JPH1195002A - 光学部品 - Google Patents
光学部品Info
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- JPH1195002A JPH1195002A JP9322514A JP32251497A JPH1195002A JP H1195002 A JPH1195002 A JP H1195002A JP 9322514 A JP9322514 A JP 9322514A JP 32251497 A JP32251497 A JP 32251497A JP H1195002 A JPH1195002 A JP H1195002A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 特定波長での光学部品表面の反射率を高め、
光の出射面での反射光による位置決め精度を上げ、光学
ユニット部品の組立て調整を容易にして生産性の向上を
計り、光学部品の表面の反射率の和を小さくして透過率
を大きくし、得られる電気信号のＳＮ比を大きくし、安
定した電気信号を得られるようにする光学部品を提供す
る。 【解決手段】 光の入射面（Ｓ１）及び出射面（Ｓ２）
に反射防止コートを有する光学部品において、使用する
光を波長λAの光を少なくとも有するレーザ光と波長λB
の光を少なくとも有するレーザ光とし、光学部品の位置
精度を検出するための光を波長λCの光を少なくとも有
する光としたとき、ＲA及びＲBを８％以下、ＲCを４％
以上とした反射防止コートを有する光学部品。但し、Ｒ
Aは、波長λAのＳ１面の反射率とＳ２面の反射率の和、
ＲBは、波長λBのＳ１面の反射率とＳ２面の反射率の
和、ＲCは、波長λCのＳ２面の反射率とする。
光の出射面での反射光による位置決め精度を上げ、光学
ユニット部品の組立て調整を容易にして生産性の向上を
計り、光学部品の表面の反射率の和を小さくして透過率
を大きくし、得られる電気信号のＳＮ比を大きくし、安
定した電気信号を得られるようにする光学部品を提供す
る。 【解決手段】 光の入射面（Ｓ１）及び出射面（Ｓ２）
に反射防止コートを有する光学部品において、使用する
光を波長λAの光を少なくとも有するレーザ光と波長λB
の光を少なくとも有するレーザ光とし、光学部品の位置
精度を検出するための光を波長λCの光を少なくとも有
する光としたとき、ＲA及びＲBを８％以下、ＲCを４％
以上とした反射防止コートを有する光学部品。但し、Ｒ
Aは、波長λAのＳ１面の反射率とＳ２面の反射率の和、
ＲBは、波長λBのＳ１面の反射率とＳ２面の反射率の
和、ＲCは、波長λCのＳ２面の反射率とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、反射防止コートを
有する光学部品に係り、特にレーザ光を使用する場合の
反射防止コートを有する光学部品に関する。
有する光学部品に係り、特にレーザ光を使用する場合の
反射防止コートを有する光学部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学部品、例えばレーザ光用レンズに反
射防止コートを付けるとき、レンズの光入射面と光出射
面に各々異なる特性を有する反射防止コートを付ける事
はなかった。それは、生産性の面及び光透過率を出来る
かぎり上げ、電気信号のＳ／Ｎ比を高く維持する為であ
った。例えば、特開平０８−１４６２０２号公報には、
反射防止コートとして２層構成のコートの１例が有り、
反射等の極少化及び耐久性向上の為の条件が示されてい
る。
射防止コートを付けるとき、レンズの光入射面と光出射
面に各々異なる特性を有する反射防止コートを付ける事
はなかった。それは、生産性の面及び光透過率を出来る
かぎり上げ、電気信号のＳ／Ｎ比を高く維持する為であ
った。例えば、特開平０８−１４６２０２号公報には、
反射防止コートとして２層構成のコートの１例が有り、
反射等の極少化及び耐久性向上の為の条件が示されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、光学部品を用
いて光学ユニット部品を組み立てるとき、例えば光学レ
