JPH1186724A - 強誘電体平面カソードの製造方法 - Google Patents
強誘電体平面カソードの製造方法Info
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- JPH1186724A JPH1186724A JP24888797A JP24888797A JPH1186724A JP H1186724 A JPH1186724 A JP H1186724A JP 24888797 A JP24888797 A JP 24888797A JP 24888797 A JP24888797 A JP 24888797A JP H1186724 A JPH1186724 A JP H1186724A
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- ferroelectric
- sintered body
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- ferroelectric substance
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 蛍光表示管の製造工程で強誘電体平面カソー
ドを形成することにより、全体的に均一な表示を得るこ
とができる強誘電体平面カソードを有する蛍光表示管を
製造する。 【解決手段】 強誘電体を板状の焼結体９にする。印刷
法による蛍光表示管の製造工程において、ソーダライム
基板上に下部電極７を形成し、焼結体９を下部電極７に
導電性接着剤８で固定し、焼結体９上に上部電極１０を
形成すると、強誘電体平面カソードを有する蛍光表示管
が得られる。
ドを形成することにより、全体的に均一な表示を得るこ
とができる強誘電体平面カソードを有する蛍光表示管を
製造する。 【解決手段】 強誘電体を板状の焼結体９にする。印刷
法による蛍光表示管の製造工程において、ソーダライム
基板上に下部電極７を形成し、焼結体９を下部電極７に
導電性接着剤８で固定し、焼結体９上に上部電極１０を
形成すると、強誘電体平面カソードを有する蛍光表示管
が得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子を放出する強
誘電体平面カソードの製造方法に関するものである。
誘電体平面カソードの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、蛍光表示管の電子放出源にはフィ
ラメント状カソードを用いていたが、フィラメントは線
状カソードであり、表示部の同じ位置に常に対面してい
るため、フィラメント間の下方が輝線となり、フィラメ
ントの真下は電子の放出が少ないため暗線となる。この
ため、すべての表示部に均一に電子を引き出すことがで
きず、蛍光表示管の表示品位が低下していた。
ラメント状カソードを用いていたが、フィラメントは線
状カソードであり、表示部の同じ位置に常に対面してい
るため、フィラメント間の下方が輝線となり、フィラメ
ントの真下は電子の放出が少ないため暗線となる。この
ため、すべての表示部に均一に電子を引き出すことがで
きず、蛍光表示管の表示品位が低下していた。
【０００３】一方では、図４に示すように、強誘電体平
面カソードの構成等が特開平５−３２５７７７号公報に
開示されている。強誘電体平面カソード１００は、強誘
電体１０１を、該強誘電体１０１の一方の面に形成され
た第１電極１０２と、前記強誘電体１０１の他方の面に
形成されている第２電極１０３でサンドイッチにして構
成されている。そして、強誘電体１０１表面層近傍の抵
抗率を制御することにより、電子放出特性の安定したカ
ソードを得ることができる。
面カソードの構成等が特開平５−３２５７７７号公報に
開示されている。強誘電体平面カソード１００は、強誘
電体１０１を、該強誘電体１０１の一方の面に形成され
た第１電極１０２と、前記強誘電体１０１の他方の面に
形成されている第２電極１０３でサンドイッチにして構
成されている。そして、強誘電体１０１表面層近傍の抵
抗率を制御することにより、電子放出特性の安定したカ
ソードを得ることができる。
【０００４】このため、強誘電体平面カソード１００
は、蛍光表示管の電子源としても非常に利用価値があ
り、蛍光表示管の製造工程で造る必要がある。
は、蛍光表示管の電子源としても非常に利用価値があ
り、蛍光表示管の製造工程で造る必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、強誘電
