KR100278896B1 - 섀도마스크 검사방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 섀도마스크의 한 쪽의 주면으로 조사된 광이 복수의 투공을 투과하여 다른 쪽의 주면측에서 촬영된 광상에 나타나는 암결점이, 투공의 구멍작음결함에 기인하는 것인가, 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 것인가를 용이하게 판별하여, 검사효율의 향상을 피하는 것을 그 과제로 한다. 본 발명에서는, 섀도마스크(1)에 광원(12)으로부터 광을 조사하고 촬상장치(14)로 투과광상을 촬영하여 얻어진 제1 화상데이터로부터 암결점의 제1 좌표위치를 구하고, 촬상 후에, 섀도마스크에 부착된 이물을 이동시키고, 그 후에, 섀도마스크에 광원(22)으로부터 광을 조사하고 촬상장치(24)로 투과광상을 촬영하여 얻어진 제2 화상데이터로부터 암결점의 제2 좌표위치를 구한다. 제1 좌표위치와 제2좌표위치를 비교하여, 섀도마스크에 부착된 이물에 관한 정보를 구함으로써, 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점의 유무를 판정한다.

Description

섀도마스크 검사방법 및 장치

제1도는 본 발명에 관한 섀도마스크의 검사방법을 실시하는데 사용되는 검사장치 전체의 개략적인 구성의 일례를 나타내는 모식도.

제2도는 제1도에 나타낸 섀도마스크 검사장치의 블록도.

제3도는 제1도에 나타낸 섀도마스크 검사장치를 사용하여 섀도마스크의 검사를 행하는 방법을 설명하기 위한 플로차트.

제4도는 제1도에 나타낸 섀도마스크 검사장치와는 다른 구성예를 나타내는 모식도.

제5도는 본 발명에 관한 섀도마스크의 검사방법을 설명하기 위한 도면.

제6도는 청구항 2에 관한 발명의 검사방법을 설명하기 위한 도면.

제7도는 종래의 섀도마스크 검사방법을 실시하는데 사용되는 검사장치의 개략적인 구성의 일례를 나타내는 모식도.

제8도는 섀도마스크의 투과광상(透過光像)에 암결점(

)이 나타나는 원인중의 하나를 설명하기 위한 도면으로서, 섀도마스크의 부분 확대단면도.

제9도는 촬상장치에 의해서 촬영된 광상(光像)의 일례를 나타내는 부분확대도.

제10도는 섀도마스크의 투과광상에 암결점이 나타나는 원인 중의 하나를 설명하기 위한 도면으로서, 섀도마스크의 부분 확대단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 섀도마스크 10 : 제1 유닛

12 : 제1 광원 14 : 제1 촬상장치

16 : 제2 유닛 18 : 공기 취부기(吹付機)

20 : 제3 유닛 22 : 제2 광원

24 : 제2 촬상장치 26 : 반송장치

34 : 제어장치 38 : CPU

40 : ROM 42 : RAM

46 : 광원 48 : 촬상장치

50 : 이물(異物) 이동장치

본 발명은, 컬러 브라운관용 섀도마스크에 투공의 결함이 포함되어 있는지의 여부를 검사하는 섀도마스크의 검사방법 및 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로, 컬러 브라운관용 섀도마스크는, 포토에칭법을 응용하여 금속박판에 다수의 투공(透孔)을 형성함으로써 제조된다. 이와 같이 제조된 섀도마스크는, 그것에 형성된 각 투공의 개공(開孔) 면적이 각각 소망의 값으로 되어 있는지의 여부가 검사된다. 이 섀도마스크의 검사는, 종래, 제7도에 개략적인 구성을 도시한 바와 같은 검사장치를 사용하여, 다음과 같이 행해지고 있다.

우선, 상하로 대향하여 설치된 광원(3)과 촬상장치(4)와의 사이에, 검사하고자 하는 섀도마스크(1)를 수평자세로 지지하고, 섀도마스크(1)의 한 쪽의 주면측(主面側)(도면에서는 하면측), 즉, 섀도마스크(1)에 형성된 투공(2)의 큰 구멍측의 면에 대하여 아래쪽의 광원(3)으로부터 광을 조사한다. 그리고, 조사된 광이 섀도마스크(1)의 복수의 투공(2)을 투과한 광상(光像)을, 섀도마스크(1)의 다른 쪽의 주면측(도면에서는 상면측)에 설치된 촬상장치(4)에 의해 촬영하고, 촬상장치(4)로부터 퍼스널 컴퓨터 등의 제어장치(5)로 화상신호를 보내어 화상데이터를 얻는다. 촬상장치(4)에 의해 촬영된 광상은, 제9도에 도시한 바와 같이, 섀도마스크(1)의 투공(2)에 대응하는 부분이 밝은 명부(明部)(6)로 되고, 그 이외의 부분이 어두운 암부(暗部)(7)로 되어 있다.

