JPH1197288A - Laminated ceramic electronic component and its manufacture - Google Patents

Laminated ceramic electronic component and its manufacture

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JPH1197288A
JPH1197288A JP20463898A JP20463898A JPH1197288A JP H1197288 A JPH1197288 A JP H1197288A JP 20463898 A JP20463898 A JP 20463898A JP 20463898 A JP20463898 A JP 20463898A JP H1197288 A JPH1197288 A JP H1197288A
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JP
Japan
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internal
electrode
stripe pattern
electronic component
ceramic electronic
Prior art date
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JP20463898A
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Japanese (ja)
Inventor
Keiichi Nakao
恵一 中尾
Yasushige Shimizu
恭重 清水
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide laminated ceramic electronic components in which internal electrodes can be surely connected to external electrodes, even when the thicknesses of the internal electrodes are reduced for high lamination. SOLUTION: Since an internal electric stripe pattern 7d is utilized as thick internal electric sections in laminated ceramic electronic components, thinned internal electrodes 1d can be surely connected to external electrodes via the pattern 7d and, at the same time, the thick internal electric sections can be formed very easily by locally thickening the electrodes 1d. Therefore, highly laminated ceramic electronic components can be realized with high productivity and high accuracy at low cost.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、各種電子機器に用
いられる積層セラミックコンデンサや積層圧電素子等の
積層セラミック電子部品の内部電極と外部電極の接続を
安定化させる積層セラミック電子部品及びその製造方法
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer ceramic electronic component for stabilizing the connection between an internal electrode and an external electrode of a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor and a multilayer piezoelectric element used in various electronic devices, and a method of manufacturing the same. It is about.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、積層セラミックコンデンサは、各
種電子機器の小型化高性能化に伴い、一層の小型化、大
容量化、低コスト化が望まれてきた。このため、内部電
極を従来のパラジウムからニッケルに変更し、更に誘電
体の薄層化(焼成後2μm以下)及び高積層(300層
以上)が望まれているが、プロセスの複雑化や歩留まり
の低さに起因するコスト高が問題になっていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, multilayer ceramic capacitors have been required to be further reduced in size, increased in capacity, and reduced in cost with the miniaturization and high performance of various electronic devices. For this reason, it is desired to change the internal electrode from the conventional palladium to nickel, and to further reduce the thickness of the dielectric (less than 2 μm after firing) and increase the number of layers (more than 300 layers). High cost due to lowness has been a problem.

【0003】このため、内部電極の薄層化が望まれてい
るが、特にニッケルや銅、合金等を用いた卑金属を内電
に用いた場合、薄層化するほど内部電極と外部電極の接
続が難しくなることが課題であった。
[0003] For this reason, it is desired to make the internal electrode thinner. In particular, when a base metal using nickel, copper, alloy or the like is used for the internal electric power, the connection between the internal electrode and the external electrode becomes thinner as the thickness becomes thinner. Was difficult.

【0004】特開昭62−40713号公報や特開昭6
2−40714号公報は、内部電極のパターンを工夫し
てチップの側面まで内部電極を伸ばそうとするものであ
る。また特開平1−312816号公報では、内部電極
と外部電極の接続部をチップのコーナーで行うものであ
る。特開平1−312817号公報では、複数の内部電
極を接続するように内部電極のパターン形状を工夫する
ことにして、内部電極と外部電極の接続部をチップの複
数面(端面のみならず、この端面に隣接する側面の一部
を含む複数面)まで伸ばそうとするものである。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-40713 and Japanese Patent Application Laid-Open
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-40714 attempts to extend the internal electrode to the side surface of the chip by devising the pattern of the internal electrode. In Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-312816, the connection between the internal electrode and the external electrode is made at the corner of the chip. In Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-312817, a pattern shape of an internal electrode is devised so as to connect a plurality of internal electrodes, and a connection portion between an internal electrode and an external electrode is formed on a plurality of surfaces (not only an end surface, (A plurality of surfaces including a part of the side surface adjacent to the end surface).

【0005】図10は、従来例1の積層セラミックコン
デンサの部分断面図である。図10において、1aは内
部電極であり、セラミック層2aの内部に複数層が交互
に重なるように内蔵されている。3は外部電極であり複
数層の内部電極1aに交互に接続されている。また4と
5は、この積層セラミックコンデンサの各面を示すもの
であり、4を端面、5を側面とすると、内部電極1a
は、端面4と側面5の複数面において、外部電極3と接
続されるように構成されている。
FIG. 10 is a partial cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor of the first conventional example. In FIG. 10, reference numeral 1a denotes an internal electrode, and a plurality of layers are built in the ceramic layer 2a so as to alternately overlap. Reference numeral 3 denotes an external electrode, which is alternately connected to a plurality of layers of internal electrodes 1a. Reference numerals 4 and 5 denote each surface of the multilayer ceramic capacitor. When 4 is an end surface and 5 is a side surface, the internal electrodes 1a
Is configured to be connected to the external electrode 3 on a plurality of surfaces of the end surface 4 and the side surface 5.

【0006】ここで、特開平2−156618号公報や
特開平2−156619号公報では、内部電極と外部電
極の接続をチップの複数側面で行い、更に高周波特性を
改善するために内部電極にスリットパターンや切込みを
形成するものである。また特開平5−471591号公
報では、容量に寄与しないダミー内部電極を入れること
で焼結性を改善するものである。
Here, in Japanese Unexamined Patent Publication Nos. Hei 2-156618 and Hei 2-156609, a connection between an internal electrode and an external electrode is made on a plurality of side surfaces of a chip, and a slit is formed in the internal electrode in order to further improve high frequency characteristics. It forms patterns and cuts. In Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-471591, the sinterability is improved by inserting a dummy internal electrode that does not contribute to the capacity.

【0007】しかし、こうした従来の内部電極のパター
ン形状を工夫するだけでは、内部電極が薄層化するほ
ど、外部電極と内部電極の接続が難しくなってきた。そ
のため、特開平5−304042号公報や特開平5−3
35175号公報では、内部電極の外部電極に接続する
部分を局所的に厚くすることによって、内部電極と外部
電極の接続を改善しようとするものが提案されている。
However, only by devising the pattern shape of the conventional internal electrode, the connection between the external electrode and the internal electrode becomes more difficult as the internal electrode becomes thinner. For this reason, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 5-304042 and 5-3
Japanese Patent No. 35175 proposes that the connection between the internal electrode and the external electrode is improved by locally increasing the portion of the internal electrode connected to the external electrode.