体を蒸着法又はスパッタ法で成膜すると大がかりな装置
が必要となる。このため、短時間で成膜できる簡単な方
法が望まれていた。
体を蒸着法又はスパッタ法で成膜すると大がかりな装置
が必要となる。このため、短時間で成膜できる簡単な方
法が望まれていた。
【０００６】また、蒸着法又はスパッタ法では、真空で
成膜をおこなうため、大型基板の製造には適切ではな
い。
成膜をおこなうため、大型基板の製造には適切ではな
い。
【０００７】そこで本発明は、上記問題点を解消するた
めに、蛍光表示管の製造工程で強誘電体平面カソードを
形成することにより、全体的に均一な表示を得ることが
できる強誘電体平面カソードの製造方法を提供すること
を目的としている。
めに、蛍光表示管の製造工程で強誘電体平面カソードを
形成することにより、全体的に均一な表示を得ることが
できる強誘電体平面カソードの製造方法を提供すること
を目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】次に、上記の課題を解決
するための手段を、実施の形態に対応する図１乃至図を
参照して説明する。本発明の請求項１記載の強誘電体平
面カソードの製造方法は、上部電極１０と下部電極７の
間に強誘電体を挟んだ強誘電体平面カソードの製造方法
において、前記強誘電体を焼結体９にし、前記焼結体９
を前記下部電極７に導電性接着剤８で固定し、前記焼結
体９上に前記上部電極１０を形成することを特徴として
いる。
するための手段を、実施の形態に対応する図１乃至図を
参照して説明する。本発明の請求項１記載の強誘電体平
面カソードの製造方法は、上部電極１０と下部電極７の
間に強誘電体を挟んだ強誘電体平面カソードの製造方法
において、前記強誘電体を焼結体９にし、前記焼結体９
を前記下部電極７に導電性接着剤８で固定し、前記焼結
体９上に前記上部電極１０を形成することを特徴として
いる。
【０００９】本発明の請求項２記載の強誘電体平面カソ
ードの製造方法は、上部電極１０と下部電極７の間に前
記強誘電体を挟んだ強誘電体平面カソードの製造方法に
おいて、前記焼結体９に前記上部電極１０を形成し、前
記焼結体９を前記下部電極７に前記導電性接着剤８で固
定することを特徴としている。
ードの製造方法は、上部電極１０と下部電極７の間に前
記強誘電体を挟んだ強誘電体平面カソードの製造方法に
おいて、前記焼結体９に前記上部電極１０を形成し、前
記焼結体９を前記下部電極７に前記導電性接着剤８で固
定することを特徴としている。
【００１０】本発明の請求項３記載の強誘電体平面カソ
ードの製造方法は、請求項１又は２記載の強誘電体平面
カソードの製造方法において、前記上部電極１０と前記
下部電極７の少なくとも一方を印刷法で形成することを
特徴としている。
ードの製造方法は、請求項１又は２記載の強誘電体平面
カソードの製造方法において、前記上部電極１０と前記
下部電極７の少なくとも一方を印刷法で形成することを
特徴としている。
【００１１】本発明の請求項４記載の強誘電体平面カソ
ードの製造方法は、請求項１〜３のいずれかに記載の強
誘電体平面カソードの製造方法において、前記上部電極
１０から電子を放出させる引出し電極６を印刷法で形成
し、前記上部電極１０と結合することを特徴としてい
る。
ードの製造方法は、請求項１〜３のいずれかに記載の強
誘電体平面カソードの製造方法において、前記上部電極
１０から電子を放出させる引出し電極６を印刷法で形成
し、前記上部電極１０と結合することを特徴としてい
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１（ａ）は本発明による強誘電
体平面カソードの製造方法の実施の形態を示す蛍光表示
管１の断面図、図１（ｂ）は同上面図である。
体平面カソードの製造方法の実施の形態を示す蛍光表示
管１の断面図、図１（ｂ）は同上面図である。
【００１３】外囲器を構成する陰極基板２の内面には強
誘電体平面カソード３が設けられている。強誘電体平面
カソード３は、平面電子放出源４，ワイヤー５及び引出
し電極６で構成されている。平面電子放出源４は、下部
電極７，導電性接着剤８，強誘電体焼結体９及び上部電
極１０で構成されている。下部電極７は陰極基板の内面
に設けられ、導電性接着剤８により強誘電体焼結体９と
接着されている。強誘電体焼結体９には上部電極１０が
設けられ、ワイヤー５で引出し電極６と接続されてい
る。
誘電体平面カソード３が設けられている。強誘電体平面
カソード３は、平面電子放出源４，ワイヤー５及び引出
し電極６で構成されている。平面電子放出源４は、下部
