JP2001059823A - 外観検査システム - Google Patents
外観検査システムInfo
- Publication number
- JP2001059823A JP2001059823A JP11238023A JP23802399A JP2001059823A JP 2001059823 A JP2001059823 A JP 2001059823A JP 11238023 A JP11238023 A JP 11238023A JP 23802399 A JP23802399 A JP 23802399A JP 2001059823 A JP2001059823 A JP 2001059823A
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- polarizing
- point
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】検査対象が光を透過する材料からなり、検査対
象の表面に透明未溶解点等の汚れがある場合にその欠陥
を検出できる外観検査システムを提供する。 【解決手段】１は二次元撮像カメラ、２は単方向光を通
過する板面方向に回転可能な偏光板、３は外観上の欠陥
３１を有する検査対象、４は単柵板、５は光を拡散する
拡散板付きの照明器である。単柵板４は、単方向光を通
過する短冊形状の偏光部と、光を通過する短冊形状の通
過部とが交互に複数配置されたもので、未溶解点３１へ
の投光側の光は、単柵板４の偏光部からの光と通過部か
らの光とが交じり合い、偏光部からの光は明るく通過部
からの光は暗くなり、受光側の光は偏光部からの光のみ
となるため、未溶解点の検出が可能となる。
象の表面に透明未溶解点等の汚れがある場合にその欠陥
を検出できる外観検査システムを提供する。 【解決手段】１は二次元撮像カメラ、２は単方向光を通
過する板面方向に回転可能な偏光板、３は外観上の欠陥
３１を有する検査対象、４は単柵板、５は光を拡散する
拡散板付きの照明器である。単柵板４は、単方向光を通
過する短冊形状の偏光部と、光を通過する短冊形状の通
過部とが交互に複数配置されたもので、未溶解点３１へ
の投光側の光は、単柵板４の偏光部からの光と通過部か
らの光とが交じり合い、偏光部からの光は明るく通過部
からの光は暗くなり、受光側の光は偏光部からの光のみ
となるため、未溶解点の検出が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、二次元撮像装置に
より検査対象を撮像し画像処理を行って、検査対象の外
観上の欠陥を自動的に検出する外観検査システムに関す
る。
より検査対象を撮像し画像処理を行って、検査対象の外
観上の欠陥を自動的に検出する外観検査システムに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来技術例の外観検査システムの
構成図である。１は二次元撮像カメラ、２は単方向光を
通過する板面方向に回転可能な偏光板、３は外観上の欠
陥３１を有する検査対象、５は光を拡散する拡散板付き
の照明器である。二次元撮像カメラ１には、検査対象３
を操作する光学レンズが付いており、撮像した画像情報
を出力する機能を備えている。
構成図である。１は二次元撮像カメラ、２は単方向光を
通過する板面方向に回転可能な偏光板、３は外観上の欠
陥３１を有する検査対象、５は光を拡散する拡散板付き
の照明器である。二次元撮像カメラ１には、検査対象３
を操作する光学レンズが付いており、撮像した画像情報
を出力する機能を備えている。
【０００３】図７は図６における照明方法の説明図であ
る。照明器５から投光された光は、偏光板２を通り、検
査対象３および欠陥３１を通って、偏光板２を通り、光
学レンズを含む二次元撮像カメラ１を通る。
る。照明器５から投光された光は、偏光板２を通り、検
査対象３および欠陥３１を通って、偏光板２を通り、光
学レンズを含む二次元撮像カメラ１を通る。
【０００４】従来技術における画像処理は、外観上の欠
陥に合わせた照明を施した上で得られた画像情報を処理
し、欠陥を検出していた。検査対象が光を透過する材料
からなり、外観上の欠陥を黒点系として検出していた。
検査対象のどの位置に外観上の欠陥があっても、二次元
撮像カメラ、外観上の欠陥、照明の延長線上で欠陥を検
出していた。
陥に合わせた照明を施した上で得られた画像情報を処理
し、欠陥を検出していた。検査対象が光を透過する材料
からなり、外観上の欠陥を黒点系として検出していた。
検査対象のどの位置に外観上の欠陥があっても、二次元
撮像カメラ、外観上の欠陥、照明の延長線上で欠陥を検
出していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、外観上
の欠陥が光を透過する未溶解点であると、照射光は外観
上の欠陥の周囲と対比して増光または減光するが、二次
元撮像カメラ側にその光が到達するまでもなく周囲との
