JP2711697B2 - 広帯域反射防止膜 - Google Patents
広帯域反射防止膜Info
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- JP2711697B2 JP2711697B2 JP63280092A JP28009288A JP2711697B2 JP 2711697 B2 JP2711697 B2 JP 2711697B2 JP 63280092 A JP63280092 A JP 63280092A JP 28009288 A JP28009288 A JP 28009288A JP 2711697 B2 JP2711697 B2 JP 2711697B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、近赤外線から可視光線までの波長域におい
て使用される例えばレンズ等の光学部品の広帯域反射防
止膜に関する。
て使用される例えばレンズ等の光学部品の広帯域反射防
止膜に関する。
（従来の技術） 例えば、セオドライト望遠鏡と光波距離計を同軸化し
た測量機では、一般に対物レンズを両者で兼用するた
め、該対物レンズの反射率が大きいと、反射光が光波距
離計の受光素子に入り込んで測距誤差の原因となる。し
たがって該対物レンズとしては、可視光（400〜700nm）
及び光波距離計で使用する赤外光（800〜900nm）の反射
防止作用をする反射防止膜を施したものが望ましい。
た測量機では、一般に対物レンズを両者で兼用するた
め、該対物レンズの反射率が大きいと、反射光が光波距
離計の受光素子に入り込んで測距誤差の原因となる。し
たがって該対物レンズとしては、可視光（400〜700nm）
及び光波距離計で使用する赤外光（800〜900nm）の反射
防止作用をする反射防止膜を施したものが望ましい。
従来、対物レンズ等の光学部品のガラス基材上にコー
ティングする反射防止膜としては、高屈折率ガラスに対
する単層反射防止膜、２層のＷ型反射防止膜、２
層のＶ型反射防止膜が知られている。
ティングする反射防止膜としては、高屈折率ガラスに対
する単層反射防止膜、２層のＷ型反射防止膜、２
層のＶ型反射防止膜が知られている。
（発明が解決しようとする課題） 第３図に示すように、前記単層反射防止膜の波長対
反射率特性は比較的平坦であるが、反射率自体あまり低
くできず、Ｗ型反射防止膜及びＶ型反射防止膜
は、特定の波長域では優れた反射防止効果をもつが、特
定波長域以外では反射が多く、400〜900nmといった広い
波長域で優れた反射防止効果をもたせることができなか
った。
反射率特性は比較的平坦であるが、反射率自体あまり低
くできず、Ｗ型反射防止膜及びＶ型反射防止膜
は、特定の波長域では優れた反射防止効果をもつが、特
定波長域以外では反射が多く、400〜900nmといった広い
波長域で優れた反射防止効果をもたせることができなか
った。
本発明は、従来の反射防止膜のこのような課題を解消
することをその目的とするものである。
することをその目的とするものである。
（課題を解決するための手段） 本発明は、上記の目的を達成するために、ガラス基材
上にコーティングする反射防止膜において、該反射防止
膜は前記ガラス基材側から数えて第１、３、５、７層に
TiO2を、第２、４、６層にSiO2を、第８層にMgF2をそれ
ぞれ蒸着したものであり、前記各層の光学的膜厚ND（Ｎ
は薄膜の屈折率、Ｄは膜厚）を、第１層は（0.2〜0.3）
×λ/4、第２層は（0.3〜0.5）×λ/4、第３層は（0.7
〜0.8）×λ/4、第４層は（0.1〜0.3）×λ/4、第５層
は（1.2〜1.5）×λ/4、第６層は（0.3〜0.35）×λ/
4、第７層は（0.4〜0.6）×λ/4、第８層は（1.3〜1.
4）×λ/4（λは設計波長）としたことを特徴とする。
上にコーティングする反射防止膜において、該反射防止
膜は前記ガラス基材側から数えて第１、３、５、７層に
TiO2を、第２、４、６層にSiO2を、第８層にMgF2をそれ
ぞれ蒸着したものであり、前記各層の光学的膜厚ND（Ｎ
は薄膜の屈折率、Ｄは膜厚）を、第１層は（0.2〜0.3）
×λ/4、第２層は（0.3〜0.5）×λ/4、第３層は（0.7
〜0.8）×λ/4、第４層は（0.1〜0.3）×λ/4、第５層
は（1.2〜1.5）×λ/4、第６層は（0.3〜0.35）×λ/
4、第７層は（0.4〜0.6）×λ/4、第８層は（1.3〜1.