ンズを用いて光ディスク用のピックアップ等、微小レン
ズ光学系を組み立てるとき、レンズの水平位置、光軸に
対する角度の微量の調整が必要となる。調整の為には、
機械的な位置測定に加えて、光学部品の表面反射光を用
いて行う光学調整が微量調整に効果が大きい。
いて光学ユニット部品を組み立てるとき、例えば光学レ
ンズを用いて光ディスク用のピックアップ等、微小レン
ズ光学系を組み立てるとき、レンズの水平位置、光軸に
対する角度の微量の調整が必要となる。調整の為には、
機械的な位置測定に加えて、光学部品の表面反射光を用
いて行う光学調整が微量調整に効果が大きい。
【０００４】通常ガラスやプラスチック表面の光反射率
は、４〜５％と低く、又表面に反射防止コートがされて
いると、調整用の光の波長での反射率がさらに減少し、
光学調整の微量調整に困難をきたし、十分な位置決めが
出来ない問題があった。そのため、光学部品の位置調整
を高精度で出来る様にする必要があった。
は、４〜５％と低く、又表面に反射防止コートがされて
いると、調整用の光の波長での反射率がさらに減少し、
光学調整の微量調整に困難をきたし、十分な位置決めが
出来ない問題があった。そのため、光学部品の位置調整
を高精度で出来る様にする必要があった。
【０００５】光学部品表面の反射光を用いた位置決めと
して、オートコリメータが用いられており、Ｈｅ−Ｎｅ
レーザ光の約６３２．８ｎｍの波長の光や、白色光を分
光して得られる視感度の高い５００ｎｍ台の波長の緑色
光が多く用いられる。従って、それらの波長での光学部
品表面の反射率を高くする事が必要である。特に光の出
射面での反射光による位置決め精度を上げる事が重要で
あり、反射防止コート無しの反射率４〜５％以上が少な
くとも必要である。
して、オートコリメータが用いられており、Ｈｅ−Ｎｅ
レーザ光の約６３２．８ｎｍの波長の光や、白色光を分
光して得られる視感度の高い５００ｎｍ台の波長の緑色
光が多く用いられる。従って、それらの波長での光学部
品表面の反射率を高くする事が必要である。特に光の出
射面での反射光による位置決め精度を上げる事が重要で
あり、反射防止コート無しの反射率４〜５％以上が少な
くとも必要である。
【０００６】更に、透過光として用いるレーザ波長の透
過率を高く維持するため（例えば９２％以上）、表面Ｓ
１，Ｓ２の反射率の和を小さくする事が必要である。
過率を高く維持するため（例えば９２％以上）、表面Ｓ
１，Ｓ２の反射率の和を小さくする事が必要である。
【０００７】本発明は、前記課題を解決するためになさ
れたものである。即ち、特定波長での光学部品表面の反
射率を高め、光の出射面での反射光による位置決め精度
を上げ、光学ユニット部品の組立て調整を容易にして生
産性の向上を計り、光学部品の表面の反射率の和を小さ
くして透過率を大きくし、得られる電気信号のＳＮ比を
大きくし、安定した電気信号を得られるようにする光学
部品を提供することを目的としたものである。
れたものである。即ち、特定波長での光学部品表面の反
射率を高め、光の出射面での反射光による位置決め精度
を上げ、光学ユニット部品の組立て調整を容易にして生
産性の向上を計り、光学部品の表面の反射率の和を小さ
くして透過率を大きくし、得られる電気信号のＳＮ比を
大きくし、安定した電気信号を得られるようにする光学
部品を提供することを目的としたものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、下記構
成を採ることによって達成される。
成を採ることによって達成される。
【０００９】即ち、光の入射面（Ｓ１）及び出射面
（Ｓ２）に反射防止コートを有する光学部品において、
使用する光を波長λAの光を少なくとも有するレーザ光
と波長λBの光を少なくとも有するレーザ光とし、光学
部品の位置精度を検出するための光を波長λCの光を少
なくとも有する光としたとき、ＲA及びＲBを８％以下、
ＲCを４％以上とした反射防止コートを有することを特
徴とする光学部品。
（Ｓ２）に反射防止コートを有する光学部品において、
使用する光を波長λAの光を少なくとも有するレーザ光
と波長λBの光を少なくとも有するレーザ光とし、光学