濃淡不足となるので、小さな透明未溶解点の検出は困難
であった。
の欠陥が光を透過する未溶解点であると、照射光は外観
上の欠陥の周囲と対比して増光または減光するが、二次
元撮像カメラ側にその光が到達するまでもなく周囲との
濃淡不足となるので、小さな透明未溶解点の検出は困難
であった。
【０００６】ここで透明未溶解点とは、検査対象３が光
透過性のある物体である樹脂系で形成され特定の形とな
っている場合、樹脂系の塊から高温で溶かして金属製の
型に流し込み一定の肉厚をもったものとなっていく過程
で、樹脂が溶けきれなかったものが小さな透明の塊とな
って残ってしまったものをいう。
透過性のある物体である樹脂系で形成され特定の形とな
っている場合、樹脂系の塊から高温で溶かして金属製の
型に流し込み一定の肉厚をもったものとなっていく過程
で、樹脂が溶けきれなかったものが小さな透明の塊とな
って残ってしまったものをいう。
【０００７】図８は従来の透明未溶解点における投受光
の説明図である。透明未溶解点３１への投光側の光６３
は、偏光板２を通った単方向の光であり、これが透明未
溶解点３１を通ってそのまま受光側の光６４となること
を示している。従って、この透明未溶解点３１は、二次
元撮像カメラによって見ることはできない。
の説明図である。透明未溶解点３１への投光側の光６３
は、偏光板２を通った単方向の光であり、これが透明未
溶解点３１を通ってそのまま受光側の光６４となること
を示している。従って、この透明未溶解点３１は、二次
元撮像カメラによって見ることはできない。
【０００８】本発明の目的は、検査対象が光を透過する
材料からなり、検査対象の表面に透明未溶解点等の汚れ
がある場合に、その欠陥を検出できる外観検査システム
を提供することにある。
材料からなり、検査対象の表面に透明未溶解点等の汚れ
がある場合に、その欠陥を検出できる外観検査システム
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、二次元撮像カメラと、単方向光
を通過する板面方向に回転可能な偏光板と、光を透過す
る材料からなる検査対象と、単方向光を通過する短冊形
状の偏光部と光を通過する短冊形状の通過部とが交互に
複数配置されてなる単柵板と、光を拡散する拡散板付き
の照明器とが直線上にこの順に配置され、前記二次元撮
像カメラにより撮像した撮像信号を画像処理することに
より前記検査対象の表面に存在する透明未溶解点と黒点
系の欠陥を検査することとした。
に、本発明においては、二次元撮像カメラと、単方向光
を通過する板面方向に回転可能な偏光板と、光を透過す
る材料からなる検査対象と、単方向光を通過する短冊形
状の偏光部と光を通過する短冊形状の通過部とが交互に
複数配置されてなる単柵板と、光を拡散する拡散板付き
の照明器とが直線上にこの順に配置され、前記二次元撮
像カメラにより撮像した撮像信号を画像処理することに
より前記検査対象の表面に存在する透明未溶解点と黒点
系の欠陥を検査することとした。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施例の外観検査
システムの構成図である。図１において、４は単柵板で
あり、その他の構成要素は図６と同じであり同じ符号を
付してある。単柵板４を図２に示す。単柵板４は、単方
向光を通過する短冊形状の偏光部４１と、光を通過する
短冊形状の通過部４２とが交互に複数配置されたもので
ある。なお、単柵板４は透過性のある板に貼りつけて使
用することもある。
システムの構成図である。図１において、４は単柵板で
あり、その他の構成要素は図６と同じであり同じ符号を
付してある。単柵板４を図２に示す。単柵板４は、単方
向光を通過する短冊形状の偏光部４１と、光を通過する
短冊形状の通過部４２とが交互に複数配置されたもので
ある。なお、単柵板４は透過性のある板に貼りつけて使
用することもある。
【００１１】図３は図１における照明方法の説明図であ
る。照明器５からの照射光が単柵板４を通過し、検査対
象３の外観上の欠陥３１である透明未溶解点または黒点
系を単方向のみの光が通過し、さらに偏光板２を通過し
て光学レンズを含む二次元撮像カメラ１で撮像する。
る。照明器５からの照射光が単柵板４を通過し、検査対
象３の外観上の欠陥３１である透明未溶解点または黒点
系を単方向のみの光が通過し、さらに偏光板２を通過し
て光学レンズを含む二次元撮像カメラ１で撮像する。
【００１２】図４は本発明の外観上の欠陥の見え方を示
す説明図である。外観上の欠陥が透明未溶解点の場合、
単柵板４の偏光部４１の表面の暗い所にある透明未溶解
点１１は明るく検出され、単柵板４の通過部４２の表面
の明るい所にある透明未溶解点１２は暗く検出され、偏
光部４１と通過部４２の境界の所にある透明未溶解点１
３は偏光部４１側は明るく、通過部４２側は暗く検出さ
れ、通過部４２の表面の所にある透明未溶解点１４の両
端が偏光部４１にかかる部分は偏光部４１よりも明るく