다음에, 얻어진 화상데이터에 소정의 화상처리를 실시하여, 섀도마스크(1)의 투공(2)의 개공 면적, 즉 광상에 있어서의 명부(6)의 면적이 소망의 값보다 작은 암결점(

)이나 소망의 값보다 큰 명결점을 검출한다. 그리고, 암결점이 검출되면 투공의 개공 면적이 소망치보다 작은 구멍작음결함이 존재하며, 명결점이 검출되면, 투공의 개공 면적이 소망치보다 큰 구멍큼결함이 존재하는 것으로 하여, 그 섀도마스크를 불량품과 판정하도록 하고 있다.

그러나, 상기한 종래 검사방법으로는, 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함 이외의 원인에 의해서도 광상에서 암결점이 나타난다. 즉, 제8도에 섀도마스크(1)의 부분확대단면도를 도시한 바와 같이, 투공(2a)에 구멍작음결함(8)이 있으면, 그 부분에서 광원(3)으로부터의 조사광이 차단되고, 제9도에 도시한 바와 같이 광상에 암결점(6a)이 나타나지만, 제10도에 부분 확대단면도를 도시한 바와 같이, 섀도마스크(1)의 투공(2)의 부근에 이물(異物)(9)이 부착되어 있더라도, 투공(2)을 투과하는 광이 그 이물(9)에 의해 차단되어, 제9도에 나타낸 바와 같은 암결점(6a)이 광상에 나타나게 된다. 이 경우, 암결점(6a)이 투공(2a)의 구멍작음결함(8)에 기인하는 것인가, 섀도마스크(1)에의 이물(9)의 부착에 기인하는 것인가는 종래 검사방법에서는 판별할 수 없었다.

보통, 투공의 구멍작음결함이나 구멍큼결함이 존재하는 섀도마스크는 불량품으로서 폐기된다. 한편, 이물이 부착되어 있는 섀도마스크는, 이물 제거공정으로 보내져, 예컨대 일본 실용신안 공개 94-86252호 공보에 개시된 바와 같은 세정장치를 사용하여, 그것에 부착된 이물을 제거하는 처리가 행해진다. 그런데, 전술한 바와 같이 광상에 나타난 암결점이 투공의 구멍작음결함에 기인하는 것인가, 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 것인가를 판별할 수 없기 때문에, 종래, 암결점이 나타난 새도마스크는, 그 모두에 이물이 부착되어 있는 가능성이 있는 것으로 하여, 이물 제거공정으로 보내져, 이물 제거처리가 행해진 후, 다시 검사되었다. 이 때문에, 이물이 부착되고 있지 않고 투공의 구멍작음결함만이 존재하여 본래 폐기되어야 할 섀도마스크에 대해서도, 이물의 제거처리와 재검사가 실시되는 것으로 되어, 검사효율이 현저히 저하한다는 문제점이 있었다.

본 발명은, 섀도마스크의 한 쪽의 주면으로 조사된 광이 복수의 투공을 투과하여 다른 쪽의 주면측에서 촬영된 광상에 나타나는 암결점이, 투공의 구멍작음결함에 기인하는 것인가, 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 것인가를 용이하게 판별하여, 검사에 있어서 암결점이 나타난 섀도마스크의 모두에 대해 이물의 제거처리와 재검사를 실시하는 낭비를 없애고, 더욱이 검사효율의 향상을 꾀할 수 있는 섀도마스크의 검사방법을 제공하는 것, 및 그 방법을 적절하게 실시할 수 있는 섀도마스크 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

