短絡されな
い。
【００３９】本発明は、集積回路の検査装置に用いられ
る配線基板のみならず、液晶表示パネルのような他の平
板状被検査態のための検査装置に用いられる配線基板に
も適用することができる。
る配線基板のみならず、液晶表示パネルのような他の平
板状被検査態のための検査装置に用いられる配線基板に
も適用することができる。
【図１】本発明に係る配線基板を用いた接続装置の第１
の実施例の一部を示す縦断面図である。
の実施例の一部を示す縦断面図である。
【図２】本発明に係る配線基板の一実施例の一部を示す
平面図である。
平面図である。
【図３】図２における３−３線に沿って得た断面図であ
る。
る。
【図４】本発明に係る配線基板とともに用いる接続具の
一実施例の一部を示す部分断面図である。
一実施例の一部を示す部分断面図である。
【図５】本発明に係る配線基板を用いた接続装置の第２
の実施例の一部を示す縦断面図である。
の実施例の一部を示す縦断面図である。
【図６】本発明に係る配線基板を用いた接続装置の第３
の実施例の一部を示す縦断面図である。
の実施例の一部を示す縦断面図である。
【図７】本発明に係る配線基板を用いた接続装置の第４
の実施例の一部を示す縦断面図である。
の実施例の一部を示す縦断面図である。
【図８】従来の配線基板の一部を示す平面である。
【図９】図８における９−９線に沿って得た断面図であ
る。
る。
【図１０】集積回路用の検査装置の一実施例を説明する
ための図である。
ための図である。
１０，５０，６０，７０ 接続装置 １２ 配線基板 １４ 接続具 １６，１８ 第１及び第２の配線部 ２０ 絶縁基板 ２２，５２，６２，７２ スルーホール ２２ａ，５２ａ，６２ａ，７２ａ 第１の穴部 ２２ｂ，５２ｂ，６２ｂ，７２ｂ 第２の穴部 ２４，２６ 第１及び第２の導電性壁部
Claims (7)
- 【請求項１】 １以上の第１の配線部と複数の第２の配
線部とを多層構造に配置した配線基板において、前記第
１及び第２の配線部を貫通する複数のスルーホールを備
え、各スルーホールは、前記第１の配線部に接続された
第１の導電性壁部により形成される第１の穴部と、前記
第２の配線部に接続された第２の導電性壁部により形成
される第２の穴部とを備える、配線基板。 - 【請求項２】 前記第１の穴は前記第２の穴部より大き
い横断面積を有する、請求項１に記載の配線基板。 - 【請求項３】 前記スルーホールは、横断面積が前記第
１の穴部の側から前記第２の穴部の側に向けて漸次小さ
くなるテーパホールである、請求項１または２に記載の
配線基板。 - 【請求項４】 前記第１及び第２の穴部の少なくとも一
方は、横断面積が前記第１の穴部の側から前記第２の穴
部の側に向かう方向の先端側ほど漸次小さくなるテーパ
ホールである、請求項１，２または３に記載の配線基
板。 - 【請求項５】 請求項１から４のいずれか１項に記載さ
れた配線基板と、該配線基板のスルーホールに対応され
た同軸の複数の接続具とを含み、各接続具は、対応する
スルーホールに差し込まれる先端部であって対応するス
ルーホールの形状に対応する形状を有する先端部を有す
る、配線装置。 - 【請求項６】 前記接続具は、中心導体と、該中心導体
の周りに配置された電気絶縁体と、該電気絶縁体の周り
に配置された外部導体とを含み、前記外部導体及び前記
中心導体はそれぞれ前記第１及び第２の穴部に接触され
ている、請求項５に記載の配線装置。 - 【請求項７】 前記接続具は、さらに、前記外部導体の
周りに配置されたケースとを含み、前記中心導体及び前
記外部導体は軸線方向へ相対的に移動可能である、請求
項５に記載の配線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9268231A JPH1197846A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 配線基盤及びこれを用いた配線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9268231A JPH1197846A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 配線基盤及びこれを用いた配線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1197846A true JPH1197846A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17455735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9268231A Pending JPH1197846A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 配線基盤及びこれを用いた配線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1197846A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109075527A (zh) * | 2016-04-26 | 2018-12-21 | 京瓷株式会社 | 半导体封装件及使用其的半导体装置 |
| JP2018207066A (ja) * | 2017-06-09 | 2018-12-27 | 三菱電機株式会社 | 多層基板の信号取得構造、信号取得装置および電子装置 |
| KR20200014290A (ko) * | 2017-05-29 | 2020-02-10 | 나발 그룹 | 전기 네트워크의 강화된 멀티포인트 커넥터 상의 오류를 감지하기 위한 반사측정 시스템 |
-
1997
- 1997-09-16 JP JP9268231A patent/JPH1197846A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109075527A (zh) * | 2016-04-26 | 2018-12-21 | 京瓷株式会社 | 半导体封装件及使用其的半导体装置 |
| KR20200014290A (ko) * | 2017-05-29 | 2020-02-10 | 나발 그룹 | 전기 네트워크의 강화된 멀티포인트 커넥터 상의 오류를 감지하기 위한 반사측정 시스템 |
| JP2018207066A (ja) * | 2017-06-09 | 2018-12-27 | 三菱電機株式会社 | 多層基板の信号取得構造、信号取得装置および電子装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040803 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040803 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070410 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070807 |