検出され、偏光部４１と通過部４２とに跨がる透明未溶
解点１５は、偏光部４１側が明るく通過部４２側が暗く
検出される。
す説明図である。外観上の欠陥が透明未溶解点の場合、
単柵板４の偏光部４１の表面の暗い所にある透明未溶解
点１１は明るく検出され、単柵板４の通過部４２の表面
の明るい所にある透明未溶解点１２は暗く検出され、偏
光部４１と通過部４２の境界の所にある透明未溶解点１
３は偏光部４１側は明るく、通過部４２側は暗く検出さ
れ、通過部４２の表面の所にある透明未溶解点１４の両
端が偏光部４１にかかる部分は偏光部４１よりも明るく
検出され、偏光部４１と通過部４２とに跨がる透明未溶
解点１５は、偏光部４１側が明るく通過部４２側が暗く
検出される。
【００１３】また、外観上の欠陥が黒点系の場合、偏光
部４１の表面の暗い所にある黒点１１は暗く検出され、
通過部４２の表面の明るい所にある黒点１２は暗く検出
され、偏光部４１と通過部４２の境界の所にある黒点１
３は偏光部４１側も通過部４２側も共に暗く検出され、
通過部４２の表面の所にある黒点１４の両端が偏光部４
１にかかる部分も暗く検出され、偏光部４１と通過部４
２とに跨がる黒点１５は、偏光部４１側も通過部４２側
も共に暗く検出される。
部４１の表面の暗い所にある黒点１１は暗く検出され、
通過部４２の表面の明るい所にある黒点１２は暗く検出
され、偏光部４１と通過部４２の境界の所にある黒点１
３は偏光部４１側も通過部４２側も共に暗く検出され、
通過部４２の表面の所にある黒点１４の両端が偏光部４
１にかかる部分も暗く検出され、偏光部４１と通過部４
２とに跨がる黒点１５は、偏光部４１側も通過部４２側
も共に暗く検出される。
【００１４】上記の関係と、単柵板４の偏光部４１の幅
および通過部４２の幅との関係により、欠陥により生じ
る明暗を強調した撮像画像が得られ、さらに単柵板４の
長手方向に走査することにより、外観上の欠陥の検出を
容易に行うことができる。
および通過部４２の幅との関係により、欠陥により生じ
る明暗を強調した撮像画像が得られ、さらに単柵板４の
長手方向に走査することにより、外観上の欠陥の検出を
容易に行うことができる。
【００１５】図５は本発明の未溶解点における投受光の
説明図である。未溶解点３１への投光側の光６１は、単
柵板４の偏光部４１からの光と通過部４２からの光とが
交じり合い、偏光部４１からの光は明るく通過部４２か
らの光は暗くなり、受光側の光６２は偏光部４１からの
光のみとなるため、未溶解点の検出が可能となる。
説明図である。未溶解点３１への投光側の光６１は、単
柵板４の偏光部４１からの光と通過部４２からの光とが
交じり合い、偏光部４１からの光は明るく通過部４２か
らの光は暗くなり、受光側の光６２は偏光部４１からの
光のみとなるため、未溶解点の検出が可能となる。
【００１６】
【発明の効果】本発明のよれば、短冊形の偏光部および
通過部を交互に配した単柵板を介して外観上の欠陥を撮
像することにより、透明未溶解点あるいは黒点系の欠陥
を容易に検出することが可能となる。
通過部を交互に配した単柵板を介して外観上の欠陥を撮
像することにより、透明未溶解点あるいは黒点系の欠陥
を容易に検出することが可能となる。
【図１】本発明の実施例の外観検査システムの構成図。
【図２】単柵板の説明図。
【図３】図１における照明方法の説明図。
【図４】本発明の外観上の欠陥の見え方を示す説明図。
【図５】本発明の未溶解点における投受光の説明図。
【図６】従来技術例の外観検査システムの構成図。
【図７】図６における照明方法の説明図。
【図８】従来の未溶解点における投受光の説明図。
１…二次元撮像カメラ、２…偏光板、３…検査対象、４
…単柵板、５…照明器、３１…欠陥、４１…偏光部、４
２…通過部、６１…投光側の光、６２…受光側の光。
…単柵板、５…照明器、３１…欠陥、４１…偏光部、４
２…通過部、６１…投光側の光、６２…受光側の光。
Claims (1)
- 【請求項１】二次元撮像カメラと、単方向光を通過する
板面方向に回転可能な偏光板と、光を透過する材料から
なる検査対象と、単方向光を通過する短冊形状の偏光部
と光を通過する短冊形状の通過部とが交互に複数配置さ
れてなる単柵板と、光を拡散する拡散板付きの照明器と
が直線上にこの順に配置され、前記二次元撮像カメラに
より撮像した撮像信号を画像処理することにより前記検
査対象の表面に存在する透明未溶解点と黒点系の欠陥を
検査することを特徴とした外観検査システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11238023A JP2001059823A (ja) | 1999-08-25 | 1999-08-25 | 外観検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11238023A JP2001059823A (ja) | 1999-08-25 | 1999-08-25 | 外観検査システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001059823A true JP2001059823A (ja) | 2001-03-06 |