【0008】これによれば確かに内部電極が薄層化した
時に、外部電極と内部電極の接続歩留まりを改善するの
には効果が有るが、しかし、内部電極の積層数が300
層以上あるいは500層以上になると、接続用内電に起
因する凹凸(もしくは段差)が、積層セラミックコンデ
ンサに発生しやすくなる。
According to this, when the internal electrodes are thinned, it is effective in improving the connection yield between the external electrodes and the internal electrodes, but the number of stacked internal electrodes is 300.
When the number of layers is equal to or more than 500 or more than 500, irregularities (or steps) due to the connection internal voltage are likely to occur in the multilayer ceramic capacitor.

【0009】この凹凸(もしくは段差)発生の可能性に
ついて図11を用いて説明する。図11は、従来例2の
積層セラミックコンデンサの部分断面図である。図11
において内部電極と外部電極の接続部分のみが局所的に
厚くされている。なお、図11において、説明し易いよ
うに、外部電極やセラミック層の一部は除去している。
図11において、2bはセラミック層であり、複数層の
内部電極1bを上下に埋込みながら形成されている。6
は接続用内電であり、内部電極1bの上に局所的に形成
されている。図10と比べると、図11では、接続用内
電6を導入することで、セラミック層2bに凹凸が激し
くなっていることが判る。またこのセラミック層2bに
凹凸が発生した場合、内部電極1bが凹凸状態に形成さ
れることになり、特にセラミック層2bにおいて、接続
用内電6に起因する凹凸部分が発生するため、セラミッ
ク層2bの凹凸部分付近で、内部電極1bが切れ易くな
るというものであった。
The possibility of occurrence of the unevenness (or step) will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a partial cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor of Conventional Example 2. FIG.
In the above, only the connection portion between the internal electrode and the external electrode is locally thickened. In FIG. 11, some of the external electrodes and the ceramic layer are removed for easy explanation.
In FIG. 11, reference numeral 2b denotes a ceramic layer, which is formed while burying a plurality of internal electrodes 1b vertically. 6
Is a connection internal electrode, which is locally formed on the internal electrode 1b. Compared to FIG. 10, in FIG. 11, it can be seen that the introduction of the connection internal electricity 6 makes the ceramic layer 2b uneven. When the ceramic layer 2b has irregularities, the internal electrodes 1b are formed in an irregular state. In particular, in the ceramic layer 2b, irregularities due to the connection internal voltage 6 are generated. The internal electrode 1b is apt to be cut in the vicinity of the uneven portion.

【0010】本願発明は上記課題を解決するためのもの
であり、高積層化されても確実な内部電極と外部電極の
接続が図れる積層セラミック電子部品及びその製造方法
を実現することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and has as its object to realize a multilayer ceramic electronic component capable of reliably connecting an internal electrode and an external electrode even when the number of layers is increased, and a method of manufacturing the same. .

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、内電肉厚部と
して内電ストライプパターンを利用したものであり、内
部電極と外部電極は内電ストライプパターンを介して確
実に接続されることになるとともに非常に簡単に内部電
極を局所的に厚くした内電肉厚部を形成することがで
き、低コストで生産性よく高精度に高積層化が図れる。
According to the present invention, an internal electric stripe pattern is used as an internal electric thick part, and an internal electrode and an external electrode are securely connected via the internal electric stripe pattern. As a result, it is possible to form the internal electrode thick portion in which the internal electrode is locally thickened very easily, and it is possible to achieve high-precision and high-lamination at low cost with good productivity.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、内部電極とセラミック層が交互に積層され、前記内
部電極の外部電極と接続される部分が他の部分より局所
的に厚く形成された内電肉厚部を有する積層セラミック
電子部品において、前記内部電極および前記内電肉厚部
は卑金属材料からなるとともに、前記内電肉厚部はその
厚みが1μm以上20μm以下で、かつ複数箇所におい
て前記外部電極と接続される積層セラミック電子部品で
あり、厚みの薄い内部電極であっても外部電極と安定し
た接続を行えるという作用を有する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS According to the first aspect of the present invention, an internal electrode and a ceramic layer are alternately laminated, and a portion of the internal electrode connected to an external electrode is locally thicker than other portions. In the multilayer ceramic electronic component having the formed inner thickness part, the inner electrode and the inner thickness part are made of a base metal material, and the thickness of the inner thickness part is 1 μm or more and 20 μm or less, and The multilayer ceramic electronic component is connected to the external electrode at a plurality of locations, and has an effect that stable connection with the external electrode can be performed even with a thin internal electrode.

【0013】本発明の請求項2に記載の発明は、内電肉
厚部が側面においても外部電極と接続されることを特徴
とする請求項1記載の積層セラミック電子部品であり、
厚みの薄い内部電極であってもより外部電極と安定した
接続を行えるという作用を有する。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the multilayer ceramic electronic component according to the first aspect, wherein the inner electrode thick portion is connected to the external electrode also on the side surface.
Even if the internal electrode has a small thickness, it has an effect that a more stable connection with the external electrode can be performed.

【0014】本発明の請求項3に記載の発明は、内部電
極の粒子径と内電肉厚部の粒子径が異なることを特徴と
する請求項1記載の積層セラミック電子部品であり、互
いに異なる粒径の卑金属粒子を用いることにより内部電
極の厚みを局所的に厚くでき、また外部電極と内部電極
の接続安定性も向上できるという作用を有する。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the multilayer ceramic electronic component according to the first aspect, wherein the particle diameter of the internal electrode is different from the particle diameter of the inner electrode thick portion. By using base metal particles having a particle size, the thickness of the internal electrode can be locally increased and the connection stability between the external electrode and the internal electrode can be improved.

【0015】本発明の請求項4に記載の発明は、内電肉
厚部にのみセラミック粉が含まれることを特徴とする請
求項1記載の積層セラミック電子部品であり、局所的に
厚みを厚くした部分にセラミック粉を含有させること
で、卑金属内部電極とセラミック層と、異なる材料間で
の焼結密度や焼結性の違いを吸収させられ、例えば30
0層以上の高積層の積層セラミック電子部品において
も、デラミネーション(層間剥離)等の不良の発生確率
を減らすことができるという作用を有する。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the multilayer ceramic electronic component according to the first aspect, wherein the ceramic powder is contained only in the thick portion of the inner electrode, and the thickness is locally increased. By containing ceramic powder in the portion which has been made, the difference in sintering density and sinterability between different materials can be absorbed between the base metal internal electrode and the ceramic layer.
Even in a multilayer ceramic electronic component having a high number of laminated layers of zero or more, it has an effect that the probability of occurrence of defects such as delamination (delamination) can be reduced.

