JPH1195119A5 - - Google Patents

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JP4756819B2 (ja) * 2003-10-21 2011-08-24 オリンパス株式会社 走査型顕微鏡システム
JP2005321728A (ja) * 2004-05-11 2005-11-17 Olympus Corp 走査型顕微鏡の測定パラメータ決定方法
JP2008535528A (ja) * 2005-01-18 2008-09-04 トレストル コーポレーション スライドの可変品質画像を形成するためのシステムおよび方法
JP5197246B2 (ja) * 2008-09-03 2013-05-15 オリンパス株式会社 顕微鏡システム
JP2010286565A (ja) * 2009-06-09 2010-12-24 Olympus Corp 蛍光観察装置
JP5452180B2 (ja) 2009-11-13 2014-03-26 オリンパス株式会社 顕微鏡装置
JP2012118126A (ja) * 2010-11-29 2012-06-21 Olympus Corp 観察装置および観察方法
JP5654112B2 (ja) * 2013-12-26 2015-01-14 オリンパス株式会社 顕微鏡装置
JP6804065B2 (ja) * 2015-09-25 2020-12-23 ザ・リージェンツ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・ミシガンＴｈｅ Ｒｅｇｅｎｔｓ Ｏｆ Ｔｈｅ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ Ｏｆ Ｍｉｃｈｉｇａｎ コヒーレントラマンイメージング用生検装置

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