電極７，導電性接着剤８，強誘電体焼結体９及び上部電
極１０で構成されている。下部電極７は陰極基板の内面
に設けられ、導電性接着剤８により強誘電体焼結体９と
接着されている。強誘電体焼結体９には上部電極１０が
設けられ、ワイヤー５で引出し電極６と接続されてい
る。
【００１４】外囲器を構成する陽極基板１１の内面に
は、陽極１２と遮光用の絶縁層１３が形成されている。
陽極１２は、平面電子放出源４から放出される電子の射
突を受ける蛍光体１４と表示信号が与えられるメッシュ
状のＡｌストライプ１５で構成されている。陰極基板２
と陽極基板１１の間には、グリッド１６を設けてもよ
い。
は、陽極１２と遮光用の絶縁層１３が形成されている。
陽極１２は、平面電子放出源４から放出される電子の射
突を受ける蛍光体１４と表示信号が与えられるメッシュ
状のＡｌストライプ１５で構成されている。陰極基板２
と陽極基板１１の間には、グリッド１６を設けてもよ
い。
【００１５】次に、上記蛍光表示管１の製造工程につい
て説明する。陰極基板２には、ソーダライムガラス基板
を用いる。ソーダライムガラス基板２上に、フォトリソ
グラフィにより下部電極７であるＡｌ配線を形成する。
また、下部電極７には、Ａｌ配線の代わりにＡｇペース
トを印刷して配線としてもよい。
て説明する。陰極基板２には、ソーダライムガラス基板
を用いる。ソーダライムガラス基板２上に、フォトリソ
グラフィにより下部電極７であるＡｌ配線を形成する。
また、下部電極７には、Ａｌ配線の代わりにＡｇペース
トを印刷して配線としてもよい。
【００１６】この下部電極７上に直接強誘電体焼結体９
を印刷すると、下部電極７と強誘電体焼結体９の熱膨張
率の違いにより、強誘電体焼結体９が剥がれやすくな
る。このため、下部電極７上には、導電性接着剤である
ダイボンドペースト８を印刷する。そして、ダイボンド
ペースト８に、板上の強誘電体焼結体９を張りつける。
ダイボンドペースト８は、ソーダライムガラス基板２と
強誘電体焼結体９を接着するだけでなく、熱導電性のよ
いＣｕ，Ａｇ等が含まれており、また、ソーダライムガ
ラス基板２と強誘電体焼結体９の熱膨張率の差を吸収す
る。
を印刷すると、下部電極７と強誘電体焼結体９の熱膨張
率の違いにより、強誘電体焼結体９が剥がれやすくな
る。このため、下部電極７上には、導電性接着剤である
ダイボンドペースト８を印刷する。そして、ダイボンド
ペースト８に、板上の強誘電体焼結体９を張りつける。
ダイボンドペースト８は、ソーダライムガラス基板２と
強誘電体焼結体９を接着するだけでなく、熱導電性のよ
いＣｕ，Ａｇ等が含まれており、また、ソーダライムガ
ラス基板２と強誘電体焼結体９の熱膨張率の差を吸収す
る。
【００１７】強誘電体焼結体９は１０μｍ〜１００μｍ
の厚膜である。強誘電体粉末としてＰＺＴ，ＰＬＺＴ，
ＰＭＮ−ＰＴ，ＢａＴｉＯ2 等を用い、これをペースト
化する。そして、厚膜印刷でパターンを形成し、１００
０℃〜１４００℃で焼成すると板上の強誘電体焼結体９
を得る。この強誘電体焼結体９を所望の大きさ及び厚さ
に加工形成する。
の厚膜である。強誘電体粉末としてＰＺＴ，ＰＬＺＴ，
ＰＭＮ−ＰＴ，ＢａＴｉＯ2 等を用い、これをペースト
化する。そして、厚膜印刷でパターンを形成し、１００
０℃〜１４００℃で焼成すると板上の強誘電体焼結体９
を得る。この強誘電体焼結体９を所望の大きさ及び厚さ
に加工形成する。
【００１８】また、ゾル−ゲル法により３０００Å〜２
μｍの薄膜の強誘電体焼結体９を製造した場合、ソーダ
ライムガラス基板２上にＡｌ薄膜等で下部電極７を形成
し、ロールコーターを用いて強誘電体ゾル液を塗布し、
５５０℃〜６００℃で焼成する。
μｍの薄膜の強誘電体焼結体９を製造した場合、ソーダ
ライムガラス基板２上にＡｌ薄膜等で下部電極７を形成
し、ロールコーターを用いて強誘電体ゾル液を塗布し、
５５０℃〜６００℃で焼成する。
【００１９】この強誘電体焼結体９上に上部電極１０を
印刷し、焼成により形成する。上部電極１０には、導電
性材料、例えばＰｔ，Ｎｂ，Ｉｒ，Ａｇ，Ｃ等のペース
トが用いられる。以上の工程により、蛍光表示管１が製
造される。
印刷し、焼成により形成する。上部電極１０には、導電
性材料、例えばＰｔ，Ｎｂ，Ｉｒ，Ａｇ，Ｃ等のペース
トが用いられる。以上の工程により、蛍光表示管１が製
造される。
【００２０】上記実施の形態では、陰極基板２としてソ
ーダライムガラス基板を使用したが、熱伝導率がよく、
ソーダライムガラス基板２と膨張係数の合うセラミック
ス基板を用いてもよい。この場合、セラミックス基板上
に、高温に耐えるＰｔ等で下部電極をパターン形成す