【0016】本発明の請求項5に記載の発明は、内部電
極とセラミック層が交互に積層され、前記内部電極の外
部電極と接続される部分が他の部分よりも局所的に厚く
形成された内電肉厚部を有する積層セラミック電子部品
の製造方法であって、セラミック生シート上に形成され
た複数の内部電極上に内電肉厚部として等ピッチで幅が
0.05mm以上1mm以下の幅の連続した内電ストラ
イプパターンを形成し、そのセラミック生シートを所定
枚数積層してセラミック生積層体を形成した後、前記セ
ラミック生積層体を前記内電ストライプパターンに平行
及び垂直な方向で、かつ個片にした際に前記内電ストラ
イプパターンがその個片の複数箇所で露出するように分
割し、前記露出された内電ストライプパターンを覆うよ
うに外部電極を形成する積層セラミック電子部品の製造
方法であり、内電ストライプパターンを用いて非常に薄
い内電肉厚部を形成することができ、低コストで生産性
よく製造することができるという作用を有する。
According to a fifth aspect of the present invention, the internal electrodes and the ceramic layers are alternately laminated, and a portion of the internal electrode connected to the external electrode is formed to be locally thicker than other portions. A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component having an inner thick part, wherein a plurality of internal electrodes formed on a ceramic green sheet are formed at equal pitches with a width of 0.05 mm or more and 1 mm or less as inner thick parts. After forming an internal electric stripe pattern having a continuous width and forming a ceramic green laminate by laminating a predetermined number of the ceramic green sheets, the ceramic green laminate is parallel and perpendicular to the internal electric stripe pattern, In addition, when divided into individual pieces, the inner electrode stripe pattern is divided so as to be exposed at a plurality of positions of the individual pieces, and external electrodes are formed so as to cover the exposed inner electrode stripe patterns. A manufacturing method of a multilayer ceramic electronic component, it is possible to form the inner conductive thick portions very thin with internal conductive stripe pattern, an effect that can be produced with good productivity at a low cost.

【0017】本発明の請求項6に記載の発明は、内電ス
トライプパターンをグラビア印刷により形成することを
特徴とする請求項5記載の積層セラミック電子部品の製
造方法であり、内電ストライプパターンを低コストで生
産性よく積層セラミック電子部品を製造することができ
るという作用を有する。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the fifth aspect, wherein the inner electric stripe pattern is formed by gravure printing. This has the effect that multilayer ceramic electronic components can be manufactured at low cost and with good productivity.

【0018】本発明の請求項7に記載の発明は、内電ス
トライプパターンをインキジェット印刷により形成する
ことを特徴とする請求項5記載の積層セラミック電子部
品の製造方法であり、異なる内電ストライプパターンに
対しても簡単に製造することができ、積層セラミック電
子部品のコストダウンを図れるという作用を有する。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the fifth aspect, wherein the internal electric stripe pattern is formed by ink jet printing. Patterns can be easily manufactured, and have the effect of reducing the cost of multilayer ceramic electronic components.

【0019】以下、本発明の実施の形態について、図1
から図9を用いて説明する。 (実施の形態1)本発明の実施の形態1について図1、
図2を用いて説明する。図1は積層セラミック電子部品
の内部構成を示す一部切欠斜視図である。図1におい
て、7aは内電肉厚部となる内電ストライプパターンで
ある。内部電極1cは内電ストライプパターン7aと共
に外部電極3と接続されている。また内部電極1c及び
内電ストライプパターン7aは、セラミック層2cの内
部に複数層が交互に重なるように内蔵されている。また
4と5は、この積層セラミック電子部品の各面を示すも
のであり、4は端面、5は側面を示している。図2は積
層セラミック電子部品の内部構成を示す一部切欠斜視図
であり、図1の外部電極3を除去した様子に相当する。
図2において、内電ストライプパターン7bは、この積
層セラミック電子部品の端面4及び側面5の複数箇所に
露出するように構成されている。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG. (Embodiment 1) Embodiment 1 of the present invention is shown in FIG.
This will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a partially cutaway perspective view showing the internal configuration of the multilayer ceramic electronic component. In FIG. 1, reference numeral 7a denotes an internal electric stripe pattern which becomes an internal electric thick part. The internal electrode 1c is connected to the external electrode 3 together with the internal electrode stripe pattern 7a. The internal electrode 1c and the internal electric stripe pattern 7a are built in the ceramic layer 2c so that a plurality of layers alternately overlap. Reference numerals 4 and 5 indicate the respective surfaces of the multilayer ceramic electronic component, 4 indicates an end surface, and 5 indicates a side surface. FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing the internal configuration of the multilayer ceramic electronic component, and corresponds to a state where the external electrodes 3 in FIG. 1 are removed.
In FIG. 2, the inner electric stripe pattern 7b is configured to be exposed at a plurality of positions on the end face 4 and the side face 5 of the multilayer ceramic electronic component.

【0020】なお、内電ストライプパターン7bはすべ
ての内部電極に形成される必要はない。1層おきや数層
おきあるいは不規則に内電ストライプパターン7bを形
成してもよい。このように飛び飛びに形成することで、
内電ストライプパターン7bの形成コストを下げられ
る。
The internal electric stripe pattern 7b does not need to be formed on all internal electrodes. The inner stripe pattern 7b may be formed every other layer, every few layers, or irregularly. By forming in this way,
The formation cost of the internal electricity stripe pattern 7b can be reduced.

【0021】(実施の形態2)本発明の実施の形態2に
おける積層セラミック電子部品及びその製造方法につい
て、図3〜図6を用いて説明する。図3は積層セラミッ
ク電子部品の内部構造を説明するための要部斜視図であ
る。図3において、内電肉厚部となる内電ストライプパ
ターン7cは、内部電極1cの上に覆い被さるように形
成されており、少なくとも端面4と側面5において、露
出するように形成されている。またこの内電ストライプ
パターン7cはこの複数の露出部分(端面4と側面5)
において、外部電極(図3では図示していない)と接続
されるように構成されている。
(Embodiment 2) A multilayer ceramic electronic component and a method of manufacturing the same according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is a perspective view of a main part for describing the internal structure of the multilayer ceramic electronic component. In FIG. 3, an internal electric stripe pattern 7 c which is an internal electric thick part is formed so as to cover the internal electrode 1 c, and is formed so as to be exposed at least on the end face 4 and the side face 5. The inner electric stripe pattern 7c is composed of the plurality of exposed portions (end face 4 and side face 5).
Is configured to be connected to an external electrode (not shown in FIG. 3).

