JP2000347002A5 - - Google Patents
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Description
【発明の名称】反射防止膜および光学部品
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学部品に施される反射防止膜であって、特に、波長400〜700nmの可視域用の反射防止膜および光学部品に関するものである。
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学部品に施される反射防止膜であって、特に、波長400〜700nmの可視域用の反射防止膜および光学部品に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
光学部品に用いられる光学用基板の表面と入射媒質の界面における入射角度が0〜10°の入射光は、例えば、特開平10−20102号公報で提案されているような一般的な光学ガラス基板を用いた反射防止膜の場合は、3〜4%程度の反射にとどまるが、基板の屈折率が例えば2.0以上と高くなると、15〜20%程度も反射するという現象が生じる。従って、この基板を光が透過すると、表面側と裏面側で30〜40%の光量損失となり、しかもその枚数が増加すると、光量損失は相乗的に増加する。
【従来の技術】
光学部品に用いられる光学用基板の表面と入射媒質の界面における入射角度が0〜10°の入射光は、例えば、特開平10−20102号公報で提案されているような一般的な光学ガラス基板を用いた反射防止膜の場合は、3〜4%程度の反射にとどまるが、基板の屈折率が例えば2.0以上と高くなると、15〜20%程度も反射するという現象が生じる。従って、この基板を光が透過すると、表面側と裏面側で30〜40%の光量損失となり、しかもその枚数が増加すると、光量損失は相乗的に増加する。
【0005】
本発明は上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、高屈折率の基板に対応できる可視域用広帯域の反射防止膜および光学部品を提供することを目的とするものである。
本発明は上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、高屈折率の基板に対応できる可視域用広帯域の反射防止膜および光学部品を提供することを目的とするものである。
【0008】
また、第1ないし第6層のそれぞれの光学的膜厚nd1 、nd2 、nd3 、nd4 、nd5 、nd6 が以下の式で表わされる範囲であるとよい。
0.29λ0 ≦nd1 ≦0.33λ0
0.01λ0 ≦nd2 ≦0.06λ0
0.40λ0 ≦nd3 ≦0.45λ0
0.015λ0 ≦nd4 ≦0.05λ0
0.04λ0 ≦nd5 ≦0.13λ0
0.22λ0 ≦nd6 ≦0.25λ0
ここで、λ0 =550nm
本発明の光学部品は、上記の反射防止膜を形成した表面を有することを特徴とする。
また、第1ないし第6層のそれぞれの光学的膜厚nd1 、nd2 、nd3 、nd4 、nd5 、nd6 が以下の式で表わされる範囲であるとよい。
0.29λ0 ≦nd1 ≦0.33λ0
0.01λ0 ≦nd2 ≦0.06λ0
0.40λ0 ≦nd3 ≦0.45λ0
0.015λ0 ≦nd4 ≦0.05λ0
0.04λ0 ≦nd5 ≦0.13λ0
0.22λ0 ≦nd6 ≦0.25λ0
ここで、λ0 =550nm
本発明の光学部品は、上記の反射防止膜を形成した表面を有することを特徴とする。
【0009】
【作用】
光学用基板が高屈折率の基板であっても、該基板より屈折率の低い成膜材料を用いて上記の膜構成にすることにより、可視域全域の波長400〜700nmにおける反射率0.5%以下の反射防止膜を実現できる。
【作用】
光学用基板が高屈折率の基板であっても、該基板より屈折率の低い成膜材料を用いて上記の膜構成にすることにより、可視域全域の波長400〜700nmにおける反射率0.5%以下の反射防止膜を実現できる。
Claims (5)
- 高屈折率の基板に積層された6層の薄膜からなる交互多層膜を有し、該交互多層膜の前記基板側から第1層と第3層と第5層が前記基板より屈折率の低い高屈折率層であり、第2層および第4層がそれぞれ中屈折率層または低屈折率層であり、第6層が低屈折率層であることを特徴とする反射防止膜。
- 第1層と第3層と第5層の高屈折率層の屈折率が1.85以上であり、第2層および第4層の屈折率が1.35〜1.89であり、第6層の低屈折率層の屈折率が1.40以下であることを特徴とする請求項1記載の反射防止膜。
- 第1ないし第6層のそれぞれの光学的膜厚nd1 、nd2 、nd3 、nd4 、nd5 、nd6 が以下の式で表わされる範囲であることを特徴とする請求項2記載の反射防止膜。
0.29λ0 ≦nd1 ≦0.33λ0
0.01λ0 ≦nd2 ≦0.06λ0
0.40λ0 ≦nd3 ≦0.45λ0
0.015λ0 ≦nd4 ≦0.05λ0
0.04λ0 ≦nd5 ≦0.13λ0
0.22λ0 ≦nd6 ≦0.25λ0
ここで、λ0 =550nm - 入射角度0〜10°における分光反射率が、測定波長400〜700nmの範囲内において、0.5%以下であることを特徴とする請求項3記載の反射防止膜。
- 請求項1ないし4いずれか1項記載の反射防止膜を形成した表面を有することを特徴とする光学部品。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP11161819A JP2000347002A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11161819A JP2000347002A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 反射防止膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000347002A JP2000347002A (ja) | 2000-12-15 |
JP2000347002A5 true JP2000347002A5 (ja) | 2004-11-11 |
Family
ID=15742521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11161819A Pending JP2000347002A (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2000347002A (ja) |
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DE102010048089B4 (de) * | 2010-10-01 | 2016-09-01 | Carl Zeiss Vision International Gmbh | Verfahren zur Erzeugung einer mehrere Schichten aufweisenden antistatischen Beschichtung für ein Linsenelement |
JP6137807B2 (ja) * | 2012-11-12 | 2017-05-31 | キヤノン株式会社 | 反射防止膜を有する光学素子、光学系および光学機器 |
JP7332359B2 (ja) * | 2019-06-28 | 2023-08-23 | 日本真空光学株式会社 | 反射防止膜 |
CN113064225B (zh) * | 2021-03-24 | 2023-07-14 | 浙江舜宇光学有限公司 | 含氟化镁膜层的减反膜系及其制备方法 |
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1999
- 1999-06-09 JP JP11161819A patent/JP2000347002A/ja active Pending
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