部品の位置精度を検出するための光を波長λCの光を少
なくとも有する光としたとき、ＲA及びＲBを８％以下、
ＲCを４％以上とした反射防止コートを有することを特
徴とする光学部品。
【００１０】但し、ＲAは、波長λAのＳ１面の反射率
（Ｒ1（λA））とＳ２面の反射率（Ｒ2（λA））の和、
ＲBは、波長λBのＳ１面の反射率（Ｒ1（λB））とＳ２
面の反射率（Ｒ2（λB））の和、ＲCは、波長λCのＳ２
面の反射率（Ｒ2（λC））とする。
（Ｒ1（λA））とＳ２面の反射率（Ｒ2（λA））の和、
ＲBは、波長λBのＳ１面の反射率（Ｒ1（λB））とＳ２
面の反射率（Ｒ2（λB））の和、ＲCは、波長λCのＳ２
面の反射率（Ｒ2（λC））とする。
【００１１】Ｓ１面の反射防止コートの反射率Ｒ
1（λ）が極少になる波長をλ１、Ｓ２面の反射防止コ
ートの反射率Ｒ2（λ）が極少になる波長をλ２とした
とき、λ２がλ１より長い反射防止コートを有すること
を特徴とする記載の光学部品。
1（λ）が極少になる波長をλ１、Ｓ２面の反射防止コ
ートの反射率Ｒ2（λ）が極少になる波長をλ２とした
とき、λ２がλ１より長い反射防止コートを有すること
を特徴とする記載の光学部品。
【００１２】Ｓ２面の反射防止コートは、第１層を高
屈折率材料とし、屈折率をｎ21、膜厚をｄ21としたと
き、 １．９５≦ｎ21≦２．２５ ６５≦ｎ21ｄ21≦７６ とし、第２層を低屈折率材料とし、屈折率をｎ22、膜厚
をｄ22としたとき、 １．３６≦ｎ22≦１．５０ ２４４≦ｎ22ｄ22≦２８４ とすることを特徴とするに記載の光学部品。
屈折率材料とし、屈折率をｎ21、膜厚をｄ21としたと
き、 １．９５≦ｎ21≦２．２５ ６５≦ｎ21ｄ21≦７６ とし、第２層を低屈折率材料とし、屈折率をｎ22、膜厚
をｄ22としたとき、 １．３６≦ｎ22≦１．５０ ２４４≦ｎ22ｄ22≦２８４ とすることを特徴とするに記載の光学部品。
【００１３】但し、基材に第１層、第２層の順に積層す
るものとする。
るものとする。
【００１４】Ｓ１面の反射防止コートは、第１層を高
屈折率材料とし、屈折率をｎ11、膜厚をｄ11としたと
き、 １．９５≦ｎ11≦２．２５ ４５≦ｎ11ｄ11≦６６ とし、第２層を低屈折率材料とし、屈折率をｎ12、膜厚
をｄ12としたとき、 １．３６≦ｎ12≦１．５０ １４２≦ｎ12ｄ12≦２４７ とすることを特徴とするに記載の光学部品。
屈折率材料とし、屈折率をｎ11、膜厚をｄ11としたと
き、 １．９５≦ｎ11≦２．２５ ４５≦ｎ11ｄ11≦６６ とし、第２層を低屈折率材料とし、屈折率をｎ12、膜厚
をｄ12としたとき、 １．３６≦ｎ12≦１．５０ １４２≦ｎ12ｄ12≦２４７ とすることを特徴とするに記載の光学部品。
【００１５】但し、基材に第１層、第２層の順に積層す
るものとする。
るものとする。
【００１６】Ｓ１面の反射防止コートは、低屈折率材
料からなる１層のみとし、屈折率をｎ11、膜厚をｄ11と
したとき、 １．３６≦ｎ11≦１．５０ ８７≦ｎ11ｄ11≦２００ とすることを特徴とするに記載の光学部品。
料からなる１層のみとし、屈折率をｎ11、膜厚をｄ11と
したとき、 １．３６≦ｎ11≦１．５０ ８７≦ｎ11ｄ11≦２００ とすることを特徴とするに記載の光学部品。
【００１７】高屈折率材料を酸化セリウム、低屈折率
材料を酸化シリコンとしたとき、Ｓ１面の反射防止コー
トは、 ２２．５≦ｄ11≦３３（ｎｍ） １１５≦ｄ12≦１７０（ｎｍ） Ｓ２面の反射防止コートは、 ３３≦ｄ21≦３８ １７５≦ｄ21≦１９６ とすることを特徴とする又はに記載の光学部品。
材料を酸化シリコンとしたとき、Ｓ１面の反射防止コー
トは、 ２２．５≦ｄ11≦３３（ｎｍ） １１５≦ｄ12≦１７０（ｎｍ） Ｓ２面の反射防止コートは、 ３３≦ｄ21≦３８ １７５≦ｄ21≦１９６ とすることを特徴とする又はに記載の光学部品。
【００１８】低屈折率材料を酸化シリコンとし、 ９０≦ｄ11≦１３０（ｎｍ） とすることを特徴とするに記載の光学部品。
【００１９】低屈折率材料をフッ化マグネシウムと
し、 ９０≦ｄ11≦１４５（ｎｍ） とすることを特徴とするに記載の光学部品。
し、 ９０≦ｄ11≦１４５（ｎｍ） とすることを特徴とするに記載の光学部品。