【0022】次に本実施の形態において、内電ストライ
プパターンを端面4と側面5において、露出させる手段
について図4、図5、図6を用いて更に詳しく説明す
る。図4は、セラミック生積層体の斜視断面図であり、
8はセラミック生積層体である。セラミック生積層体8
の表面及びその内部には、複数個、複数層で内部電極1
d及び内電ストライプパターン7dが形成されている。
図4に示すように、複数の内部電極1dは、内電ストラ
イプパターン7dによって接続されている。
Next, in this embodiment, means for exposing the inner stripe pattern on the end face 4 and the side face 5 will be described in more detail with reference to FIGS. 4, 5 and 6. FIG. FIG. 4 is a perspective sectional view of the ceramic green laminate,
Reference numeral 8 denotes a ceramic green laminate. Ceramic laminate 8
Of the internal electrode 1 on the surface and inside of the
d and an internal electricity stripe pattern 7d are formed.
As shown in FIG. 4, the plurality of internal electrodes 1d are connected by an internal stripe pattern 7d.

【0023】図5は、セラミック生積層体8の第1の切
断方向について説明するものである。図5において、9
aは切断方向である。図5の切断方向9aに沿ってセラ
ミック生積層体8を切断すると、内電ストライプパター
ン7dと直行する方向に、セラミック生積層体8が切断
される。
FIG. 5 illustrates the first cutting direction of the ceramic green laminate 8. In FIG. 5, 9
a is the cutting direction. When the ceramic green laminate 8 is cut along the cutting direction 9a in FIG. 5, the ceramic green laminate 8 is cut in a direction orthogonal to the internal electricity stripe pattern 7d.

【0024】図6は、セラミック生積層体の第2の切断
方向について説明するものである。図6において、9b
は切断方向である。図6の切断方向9bに沿ってセラミ
ック生積層体8を切断すると、内電ストライプパターン
が、その中央部で2分割されながら、セラミック生積層
体8が切断される。
FIG. 6 illustrates a second cutting direction of the ceramic green laminate. In FIG. 6, 9b
Is the cutting direction. When the ceramic green laminate 8 is cut along the cutting direction 9b in FIG. 6, the ceramic green laminate 8 is cut while the internal power stripe pattern is divided into two at the center.

【0025】更に詳しく説明する。まず内部電極1dと
内電ストライプパターン7dとしてはニッケルを用い
て、図4に示すようなセラミック生積層体8を作成し
た。なお本実施の形態における内電セラミックストライ
プパターンは、後述する実施の形態3に示す手法で作成
したものを用いた。ここで内部電極1dの厚みは0.5
μm、2μmの2種、内電ストライプパターン7dの厚
みは3μmとした。
This will be described in more detail. First, a ceramic green laminate 8 as shown in FIG. 4 was prepared using nickel as the internal electrode 1d and the internal electrode stripe pattern 7d. Note that the inner ceramic stripe pattern used in the present embodiment was formed by the method described in the third embodiment described later. Here, the thickness of the internal electrode 1d is 0.5
The thickness of the internal electric stripe pattern 7d was set to 3 μm.

【0026】次に、図5、図6に示すようにこのセラミ
ック生積層体8を切断し、焼成することで、図3もしく
は図2に相当するサンプル(内電ストライプパターンが
端面4と側面5に露出するように)を作成した。次にこ
の上に焼成タイプの銅ペーストを用いて外部電極を形成
した。このサンプルの特性を測定したところ、下記のよ
うな結果が得られた。また比較のために従来例1とし
て、図10相当のものを作成した。また従来例2として
図11相当のものを作成した。
Next, as shown in FIGS. 5 and 6, this ceramic green laminate 8 is cut and fired to obtain a sample corresponding to FIG. 3 or FIG. To be exposed). Next, external electrodes were formed thereon using a firing type copper paste. When the characteristics of this sample were measured, the following results were obtained. For comparison, FIG. 10 was prepared as Conventional Example 1. In addition, as the second conventional example, one equivalent to FIG.

【0027】まず従来例2としては内部電極1bをスク
リーン印刷で作成し、更にこの上に毎回位置合わせしな
がら、接続用内電6をスクリーン印刷した。このため、
印刷工程は2倍となり、毎回、XYθの3方向の位置合
わせが必要なため、製造コストが高くなった。下記に
(表1)としてまとめる。
First, in Conventional Example 2, the internal electrode 1b was prepared by screen printing, and the connection internal electricity 6 was screen-printed thereon while being aligned each time. For this reason,
Since the number of printing steps is doubled, and alignment in three directions of XYθ is required each time, the manufacturing cost is increased. The results are summarized below (Table 1).

【0028】(表1)の結果より、内部電極が薄い場
合、従来例1では合格数が低いことが分かる。そこで同
サンプルの内部電極の露出部を観察したが、殆ど露出し
ていなかった。また同サンプルの断面を走査型電子顕微
鏡で観察したところ、内部電極が非常に薄く、切れ切れ
になっていた。このため、従来例1の合格数が少なかっ
た原因は、内部電極に原因があることが判った。また従
来例2では、合格数も高かった。
From the results shown in Table 1, it can be seen that when the internal electrodes are thin, the pass number is low in Conventional Example 1. Then, the exposed portion of the internal electrode of the same sample was observed, but it was hardly exposed. When the cross section of the sample was observed with a scanning electron microscope, the internal electrodes were extremely thin and cut. For this reason, it was found that the reason why the pass number of the conventional example 1 was small was due to the internal electrode. In addition, in the conventional example 2, the number of passed was high.