る。そして、ダイボンドペースト８により、強誘電体焼
結体９を下部電極７に固定する。
ーダライムガラス基板を使用したが、熱伝導率がよく、
ソーダライムガラス基板２と膨張係数の合うセラミック
ス基板を用いてもよい。この場合、セラミックス基板上
に、高温に耐えるＰｔ等で下部電極をパターン形成す
る。そして、ダイボンドペースト８により、強誘電体焼
結体９を下部電極７に固定する。
【００２１】次に、図２を用いて上部電極１０の構造に
ついて説明する。同図（ａ）では、上部電極１０は正方
形のべた状に形成されている。この構造では、強誘電体
内の誘電分極が反転する量が多くなり、電子放出能力が
向上する。同図（ｂ）では、上部電極１０は略弓の字状
に形成されている。電子は上部電極の下方又は隙間から
放出される。但し、いずれの場合も上部電極１０は、電
子放出の際電極劣化しない材料を用いる。
ついて説明する。同図（ａ）では、上部電極１０は正方
形のべた状に形成されている。この構造では、強誘電体
内の誘電分極が反転する量が多くなり、電子放出能力が
向上する。同図（ｂ）では、上部電極１０は略弓の字状
に形成されている。電子は上部電極の下方又は隙間から
放出される。但し、いずれの場合も上部電極１０は、電
子放出の際電極劣化しない材料を用いる。
【００２２】上部電極１０は、導電性材料と強誘電体焼
結体９の間に絶縁層を挟んだ構造としてもよい。この場
合、絶縁層には、強誘電体焼結体９と密着性のよい材
料、例えばガラスペーストを用いる。また、誘電体表面
に均一に電子が分布するよう誘電体表面を還元処理又は
数十Åの金属薄膜をスパッタで形成してもよい。この構
造によれば、上部電極の劣化を防止でき、抵抗値が上昇
する。
結体９の間に絶縁層を挟んだ構造としてもよい。この場
合、絶縁層には、強誘電体焼結体９と密着性のよい材
料、例えばガラスペーストを用いる。また、誘電体表面
に均一に電子が分布するよう誘電体表面を還元処理又は
数十Åの金属薄膜をスパッタで形成してもよい。この構
造によれば、上部電極の劣化を防止でき、抵抗値が上昇
する。
【００２３】また、上部電極１０は、ワイヤー５により
引出し電極６と接続されているが、図３のようにワイヤ
ー５を介さずに引出し電極６と一体にして強誘電体焼結
体９上に印刷してもよい。この場合、上部電極１０と下
部電極７が導通しないように陰極基板２上に絶縁層１７
を形成する。
引出し電極６と接続されているが、図３のようにワイヤ
ー５を介さずに引出し電極６と一体にして強誘電体焼結
体９上に印刷してもよい。この場合、上部電極１０と下
部電極７が導通しないように陰極基板２上に絶縁層１７
を形成する。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明による強誘電
体平面カソードの製造方法を用いて蛍光表示管を製造す
ると、強誘電体焼結体を導電性接着剤により下部電極に
固定することとしたため、蛍光表示管の製造方法である
印刷法を用いた製造工程で強誘電体平面カソードを取り
込むことができ、薄型の蛍光表示管を製造することがで
きる。
体平面カソードの製造方法を用いて蛍光表示管を製造す
ると、強誘電体焼結体を導電性接着剤により下部電極に
固定することとしたため、蛍光表示管の製造方法である
印刷法を用いた製造工程で強誘電体平面カソードを取り
込むことができ、薄型の蛍光表示管を製造することがで
きる。
【００２５】また、本発明による強誘電体平面カソード
の製造方法により製造された強誘電体平面カソードは、
蛍光表示管の表示部全体を覆うように形成されるため、
フィラメントに比し、表示部に対し均一に電子を放出す
ることができる。
の製造方法により製造された強誘電体平面カソードは、
蛍光表示管の表示部全体を覆うように形成されるため、
フィラメントに比し、表示部に対し均一に電子を放出す
ることができる。
【００２６】強誘電体として焼結体を用いることで、高
温焼成することなく強誘電体としての良い特性を得るこ
とができるため、ガラス基板上に容易に電子放出源を形
成することができる。
温焼成することなく強誘電体としての良い特性を得るこ
とができるため、ガラス基板上に容易に電子放出源を形
成することができる。
【図１】（ａ） 本発明による強誘電体平面カソードを
用いた蛍光表示管の製造方法の実施の形態を示す蛍光表
示管の断面図。 （ｂ） 同上面図。
用いた蛍光表示管の製造方法の実施の形態を示す蛍光表
示管の断面図。 （ｂ） 同上面図。
【図２】（ａ） 上部電極の構造を示す上面図。 （ｂ） 同上。
【図３】本発明による強誘電体平面カソードを用いた蛍
光表示管の製造方法により製造された強誘電体平面カソ