청구항 1에 관한 발명은. 섀도마스크의 한 쪽의 주면으로 광을 조사하고, 그 조사광이 섀도마스크의 복수의 투공을 투과한 광상을 다른 쪽의 주면측에서 촬영하여 제1 화상데이터를 얻는 제1 촬상공정과, 상기 제1 화상데이터로부터, 섀도마스크의 각 투공에 대응하는 광상의 각 명부의 크기가 소정치보다 작은 암결점의 제1 좌표위치를 구하는 제1 좌표위치 검출공정과, 상기 제1 촬상공정 후에, 섀도마스크에 부착된 이물을 이동시키는 이물 이동공정과, 이 이물 이동공정 후에, 섀도마스크의 한쪽의 주연으로 광을 조사하고, 그 조사광이 섀도마스크의 복수의 투공을 투과한 광상을 다른 쪽의 주면측에서 찰영하여 제2 화상데이터를 얻는 제2 촬상공정과, 상기 제2 화상데이터로부터, 섀도마스크의 각 투공에 대응하는 황상의 각 명부의 크기가 소정치보다 작은 암결점의 제2 좌표위치를 구하는 제2 좌표위치 검출공정과, 상기 제1 좌표위치와 상기 제2 좌표위치를 비교하여, 섀도마스크에 부착된 이물에 관한 정보를 구하여, 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점의 유무를 판정하는 결함 판정공정을 차례로 거침으로써, 섀도마스크에 형성된 투공의 결함의 유무를 검사하는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 관한 발명은, 청구항 1에 기재된 검사방법에 있어서, 상기 결함 판정공정에서, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 같은 암결점을 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점이라고 판별하고, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 다른 암결점을 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 암결점이라고 판별하는 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 관한 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 검사방법에 있어서, 상기 이물 이동공정에서 섀도마스크에 기체를 내뿜는 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 관한 발명은, 섀도마스크의 한 쪽의 주면에 광을 조사하는 광 조사수단과, 이 광 조사수단으로부터 조사된 광이 섀도마스크의 복수의 투공을 투과한 광상을 다른 쪽의 주면측에서 촬영하여 화상데이터를 얻는 촬상수단과, 이 촬상수단에 의해 얻어진 화상데이터로부터, 섀도마스크의 각 투공에 대응하는 광상의 각 명부의 크기가 소정치보다 작은 암결점의 좌표위치를 구하는 좌표위치 검출수단과 섀도마스크에 부착된 이물을 이동시키는 이물 이동수단과, 이 이물 이동수단에 의해 이물이 이동되기 전의 섀도우마스크에 관하여 상기 촬상수단에 의해 얻어진 제1 화상데이터로부터 상기 좌표위치 검출수단에 의해 구해진 제1 좌표위치와, 상기 이물 이동수단에 의해서 이물이 이동된 후의 섀도마스크에 관해서 상기 촬상수단에 의해서 얻어진 제2 화상데이터로부터 상기 좌표위치 검출수단에 의해서 구해진 제2 좌표위치를 비교하여, 섀도마스크에 부착된 이물에 관한 정보를 구하여, 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점의 유무를 판정하는 결함 판정수단를 구비하여, 섀도마스크에 형성된 투공의 결함의 유무를 검사하는 섀도마스크의 검사장치를 구성한 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 관한 발명은, 청구항 4에 기재된 검사장치에 있어서, 제1 좌표위처와 제2 좌표위치가 서로 같은 암결점을 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점이라고 판별하고, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 다른 암결점을 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 암결점이라고 판별하는 판별수단을 상기 결함 판정수단이 갖는 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 관한 발명은, 청구항 4 또는 청구항 5에 기재된 검사장치에 있어서, 상기 촬상수단을, 제1 화상데이터를 얻기 위한 제1 촬상수단과. 제2 화상데이터를 얻기 위한 제2 촬상수단으로 구성함과 동시에, 상기 좌표위치 검출수단을, 제1 좌표위치를 구하기 위한 제1 좌표위치 검출수단과, 제2 좌표위치를 구하기 위한 제2 좌표위치 검출수단으로 구성하며, 상기 이물 이동수단을 상기 제1 촬상수단과 상기 제2 촬상수단과의 사이에 배치함과 동시에, 상기 제1 활상수단에서 상기 이물 이동수단을 지나서 상기 제2 촬상수단으로 섀도마스크를 반송하는 반송수단을 마련한 것을 특징으로 한다.

청구항 7에 관한 발명은 청구항 4 내지 청구항 6 중의 어느 하나에 기재된 검사장치에 있어서, 상기 이물 이동수단이 섀도마스크에 기체를 내뿜는 기체 취부수단인 것을 특징으로 한다.

전술한 청구항 1에 관한 발명의 섀도마스크 검사방법에 의하면, 제1 촬상공정 및 제1 좌표위치 검출공정을 거침으로써 구해진 광상에 있어서의 암결점의 제1 좌표위치와, 섀도마스크에 부착된 이물을 이동시킨 후에 제2 촬상공정 및 제2 좌표위치 검출공정을 거침으로써 구해진 광상에 있어서의 암결점의 제2 좌표위치가 비교되어, 섀도마스크에 부착된 이물에 관한 정보가 구해진다. 이 구해진 이물에 관한 정보로부터, 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인한 암결점 이외의 암결점, 즉 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점의 유무가 판정된다.