【0029】[0029]

【表1】 [Table 1]

【0030】(実施の形態3)本発明の実施の形態3と
して、内電ストライプパターンをグラビア印刷方法で作
成する方法について、図7を用いて説明する。図7は、
内電肉厚部となる内電ストライプパターン7eをセラミ
ック生シート14上に形成された内部電極の上に連続的
に形成する様子を示すものである。図7において、10
はグラビア版であり、11は圧胴である。グラビア版1
0と、圧胴11は矢印12aの方向に回転する。このと
きグラビア版10の下部はインキ溜め(図示していな
い)に浸漬され、インキが付着する。その後、余分なイ
ンキがドクターブレード(図示していない)でかきとら
れる。
(Embodiment 3) As Embodiment 3 of the present invention, a method of forming an internal electric stripe pattern by a gravure printing method will be described with reference to FIG. FIG.
This figure shows a state in which an inner electrode stripe pattern 7e to be an inner electrode thick portion is continuously formed on the internal electrodes formed on the ceramic raw sheet 14. In FIG. 7, 10
Is a gravure plate, and 11 is an impression cylinder. Gravure version 1
0, the impression cylinder 11 rotates in the direction of arrow 12a. At this time, the lower part of the gravure plate 10 is immersed in an ink reservoir (not shown), and the ink adheres. Thereafter, excess ink is scraped off with a doctor blade (not shown).

【0031】こうしてベースフィルム13およびベース
フィルム13上に形成されたセラミック生シート14が
矢印12bの方向に送られながら、その表面に所定のパ
ターンが印刷されることになる。本実施の形態において
は、グラビア版10の表面にストライプパターン15を
形成しておくことで、セラミック生シート14上に形成
された内部電極1eの上に、内電ストライプパターン7
eが形成される。
While the base film 13 and the ceramic green sheet 14 formed on the base film 13 are fed in the direction of arrow 12b, a predetermined pattern is printed on the surface thereof. In the present embodiment, by forming the stripe pattern 15 on the surface of the gravure plate 10, the internal electrode stripe pattern 7 is formed on the internal electrode 1 e formed on the ceramic green sheet 14.
e is formed.

【0032】本実施の形態のように、内電ストライプパ
ターン7eを、グラビア印刷で行うことにより10m/
分〜200m/分と高速、高精度形成(グラビア版10
を金属剛体で形成することで、高精度化できる)ができ
る。またグラビア印刷法の場合、連続フィルムを用いて
位置合わせしながら印刷できるため、内部電極1eと内
電ストライプパターン7eの位置合わせが簡単になる。
特に内部電極1eを規則正しく図7に示すような碁盤目
状にすることで、ストライプパターンは一方向だけの位
置合わせですむ。
As in the present embodiment, the inner electric stripe pattern 7e is formed by gravure printing to obtain a 10 m / m
Min-200 m / min, high-speed, high-precision formation (gravure plate 10
Is formed by a rigid metal body, the accuracy can be improved). In the case of the gravure printing method, since the printing can be performed while performing alignment using a continuous film, the alignment between the internal electrode 1e and the internal electrode stripe pattern 7e is simplified.
In particular, by regularly forming the internal electrodes 1e in a grid pattern as shown in FIG. 7, the stripe pattern can be aligned in only one direction.

【0033】こうしたフィルム幅方向だけの位置合わせ
には、市販のシートエッジコントローラを用いることが
できる。また従来例2(実施の形態2参照)の場合は、
接続用内電6の印刷が0.1〜0.2m/分と印刷が低
速で、かつ毎回XYθの3方向の位置合わせが必要とな
る。またスクリーン印刷を行うために、印刷回数の増加
によってスクリーン版が伸びたり変形したりするため寸
法精度が落ち易くなる。
A commercially available sheet edge controller can be used for such alignment only in the film width direction. In the case of Conventional Example 2 (see Embodiment 2),
The printing of the connection internal line 6 is performed at a low speed of 0.1 to 0.2 m / min, and the positioning in the three directions of XYθ is required each time. In addition, since screen printing is performed, the screen plate is elongated or deformed due to an increase in the number of times of printing.

【0034】なお当然であるが、内部電極1eは、スク
リーン印刷以外にグラビア印刷、インキジェット印刷で
形成することができる。とくに本実施の形態において
は、内部電極1eをグラビア印刷することで、内部電極
1eを高生産性、高精度で印刷形成することができる。
Needless to say, the internal electrode 1e can be formed by gravure printing or ink jet printing in addition to screen printing. In particular, in the present embodiment, the internal electrode 1e can be formed with high productivity and high precision by gravure printing the internal electrode 1e.

【0035】(実施の形態4)本発明の実施の形態4と
して、図8を用いて内電ストライプパターンをインキジ
ェット方法で作成する方法について説明する。図8にお
いて、16はインキジェット装置である。インキタンク
18に充填された電極インキ(図示していない)は、チ
ューブ17を介してインキジェット装置16に送られ、
外部からの電気信号(図示していない)によって所定の
パターンを印字する。実施の形態4においては、インキ
ジェット装置16から、内電肉厚部となる内電ストライ
プパターン7fが印字されることになる。本実施の形態
において、内部電極1fは、ベースフィルム13の上に
直接形成され、矢印12cの方向に送られる。このとき
内部電極1fの上に、インキジェット装置16より、内
電ストライプパターン7fが非接触で形成される。この
ため内部電極1fが未乾燥(印刷直後のベタベタした状
態)であっても、内電ストライプパターン7fを形成す
ることができ、製造コストを下げられる。
(Embodiment 4) As Embodiment 4 of the present invention, a method of forming an internal electric stripe pattern by an ink jet method will be described with reference to FIG. In FIG. 8, reference numeral 16 denotes an ink jet device. The electrode ink (not shown) filled in the ink tank 18 is sent to the ink jet device 16 via the tube 17,
A predetermined pattern is printed by an external electric signal (not shown). In the fourth embodiment, the ink jet device 16 prints the internal electric stripe pattern 7f to be the internal electric thick part. In the present embodiment, the internal electrode 1f is formed directly on the base film 13 and sent in the direction of arrow 12c. At this time, the internal electrode stripe pattern 7f is formed on the internal electrode 1f by the ink jet device 16 in a non-contact manner. For this reason, even if the internal electrode 1f is not dried (the solid state immediately after printing), the internal electrode stripe pattern 7f can be formed, and the manufacturing cost can be reduced.