【００２０】
【実施例】以下本発明を実施例により具体的に説明する
が、本発明はこれらに限定されるものではない。
が、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２１】本発明の実施例の条件は次の通りである。
【００２２】〈条件〉 ・使用するレーザ光の波長λA，λB（λB＜λA）として
は、例えば半導体レーザの代表的な発振波長λA：７８
０ｎｍ，λB：６５０ｎｍ若しくは６３２．８ｎｍが使
用される。但し、半導体レーザの製造法、動作条件によ
っておよそ±２０ｎｍの波長変動が一般に生ずる。ま
た、前記以外の発振波長からなるレーザ光及び波長変調
されたレーザ光も本発明の対象となる。
は、例えば半導体レーザの代表的な発振波長λA：７８
０ｎｍ，λB：６５０ｎｍ若しくは６３２．８ｎｍが使
用される。但し、半導体レーザの製造法、動作条件によ
っておよそ±２０ｎｍの波長変動が一般に生ずる。ま
た、前記以外の発振波長からなるレーザ光及び波長変調
されたレーザ光も本発明の対象となる。
【００２３】・位置調整用の光の波長λCとしては、Ｈ
ｅ−Ｎｅガスレーザの発振波長、例えば約６３２．８ｎ
ｍが使用され、又は白色光を分光した緑色光の場合は波
長５００〜６００ｎｍの領域、好ましくは５５０ｎｍ付
近の波長の光が使用される。
ｅ−Ｎｅガスレーザの発振波長、例えば約６３２．８ｎ
ｍが使用され、又は白色光を分光した緑色光の場合は波
長５００〜６００ｎｍの領域、好ましくは５５０ｎｍ付
近の波長の光が使用される。
【００２４】・光学部品としては、分光フィルター、レ
ーザ光用ミラー、プリズム、レンズ等を使用。
ーザ光用ミラー、プリズム、レンズ等を使用。
【００２５】これらの光学部品の基材としては、ガラス
の場合は通常光学ガラス、プラスチックの場合はアクリ
ル樹脂、ポリカーボネート樹脂、オレフィン系樹脂、ノ
ボルネン系樹脂、スチレン系樹脂等が使用される。特に
屈折率１．５３のオレフィン系樹脂（日本ゼオン製・ゼ
オネックス樹脂）を使用。
の場合は通常光学ガラス、プラスチックの場合はアクリ
ル樹脂、ポリカーボネート樹脂、オレフィン系樹脂、ノ
ボルネン系樹脂、スチレン系樹脂等が使用される。特に
屈折率１．５３のオレフィン系樹脂（日本ゼオン製・ゼ
オネックス樹脂）を使用。
【００２６】・反射防止コートは高屈折率材料として
は、酸化セリウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸
化タンタル、酸化インジューム、酸化錫、酸化セレン等
及びそれらの一種以上を主成分とする材料を使用。
は、酸化セリウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸
化タンタル、酸化インジューム、酸化錫、酸化セレン等
及びそれらの一種以上を主成分とする材料を使用。
【００２７】低屈折率材料としては、フッ化マグネシュ
ーム、フッ化リチウム、酸化シリコン等及びそれらの一
種以上を主成分とする材料を使用。
ーム、フッ化リチウム、酸化シリコン等及びそれらの一
種以上を主成分とする材料を使用。
【００２８】又さらに、基材表面に反射防止コートを形
成するとき、基材と反射防止コートの間に、密着性や表
面硬度を向上させるための下地層や、反射防止コートの
最終表面に、汚れ防止のために撥水コートを付与する場
合もある。
成するとき、基材と反射防止コートの間に、密着性や表
面硬度を向上させるための下地層や、反射防止コートの
最終表面に、汚れ防止のために撥水コートを付与する場
合もある。
【００２９】・製膜法としては真空蒸着法では、蒸着と
き、酸素ガスを真空槽に導入し、真空度０．５〜２×１
０-4Ｔｏｒｒで高屈折率材料や低屈折率材料を加熱蒸着
して基材上に積層。通常のスパッタリング法も使用可能
である。
き、酸素ガスを真空槽に導入し、真空度０．５〜２×１
０-4Ｔｏｒｒで高屈折率材料や低屈折率材料を加熱蒸着
して基材上に積層。通常のスパッタリング法も使用可能
である。
【００３０】下記表及び図により実施例と比較例を示
す。
す。
【００３１】表１及び図１〜図１１は実施例１〜実施例