청구항 2에 관한 발명의 검사방법에서는, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 같은 암결점을 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결젊이라고 판별하고, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 다른 암결점을 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 암결점이라고 판별함으로써, 섀도마스크의 투공의 구망작음결함에 기인하는 암결점의 유무가 판정된다. 예컨대 제6(a)도에 도시한 바와 같이, 제1 촬상공정에서 촬영된 광상에 3개의 암결점(a1, a2, a3)이 존재하고, 암결점(a1)의 좌표위치가(X1, Y1), 암결점(a2)의 좌표위치가 (X2, Y2), 암결점(a3)의 좌표위치가 (X3, Y3)이라고 하자. 한편, 제2 촬상공정에서 촬영된 광상에는, 제6(b)도에 도시한 바와 같이 3개의 암결점(b2, b3, b4)이 존재하고, 암결점(b2)의 좌표위치가 (X2, Y2), 암결점(b3)의 좌표위치가 (X3, Y3), 암결점(b4)의 좌표위치가 (X4, Y4)라고 하면, 제1 촬상공정에서 촬영된 광상에 있어서의 암결점(a2, a3)의 각 좌표위치와 제2 촬강공정에서 촬영된 광상에 있어서의 암결점(b2, b3)의 각 좌표위치와는, 각각 서로 같다. 따라서, 제1 촬상공정에서 촬영된 광상에 있어서의 암결점(a2, a3)(제2 촬상공정에서 촬영된 광상에 있어서의 암결점(b2, b3))은, 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점이라고 판별된다. 이에 대해, 제1 촬상공정에서 촬영된 광상에 있어서의 암결점(a1)의 좌표위치와 제2 촬상공정에서 촬영된 광상에 있어서의 암결점(b4)의 좌표위치와는 서로 다르다. 따라서, 제1 촬상공정에서 촬영된 광상에 있어서의 암결점(a1) 및 제2 촬상공정에서 촬영된 광상에 있어서의 암결점(b4)은, 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 암결점이라고 판별되는 것으로 된다.

청구항 3에 관한 발명의 검사방법에서는, 이물 이동공정에서 섀도마스크에 기체가 내뿜어짐으로써, 섀도마스크 상을 이물이 이동한다.

청구항 4에 관한 발명의 섀도마스크 검사장치를 사용하면, 광 조사수단으로부터 섀도마스크의 한 쪽의 주면으로 광이 조사되고, 그 조사광이 섀도마스크의 복수의 투공을 투과한 쾅상이 촬상수단에 의해서 다른 쪽의 주면측에서 촬영됨으로써, 화상 데이터가 얻어진다. 이 촬상수단에 의해서 얻어진 화상데이터로부터, 좌표위치 검출수단에 의해 광상에 있어서의 암결점의 좌표위치가 구해진다. 또한, 이물 이동수단에 의해, 섀도마스크에 부착된 이물이 이동된다. 그리고, 결함 판정수단에 의해, 이물이 이동되기 전의 섀도마스크에 관해 촬상수단에 의해서 얻어진 제1 화상데이터로부터 좌표위치 검출수단에 의해서 구해진 제1 좌표위치와, 이물이 이동시켜진 후의 섀도마스크에 관해 촬상수단에 의해서 얻어진 제2 화상데이터로부터 좌표위치 검출수단에 의해서 구해진 제2 좌표위치가 비교되어, 섀도마스크에 부착된 이물에 관한 정보가 구해지고, 이 구해진 이물에 관한 정보로부터, 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인한 암결점 이외의 암결점, 즉 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점의 유무가 판정된다.

청구항 5에 관한 발명의 검사장치에서는, 결함 판정수단의 판별수단에 의해 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 같은 암결점이 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점이라고 판별되고, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 다른 암결점이 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 암결점이라고 판별되어, 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점의 유무가 판정된다.

청구항 6에 관한 발명의 검사장치에서는, 제1 촬상수단에 의해 제1 화상데이터가 얻어진고, 제2 촬상수단에 의해 제2 화상데이터가 얻어진다. 또한, 제1 좌표위치 검출수단에 의해 제1 좌표위치가 구해지고, 제2 좌표위치 검출수단에 의해서 제2 좌표위치가 구해진다. 그리고, 제1 촬상수단에 의해 섀도마스크의 투과광상이 촬영된 후, 반송수단에 의해 섀도마스크가 이물 이동수단으로 반송되며, 이물 이동수단에 의해 섀도마스크에의 부착이물이 이동시켜진 후, 반송수단에 의해 섀도마스크가 제2 촬상수단으로 반송된다.