【0036】特に本実施の形態においては、内電ストラ
イプパターン7fのピッチ、幅、厚み等は外部からの電
気信号によって自由に設定できるため、少量多品種の製
造に対応できる。また当然であるが、内部電極1fは、
グラビア印刷、スクリーン印刷以外にインキジェット印
刷で形成してもよい。
In particular, in the present embodiment, the pitch, width, thickness, and the like of the internal stripe pattern 7f can be freely set by an external electric signal, so that it is possible to cope with the production of many kinds of small quantities. Of course, the internal electrode 1f is
It may be formed by ink jet printing other than gravure printing and screen printing.

【0037】(実施の形態5)本発明の実施の形態5と
して、図9を用いて内電肉厚部となる内電ストライプパ
ターン7gをスクリーン印刷方法で作成する方法につい
て説明する。図9において、19はロータリースクリー
ン版であり、その表面にはストライプパターン20が形
成されている。セラミック生シート14は、矢印12c
の方向に進行し、この時、矢印12cのように回転する
ロータリースクリーン版19に接し、ストライプパター
ン20からインキを付与され、内電ストライプパターン
7gを形成する。
(Embodiment 5) As Embodiment 5 of the present invention, a method of forming an internal electric stripe pattern 7g to be an internal electric thick part by a screen printing method will be described with reference to FIG. In FIG. 9, reference numeral 19 denotes a rotary screen plate on which a stripe pattern 20 is formed. The ceramic raw sheet 14 is indicated by an arrow 12c.
At this time, the ink comes in contact with the rotary screen plate 19 rotating as indicated by the arrow 12c, and the ink is applied from the stripe pattern 20, thereby forming the internal electricity stripe pattern 7g.

【0038】特に本実施の形態においては、内電ストラ
イプパターン7gと内部電極1gの位置合わせは、一方
向だけでよいため、市販のシートエッジコントローラを
用いるだけで、自動的に行うことができる。なお、ロー
タリースクリーン版19としては、市販のニッケルメッ
キ版を用いることができる。また図9において、ロータ
リースクリーン版19の内部には、インキとスキージが
入っているがこれらは図示していない。
In particular, in the present embodiment, since the alignment between the internal electrode stripe pattern 7g and the internal electrode 1g needs to be performed only in one direction, it can be performed automatically only by using a commercially available sheet edge controller. As the rotary screen plate 19, a commercially available nickel plating plate can be used. Also, in FIG. 9, ink and a squeegee are contained inside the rotary screen plate 19, but these are not shown.

【0039】なお内電ストライプパターン7gは、内部
電極1gの上に形成してもよいし、先に内電ストライプ
パターン7gを形成して内部電極1gの下に形成しても
良い。また内部電極1gや内電ストライプパターン7g
は、セラミックグリーンシートの上に直接形成してもよ
いし、ベースフィルムの上に直接形成してもよい。また
発明者らが特許第2636306号公報等で提案したよ
うにセラミック生シートの内部に埋込んでも良い。
The internal electric stripe pattern 7g may be formed on the internal electrode 1g, or may be formed first and then formed below the internal electrode 1g. Also, internal electrode 1g and internal electric stripe pattern 7g
May be formed directly on the ceramic green sheet or directly on the base film. Further, as proposed by the present inventors in Japanese Patent No. 2636306 or the like, it may be embedded in a ceramic green sheet.

【0040】(実施の形態6)本発明の実施の形態6と
して、内部電極と内電ストライプパターンの材料の最適
化について説明する。特に市場から望まれている小型大
容量の積層セラミックコンデンサを製造する際は、内部
電極の薄層化と積層数の増大が必須となっている。
(Embodiment 6) As Embodiment 6 of the present invention, optimization of the material of the internal electrode and the internal stripe pattern will be described. In particular, when manufacturing a small and large-capacity multilayer ceramic capacitor desired from the market, it is essential to make the internal electrodes thinner and increase the number of stacked layers.

【0041】更に詳しく説明する。まず内部電極を薄層
化するため、粒径0.2μmのニッケル粉末を用いて内
部電極用インキを作成した。そしてこの内部電極をセラ
ミック生シート上にグラビア印刷により形成した。そし
てこの内部電極を用いて積層セラミックコンデンサを作
成した。また内電ストライプパターンは粒径1μmのニ
ッケル粉を用いた。内部電極も内電ストライプパターン
もグラビア印刷で作成した。こうして作成した積層セラ
ミックコンデンサの断面を観察したところ、内部電極の
厚みは焼成後に0.2〜0.5μmの厚み、内電ストラ
イプパターンの厚みは焼成後に1.0〜2.0μmとな
り、グラビア版やインキを工夫しなくとも、自動的に内
部電極より内電ストライプパターンの方の厚みを増加さ
せることができた。
This will be described in more detail. First, in order to make the internal electrode thinner, an internal electrode ink was prepared using nickel powder having a particle size of 0.2 μm. Then, the internal electrodes were formed on the green ceramic sheet by gravure printing. Then, a multilayer ceramic capacitor was prepared using the internal electrodes. For the inner stripe pattern, nickel powder having a particle size of 1 μm was used. Both the internal electrodes and the internal stripe pattern were formed by gravure printing. Observation of the cross section of the multilayer ceramic capacitor thus produced revealed that the thickness of the internal electrode was 0.2 to 0.5 μm after firing, and that the thickness of the internal electrode stripe pattern was 1.0 to 2.0 μm after firing. It was possible to automatically increase the thickness of the inner electrode stripe pattern than the internal electrodes without devising ink or ink.

【0042】また粒径0.2μmなどと微粉末になるほ
ど電極粉末自体の単価が上がり、分散(インキ化)も難
しくなる。一方、粒径1.0μm程度の電極粉末は単価
も安く、分散(インキ化)も容易である。また電極粉末
材料にしても、高純度、高均一なものは単価が高くな
る。このため、内部電極部分に高価であってもより薄層
化できるものを、内電ストライプパターン部分には安価
なものをと、電極材料、電極粉末の使い分けを行うこと
でより製品の単価を下げられる。また内部電極にニッケ
ルと、内電ストライプパターンには外部電極と合金の形
成しやすい合金材料等、異なる材料を用いることができ
る。こうすることで、内部電極はより薄層化でき、内電
ストライプパターンは外部電極とより安定した接続を行
える。
As the particle size becomes finer, such as 0.2 μm, the unit price of the electrode powder itself increases, and it becomes more difficult to disperse (make ink). On the other hand, electrode powder having a particle size of about 1.0 μm has a low unit price and is easy to be dispersed (made into ink). Also, as for the electrode powder material, a unit price is high for a material having high purity and high uniformity. For this reason, the unit price of the product can be further reduced by selectively using the electrode material and electrode powder that can be made thinner even if the internal electrode part is expensive and the inexpensive stripe pattern part. Can be Also, different materials can be used, such as nickel for the internal electrode and an alloy material that easily forms an alloy with the external electrode for the internal electrode stripe pattern. By doing so, the internal electrode can be made thinner, and the internal electric stripe pattern can perform more stable connection with the external electrode.