１１を示し、表２及び図１２〜図１５は比較例１〜比較
例４を示す。尚、図の細線１点鎖線はＳ１面最大膜厚と
き反射率、細線２点鎖線はＳ１面最小膜厚時反射率、細
線実線はＳ１面中間膜厚時反射率、太線実線はＳ２面反
射率を示す。
１１を示し、表２及び図１２〜図１５は比較例１〜比較
例４を示す。尚、図の細線１点鎖線はＳ１面最大膜厚と
き反射率、細線２点鎖線はＳ１面最小膜厚時反射率、細
線実線はＳ１面中間膜厚時反射率、太線実線はＳ２面反
射率を示す。
【００３２】
【表１】
【００３３】
【表２】
【００３４】〈結果〉 （１）波長λA，λBでの光学部品表面の反射率が低く出
来た。全体の表面反射率を最大８％以下、更に好ましく
は５％以下にも出来た。その結果、透過率を最低９２％
以上、更に好ましくは９５％以上にも達せられ、実用可
能である。
来た。全体の表面反射率を最大８％以下、更に好ましく
は５％以下にも出来た。その結果、透過率を最低９２％
以上、更に好ましくは９５％以上にも達せられ、実用可
能である。
【００３５】（２）光学部品の位置出し組立が容易にな
った。調整用光（波長λC）の反射率が最低４％以上が
得られ、実用可能である。
った。調整用光（波長λC）の反射率が最低４％以上が
得られ、実用可能である。
【００３６】（３）表面にコートする事により、表面抵
抗が低く維持出来、表面の除電効果によりホコリ等の静
電気吸着が防止出来、光透過率が長期間にわたって劣化
しなくなった。特にプラスチック製光学部品でその効果
は大きい。
抗が低く維持出来、表面の除電効果によりホコリ等の静
電気吸着が防止出来、光透過率が長期間にわたって劣化
しなくなった。特にプラスチック製光学部品でその効果
は大きい。
【００３７】〈評価法〉顕微分光光度計（オリンパス
製、レンズ反射率測定機ＵＳＰ−ＲＵ−II）により、レ
ンズ中心表面の反射率を測定した。その結果による総合
評価は下記表３の通りである。
製、レンズ反射率測定機ＵＳＰ−ＲＵ−II）により、レ
ンズ中心表面の反射率を測定した。その結果による総合
評価は下記表３の通りである。
【００３８】
【表３】
【００３９】◎：十分使える ○：実用上使用可能
×：実用不可能 ・ＲAは、波長λAのＳ１面反射率（Ｒ1（λA））と波長
λAのＳ２面反射率（Ｒ2（λA））の和、ＲBは、波長λ
BのＳ１面反射率（Ｒ1（λB））と波長λBのＳ２面反射
率（Ｒ2（λB））の和、ＲCは、波長λCのＳ２面反射率
（Ｒ2（λC））である。
×：実用不可能 ・ＲAは、波長λAのＳ１面反射率（Ｒ1（λA））と波長
λAのＳ２面反射率（Ｒ2（λA））の和、ＲBは、波長λ
BのＳ１面反射率（Ｒ1（λB））と波長λBのＳ２面反射
率（Ｒ2（λB））の和、ＲCは、波長λCのＳ２面反射率
（Ｒ2（λC））である。
【００４０】 但し、λA：７８０ｎｍ（半導体レーザ光波長） λB：６５０ｎｍ（半導体レーザ光波長） λC：６３２．８ｎｍ（Ｈｅ−Ｎｅガスレーザ光波長）
【００４１】
【発明の効果】本発明により、特定波長での光学部品表
面の反射率を高め、光の出射面での反射光による位置決
め精度を上げ、光学ユニット部品の組立て調整を容易に
して生産性の向上を計り、光学部品の表面の反射率の和
を小さくして透過率を大きくし、得られる電気信号のＳ
Ｎ比を大きくし、安定した電気信号を得られるようにす
る光学部品が提供されることとなった。
面の反射率を高め、光の出射面での反射光による位置決
め精度を上げ、光学ユニット部品の組立て調整を容易に
して生産性の向上を計り、光学部品の表面の反射率の和
を小さくして透過率を大きくし、得られる電気信号のＳ
Ｎ比を大きくし、安定した電気信号を得られるようにす
る光学部品が提供されることとなった。
【図１】実施例１のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図で
ある。
ある。
【図２】実施例２のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図で
ある。
ある。
【図３】実施例３のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図で
ある。
ある。