4）×λ/4（λは設計波長）としたことを特徴とする。
（作 用） 前記構成によれば、800〜900nmの波長における反射率
は、0.2％以下に、400〜700nmの波長における反射率も
最大0.8％以下になる。
は、0.2％以下に、400〜700nmの波長における反射率も
最大0.8％以下になる。
（実施例） 広い波長域で使用する光学部品において反射防止をす
るには、ガラス基材及びコーティング用蒸着物質の屈折
率の分散について考慮しなければ十分な効果が得られな
い。しかしこの屈折率の値は蒸着条件によって変化する
のが普通であるが、高屈折率物質TiO2、低屈折率物質Si
O2、MgF2は比較的蒸着させ易く、蒸着条件によってそれ
ほど屈折率が大きく変化しない。
るには、ガラス基材及びコーティング用蒸着物質の屈折
率の分散について考慮しなければ十分な効果が得られな
い。しかしこの屈折率の値は蒸着条件によって変化する
のが普通であるが、高屈折率物質TiO2、低屈折率物質Si
O2、MgF2は比較的蒸着させ易く、蒸着条件によってそれ
ほど屈折率が大きく変化しない。
このTiO2、SiO2、MgF2の屈折率Ｎは、実測によれば、
次のような値を有している。
次のような値を有している。
但し、λは波長（nm） 以上の条件でガラス基材としてBK7を使用し、反射防
止膜の各層の蒸着物質及び光学的膜厚NDを表１に示すよ
うにしたとき、第１図に示すような分光反射率が得られ
た。
止膜の各層の蒸着物質及び光学的膜厚NDを表１に示すよ
うにしたとき、第１図に示すような分光反射率が得られ
た。
但し、媒質 空気 設計波長λ＝465nm 第１図から判るように、波長420〜430nmのとき反射率
が0.8％と最も高く、これ以外の波長では、0.7％以下と
なった。
が0.8％と最も高く、これ以外の波長では、0.7％以下と
なった。
ガラス基材としてSF4を使用し、反射防止膜の各層の
蒸着物質及び光学的膜厚NDを表２に示すようにしたと
き、第２図に示すような分光反射率が得られた。
蒸着物質及び光学的膜厚NDを表２に示すようにしたと
き、第２図に示すような分光反射率が得られた。
但し、媒質は空気 設計波長λ＝475nm 第２図から判るように、波長400,440〜470nmのとき反
射率が0.8％、これ以外の波長では、0.7％以下となっ
た。
射率が0.8％、これ以外の波長では、0.7％以下となっ
た。
（発明の効果） 本発明は、上述の構成を有するから、800〜900nmにお
ける反射率が0.2％以下であり、400〜700nmにおいても
0.3〜0.8％程度の反射率の反射防止膜が得られ、例えば
光波距離計の対物レンズに使用した場合には有害反射光
による測距誤差が防止でき、望遠鏡の対物レンズに使用
した場合には、明るくコントラストのよい像が得られ
る。その他プリズム等に適用して有用である。
ける反射率が0.2％以下であり、400〜700nmにおいても
0.3〜0.8％程度の反射率の反射防止膜が得られ、例えば
光波距離計の対物レンズに使用した場合には有害反射光
による測距誤差が防止でき、望遠鏡の対物レンズに使用
した場合には、明るくコントラストのよい像が得られ
る。その他プリズム等に適用して有用である。
第１図及び第２図は、それぞれ本発明の実施例の、光の
波長対反射率特性図、第３図は従来の反射防止膜の、光
の波長対反射率特性図である。
波長対反射率特性図、第３図は従来の反射防止膜の、光
の波長対反射率特性図である。
Claims (1)
- 【請求項１】ガラス基材上にコーティングする反射防止
膜において、該反射防止膜は前記ガラス基材側から数え
て第１、３、５、７層にTiO2を、第２、４、６層にSiO2
を、第８層にMgF2をそれぞれ蒸着したものであり、前記
各層の光学的膜厚ND（Ｎは薄膜の屈折率、Ｄは膜厚）
を、第１層は（0.2〜0.3）×λ/4、第２層は（0.3〜0.
5）×λ/4、第３層は（0.7〜0.8）×λ/4、第４層は
（0.1〜0.3）×λ/4、第５層は（1.2〜1.5）×λ/4、第
６層は（0.3〜0.35）×λ/4、第７層は（0.4〜0.6）×
λ/4、第８層は（1.3〜1.4）×λ/4（λは設計波長）と
したことを特徴とする広帯域反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63280092A JP2711697B2 (ja) | 1988-11-05 | 1988-11-05 | 広帯域反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63280092A JP2711697B2 (ja) | 1988-11-05 | 1988-11-05 | 広帯域反射防止膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02126201A JPH02126201A (ja) | 1990-05-15 |
| JP2711697B2 true JP2711697B2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=17620206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63280092A Expired - Fee Related JP2711697B2 (ja) | 1988-11-05 | 1988-11-05 | 広帯域反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2711697B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021224405A1 (en) | 2020-05-07 | 2021-11-11 | Essilor International | Optical article with very low reflection in the visible region and in the near infrared region |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4854552B2 (ja) * | 2007-03-14 | 2012-01-18 | Ｈｏｙａ株式会社 | 反射防止膜及びこれを有する光学部品 |
-
1988
- 1988-11-05 JP JP63280092A patent/JP2711697B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2021224405A1 (en) | 2020-05-07 | 2021-11-11 | Essilor International | Optical article with very low reflection in the visible region and in the near infrared region |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02126201A (ja) | 1990-05-15 |
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Legal Events
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