【0043】(実施の形態7)本発明の実施の形態7と
して、内電ストライプパターンに誘電体粉末を添加する
ことによって、焼成時の電極部分とセラミック部分の収
縮率を調整し、デラミネーション(層間剥離)等の不良
低減を行う手法について説明する。従来より、特開平8
−153646号公報等で内部電極に、焼成時の収縮率
を調整するためにセラミック材料やそれに類似する不導
体材料を内部電極に添加することが提案されている。し
かし、こうした材料の添加は、内部電極の厚みが2μm
以上と厚い場合は効果が有るが、内部電極の厚みが2μ
m以下(特に1μm以下)になると、逆に内部電極がポ
ーラス(多孔化)するため、内部電極が切れ切れになっ
てしまい、容量減が発生したり、内部電極と外部電極の
接続が難しくなっていた。
(Embodiment 7) As Embodiment 7 of the present invention, the shrinkage ratio of the electrode portion and the ceramic portion at the time of firing is adjusted by adding a dielectric powder to the internal stripe pattern, and the delamination ( A method for reducing defects such as delamination will be described. Conventionally, as disclosed in
In JP-A-153646 and the like, it is proposed to add a ceramic material or a non-conductive material similar to the ceramic material to the internal electrode in order to adjust the shrinkage ratio during firing. However, the addition of such a material results in the internal electrode having a thickness of 2 μm.
When the thickness is as thick as above, there is an effect, but the thickness of the internal electrode is 2 μm.
When the diameter is less than m (especially 1 μm or less), the internal electrodes are conversely porous (porous), so that the internal electrodes are cut off, resulting in a reduction in capacity and a difficulty in connecting the internal electrodes to the external electrodes. Was.

【0044】本実施の形態では、内部電極は電極材料だ
けでセラミック材料や不導体を添加することなく、内電
ストライプパターンのみにセラミック材料や不導体を添
加することができる。特に本実施の形態では、内電スト
ライプパターン部分に電極材料が集中することになり、
焼成条件によっては、デラミネーション等が発生する場
合がある。こうした場合、例えば同じセラミック材料
(粒径は0.3〜1μm程度が望ましい)を、内電スト
ライプパターンに1〜30重量%程度添加することで、
こうした不良発生を防止できる。
In the present embodiment, the internal electrode can be made of only the electrode material without adding the ceramic material or the non-conductor, and the ceramic material or the non-conductor can be added only to the internal electric stripe pattern. In particular, in the present embodiment, the electrode material is concentrated on the inner stripe pattern portion,
Depending on firing conditions, delamination or the like may occur. In such a case, for example, the same ceramic material (preferably having a particle size of about 0.3 to 1 μm) is added to the inner electrode stripe pattern by about 1 to 30% by weight.
Such defects can be prevented from occurring.

【0045】なお内部電極はニッケル、銅等の材料を単
一あるいは合金として用いることができる。また内電ス
トライプパターンの厚みは1μm以上20μm以下で複
数側面もしくは複数箇所において外部電極と接続される
ことが望ましい。内電ストライプパターンの厚みが0.
5μm以下の場合、接続安定性の改善効果は少ない。ま
た内電ストライプパターンの厚みが25μmを超える場
合、デラミネーションが発生する場合がある。
The internal electrodes can be made of a material such as nickel, copper or the like as a single material or as an alloy. Also, it is desirable that the inner electric stripe pattern has a thickness of 1 μm or more and 20 μm or less and is connected to an external electrode on a plurality of side surfaces or a plurality of locations. The inner electric stripe pattern has a thickness of 0.
If it is 5 μm or less, the effect of improving connection stability is small. When the thickness of the inner electric stripe pattern exceeds 25 μm, delamination may occur.

【0046】また内電ストライプパターンに用いるイン
キは、セラミック生シートを溶解するものを用いること
ができる。セラミック生シートの厚みが10μm以下の
場合、内電ストライプパターンによって複数の内部電極
をショートさせることで、複数層の内部電極は(外部電
極以外にも)内電ストライプパターンを介しても接続さ
れるため、より製品の歩留まりを上げられる。
As the ink used for the internal electric stripe pattern, an ink that dissolves a ceramic green sheet can be used. When the thickness of the ceramic raw sheet is 10 μm or less, a plurality of internal electrodes are short-circuited by the internal electric stripe pattern, so that the internal electrodes of a plurality of layers are connected via the internal electric stripe pattern (in addition to the external electrodes). Therefore, the product yield can be further increased.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上の各実施の形態の説明から明らかな
ように、本発明によれば、内電ストライプパターンを用
いることで、内部電極が薄層化したような内部電極と外
部電極の接続が難しくなった場合でも、高歩留まりで製
品を製造できる。また内部電極と外部電極の接続に接続
用内電ではなく、連続的にパターンの形成された内電ス
トライプパターンを用いることにより、内部電極との位
置合わせを簡略化できるため、積層セラミック電子部品
を低コスト、高生産性で製造することができる。
As is clear from the above description of the embodiments, according to the present invention, the use of the internal electrode stripe pattern enables the connection between the internal electrode and the external electrode as if the internal electrode was thinned. Even if it becomes difficult, products can be manufactured with high yield. In addition, since the internal electrode and the external electrode are connected not by the internal electrode for connection but by the internal electrode stripe pattern in which the pattern is continuously formed, the alignment with the internal electrode can be simplified. It can be manufactured at low cost and high productivity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態1による積層セラミック電
子部品の内部構成を示す一部切欠斜視図
FIG. 1 is a partially cutaway perspective view showing an internal configuration of a multilayer ceramic electronic component according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同実施の形態の内部構成を示す一部切欠斜視図FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing an internal configuration of the embodiment.

【図3】本発明の実施の形態2による積層セラミック電
子部品の内部構造を説明するための要部斜視図
FIG. 3 is an essential part perspective view for describing an internal structure of a multilayer ceramic electronic component according to a second embodiment of the present invention.