청구항 7에 관한 발명의 검사장치에서는, 기체 취부(吹付)수단으로부터 섀도마스크에 기체가 내뿜어짐으로써, 섀도마스크 상을 이물이 이동한다.

이하, 본 발명의 최적의 실시형태에 관해서 도면을 참조하면서 설명한다.

제1도는, 본 발명에 관한 섀도마스크 검사방법을 실시하는데 사용되는 검사장치 전체의 개략적인 구성의 일례를 나타내는 모식도이다. 이 검사장치는, 상하로 대향하여 설치된 제1 촬상장치(14) 및 제1 광원(12)을 갖춘 제1 유닛(10)과, 이 제1 유닛(10)에 인접하여, 섀도마스크(1)의 상면에 대하여 압축공기를 내뿜는 공기 취부기(18)를 갖춘 제2 유닛(16)과, 이 제2 유닛(16)의 뒤쪽에 인접하며, 상하로 대향하여 설치된 제2 촬상장치(24) 및 제2 광원(22)을 갖춘 제3 유닛(20)과, 제1 유닛(10)으로부터 제2 유닛(16)을 지나서 제3유닛(20)까지 섀도마스크(1)를 반송하기 위한, 여러개의 열로 설치된 자석로울러(28)로 이루어지는 반송장치(26)로 구성되어 있다. 섀도마스크(1)는, 자석로울러(28)에 의해, 투공의 작은 구멍측을 상면측으로 하여 수평상태로 지지된 상태로, 광원(12, 22)과 촬상장치(14, 24)와의 사이 및 공기 취부기(18)의 아래 측으로 반송된다.

제1 유닛(10) 및 제3 유닛(20)에 있어서는 각각, 섀도마스크(1)의 한 쪽의 주면측에 대하여 아래쪽의 광원(12, 22)으로부터 광이 조사되고, 그 조사광이 섀도마스크(1)의 복수의 투공을 투과한 광상이, 섀도마스크(1)의 다른 쪽의 주면측에 설치된 촬상장치(14, 24)에 의해 촬영된다. 그리고, 섀도마스크(1)의 광상이 촬영되면, 제2도에 블록도를 도시한 바와 같이, 촬상장치(14, 24)로부터 아날로그 화상신호가 A/D 변환기(30, 32)로 보내어지고, A/D 변환기(30, 32)에서 아날로그 화상신호가 디지털 화상신호로 변환되며, A/D 변환기(30, 32)로부터 디지털 화상신호가 제어장치(34)의 입출력포트(36)를 지나서 RAM(42)으로 보내어지고, RAM(42)에 착상데이터로서 기억된다.

제어장치(34)는, RAM(42) 외에, 논리연산을 실행하는 주지의 CPU(38), 및, CPU(38)을 제어하는 각종 프로그램 등이 미리 기억된 ROM(40)을 갖추고 있다. 또한, CPU(38), ROM(40) 및 RAM(42)은, 각각 공통 버스(44)에 의해 서로 접속됨과 동시에, 각각 공통 버스(44)를 통해 입출력포트(36)에 접속되어 있다. 그리고, 제어장치(34)는, 입출력포트(36)에 의해 각 광원(12 ,22), 공기 취부기(18) 및 A/D 변환기(30, 32)와의 사이, 더욱이 도시를 생략한 콘솔이나 디스플레이 등의 사이에서 신호를 주고받는다.

다음에, 상기 구성의 섀도마스크 검사장치를 사용하여 섀도마스크(1)의 검사를 행하는 방법에 관해, 제3도에 나타낸 플로차트를 참조하면서 설명한다.

우선, 제1 유닛(10)에 있어서, 검사하고자 하는 섀도마스크(1)를 소정 위치에 위치 결정하여 유지하고, 제1 광원(12)을 점등시키고, 섀도마스크(1)의 투과광상을 촬영하여, 제1 화상데이터를 얻는다(단계 S1). 이 때, 섀도마스크(1)의 투공의 구멍작음결함이 존재하거나 섀도마스크(1)에 이물이 부착되어 있으면, 예컨대 제5(a)도에 도시한 바와 같이, 섀도마스크(1)의 투공에 대응하는 명부(52)에 암결점(a1, a2, a3)을 갖는 광상이 촬영된다. 그리고, 촬상장치(14)로부터 출력되는 아날로그 화상신호가 A/D 변환기(30)에서 디지털 화상신호로 변환되고, 그 디지틸 화상신호가 제어장치(34)로 입력되어, RAM(42)에 제1 화상데이터로서 기억된다. 다음에, 얻어진 제1 화상데이터를 RAM(42)으로부터 읽어 내고, CPU(38)에 의해, 그 제1 화상데이터로부터, 광상에 존재하는 암결점(a1, a2, a3)의 각 좌표위치를 구하여, RAM(42)에 제1 좌표위치 데이터로서 기억한다(단계 52).