【図４】実施例４のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図で
ある。
ある。
【図５】実施例５のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図で
ある。
ある。
【図６】実施例６のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図で
ある。
ある。
【図７】実施例７のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図で
ある。
ある。
【図８】実施例８のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図で
ある。
ある。
【図９】実施例９のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図で
ある。
ある。
【図１０】実施例１０のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す
図である。
図である。
【図１１】実施例１１のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す
図である。
図である。
【図１２】比較例１のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図
である。
である。
【図１３】比較例２のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図
である。
である。
【図１４】比較例３のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図
である。
である。
【図１５】比較例４のＳ１面、Ｓ２面の反射率を示す図
である。
である。
Claims (8)
- 【請求項１】 光の入射面（Ｓ１）及び出射面（Ｓ２）
に反射防止コートを有する光学部品において、 使用する光を波長λAの光を少なくとも有するレーザ光
と波長λBの光を少なくとも有するレーザ光とし、光学
部品の位置精度を検出するための光を波長λCの光を少
なくとも有する光としたとき、 ＲA及びＲBを８％以下、ＲCを４％以上とした反射防止
コートを有することを特徴とする光学部品。但し、ＲA
は、波長λAのＳ１面の反射率（Ｒ1（λA））とＳ２面
の反射率（Ｒ2（λA））の和、ＲBは、波長λBのＳ１面
の反射率（Ｒ1（λB））とＳ２面の反射率（Ｒ
2（λB））の和、ＲCは、波長λCのＳ２面の反射率（Ｒ
2（λC））とする。 - 【請求項２】 Ｓ１面の反射防止コートの反射率Ｒ
1（λ）が極少になる波長をλ１、Ｓ２面の反射防止コ
ートの反射率Ｒ2（λ）が極少になる波長をλ２とした
とき、λ２がλ１より長い反射防止コートを有すること
を特徴とする請求項１に記載の光学部品。 - 【請求項３】 Ｓ２面の反射防止コートは、第１層を高
屈折率材料とし、屈折率をｎ21、膜厚をｄ21としたと
き、 １．９５≦ｎ21≦２．２５ ６５≦ｎ21ｄ21≦７６ とし、 第２層を低屈折率材料とし、屈折率をｎ22、膜厚をｄ22
としたとき、 １．３６≦ｎ22≦１．５０ ２４４≦ｎ22ｄ22≦２８４ とすることを特徴とする請求項２に記載の光学部品。但
し、基材に第１層、第２層の順に積層するものとする。 - 【請求項４】 Ｓ１面の反射防止コートは、第１層を高
屈折率材料とし、屈折率をｎ11、膜厚をｄ11としたと
き、 １．９５≦ｎ11≦２．２５ ４５≦ｎ11ｄ11≦６６ とし、 第２層を低屈折率材料とし、屈折率をｎ12、膜厚をｄ12
としたとき、 １．３６≦ｎ12≦１．５０ １４２≦ｎ12ｄ12≦２４７ とすることを特徴とする請求項２に記載の光学部品。但
し、基材に第１層、第２層の順に積層するものとする。 - 【請求項５】 Ｓ１面の反射防止コートは、低屈折率材
料からなる１層のみとし、屈折率をｎ11、膜厚をｄ11と
したとき、 １．３６≦ｎ11≦１．５０ ８７≦ｎ11ｄ11≦２００ とすることを特徴とする請求項２に記載の光学部品。 - 【請求項６】 高屈折率材料を酸化セリウム、低屈折率