【図4】同実施の形態のセラミック生積層体の斜視図FIG. 4 is a perspective view of the ceramic green laminate of the embodiment.

【図5】同実施の形態のセラミック生積層体の第1の切
断方向について説明するための斜視断面図
FIG. 5 is a perspective sectional view illustrating a first cutting direction of the ceramic green laminate of the embodiment.

【図6】同実施の形態のセラミック生積層体の第2の切
断方向について説明するための斜視断面図
FIG. 6 is a perspective cross-sectional view for explaining a second cutting direction of the ceramic green laminate of the embodiment.

【図7】本発明の実施の形態3による内電ストライプパ
ターンをセラミック生シート上に形成された内部電極の
上に連続的に形成する様子を示す概略斜視図
FIG. 7 is a schematic perspective view showing a state in which an internal electric stripe pattern according to a third embodiment of the present invention is continuously formed on internal electrodes formed on a ceramic raw sheet.

【図8】本発明の実施の形態4による内電ストライプパ
ターンをインキジェット方法で作成する方法を説明する
ための概略斜視図
FIG. 8 is a schematic perspective view for explaining a method of forming an internal electric stripe pattern by an ink jet method according to a fourth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の実施の形態5による内電ストライプパ
ターンをグラビア印刷方法で作成する方法を説明するた
めの概略斜視図
FIG. 9 is a schematic perspective view for explaining a method of forming an internal electric stripe pattern by a gravure printing method according to a fifth embodiment of the present invention.

【図10】従来例1の積層セラミックコンデンサの部分
断面図
FIG. 10 is a partial cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor of Conventional Example 1.

【図11】従来例2の積層セラミックコンデンサの部分
断面図
FIG. 11 is a partial cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor of Conventional Example 2.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a〜1g 内部電極 2a〜2c セラミック層 3 外部電極 4 端面 5 側面 6 接続用内電 7a〜7g 内電ストライプパターン(内電肉厚部) 8 セラミック生積層体 9a,9b 切断方向 10 グラビア版 11 圧胴 12a〜12c 矢印 13 ベースフィルム 14 セラミック生シート 15 ストライプパターン 16 インキジェット装置 17 チューブ 18 インキタンク 19 ロータリースクリーン版 20 ストライプパターン 1a to 1g Internal electrode 2a to 2c Ceramic layer 3 External electrode 4 End face 5 Side face 6 Internal power for connection 7a to 7g Internal power stripe pattern (inner power thick part) 8 Ceramic raw laminate 9a, 9b Cutting direction 10 Gravure plate 11 Impression cylinders 12a to 12c arrows 13 base film 14 ceramic raw sheet 15 stripe pattern 16 ink jet device 17 tube 18 ink tank 19 rotary screen plate 20 stripe pattern

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 内部電極とセラミック層が交互に積層さ
れ、前記内部電極の外部電極と接続される部分が他の部
分より局所的に厚く形成された内電肉厚部を有する積層
セラミック電子部品において、前記内部電極および前記
内電肉厚部は卑金属材料からなるとともに、前記内電肉
厚部はその厚みが1μm以上20μm以下で、かつ複数
箇所において前記外部電極と接続される積層セラミック
電子部品。
1. A multilayer ceramic electronic component having an internal electrode thick portion in which internal electrodes and ceramic layers are alternately laminated, and a portion of the internal electrode connected to an external electrode is locally thicker than other portions. , Wherein the internal electrode and the internal thick portion are made of a base metal material, and the internal thick portion has a thickness of 1 μm or more and 20 μm or less, and is connected to the external electrode at a plurality of locations. .
【請求項2】 内電肉厚部が側面においても外部電極と
接続されることを特徴とする請求項1記載の積層セラミ
ック電子部品。
2. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the inner electric thick part is connected to the external electrode also on the side surface.
【請求項3】 内部電極の粒子径と内電肉厚部の粒子径
が異なることを特徴とする請求項1記載の積層セラミッ
ク電子部品。
3. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the particle diameter of the internal electrode is different from the particle diameter of the thick inner wall portion.
【請求項4】 内電肉厚部にのみセラミック粉が含まれ
ることを特徴とする請求項1記載の積層セラミック電子
部品。
4. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the ceramic powder is contained only in the thick portion of the inner electrode.
【請求項5】 内部電極とセラミック層が交互に積層さ
れ、前記内部電極の外部電極と接続される部分が他の部
分よりも局所的に厚く形成された内電肉厚部を有する積
層セラミック電子部品の製造方法であって、セラミック
生シート上に形成された複数の内部電極上に内電肉厚部
として等ピッチで幅が0.05mm以上1mm以下の幅
の連続した内電ストライプパターンを形成し、そのセラ
ミック生シートを所定枚数積層してセラミック生積層体
を形成した後、前記セラミック生積層体を前記内電スト
ライプパターンに平行及び垂直な方向で、かつ個片にし
た際に前記内電ストライプパターンがその個片の複数箇
所で露出するように分割し、前記露出された内電ストラ
イプパターンを覆うように外部電極を形成する積層セラ
ミック電子部品の製造方法。
5. A multilayer ceramic electronic device having an internal electrode thick portion in which internal electrodes and ceramic layers are alternately stacked, and a portion of the internal electrode connected to an external electrode is locally thicker than other portions. A method of manufacturing a component, wherein a continuous inner electrode stripe pattern having a width of 0.05 mm or more and 1 mm or less is formed at a constant pitch as an inner electrode thick portion on a plurality of internal electrodes formed on a ceramic raw sheet. After a predetermined number of the ceramic green sheets are laminated to form a ceramic green laminate, the ceramic green laminate is divided into individual pieces in a direction parallel and perpendicular to the internal electric stripe pattern, and the internal electric A multi-layer ceramic electronic component in which a stripe pattern is divided so as to be exposed at a plurality of portions of the individual piece, and external electrodes are formed so as to cover the exposed inner electrode stripe pattern. Construction method.
【請求項6】 内電ストライプパターンをグラビア印刷
により形成することを特徴とする請求項5記載の積層セ
ラミック電子部品の製造方法。
6. The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 5, wherein the internal electric stripe pattern is formed by gravure printing.
【請求項7】 内電ストライプパターンをインキジェッ
ト印刷により形成することを特徴とする請求項5記載の
積層セラミック電子部品の製造方法。
7. The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to claim 5, wherein the internal electric stripe pattern is formed by ink jet printing.
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