다음에, 섀도마스크(1)를 제1 유닛(10)으로부터 제2유닛(16)으로(에) 반송하고, 제 2유닛(16)에 있어서, 공기 취부기(18)에 의해 섀도마스크(1)의 상면을 공기로 불어내어, 섀도마스크(1)상의 이물을 이동시킨다(단계 S3) 이어서, 섀도마스크(1)를 제2 유닛(16)으로부터 제3 유닛(20)으로 반송하여, 제3 유닛(20)에서, 섀도마스크(1)를 소정위치에 위치 결정하여 유지한다. 그리고, 제2 광원(20)을 점등시키고, 섀도마스크(1)의 투과광상을 촬영하여, 제2 화상데이터를 얻는다(단계 S4). 이 때는, 예컨대 제5(b)도에 도시한 바와 같이, 섀도마스크(1)의 투공에 대응하는 명부(54)에 암결점(b2, b3, b4)을 갖는 광상이 촬영되어, 촬상장치(24)로부터 아날로그 화상신호가 출력된다.

그리고, A/D 변환기(32)에서 아날로그 화상신호가 디지털 화상신호에 변환되고, 그 디지털 화상신호가 제어장치(34)로 입력되어, RAM(42)에 제2 화상데이터로서 기억된다. 다음에, 얻어진 제2 화상데이터를 RAM(42)으로부터 읽어 내어, CPU(38)에 의해, 그 제2 화상데이터로부터 광상에 존재하는 암결점(b2, b3, b4)의 각 좌표위치를 구하여, RAM(42)에 제2 좌표위치 데이터로서 기억한다(단계 S5).

다음에, RAM(42)으로부터 제1 좌표위치 데이터와 제2 좌표위치 데이터를 읽어내어, CPU(38)에 의해 양 좌표위치 데이터를 비교하여, 이물의 좌표위치 데이터를 구한다(단계 S6). 이 경우, 제5(a)도에 나타낸 광상과 제5(b)도에 나타낸 광상을 비교해 보면 알 수 있듯이, 전자에 있어서의 각 암결점(a2, a3)과 후자에 있어서의 각 암결점(b2, b3)과는, 각각 서로의 좌표위치가 같고, 한편, 전자에 있어서의 암결점(a1)과 후자에 있어서의 암결점(b4)과는, 서로의 좌표위치가 다르다. 여기서, 양광상에 있어서의 암결점의 좌표위치가 다른 것은, 상기한 공기 불어내기에 의해 섀도마스크(1)상에서 이물이 이동하였기 때문으로, 제5(a)도에 나타낸 광상에 있어서의 암결점(a1)과 제5(b)도에 나타낸 광상에 있어서의 암결점(b4)을 섀도마스크(1)에의 이물의 부착에 기인한 것으로 하여, 그 좌표위치 데이터를, RAM(42)에 기억시켜 둔 제1 좌표위치 데이터 또는 제2 좌표위치 데이터로부터 제거한다(단계 S7).

더욱이, 공기 불어내기 전의 섀도마스크의 투과광상에 있어서 존재하고 있는 암결점이, 공기 불어내기 후의 섀도마스크의 투과광상에서는 없어지거나, 반대로, 공기 불어내기 전의 섀도마스크의 투과광상에서는 존재하지 않던 암결점이, 공기 불어내기 후의 섀도마스크의 투과광상에 나타나는 경우도, 그들 암결점은 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인한 것으로 하여, 이물의 좌표위치 데이터로 한다.

그리고, CPU(38)에 있어서, 제1 좌표위치 데이터 또는 제2 좌표위치 데이터로부터 이물의 좌표위치 데이터를 제거한 후에 암결점의 좌표위치 데이터가 남아 있는지의 여부에 의해, 섀도마스크(1)의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점의 유무를 판정한다(단계 S8). 제5도에 나타낸 예에서는, 광상에 암결점(a2, a3(b2, b3))이 존재하기 때문에, 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점이 있다고 판정한다. 그리고, 그 암결점의 유무에 의해 투공의 구멍작음결함의 유무를 판정한다(단계 S9). 제5도에 나타낸 예에 관해 설명한다면, 섀도마스크(1)에 투공의 구멍작음결함이 있다고 판정하여, 그 섀도마스크는 불량품으로서 폐기된다.