ードの他の実施の形態を示す断面図。
光表示管の製造方法により製造された強誘電体平面カソ
ードの他の実施の形態を示す断面図。
【図４】従来の強誘電体平面カソードの概略断面図。
６…引出し電極 ７…下部電極 ８…導電性接着剤 ９…強誘電体焼結体 １０…上部電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平賀 稔 千葉県茂原市大芝629 双葉電子工業株式 会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 上部電極と下部電極の間に強誘電体を挟
んだ強誘電体平面カソードの製造方法において、 前記強誘電体を焼結体にし、前記焼結体を前記下部電極
に導電性接着剤で固定し、前記焼結体上に前記上部電極
を形成することを特徴とする強誘電体平面カソードの製
造方法。 - 【請求項２】 上部電極と下部電極の間に前記強誘電体
を挟んだ強誘電体平面カソードの製造方法において、 前記焼結体に前記上部電極を形成し、前記焼結体を前記
下部電極に前記導電性接着剤で固定することを特徴とす
る強誘電体平面カソードの製造方法。 - 【請求項３】 前記上部電極と前記下部電極の少なくと
も一方を印刷法で形成することを特徴とする請求項１又
は２記載の強誘電体平面カソードの製造方法。 - 【請求項４】 前記上部電極から電子を放出させる引出
し電極を印刷法で形成し、前記上部電極と結合すること
を特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の強誘電体
平面カソードの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24888797A JPH1186724A (ja) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | 強誘電体平面カソードの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24888797A JPH1186724A (ja) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | 強誘電体平面カソードの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1186724A true JPH1186724A (ja) | 1999-03-30 |
Family
ID=17184929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24888797A Pending JPH1186724A (ja) | 1997-09-12 | 1997-09-12 | 強誘電体平面カソードの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1186724A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU169040U1 (ru) * | 2016-06-29 | 2017-03-02 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Белгородский государственный национальный исследовательский университет" (НИУ "БелГУ") | Пироэлектрический холодный катод с кольцевым поверхностным электродом |
-
1997
- 1997-09-12 JP JP24888797A patent/JPH1186724A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU169040U1 (ru) * | 2016-06-29 | 2017-03-02 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Белгородский государственный национальный исследовательский университет" (НИУ "БелГУ") | Пироэлектрический холодный катод с кольцевым поверхностным электродом |
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