Family
ID=17024024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11238023A Withdrawn JP2001059823A (ja) | 1999-08-25 | 1999-08-25 | 外観検査システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001059823A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005252621A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Ntt Communications Kk | 電子証明書作成装置、電子証明書検証装置、電子証明書作成方法、電子証明書作成プログラム、および電子証明書検証プログラム |
| CN107121443A (zh) * | 2016-02-24 | 2017-09-01 | 贝克顿迪金森法国公司 | 用于检测透明量筒中的颗粒的检查系统和方法 |
| CN107727668A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-02-23 | 浙江科技学院 | 基于偏振消光的透明介质单面选择成像方法及其装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0396836A (ja) * | 1989-09-11 | 1991-04-22 | Nippon Petrochem Co Ltd | 対象物観察用偏光装置 |
| JPH06148095A (ja) * | 1992-10-30 | 1994-05-27 | Nippon Steel Chem Co Ltd | フィルム・シート類の透明欠陥検出方法 |
| JPH09210658A (ja) * | 1996-02-01 | 1997-08-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | カバーレイフィルムの欠陥検出法 |
-
1999
- 1999-08-25 JP JP11238023A patent/JP2001059823A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0396836A (ja) * | 1989-09-11 | 1991-04-22 | Nippon Petrochem Co Ltd | 対象物観察用偏光装置 |
| JPH06148095A (ja) * | 1992-10-30 | 1994-05-27 | Nippon Steel Chem Co Ltd | フィルム・シート類の透明欠陥検出方法 |
| JPH09210658A (ja) * | 1996-02-01 | 1997-08-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | カバーレイフィルムの欠陥検出法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005252621A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Ntt Communications Kk | 電子証明書作成装置、電子証明書検証装置、電子証明書作成方法、電子証明書作成プログラム、および電子証明書検証プログラム |
| CN107121443A (zh) * | 2016-02-24 | 2017-09-01 | 贝克顿迪金森法国公司 | 用于检测透明量筒中的颗粒的检查系统和方法 |
| CN107121443B (zh) * | 2016-02-24 | 2021-02-12 | 贝克顿迪金森法国公司 | 用于检测透明量筒中的颗粒的检查系统和方法 |
| CN107727668A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-02-23 | 浙江科技学院 | 基于偏振消光的透明介质单面选择成像方法及其装置 |
| CN107727668B (zh) * | 2017-11-03 | 2023-11-14 | 浙江科技学院 | 基于偏振消光的透明介质单面选择成像方法及其装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20031209 |
|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050412 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20050613 |