한편, 전술한 실시형태의 설명에서는, 섀도마스크에 부착된 이물을 이동시키는데 공기 취부기에 의한 공기 불어내기를 이용하도록 하고 있지만, 그 대신에, 예컨대, 섀도마스크의 표면에 점착(粘着)로울러를 접촉시켜 회전시키거나, 섀도마스크를 진동시키거나, 섀도마스크의 표면부근을 진공 흡인하거나 하여, 섀도마스크 상에서 이물을 제거시키거나 섀도마스크 상에서 이물을 이동시키도록 해도 좋다. 또한, 상기 실시형태의 설명에서는, 제1광원(12) 및 제1촬상장치(14)를 갖춘 제1유닛(10)과 제2 광원(22) 및 제2촬상장치(24)를 갖춘 제3 유닛(20)과의 사이에, 섀도마스크(1)에 부착된 이물을 이동시키기 위한 제2 유닛(16)을 배치하여, 이물의 이동 전후에 있어서의 섀도마스크의 투과광상을 별개의 유닛에 의해 촬영하도록 하였지만, 제4도에 도시한 바와 같이, 광원(46)과 촬상장치(48)를 1세트만 설치하고, 촬상장치(48)에 의해 섀도마스크(1)의 투과광상을 촬영하여 제1 화상데이터를 얻은 후, 섀도마스크(1)를 이물 이동장치(50)로 반송하여, 섀도마스크(1)상의 이물을 이동시키고, 그 후에, 섀도마스크(1)를 이물 이동장치(50)로부터 다시 광원(46)과 촬상장치(48)와의 사이로 반송하고, 이물이동 후에 있어서의 섀도마스크의 투과광상을 촬영하여 제2 화상데이터를 얻도록 해도 좋다.

청구항 1에 관한 발명의 섀도마스크 검사방법에 의하면, 섀도마스크의 한 쪽의 주면으로 조사된 광이 복수의 투공을 투과하고 다른 쪽의 주면측에서 촬영된 광상에 나타나는 암결점이, 투공의 구멍작음결함에 기인하는 것인가, 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 것인가가 용이하게 판별되기 때문에, 종래와 같이 검사에서 암결점이 나타난 섀도마스크 전부에 대해 이물의 제거처리와 재검사를 실시하는 쓸데없는 공정을 행하지 않아도 되기 때문에, 검사효율의 향상을 꾀할 수 있다.

청구항 2에 관한 발명의 검사방법에서는, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 같은지의 여부에 외해, 광상에 있어서의 암결점이 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 것이나, 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 것인가가 판별되어, 그 판별이 용이하다.

청구항 3에 관한 발명의 검사방법에서는, 섀도마스크에 기체가 내뿜어짐으로써 섀도마스크 상을 이물이 이동하기 때문에, 그 이물의 이동 전후에 있어서의 섀도마스크의 투과광상을 촬영하는 것에 의해, 광상에 있어서의 암결점이 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 것인지의 여부의 판별이 확실하게 된다.

청구항 4에 관한 발명의 검사장치를 사용하여 섀도마스크의 검사를 행하도록 한 때에는, 청구항 1에 관한 발명의 검사방법이 적절하게 실시되어, 청구항 1에 관한 발명의 상기 효과가 달성된다.

청구항 5에 관한 발명의 검사장치에서는, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 같은지의 여부에 의해, 광상에 있어서의 암결점이 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 것인간, 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 것인가가 판별되어, 그 판별을 용이하게 행할 수 있다.

청구항 6에 관한 발명의 검사장치에서는, 별개의 촬상장치에 의해 이물의 이동전후에 있어서의 섀도마스크의 투과광상을 촬영하여 제1, 제2 화상데이터를 얻음으로써, 청구항 4에 관한 발명이 확실하게 실시된다.

청구항 7에 관한 발명의 검사장치에서는, 기체 취부(불어내기)수단으로부터 섀도마스크에 기체가 내뿜어짐으로써 섀도마스크 위를 이물이 이동하기 때문에, 그 이물의 이동 전후에 있어서의 섀도마스크의 투과광상을 촬영하는 것에 의해, 광상에 있어서의 암결점이 섀도마스크의 이물의 부착에 기인하는 것인지의 여부의 판별을 확실하게 행할 수 있다.