材料を酸化シリコンとしたとき、 Ｓ１面の反射防止コートは、 ２２．５≦ｄ11≦３３（ｎｍ） １１５≦ｄ12≦１７０（ｎｍ） Ｓ２面の反射防止コートは、 ３３≦ｄ21≦３８ １７５≦ｄ21≦１９６ とすることを特徴とする請求項３又は４に記載の光学部
品。 - 【請求項７】 低屈折率材料を酸化シリコンとし、 ６０≦ｄ11≦１３８（ｎｍ） とすることを特徴とする請求項５に記載の光学部品。
- 【請求項８】 低屈折率材料をフッ化マグネシウムと
し、 ９０≦ｄ11≦１４５（ｎｍ） とすることを特徴とする請求項５に記載の光学部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9322514A JPH1195002A (ja) | 1997-07-22 | 1997-11-25 | 光学部品 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-195593 | 1997-07-22 | ||
| JP19559397 | 1997-07-22 | ||
| JP9322514A JPH1195002A (ja) | 1997-07-22 | 1997-11-25 | 光学部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1195002A true JPH1195002A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=26509241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9322514A Pending JPH1195002A (ja) | 1997-07-22 | 1997-11-25 | 光学部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1195002A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001264533A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-26 | Konica Corp | 波長選択機能を有する光学部品及び光ピックアップ装置 |
| WO2010100854A1 (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-10 | 日立マクセル株式会社 | 光ピックアップレンズ |
-
1997
- 1997-11-25 JP JP9322514A patent/JPH1195002A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001264533A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-26 | Konica Corp | 波長選択機能を有する光学部品及び光ピックアップ装置 |
| WO2010100854A1 (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-10 | 日立マクセル株式会社 | 光ピックアップレンズ |
| JP2010205322A (ja) * | 2009-03-02 | 2010-09-16 | Hitachi Maxell Ltd | 光ピックアップレンズ |
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|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
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| A02 | Decision of refusal |
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|
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