Claims (8)

1. 섀도마스크에 형성된 투공의 결함의 유무를 검사하는 섀도마스크 검사방법에 있어서, 섀도마스크의 한 쪽의 주면으로 광을 조사하고, 그 조사광이 섀도마스크의 복수의 투공을 투과한 광상(光像)을 다른 쪽의 주면측에서 촬영하여 제1 화상데이터를 얻는 제1 촬상공정과, 상기 제1 화상데이터로부터, 섀도마스크의 각 투공에 대응하는 광상의 각 명부(明部)의 크기가 소정치보다 작은 암(暗)결점의 제1 좌표위치를 구하는 제1 좌표위치 검출공정과, 상기 제1 촬상공정 후에, 섀도마스크에 부착된 이물을, 섀도마스크에 대하여 이등시키는 이물 이동공정과, 이 이물 이동공정 후에, 섀도마스크의 한 쪽의 주면으로 광을 조사하고, 그 조사광이 섀도마스크의 복수의 투공을 투과한 광상을 다른 쪽의 주면측에서 촬영하여 제2 화상데이터를 얻는 제2 촬상공정과, 상기 제2 화상데이터로부터, 섀도마스크의 각 투공에 대응하는 광상의 각 명부의 크기가 소정치보다 작은 암결점의 제2 좌표위치를 구하는 제2 좌표위치 검출공정과, 상기 제1 좌표위치와 상기 제2 좌표위치를 비교하여, 섀도마스크에 부착된 이물에 관한 정보를 구하며, 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점의 유무를 판정하는 결함 판정공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 섀도마스크 검사방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 결함 판정공정은, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 같은 암결점을 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기언하는 암결점이라고 판별하고, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 다른 암결점을 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 암결점이라고 판별하는 판별공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 섀도마스크 검사방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 이물 이동공정이, 섀도마스크에 기체를 내뿜는 공정인 것을 특징으로 하는 섀도마스크 검사방법.
4. 섀도마스크의 한 쪽의 주면에 광을 조사하는 광 조사수단과, 이 광 조사수단으로부터 조사된 광이 섀도마스크의 복수의 투공을 투과한 광상을 다른 쪽의 주면측에서 촬영하여 화상데이터를 얻는 촬상수단과, 이 촬상수단에 의해 얻어진 화상데이터로부터, 섀도마스크의 각 투공에 대응하는 광상의 각 명부의 크기가 소정치보다 작은 암결점의 좌표위치를 구하는 좌표위치 검출수단과, 섀도마스크에 부착된 이물을, 섀도우마스크에 대하여 이동시키는 이물 이송수단과, 이 이물 이동수단에 의해 이물이 이동되기 전의 섀도마스크에 대해서 상기 촬상수단에 의해 얻어진 제1 화상데이터로부터 상기 좌표위치 검출수단에 의해 구해진 제1 좌표위치와, 상기 이물 이동수단에 의해서 이물이 이동된 후의 섀도마스크에 대해서 상기 촬상수단에 의해서 얻어진 제2 화상데이터로부터 상기 좌표위치 검출수단에 의해서 구해진 제2 좌표위치를 비교하여, 섀도마스크에 부착된 이물에 관한 정보를 구하여, 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점의 유무를 판정하는 결함 판정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 섀도마스크 검사장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 결함 판정수단은, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 같은 암결점을 섀도마스크의 투공의 구멍작음결함에 기인하는 암결점이라고 판별하고, 제1 좌표위치와 제2 좌표위치가 서로 다른 암결점을 섀도마스크에의 이물의 부착에 기인하는 암결점이라고 판별하는 판별수단을 갖는 것을 특징으로 하는 섀도마스크 검사장치.
6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 촬상수단이, 제1 화상데이터를 얻기 위한 제1 촬상수단과, 제2 화상데이터를 얻기 위한 제2 촬상수단으로 구성됨과 동시에, 상기 좌표위치 검출수단이, 1 좌표위치를 구하기 위한 제1 좌표위치 검출수단과, 제2 좌표위치를 구하기 위한 제2 좌표위치 검출수단으로 구성되며, 상기 이물 이동수단이, 상기 제1 촬상수단과 상기 제2 촬상수단과의 사이애 배치됨과 동시에, 섀도마스크를, 상기 제1 촬상수단으로부터 상기 이물 이동수단을 지나서 상기 제2 촬상수단으로 반송하는 반송수단이 마련된 것을 특징으로 하는 섀도마스크 검사장치.
7. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 이물 이동수단이, 섀도마스크에 기체를 내뿜는 기체 취부수단인 것을 특징으로 하는 섀도마스크 검사장치.
8. 제6항에 있어서, 상기 이물이 이송수단이, 섀도마스크에 기체를 내뿜는 기체 취부수단인 것을 특징으로 하는 섀도마스크 검사장치.

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